电镀药水化验操作规范.docx
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电镀药水化验操作规范
电镀药水化验操作规范
制作单位:
品保部
文件编号:
QY-QA3009-05
制作日期:
2010/01/20
版本号:
D1
总页数:
第05-1页共10页
工序
槽名体积
分析项目
控制范围
分析频率
分析方法及计算公式
化学沉铜线
P
T
H
清洁1线886L2线820L
CD-210
0.16-0.24N
1次/班
(1)取5ml槽液加入250ml锥形瓶中加50ml纯水及甲酚
红指示剂用0.1N盐酸滴至绿黄为终点体积为V
(2)计算:
CD-210(N)=0.2*N*V(3)补加:
CD-210(L)=(0.20-测)*0.263V槽
微蚀1线886L2线900L
SPS
65-95g/l
3次/班
(1)取样品2ml加DI水50ml、10%H2SO410ml,用移液管取100g/l(NH4)2Fe(SO4)210ml.
(2)用0.1NKMnO4滴定至浅红色为终点,滴定毫升数A.(3)取DI水代替样品,重复上述步骤,滴定毫升数为B.(4)计算:
SPS(g/l)=5.95(B-A)(5)补加:
SPS(kg)=(80-测)*V槽/1000
H2SO4
2.0-3.0%
(1)取样品2ml加DI水50ml,加入甲基橙指示剂3-4滴.用0.5NNaOH标液滴定至黄色即为终点.滴定毫升数为V.
(2)计算H2SO4(%)=1.33NV%(3)补加:
H2SO4(L)=(2.5-测)*V槽/100
Cu2+
≤25g/l
(1)取样品2ml加入DI水50ml,加入20mlPH=10的缓冲液,加PAN指示剂2-3滴用0.05NEDTA-2Na滴至黄色即为终点.
(2)计算Cu2+(g/l)=63.5*N*V/2
微蚀速率
30-50U"
1次/班
(1)取a×bcm的覆铜基板经酸性除油水洗在120℃烘干30分钟,冷却称重W1.
(2)经微蚀槽(与流程微蚀槽时间一样)水洗,吹干在120℃烘干30分钟,冷却称重W2.
(3)计算:
U"=(W1-W2)*106/(2ab*8.92*2.54)
电镀药水化验操作规范
制作单位:
品保部
文件编号:
QY-QA3009-05
制作日期:
2010/01/20
版本号:
D1
总页数:
第05-2页共10页
工序
槽名
体积
分析项目
控制范围
分析频率
分析方法及计算公式
化学沉铜线
P
T
H
化学铜(1线2000L2线2526L)
Cu2+
1.8-2.2g/l
3次/班
(1)取试样20ml于锥形瓶中,加入20%硫酸15ml,20%KI10ml,逐滴滴加硫代硫酸钠至淡黄色,加10%KSCN20ml加数滴淀粉并用0.1N硫代硫酸钠滴至白色为终点,体积为V。
(2)计算:
Cu2+(g/l)=3.175*N*V.
(3)补加:
EC-251A(L)=(2-测)*26.67
NaOH
8-10g/l
(1)取试样5ml加50mlDI水以0.1NHCl滴至PH=10.5,滴定毫升数为A,加10ml10%Na2SO3用0.1NHCl滴至PH=10.5滴定数为B
(2)计算:
NaOH(g/l)=8*A*NHCHO(g/l)=6*B*N(3)补加:
EC-251B(L)=(9-测值)*6.67EC-251C(L)=(6-测值)*8.33
HCHO
5-7g/l
络合剂
>0.05N
(1)取5ml槽液放入锥形瓶中加0.2gMX指示剂摇匀用0.01N硫酸铜标液滴至绿色为终点
(2)计算:
络合剂(N)=0.002v+0.0158Cu2+
(3)补加:
EC-251M(L)=(0.06-测)*2667
沉积
速率
0.4-0.6μm
1次/班
(1)将a×b的无铜基板按化铜正常流程走出后,将试验板放入250ml烧杯中,加20mlPH=10缓冲液和7-8滴H2O2,加50mlDI水和5滴PAN指示剂用0.05NEDTA滴定至苹果绿为终点.滴定数为V.
