全板电镀流程操作手册-柏宇说明书.doc
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全板电镀流程
操作手册
2008年3月
目录
1.柏宇专利化学品名称与储存要求................................3
2．全板电镀线配槽步骤...........................................4
2.1 新配槽的清洁处理方法..................................4
2.2 配槽简表..............................................4
2.3 配槽步骤..............................................5
3.全板电镀线设备要求...........................................5
4.药液生产控制范围.............................................6
5.药液补充量及槽液寿命.........................................6
6.生产线保养事项...............................................6
6.1 定期保养..............................................6
6.2 碳处理和阳极铜球处理..................................8
7.药品分析方法.................................................9
8.工艺问题处理简表.............................................11
9.基本化学药品名称和规.........................................16
10.产品说明书...................................................16
1．基本化学药品名称及规格
1．1所需基本化学药品规格
2.2.1 硫酸（化学纯）
H2SO4浓度
98%重量比
密度g/cm3
1.835-1.945
氯
max.0.5ppm
铁
max.5.0ppm
2.2.2 盐酸（化学纯）
含有HCl
37.5%
密度g/cm3
1.16-1.20
重金属
max.1ppm
2.2.3 硫酸铜（化学纯）
CuSO4.5H2O成份
min.98%重量比
氯
max.0.02%重量比
1.2含磷铜阳极规格
含磷铜阳极
Cu
>99.9%，不含Cu2O
P
0.04-0.06%
Pb
max.0.001%
Bi
max.0.002%
AS
max.0.003%
Sb
max.0.003%
Sn
max.0.003%
Zn
max.0.001%
Fe
max.0.003%
Ni
max.0.008%
Se
max.0.001%
S
max.0.01%
2.全板电镀线配槽步骤
2.1 新药槽的清洁处理方法
2.1.1 药槽和有关设备的清洁方法
1）.用5%NaOH溶液浸缸，同时开启过滤泵/循环泵4-8小时后排放碱。
2）.再用清水冲洗用2%（v/v）硫酸溶液浸缸及同时开启过滤泵/循环泵4-8小时。
3）.排放硫酸液，然后用清水冲洗
2.1.2 过滤芯及阳极袋的清洁方法
1）.用2%（w/w）NaOH溶液浸泡4小时，然后用清水冲洗。
2）.再用2%（v/v）硫酸溶液泡4小时，然后用清水冲洗。
2.1.3 铜球的清洁方法
1）.用2%硫酸（v/v）和5%（v/v）双氧水（35%）混合溶液用作微蚀处理铜球表面。
2）.再用清水冲洗，并放入1%（v/v）硫酸溶液中储存备用。
2.1.4 阳极钛篮的清洁和电解处理
1）.用2-5%（v/v）NaOH溶液浸泡4-8小时，然后用清水冲洗。
2）.再用2%（v/v）硫酸溶液浸泡4小时。
3）.把钛篮放入注满10%硫酸的镀铜槽中的阳极位置。
4）.在阴极挂上不锈钢板。
5）.用6-8V电压，稳压电解处理钛篮约一小时。
6）.用去离子水彻底冲洗。
2.1.5 锡球的清洁方法
1）.用4%（v/v）硫酸溶液浸泡4-8小时。
2）.然后用清水冲洗，并放于1%（v/v）硫酸溶液中储存使用。
2.2配槽简表
药品
配槽浓度
100L配槽用量
纵横比
>7:
1
纵横比
3:
1-7:
1
纵横比
<3:
1
纵横比>7:
1
纵横比
3:
1-7:
1
纵横比
<3:
1
硫酸铜
硫酸（98%）
氯离子
酸铜添加剂1301M
45g/L
165ml/L
75ppm
4ml/L
60g/L
145ml/L
75ppm
4ml/L
75g/L
125ml/L
75ppm
4ml/L
4.5kg
16.5L
分析添加
400ml
6.0kg
14.5L
分析添加
400ml
7.5kg
12.5L
分析添加
400ml
2.3配槽步骤
工序
配槽步骤
酸性镀铜
a.注入去离子水进入镀槽内至1/2水位。
b.开动空气搅拌,加入适量的硫酸铜，
c.小心慢慢地加入适量的化学纯硫酸，切勿使用工业级硫酸。
在加入步骤中会产生大量热力，可帮助硫酸铜溶解。
d.如有需要，可以作碳处理（详情可参考9.2部份）。
e.加入去离子水至水位及搅拌均匀，先作定量分析，包括铜离子、硫酸和氯离子浓度，调校氯离子至约75ppm。
f.待溶液冷却至约25°C左右可准备使用。
g.用拖缸板先以10ASF拖缸1小时，然后15ASF拖缸2小时，最后用20ASF拖缸最少约2安培小时/升，使阳极表面产生阳极黑膜。
h.再加入4ml/L酸铜添加剂1301M.
