xps处理及分峰步骤.ppt

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射线光电子能谱射线光电子能谱数据处理及分峰步骤数据处理及分峰步骤中国科学院化学研究所刘芬2005.10.21Region120045301248102550XPSAlK-alpha1486.600000FAT301E+374.45300000N1sN1s-1KineticEnergyeV1072.60.051一、在一、在OriginOrigin中作图步骤：

中作图步骤：

1、打开文件，可以看到一列数据，找到相应元素找到相应元素（如N1s）对应的Region（一个Region对应一张谱图）,一个文件有多个Region。

2、继续向下找到KineticEnergy，其下面一个数据为动能起始值，即谱图左侧第一个数据。

用公式BE始始=1486.6-KE始始-换算成结合能起始值，是一个常数值，即荷电位移荷电位移，每个样品有一个值在邮件正文中给出。

N1sN1s-1KineticEnergyeV1072.60.051Countspulsecounting0.16000004012202.524127.082458.362559.722523.562553.482509.83、再下面一个数据是步长步长值，如0.05或0.1或1，每张谱图间有可能不一样。

4、继续向下,可以找到401或801这样的数，该数为通道数通道数，即有401或801个数据点。

5、再下面的数据开始两个数据是脉冲脉冲，把它们舍舍去去，接下来的401或801个数据都是Y轴数据，将它们copy到B（Y）。

6、X轴：

轴：

点A（X），再点右键，然后点setcolumnvalues，出现一个对话框，在from中填1，在to中填401（通道数），在col（A）中填BE始始-0.05*（i-1），或直接填1486.6-KE始始-0.05*（i-1），最后点doit。

7、此时即可以作出N1s谱图。

8、画出来的图有可能有一些尖峰，那是脉冲脉冲，应把它们去去掉掉，方法为点Data-MoveDataPoints，然后按键盘上的或箭头去除脉冲。

二、分峰步骤二、分峰步骤1、将所拷贝数据转换成将所拷贝数据转换成TXT格式：

格式：

把所需拟合元素的数据引入Origin后，将columnA和B中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘。

如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据，需在Origin中做好处理。

2、打开XPSPeak，引入数据引入数据：

点Data-Import（ASCII），引入所存数据，则出现相应的XPS谱图。

3、选择本底选择本底：

点Background，因软件问题，HighBE和LowBE的位置最好不改，否则无法再回到Origin，此时本底将连接这两点，Type可据实际情况选择，一般选择Shirley类型。

4、加峰加峰：

点Addpeak，出现小框，在PeakType处选择s、p、d、f等峰类型（一般选s），在Position处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。

各项中的constraints可用来固定此峰与另一峰的关系，如Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰位间距可固定为3.45，峰面积比可固定为4:

3等。

点Deletepeak可去掉此峰。

然后再点Addpeak选第二个峰，如此重复。

5、拟合：

拟合：

选好所需拟合的峰个数及大致参数后，点Optimiseregion进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可以多次点Optimiseregion。

6、参数查看：

参数查看：

拟合完成后，分别点另一个窗口中的RigionPeaks下方的0、1、2等可看每个峰的参数，此时XPS峰中变红的为被选中的峰。

如对拟合结果不region满意，可改变这些峰的参数，然后再点Optimise。

7、点SaveXPS存图存图，下回要打开时点OpenXPS就可以打开这副图继续进行处理。

88、数据输出：

、数据输出：

点DataPrintwithpeakparameters可打印带各峰参数的谱图，通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。

点DataExporttoclipboard，则将图和数据都复制到了剪贴板上，打开文档（如Word文档），点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。

点DataExport（spectrum），则将拟合好的数据存盘，然后在Origin中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在Origin中作出拟合后的图。

将拟合好的数据重新引回到重新引回到Origin: