17一个各向异性埋波导模态分析.docx

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17一个各向异性埋波导模态分析

引言(BPM)

本课模拟各向异性考虑埋引导的效果。

 

该核心具有各向异性的相对介电常数张量分量ε x x   =ε Ž Ž   =2.31,ε ÿ ÿ   =2.19。

 

它是埋在介电常数的覆层和衬底ε 2  =2.05。

 

 

 

 

图1:

各向异性掩埋矩形光波导的横截面

 

 

 

该程序是:

 

•定义材料

•定义布局设置

•创建线性波导

•创建线性波导

•设定模拟参数-三维各向异性标签

•查看介电常数的元素(XY切)

•计算模式

•计算磁场

 

 

在您开始这一课

 

•熟悉在第1课的程序:

入门。

•熟悉在第3课的程序:

创建一个单一弯道器。

定义材料(BPM)

要定义各向异性3D模式求解器的材料,请执行以下步骤。

 

行动

1

在布局设计,从文件菜单中选择新建。

 

Ŧ 他的初始属性对话框出现。

2

单击配置文件和材料。

 

Ŧ 他个人设计师打开。

3

在OptiBPM中设计师1,在材料文件夹,右键单击该Dielectri 文件夹并选择新建。

 

Ŧ 他Dielectric1对话框出现。

4

单击三维各向异性选项卡,然后取消选择使用默认。

5

创建下面的电介质材料(见图2):

产品名称:

  AnisoEps 介电常数的核心张量(RE):

ε x x  =2.31

ε ÿ ÿ  =2.19

ε Ž Ž  =2.31

ε x ý   =0

6

点击S 撕毁。

 

介电材料AnisoEps保存在资料夹中。

7

创建下面的第二dialectric材料(参见图3):

产品名称:

每股收益 覆层和衬底的介电常数张量(RE):

ε x x  =ε Ÿ Ÿ  =ε Ž Ž  =2.05

ε x Ÿ   =ε Ÿ x   =0

8

点击S 撕毁。

 

 

 

 

图2:

在各向异性芯的相对介电常数张量

 

 

 

图3:

介电常数的包层和衬底的张量

创建配置文件(BPM)

以创建一个矩形波导埋轮廓,请执行以下步骤。

 

行动

1

在OptiBPM中设计师1,配置文件的文件夹,右键单击通道,并选择新建(见图4)。

2

键入下面的配置文件名​​称:

 

BuriedAniso

3

输入/选择以下值:

 

一个。

2D轮廓定义

材质:

AnisoEps

湾 3D轮廓定义

图层名称:

层0

宽度:

2

厚度:

1

偏移量:

0

材质:

AnisoEps

4

单击添加。

5

点击S 撕毁。

6

关闭配置文件设计。

 

 

 

 

图4:

定义一个新的浅埋各向异性波导简介

定义布局设置(BPM)

要定义布局设置,请执行以下步骤。

 

行动

1

在初始属性对话框中,键入/选择下面的(参见图7):

 

一个。

默认波导标签

简介:

BuriedAniso

 

湾 晶圆尺寸标签

长度(微米):

200

宽度(微米):

6

 

角 3D晶圆属性选项卡

包层

材质:

每股收益

厚度:

3

基板

材质:

每股收益

厚度:

2

2

要应用设置的布局,请单击OK(确定)。

 

出现在布局窗口。

 

 

 

 

图5:

定义布局设置-晶圆尺寸

 

 

 

 

图6:

定义布局设置-3D晶圆属性

 

创建线性波导(BPM)

要创建线性波导,请执行以下步骤。

 

行动

1

在布局,绘制一个线性波导。

2

要打开波导的属性对话框中,在波导双击。

 

Ŧ 他线性波导属性对话框出现。

3

在直线波导属性对话框中,输入/输入以下内容(参见图7):

 

一个。

开始偏移:

水平:

0

垂直:

0

 

湾 结束偏移量:

水平:

200

垂直:

0

 

角 宽度:

2

 

注意:

在波导的长度不具有的模式求解程序的任何影响。

4

单击OK(确定)。

 

Ŧ 他波导是根据属性输入绘制在布局。

 

 

 

 

图7:

线性波导属性对话框

 

 

5

在布局设计中,选择绘图 > 输入平面。

 

Ŧ 他光标变成一个十字线。

6

单击波导来创建输入平面。

 

