Array工艺原理及工程检查-检查.ppt

Array工艺原理及工程检查-检查.ppt

《Array工艺原理及工程检查-检查.ppt》由会员分享，可在线阅读，更多相关《Array工艺原理及工程检查-检查.ppt（27页珍藏版）》请在冰豆网上搜索。

1Array检查概要检查概要2内容：

内容：

nArrayArray检查流程检查流程n检查项目及使用装置检查项目及使用装置nTNTN的的GG检检nTNTN的的DD检检nTNTN的的AA检检nTNTN的显影后检查的显影后检查3ARRAY检查流程4日文名日文名中文名中文名英文名英文名装置陈列检测设备装置ARRAYTESTERMACHINE自動外観検査装置光学自动外观检查装置AUTOMATICOPTICALINSPECTIONMACHINE特性測定装置特性测试设备TEGProberEquipment装置激光修补仪LaserRepairMachineCVD装置激光化学气相沉积修补设备LaserCVDRepairMachine断路或短路检验装置FLATPANELO/STESTOFMACHINE検査装置微观/宏观检查装置MACRO/MICROCHECKOFMACHINEMacro検査装置宏观检查装置MACROCHECKOFMACHINEMacro検査装置自动宏观检查装置AUTOMACROCHECKOFMACHINE检查设备一览表5ARRAYARRAY检查流程检查流程TN：

4MaskProcessG工程工程O/S检查检查AOI检查检查LaserRepairD/I工程工程G检检AOI检查检查LaserRepairLaserCVDD检检C工程工程PI工程工程特性检查特性检查ArrayTestLaserRepairMMO最终检查最终检查GPR显影后检查显影后检查DPR显影后检查显影后检查CPR显影后检查显影后检查PIPR显影后检查显影后检查6ArrayArray检查项目检查项目nTNTN的的GG检检nTNTN的的DD检检nTNTN的的AA检检nTNTN的显影后检查的显影后检查7TN的的G检检使用设备使用设备：

O/S检查、自动外观检查、激光切断检查、自动外观检查、激光切断检查目的：

检查目的：

通过对通过对ARRAY工程中像素电气特性的比较检查，对于检出工程中像素电气特性的比较检查，对于检出的短路可以进行修复的短路可以进行修复对应措施对应措施：

layer缺陷缺陷修复修复GateGateGate、ComCom短路短路激光切断激光切断GateGate、ComCom断路断路激光修复激光修复8TNTN的的DD检查检查检查目的通过对通过对ARRAYARRAY工程中画素图案的比较检查工程中画素图案的比较检查、可以检出图形缺陷可以检出图形缺陷、工程不良工程不良和异物付着等缺陷。

对于检出的短路和断路和异物付着等缺陷。

对于检出的短路和断路不良不良之后可以进行修复之后可以进行修复使用设备自自动外外观检查装置装置（ORBOTECH）ORBOTECH）LaserLaserRepairRepair装置（装置（NECNEC）LaserLaserCVDCVD装置（装置（NECNEC）检出缺陷LayerLayer缺陷缺陷修复修复GateGateGateGate、ComeCome短路短路激光切断激光切断GateGate、ComCom断路断路激光修复激光修复图形形不良不良根据缺陷判断是否修复根据缺陷判断是否修复IslandIslandSiSi残留残留根据缺陷判断是否修复根据缺陷判断是否修复DrainDrainDrainDrain短路短路激光切断激光切断DrainDrain断路断路激光激光CVDCVD图形形不良不良根据缺陷判断是否修复根据缺陷判断是否修复9TNTN的的DD检查流程检查流程DrainDrain刻蚀刻蚀剥離完剥離完成成自自动外外观检查激光切断激光切断激光激光CVD短路短路断路断路对于对于工程工程的的完成完成品品，使用，使用自动外观检查自动外观检查装置进行抽检，装置进行抽检，检出的短路不检出的短路不良，使用激光良，使用激光切断进行修复，切断进行修复，检出的可修复检出的可修复的断路不良，的断路不良，使用激光使用激光CVDCVD进行修复。

进行修复。

Ok10Drain刻蚀剥離完成检查结果例检查结果例：

欠陥：

欠陥：

420.115420.115YY:

223.765223.765Size:

Size:

