DAD321操作规程.docx
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DAD321操作规程
AUTOMATICDICINGSAW
DAD3*1
Quickstartoperationguide
Edition:
1.00
June,15,2000
DISCO（DAD301系列）培训内容
A．
机器基本操作
1．
机器启动
2．
系统初始化
3．
刀片更换及注意事项
4．
刀片校零及注意事项
5．
单芯片资料的录入
6．
增添及消除单芯片资料
7．
予切割程序
8．
其它资料
B．机器基本维护
1．机械部分的讲解
2．电器部分的讲解
3．移动部分的维护及保养
4．机器精度检测
zz工作台的平整度
zzY轴步进的准确性
zzZ轴升降的重复性
DISCODAD321切割机的安装条件
zz电源
三相交流电，380伏，50/60HZ，4.0KVA.机器必需要接地.
z
压缩空气
机器进气埠的压力5～6kgf/cm2（0.5Mpa～0.6Mpa）.压缩空气的消耗量约为162升/分钟.机器
已配备耐压的软管的尺寸是外径ф15mm，内径ф9mm.并配备此管的管箍.压缩空气的要求：
请使用无
油型的空压机（油的残留量＜0.1PPM，重量计）.并带有低温（-15?
C或者以下）除湿装备及粉尘过滤
装置（过滤器的尺寸≤0.01um）.
zz去离子水
去离子水的电阻率＞12M?
cm.水压力≥3kgf/cm2（0.29Mpa）.主轴的冷却水流量≥1.5升/分钟,
此冷却水可回收再循环利用的.切割的冷却水消耗量≤2.5升/分钟.机器已配备水管的尺寸是外径ф15mm,内径ф9mm.
z
排水
机器已配备排水管的尺寸是外径
排水口距地面的高度约为450mm.
ф40mm,内径ф32mm,长度为
2M.
并配备此管的管箍
2个.
注机身
z
排气
机器须外接抽风设备.抽气量≥1.5M3/分钟.机器已配备管道的尺寸内径ф50mm,长度为2M.并配
备此管的管箍2个.注机身抽风埠距地面的高度约为1080mm.
zz机器的尺寸及重量
外观尺寸：
500mm（宽）X1050mm（深）X1445mm（高）.机器净重量：
500㎏.
zz安装的环境
温度：
20-25?
C,允许±1?
C的偏差.湿度：
45%±15%RH.
机器间距或者距离墙壁保留500mm以上空间,以便设备的维护和保养.
机器的启动及关闭
z
先打开压缩空气的开关，并在机器的仪表盘上确认压力≥
5.0kgf/cm
2。
z
打开去离子水的开关，（压力≥3.0kgf/cm
2）。
z
打开机器背后的电源开关，并将机器前罩板上的启动开关旋转到“
ON”的位置。
z
机器得电，并在20秒（大约）后，显示器上将出现“
DISCO”标记，然后进入主菜单。
机器的
启动完毕。
zz机器的关闭与启动过程相反。
应先关闭电源，（将启动开关旋转到“OFF”的位置），如有必要将电源开关关闭；然后关闭去离子水；最后关闭压缩空气。
机器操作系统的初始化
zz机器的启动完毕，进入主菜单后，机器会提示要系统初始化。
zz次时，操作人员按下“SYSINIT”键，机器会进入系统初始化的操作程序自动执行。
z机器的X轴，Y轴，Z轴和θ轴将动作，并停止在各自的原点位置上。
机器提示系统初始化完毕。
zz操作人员注意观察机器是否正常。
如果有异常，请按下机器前罩板上的紧急停止开关（红色）机器整机的电被切断，请检查机器的状况，并消除故障后方可再次开机。
新型号产品参数设置
zz在“主菜单”下（屏幕右上角显示0.0），按F4键；或者按“参数”快捷键。
z在“参数表”（屏幕右上角显示4.0）中，选中一个你所须要参数号，然后按F3对它进行复制。
此后机器显示确认对话框，按“ENTER”键加以确认。
zz复制完毕，参数表中增加一个新的参数号，然后将所要的新产品的型号及参数键入新增加的参数号内。
尤其是下边的资料：
切割的模式：
刀片怎样切割，通常设为“Ａ”模式。
工件的尺寸：
芯片直径（最大为６英寸）及厚度
刀具的高度：
自工作台算起未切割的深度
进给的速度：
切割时工作台（Ｘ轴）移动的速度晶粒的尺寸（CH1&CH2）：
晶粒的长和宽
主轴的转速：
刀片旋转的速度，通常设为30Ｋ到40Ｋ（视机器类型的不同而定）。
zz键入完毕，请按“ＥＮＴＥＲ”键加以确认。
产品参数选择
zz在“主菜单”下（屏幕右上角显示0.0），按F4键；或者按“参数”快捷键。
z在“参数表”（屏幕右上角显示4.0）中，选中一个你所须要进行切割参数。
然后按“ENTER”键。
zz在“型号参数（１）”中（屏幕右上角显示4.２），操作员须要确认全部切割参数的正确性。
z如使用带“Ｓ”的切割模式，还须按Ｆ３键进入“DATA２”中确认其它切割参数的正确性。
z如果有任何的参数须改动，请按“ENTER”键加以确认。
全自动切割
zz按“Ｆ１键（全自动切割）”后，刀具将自动下降到予先设定的高度。
zz按“C/TＶＡＣ”键两次。
此操作是开／关工作台的真空，同时使机器的显微镜向后退便于放置芯片。
z放一枚芯片在工作台上，按“C/TＶＡＣ”键，打开工作台的真空以固定芯片。
同时机器的显微镜将自动移到芯片的中间位置以便划道校准。
zz使用“θ顺时针旋转”和“θ逆时针旋转”键（在慢速的状态）校准芯片角度。
并按动Ｆ５（角
度校准）键使工作台自动左右移动，以便操作者观察。
注意角度校准完毕时请按“θ逆时针转”
键表示结束。
此键也称为θ的离手键。
zz用“Ｙ轴向前移动”和“Ｙ轴向后移动”键（在慢速的状态）使三条发线对准芯片划道的中心位置。
注意位置校准完毕时请按“Ｙ轴向后移动”键表示结束。
此键也称为位置的离手键。
zz按亮“ＩＮＤＥＸ（步进）”键，用“Ｙ轴向前移动”和“Ｙ轴向后移动”键以确认Ｙ步进值与管芯尺寸相符。
z按“ENTER”键结束芯片第一面的校准后，工作台将自动转90度，开始实行芯片第二面的校准
工序。
重复第一面的校准步骤完成芯片第二面的校准任务。
zz按下“START”键，开始执行芯片的切割。
主轴自动旋转到予先设置的速度，切割水自动喷出。
先从芯片第二面开始切割，切割的顺序是从前向后切。
待第二面切割完毕，工作台将自动再转回90度，开始芯片第一面的切割，切割的顺序也是从前向后切。
半自动切割
zz按“Ｆ１键（全自动切割）”后，刀具将自动下降到予先设定的高度。
zz按“C／TＶＡＣ”键两次。
此操作是开／关工作台的真空，同时使机器的显微镜向后退便于放置芯片。
zz放一枚芯片在工作台上，按“C／TＶＡＣ”键，打开工作台的真空以固定芯片。
同时机器的显微镜将自动移到芯片的中间位置以便划道校准。
zz按下F4键（单面对准）。
使用“θ顺时针旋转”和“θ逆时针旋转”键（慢速的状态）校准芯片角度。
并按动F5（角度校准）键使工作台自动左右移动，以便操作者观察。
注意角度校准完毕时
请按“θ逆时针转”键（称为θ的离手键）表示结束。
zz用“Ｙ轴向前移动”和“Ｙ轴向后移动”键（在慢速的状态）使三条发线对准芯片划道的中心位置。
注意位置校准完毕时请按“Ｙ轴向后移动”键（此键也称为位置的离手键）表示结束。
zz按亮“ＩＮＤＥＸ（步进）”键，用“Ｙ轴向前移动”和“Ｙ轴向后移动”键以确认Ｙ步进值与
管芯尺寸相符。
同时，移动到所要开始切割的区域，按下“ENTER”键表示将在此处开始切割。
zz此时，操作员还需选择切割的方向。
“F5”表示从前向后切割；“F10”表示从后向前切割。
按
F5键或F10键确定了切割方向，按下“START”键，开始执行芯片的切割。
（主轴自动旋转到予先设置的速度，切割水自动喷出。
）从当前的位置开始向前或向后切割，直到此面切割完毕。
此
面切割完毕后，工作台将不会自动转90度。
z使用半自动模式切割另一面时：
按亮“INDEX”键，按下“θ逆时针旋转”键，工作台将旋转90
度，重复以上的步骤执行划道对准和切割。
基准线（发线）和划痕的调节（重要）
zz在全自动或半自动切割模式下，操作员按下“START/STOP”键来暂停切割，并通过显示器检查
被切割后芯片的品质。
如切割的品质好，操作员按下“START/STOP”键就可继续切割。
zz当暂停检查，操作员发现切割的实际划痕，发线（基准线），与芯片的划道位置偏离时：
使用“Ｙ
轴向前移动”和“Ｙ轴向后移动”键，将发线（基准线）与实际的划痕调节到相吻合，按下“F1（基准发线的调整）”键，机器将修正发线（基准线）与实际的划痕的偏差；使用“Ｙ轴向前移动”和“Ｙ轴向后移动”键，再将发线（基准线）与芯片的划道调节到相吻合（或者基准发线位于芯片的划道
的中间），按下“F5（切割位置的调整）”键，机器将修正发线（基准线）与芯片划道的偏差。
z如果仅发现实际的划痕与芯片的划道有偏差，可以单独使用“
F5（切割位置的调整）”键来修正
发线（基准线）与芯片划道的偏差。
（此时，基准发线应与实际的划痕相吻合）。
如果仅发现实际的
划痕与发线（基准线）有偏差，可以单独使用“F1（基准发线的调整）”键来修正发线（基准线）与实
际的划痕的偏差。
（此时，实际的划痕应位于芯片的划道的中间）。
如果发现切割的实际划痕，发
线（基准线），与芯片的划道位置都有偏离时，务必先执行
F1（基准发线的调整），再执行F5（切
割位置的调整）。
刀片的更换
zz在“主菜单”下（屏幕右上角显示0.0），按下“F5（刀具的维护）”键，然后再按“F1（刀片的更
z
z
换）”键（屏幕右上角显示5.0）。
此时，主轴将停止旋转，前盖板的安全装置将处于释放状态。
Y
轴向后移动到安全位置，便于操作员更换刀片的操作。
检查并确认刀片技术规格（种类）是否正确。
否则按下“F5（刀片的选择）”进入DISCO刀片数
据库中选出正确的规格。
检查并确认所换的刀片是否为新的，用“F1（选择）”键来确定。
这样可激活予切割程序中所设定
由于刀片的“新”和“旧”不同，而工作台进给速度的相应的变化。
（换刀后继续切割，工作台进
给的速度不同与换刀之前）。
zz检查并确认所换的刀片的尺寸是否正确，如刀片外径，刀片厚度，刀刃的长度等。
z
打开机器的前盖板，取下刀具的前喷水罩。
将“BBD（刀片破损检测）”升到最高点。
使用换刀工装卸下刀片固定螺母（此螺母为左旋螺纹），取下不良的刀片。
使用蘸了去离子水的棉签去清洁
“BBD”传感器的表面，使之达到正常工作所要求的水平。
zz装上新的刀片，并确认所装的刀片于刀架之间的接触良好。
装上刀片的固定螺母（注意是左旋螺纹），并用大于30KG。
CM的扭力矩上紧此固定螺母。
zz装回刀具的前喷水罩并锁紧。
按下“ENTER”键通知机器已经换刀片，那么机器将会提示操作员执行“刀片的置零”的操作。
当再次切割时打开并执行予切割程序所设的顺序。
刀片破损检测器的调节（选项）
zz换完刀片后，按下“F10（刀片破损检测的调节）”键或者在刀具的维护菜单下按下“F2”键进入
刀片破损检测的调节（屏幕右上角显示
5.2）。
z
当“BBD”升到最高的位置时，观察显示器上代表灵敏度的条形码的读数为
90%
到100%
之间。
如果达不到上述的范围内，使用蘸了去离子水的棉签去清洁“
BBD”传感器的表面，使之达到正
常工作所要求的水平。
（必要时可调节“BBD
”的放大器使灵敏度的读数达到
90%
到
100%
之间）。
z
缓慢降下“
BBD”的高度，使灵敏度的读数在
10%±5%
范围之间，锁紧“
BBD”的固定螺杆。
调节完毕按下“EXIT”键退出。
刀片的零点设置
z在刀具的维护菜单下按下“F3（刀片的置零）”进入刀片的置零（屏幕右上角显示5.3）。
按下“F1”
键（在工作台上置零点）进入刀片在工作台上置零点（屏幕右上角显示5.3.1）。
zz操作员检查并确认刀片的外径，主轴的转速，工作台的类型及尺寸等是否正确。
确认后，按下“ENTER”机器开始执行刀片在工作台上置零点。
zz主轴将自动旋转。
工作台的真孔打开以确认并无工件放在工作台上。
经过短暂的延迟后，机器的
“X”，“Y”和“θ”开始移动到置零的位置，然后“Z”轴慢慢下降，直至刀片的尖端接触到工作
台的金属表面。
一旦接触，刀片将立刻上升到“Z”轴的最高点，同时工作台将返回其原点的位置。
刚装的刀片的零点设置自动被机器记录在EMSURAM板的RAM中。
zz刀片在工作台上置零结束，按下“ＥＸＩＴ”几次将返回主菜单下。
非接触式刀片零点设置（选项）
z
请先执行F4（非接触式传感器校准置零）后，方可运行刀片的非接触式置零。
否则机器会提示操作
员执行非接触式传感器校准置零。