输入平面被插入到波导的布局(参见图8)。

 

 

 

 

图8:

绘制直线波导

 

 

 

7

要保存项目中,选择文件 > 另存为。

 

Ŧ 他另存为对话框出现。

8

键入项目(名称Lesson17Aniso.bpd),然后单击保存。

设定模拟参数(XY切)(BPM)

要设置仿真参数执行以下步骤。

 

行动

1

在布局设计中,选择仿真 > 模拟参数。

 

Ŧ 他仿真参数对话框出现。

2

单击全局数据选项卡。

3

键入1.0 的波长。

4

单击三维各向异性选项卡(见图9)。

5

在BPM的求解器,选择帕德(1,1)。

6

在网格的大小,请单击点/ μ 米,并输入以下内容:

 

一个。

X= 16

湾 Y= 16

7

在  视图切,输入以下命令:

个网格状的Pt:

  1

Ÿ网格点:

  1

8

在传播步骤,输入0.5。

9

在PML中,键入/选择以下内容:

层数:

5

理论反射系数:

0 0.0001

10

单击OK(确定)。

 

Ŧ 他仿真参数对话框关闭。

 

 

 

 

图9:

设定模拟参数-三维各向异性标签

 

查看折射率分布(XY切)(BPM)

要查看介电常数分布,请执行以下步骤。

 

行动

1

在布局设计中,单击介电常数XX-3DXY平面视图选项卡(见图10)。

2

选择首选项 > 折光指数查看 > 3D切片XY平面。

 

牛逼的标签更改为他的标签介电常数XX-3DXY平面视图。

3

从菜单中选择介电常数张量元素之一。

 

 

重复此步骤,以查看介电常数张量的其他元素。

 

 

 

 

图10:

介电常数张量分布

计算模式(BPM)

为了计算模式,请执行以下步骤。

 

行动

1

在布局中,双击输入平面。

 

Ŧ 他输入平面对话框(参见图11)。

2

点击输入栏位的3D选项卡。

 

 

 

 

图11:

输入字段对话框

 

 

3

单击编辑。

 

Ŧ 他输入字段对话框出现。

 4按一下所有 button.5Select该项目在字段窗口(见图12),然后单击各向异性过滤。

 

Ŧ 他计算模式对话框(参见图URE13 )。

 

 

 

 

图12:

编辑输入字段对话框

 

 

图13:

计算模式对话框

 

 

 

6

点击计算模式。

 

Ŧ 他全球数据:

FD方法对话框(参见图14)

 

 

 

 

图14:

全球数据:

FD方法对话框

 

 

7

键入以下命令:

一个。

模式数:

3 26直接计算模式下,单击计算器。

模式。

 

Ŧ 他OptiBPM_M3Dsim窗口出现(见图15)。

 

注意:

如果你想改变的波长,在这样做的仿真

参数对话框,全局数据选项卡。

 

 

 

 

 

图15:

OptiBPM_M3Dsim窗口

 

 

 

图16:

幅度的主要成分领域的海兰的基本模式H x 11

 

 

 

图17:

该次成分字段HX为基本模式的振幅  ħ x 11

 

 

 

 

除了​​模式,ë x 1 1,我们可以看到横向电场分量和模式索引模式ë Ÿ 1 1和ë Ÿ 2 1。

 

计算磁场(BPM)

 

行动

1

打开全局数据:

ADI方法对话框,选择高级选项卡(见图18)。

 

 

 

 

图18:

为各向异性3D模式求解器高级设置

 

 

 

2

在发动机窗口中,选择ħ配方(磁)。

3

开始计算模式,单击运行。

 

Ŧ 他OptiBPM_M3Dsim窗口出现。

 

 

 

 

 

除了​​模式ħ x 11,我们可以看到在横向磁场分量和模式索引的模式  ħ Ÿ 11  和ħ ÿ 21。

 

运行模拟后,你可以打开分析仪,检查电源的输出波导,现场元件,电源重叠积分,注释和仿真参数。

 

正如预期的那样,该模式利用指标计算ħ配方(磁)等于那些通过使用计算ë配方(电器)。

 

结果可媲美那些Ohtaka获得,用变分法和圆柱调和函数的扩展。

其结果已被经常用作比较的标准。

参见[1]对于更多的细节。

 

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