ZONEZONE：

自动外观检查装置自动外观检查装置（、全数）Drain刻蚀完成后，对外观上的缺陷进行检出自动外观检查自动外观检查激光切断激光切断（短路）（短路）激光激光CVDCVD（断路）断路）短路断路点缺陷断路断路点缺陷（D-PI）短路11Drain刻蚀剥離完成自动外观检查自动外观检查激光切断激光切断（短路）短路）激光激光CVDCVD（断路）断路）激光切断激光切断根据座根据座标标数据数据对对短短路的部分路的部分进进行激光行激光切断切断D-D短路点缺陷（将来）激光激光CVDCVD根据座标数据对断根据座标数据对断路的部分进行激光路的部分进行激光CVDCVD修复修复断路12SystemcontrollerKeyboardMouseJoystickMainMainwindowwindowReviewwindowReviewwindowCommunicationstatusCommunicationstatuswindowwindowSystemmonitorImagecomputer8bitADConverterMachinecontroller自动外观检查装置示意图13检查方法概略取得画像画像处理（比较）例）例）LotNoPanelNo缺陷NoX座標座標SizeMode等例）重复比较相邻画素图案对Array基板全面扫描使用Sensor进行取像（、）area3Origin获得缺陷情报14缺陷检出方式RealtimebufferRealtimebufferDelayedbufferDelayedbufferDefectdetectionComparisonDifferenceNoDifferenceDifferenceComparisonComparison15实时缺陷信息Coordinates,The#ofInspectionareaCoordinates,The#ofInspectionarea（、）area3OriginSize,Size,length,width,length,widthdy:

5dx:

6width:

2length:

5size:

18GrayLevelGrayLevel（RangeRange：

00255）-DefectGL,ReferenceGL255）-DefectGL,ReferenceGLAnalogImageDigitalImageAtoFrequencyFrequencyMinMaxPeak1Peak216D工程后象素图形17D工程后短路缺陷18TNTN的的ArrayArray检查流程检查流程检查目的检查检查TNTN型产品画素图形是否良好型产品画素图形是否良好测定方式是根据测定方式是根据TFTTFT的正负电压的变换而产生的的正负电压的变换而产生的二次二次电子量电子量进行检出进行检出之后可以对检出的短路不良进行修复之后可以对检出的短路不良进行修复使用设备ArrayArray检查装置检查装置（岛津岛津）激光切断激光切断装置（装置（NECNEC）检出缺陷短路短路画素短路画素短路激光切断激光切断G-GG-G短路短路激光切断激光切断D-DD-D短路短路激光切断激光切断其他其他点缺陷等点缺陷等根据缺陷判断是否修复根据缺陷判断是否修复19TNTN的的ArrayArray检查流程检查流程ArrayArray基板基板完成品完成品Array检查检查激光切断激光切断短路短路PIPI工程工程完成后，完成后，使用使用AArrayrray检查检查装置对基板进行装置对基板进行电气特性检查。

电气特性检查。

对于短路不良，对于短路不良，之后可以用激光之后可以用激光切断装置进行修切断装置进行修复复20TNTN的的ArrayArray检查流程检查流程Array检查装置激光切断激光切断（短路）（短路）Array检查装置激光切断激光切断（短路）（短路）检查结果例SheetNoPanel、Panel、Array检查装置（全数）对对ArrayArray基板的完成品进基板的完成品进行缺陷检出行缺陷检出点缺陷激光切断根据座标数据对根据座标数据对短路的部分进行短路的部分进行激光切断激光切断点缺陷21检查的基本原理DataSignalGateSignalSignalinnormalTFTitselfSESignalinnormalTFTTimeGateLineITOTFT二次电子ee入射电子高能量电子束打在TFT基板上给TFT基板加电压二次电子从ITO上出射测量ITO电极上的二次电子信号非正常电压为基板上有缺陷22装置的外观图23电子枪的外观图E-GUN外観S1用、電子銃搭載24Array工程完成品象素图形25特性检查装置Sheet内的点（像素）测量像素特性的測定装置測定Point1E-101E-Gate端子Drain端子Pixel基板目的目的测测定内容定内容例26Macro外观检查装置装置的原理装置的原理检查检查检查检查在在ArrayArray基板摇动时，通过切换照明方式，从不同角度目视检查基板基板摇动时，通过切换照明方式，从不同角度目视检查基板。

拡散光収束光各種等27