z
在刀具的维护菜单下按下“F3（刀片的置零）”进入刀片的置零（屏幕右上角显示
5.3），按下“F4”
键（非接触式传感器校准置零）进入非接触式传感器校准置零操作。
操作员检查并确认刀片的外径，
主轴的转速，工作台的尺寸等是否正确。
确认后，按下“
ENTER”键后，机器先执行刀片在工作台
上置零点，完成后，再执行非接触式置零的操作。
此操作的目的是校准非接触式传感器（
NCS）。
z
在刀具的维护菜单下按下“F3（刀片的置零）”进入刀片的置零（屏幕右上角显示
5.3），按下“F3”
键（刀片的非接触式置零）进入刀片的非接触式置零程序。
（屏幕右上角显示
5.3.3）
z
操作员检查并确认刀片的外径，主轴的转速等是否正确。
按下“
ENTER”键机器去执行非接触式置
零的操作。
zz如有必要按下“F10”键可进入非接触式传感器（NCS）的清洁菜单。
按下“F1”键关闭传感器清
洁水的喷出，按下“F2”键打开吹气的电磁阀，吹干净非接触式传感器（NCS）的表面的水及粉尘
后，操作员确认其灵敏度的读数100%±2%之间。
如果低于98%，请使用蘸了去离子水的棉签去清
洁“NCS”传感器的表面。
如果大102%，请调节非接触式传感器（NCS）的放大器的增益，使之读数为100%±2%。
测量功能
zz测量功能用于测量未知尺寸的管芯的大小和切痕的宽度。
z
放置未知管芯尺寸的单芯片在工作台上。
按下“Ｃ／Ｔ
ＶＡＣ”键以固定工作台上的单芯片。
z
在主菜单下，按下“Ｆ６”键，然后再按下“Ｆ２”键（屏幕右上角显示６
.２）。
或者在“型号参
数”（屏幕右上角显示４
.２）中按下“Ｆ８”键进如机器的测量模式（屏幕右上角显示６
.２）。
此
刻显微镜将移到工作台的中间位置。
zz按动“显示模式”键选择显示器上的画面，使图案和字符都出现在显示器。
如有必要可调节灯光的强度和显微镜的焦距，使显示器上的画面清晰。
z位于单芯片“CH1”面，使用“X—”，“Y—”和“θ—”键，调节好芯片的位置（类似于自动切割
中的校准操作）。
选定管芯中一处特别的地方为参考点（例如划道的交汇处）
，移动发线与参考点
相吻合。
z
测量前按下“F3”（坐标值清零）键，将
Y轴当前值清为零。
按亮“SLOW”键，用“Ｙ轴向前移
动”或者“Ｙ轴向后移动”键（在慢速的状态）移动显微镜，使发线移到下一个管芯的相同的位
置处，此刻Y轴当前值变为一个数在屏幕右上方，该值即为未知大小的管芯的尺寸。
z
按下“F5—INDEXSET”键，将测量的结果存入
Y轴尺寸的栏
（一）内。
再按亮“
INDEX”键，
用“Ｙ轴向前移动”或者“Ｙ轴向后移动”键移动数次，执行步进操作用以检测“
INDEX”数值
的准确性。
如果测量的数值不精确，可测量多次以求得真实的数值。
z
如果测量的数值很精确，可以用笔记录下结果。
或者按下“
F10”键，将此测量的资料写入“型号
参数（１）”中。
zz如果需要测量芯片的“CH2”面，按亮“INDEX”键后，再按“θ逆时针旋转”键。
工作台将自动
旋转90度从“CH1”面旋转到“CH2”面。
操作员重复“CH1”的步骤可执行对芯片的“CH2”的测量。
DISCODAD321切割机日保养
1．机器外观检视和清洁。
2．检查气压在5Kgf/cm2以上。
3．检查机器内切割区的抽风口排风量是否够（5M3/Sec）
4．检查切割水流量是否稳定。
5．每次更换刀片时，请使用棉花棒沾水清洁BBD及NCS的光纤端面（Fiber）或镜片表面。
并清洁喷水的出水口（Blade，Shower）。
6．每次取下工作台，清洁上下之接触面及基座。
复原放回时，请小心轻放。
7．开启Spindle之前，请先用手旋转轴心，检查是否卡住无发转动。
8．交接班前，先将切割区内,外之污水擦拭干净，并将切割槽内之碎晶粒清理干净。
DISCODAD321切割机周保养
1．检查供应空气，水之接头是否稳固。
2．检查真空回路内是否有被堵塞，使真空减弱。
3．检查真空吸盘内是否有碎晶粒或微物堵塞。
4．检查Flowsensor，Flowmeter（切割水，冷却水的sensor及流量表）内部是否有异物堵塞。
5．检查各轴之动作是否顺畅。
6．检查抽风及排水管是否正常运作，异常时请该善。
7．注意避免水滲入Ｘ轴轨道及ＰＣＢ电气控制箱内。
DISCODAD321切割机月保养
1．检查Ｓpindle（轴心）是否有粉末布于四周，造成Ｓ
pindle
前后移动困难，应清洁之。
2．清洁各轴传动部份之控制
Sensor，请使用棉花棒擦拭之。
3．Ｘ,Ｙ,Ｚ轴
Ball-screw&Rail
移动顺畅否？
每半年用黄油枪打ＡＬＶＡＮＩＡ
ＧＲＥＡ
ＳＥ#2润滑脂。
请将旧润滑油以无尘纸或布去除后，打一次黄油，并用轴空运行让各轴
反复移动N次，再将黄油擦换掉，（因为此黄油是之前钢珠滑套内的旧润滑油）然后再打
一次黄油，再用轴空运行让各轴反复移动N次即可。
4．检查Z轴Ball-screw,motor&timingbelt是否磨损。
5．Ｘ轴ACservomotor&timingbelt检查。
6．检查X轴工作台两侧移动之黑色软性防水盖（Bellows）是否破损。
7．检查各Solenoidvalve（电磁阀）动作是否正常，异常请即刻清理。
8．灯光控制箱内的卤素灯的灯光是否耗弱。
9．各轴的联轴器（Coupling）检查。
10．使用软刀的刀架每个月研磨整修一次，硬刀的刀座每半年研磨整修一次。
11．Spindle冷却水管路每半年使用高压气清洁一次。
12．切割区的清洗，碎晶粒清除及喷水出口清洁，请每月彻做一次（操作者的日保除外）
请使用软性小油刷及清水清洗。
，
DISCODAD321切割机年度保养与消耗品更换周期
1、三点式高压气滤杯中的滤芯变色（黄）时请予以更换，正常状态一年更换一次。
2、真空产生器一年清洁一次，清理无效时请更换。
3、X、Z轴时规皮带（Timingbelt）每年调整一次，齿状磨损或断裂时，请更换。
4、X轴软性遮水盖（Bellows）破损严重时须要更换，正常状态
1000天更换一次。
5、操作面板表层破损时须更换，或
700天换一次。
6、灯光控制箱内卤素灯泡，灯光太暗时，或一年更换一次。
7、Spindle（旋转轴）的碳刷（Carbonbrush）每年更换一次。
8、切割区盖板的Waterproofsponge（海面条框）每年更换一次。
9、Spindle（旋转轴）Waterproofcover（长方形的刮水板）每年更换一次。
10、
Flowmeter（流量计）每700天更换一次。
11、
切割水及冷却水Flowratesensor每700天更换一次。
12、
电磁阀（Solenidvalve）每700天更换一次。
13、
Theta轴Waterproofcover（sealrubber）每1000天更换一次。
14、
THETA轴Waterproofcover（sealrubber）下方的O-ring每1000天更换一次。
15、
Chuck-table下方的centerring（中心环）每1000天更换一次。
附注：
以上耗材建议更换的周期，请参考并自行决定是否更换。
DAD320&321ERRORCODE（时常发生之错误讯息）
DAD320代号字母为“E”；DAD321代号字母为“B”
E023Spindlecontinuityerror：
转轴转速失常
原因①碳刷（Carbonbrush）接触不良。
②PC-EMSURAMboardSUINconnectorPIN#1，#2与spindlecarbonbrush两条连接线有断掉。
处理①清洁碳刷与转轴的接触面。
将碳刷与白色特弗龙座皆取出关掉高压气，使用长型棉花棒沾酒
精伸入转轴去擦拭转子尾端铜垫，共用细砂纸去研磨碳刷端面使平整及用酒精擦拭干净。
重新装配回去注
意固定碳刷的两支螺丝锁紧就好，不要太紧，以免特弗龙座螺牙滑牙而无法锁紧。
③用电表测量碳刷接出的两条线与PC-EMSURAMboard接出的两条线是否接触不良，是否断线。
如果①处理完毕，去Setup，此错误不在发生，不必去执行②项。
E024Noncontactsetupcheckerror非接触测高检查错误（Ｚ轴不下降）
原
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