i.当一层黑色的阳极薄膜产生（约2安培小时/升），分析槽液，采用Hull槽实验确定光剂是否合适后，便可以进行电镀生产。
3.全板电镀线设备要求
工序
加热/冷却器
过滤器
打气/Eductor
酸浸
不需要
不需要
酸性镀铜
发热器及冷却器
需要（5-10mmPP棉芯）
需要
褪镀
冷却管-
不需要
不需要
摇摆幅度=25-50mm摇摆频率=10-15cycle/min
4.药液生产控制范围
温度控制
药液
控制
分析
工序
范围
建议值
成份
范围
建议值
频率
酸性镀铜
20-27°C
24°C
硫酸铜
硫酸（98%）
氯离子
酸铜光亮剂
酸铜整平剂
酸铜润湿剂
污染度
45-75g/L
125-165ml/L
60-90ppm
0.8–1.2ml/L12-20ml/L
4.0-20ml/L
<0.12mA
60g/L
140ml/L
75ml/L
1ml/L
16ml/L
10ml/L
每周
一次
每周
两次
Hull槽测试
褪镀
25-35°C
30°C
HNO3
300-400ml/L
350ml/L
三日1次
5.药液补充量及槽液寿命
药液
补充量
槽液寿命
工序
成份
补充量范围
建议值
请参考7.1.4部份
酸性镀铜
硫酸铜
-
分析添加
硫酸（98%）
-
分析添加
氯离子
-
分析添加
酸铜补充剂1301R
150-250ml/1000AH
200ml/1000AH
预浸
硫酸（98%）
-
分析添加
6.生产线保养事项
6.1定期保养
6.1.1 阳极
阳极铜球建议每周补充两次。
补充前新铜球必须要经过2%（v/v）硫酸混合5%（v/v）双氧水（35%）作表面微蚀处理。
补充时，阳极钛篮必须用力摇动，使钛篮内的铜球能够紧贴一起，避免钛篮内形成空隙，影响电镀效果。
镀铜镀液经500AH/L电镀后（约3个月生产），建议必须取出阳极，清洗钛篮内的阳极污泥及清洁钛篮袋，同时间阳极铜球最好经微蚀处理。
6.1.2阳极钛篮袋
阳极钛篮袋必须定期检查有否破裂或受阳极污泥堵塞。
新的阳极袋必须先浸洗于5%（v/v）氢氧化钠溶液4-8小时，然后用清水冲洗，再经2%（v/v）硫酸溶液浸洗，最后再用清水洗净后可使用。
旧的阳极袋可以5%双氧水混合5%硫酸浸洗。
切勿使用清洁剂清洗阳极袋。
6.1.3 自动加药器
必须每星期最少检查和校正自动加药器一次。
6.1.4 碳处理
一般情况而言，我司酸铜添加剂不会自我分解产生有害有机污染物影响电镀质量，但由于生产过程中，不断有机会从其它媒介带入其它污染物进铜缸内，所以当CVS污染数值大于0.12mA或镀液经2000AH/L电镀生产后（即约生产一年月后），建议必须作碳处理，以保证电镀质量。
正常情况下，镀液经碳处理后，镀液的CVS污染值应该少于0.06mA。
6.1.5 飞巴
飞巴座与飞巴的接触位必须定期清洁，以保证最好的导电效果。
若整流器出现不正常的高电压值时，则有机会表示接触不良。
6.1.6 拖缸
拖缸的目的是电镀生产前活化镀铜液，若停产不超过一天，一般不需要生产前拖缸。
拖缸时，自动加药器必须开启。
6.1.7 过滤蕊
过滤蕊是用来过滤镀液中悬污物，过滤蕊滤网越小，过滤效果越高，可是寿命较短。
从过滤器的压力表可以观察过滤蕊有否堵塞，若压力指数比平常高，则表示有需要更换新棉蕊。
新棉蕊清洗方法可以先以2%（w/w）NaOH浸洗4-8小时，然后用清水洗净后，再用2%（v/v）硫酸浸洗，最后用清水洗净可使用。
或可用热水浸洗4-8小时。
6.1.8 挂具
损坏的挂具或挂具上的绝缘胶剥落，于电镀时会产生很多问题，因此有需要定期检查及保养挂具。
损坏的挂具必须马上更换，若挂具上的绝缘胶发现剥落，就必须马上填补。
6.2碳处理和阳极铜球处理
阳极铜球微蚀处理
1.取出钛篮内阳极铜球
2.冲洗钛篮袋内阳极泥
3.用高压水冲洗阳极表面
4.以2%（v/v）硫酸混合10%（v/v）双氧
水，用作微蚀处理阳极铜球。
微蚀处
理后，用清水冲洗干净铜球后，放回
钛篮内。
需要经碳处理的镀铜镀液
¾¾¾¾®
双氧水处理
1.加入5ml/L双氧水至镀铜镀液。
2.开打气或搅拌。
3.提高温度至40°C，
保持3-4小时。
¯
沉淀
1.关打气或搅拌。
2.关发热器。
3.静化浸淀一天。
4.浸淀后，过滤镀液。
5.待镀液冷却后，用HullCell测试
碳处理效果是否合格，否则就必须再
作多一次双氧水及碳处理。
¬¾¾¾¾
碳处理
1.提高温度至65°C。
2.加5g/L活性碳粉。
3.开打气或搅拌保持3小时。
¯镀液冷却至室温后
镀液校正
1.加去离子水，补充碳处理过程中挥
发的水份。
2.定量分析后，校正镀液内无机成份。
3.加入4ml/L酸铜添加剂1301M先以
10ASF拖缸一小时,然后用15ASF
拖缸二小时,最后用20ASF,拖缸
约2Ah/L。
4.当一层黑色的阳极薄膜产生（约2
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