PV系统培训资料.pptx

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PV系统系统培训资料培训资料20112011年年1111月月PV系统架构PV系统也称工艺真空或制程真空系统，是为FAB里生产机台提供用于吸附硅片的动力源。

PV的制程发生装置位于FAB1F东侧F5-F7/11-12之间（靠近5#楼梯），包括有以下主要设备：

-真空泵13台-缓冲罐2个-电控盘1组-PV真空集管等PV系统以目前10K产能，日常情况下运行3台真空泵，其余为后续产能扩充做预留PV系统架构PV系统工作流程：

FAB内生产机台/实验室机台等的PV工艺接口Hookup管道FAB2F各PVSubmainFAB2F东西两侧PV主管（西侧200A，东侧150A）FAB1FPV集管FAB1FPV真空泵注：

另外有一路主管专供3FCMP区域使用以及另一路共供1F实验室和3F南支持区使用PV系统架构FAB1FPV真空泵区PV系统架构PV真空泵PV系统架构PV控制电盘PV系统架构FAB2FPV主管及Submain分布图PV系统架构FAB3FPVSubmain分布图PV真空泵的性能参数及所需动力源PV真空泵性能参数：

-抽气量：

9000L/min/台-Hookuptake-off点设计真空度：

700mmHg真空泵运行所需主要动力源包括PCW（工艺冷却水）和排气（酸排气），其中对于PCW的供应有严格要求：

-送水压力:

2-4bar-送水流量:

大于12L/min/台PV真空泵的性能参数及所需动力源PCW排气PV真空泵所需动力源PV系统的安全注意事项以下几点可能会导致PV系统运行出现异常甚至停止供应：

1.停电或市电波动时PV真空泵将停止运行，供电恢复正常后需在现场重新启动真空泵恢复PV供应。

2.PCW系统供应异常时（流量、压力或温度异常），会引起真空泵的热继电器保护跳机。

3.酸排气系统出现异常时（如末端负压下降等），也会引起真空泵的热继电器保护跳机。

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