(2)沉积厚度(μm)=635NV/(2ab*8.92)
除胶渣
总锰
60-70g/l
1次/班
(1)取1ml槽液于250ml锥形瓶中,加50mLDI水,加入10mL20%KI和10ml50%HNO3
(2)用0.1NNa2S2O3滴至淡黄色加1%淀粉指示剂5-6滴,再用0.1NNa2S2O3滴至无色,记下一共所需毫升数.
(3)计算:
Mn(g/l)=31.6NV
(4)补加:
KMnO4(kg)=(65-测值)*V/1000
水化验操作规范
制作单位:
品保部
文件编号:
QY-QA3009-05
制作日期:
2010/01/20
版本号:
D1
总页数:
第05-3页共10页
工序
槽名(体积)
分析项目
控制范围
分析频率
分析方法及计算公式
化学沉铜线
P
T
H
除胶渣(1线1800L2线2616L)
六价锰
<20g/l
1次/班
(1)取1ml槽液定容至1000ml容量瓶中,以纯水作参比,用玻璃比色皿取样.读取波长为540、610nm时的吸光度为A、B。
(2)计算:
Mn6+(g/l)=147.3B-13.6A
(3)计算:
Mn7+(g/l)=85.7A-170.1B
七价锰
35-55g/l
NaOH
35-45g/l
(1)取试样1ml,加50mlDI水于250ml烧杯中。
(2)以0.1N盐酸滴至PH=10.5为终点.
(3)计算:
NaOH(g/L)=40NV
(4)补加:
NaOH(L)=(40-测)*V/400
除胶渣速率
20-50mg/dm2
(1)取a×bcm的双面板无铜基板,在120℃烘烤30分钟,冷却称重为W1(g).
(2)将上述基板从膨润走至中和槽水洗吹干在120℃下烘烤30min,冷却称重为W2(g).
(3)计算:
结果=(W1-W2)*100000/ab
中和(1线886L2线820L)
Nu-121
90-110ml/l
1次/班
(1)取槽液2ml加50mlDI水加入10ml20%的硫酸,加热至60℃,用0.1NKMnO4滴定至淡红色为终点,滴定数为V.
(2)计算:
Nu-121(ml/l)=74NV(3)补加:
Nu-121(ml)=(100-测)*V槽
H+
1.8-2.2N
(1)取2mL槽液于250mL锥形瓶中加50mLDI水及3-4滴酚酞指示剂.
(2)用0.5N的氢氧化钠滴至红色为终点,滴定体积为V。
(3)计算:
〔H+〕(N)=0.5NV(4)补加:
H2SO4(L)=(2.0-测值)*V槽/18.4
膨润1线886L2线820L
SW-110
35-45%
1次/班
(1)取槽液数滴于旋光光度计内,直接读数A.
(2)计算:
SW-110(%)=1.43A(3)补加:
SW-110(L)=(40-测)*V槽∕100
电镀药水化验操作规范
制作单位:
品保部
文件编号:
QY-QA3009-05
制作日期:
2010/01/20
版本号:
D1
总页数:
第05-4页共10页
工序
槽名(体积)
分析项目
控制范围
分析频率
分析方法及计算公式
化
学
沉
铜
P
T
H
预浸
1线886L
2线820L
PD-221B
0.58-0.78N
1次/班
(1)取试样2ml,加50mlDI水,加2-4滴PP指示剂以0.5NNaOH滴至红色滴定数为V.
(2)计算:
PD-221B(N)=0.5NV(3)补加:
PD-221B(L)=(0.68-测)*V槽*70/680
活化
1线886L
2线900L
PD-221B
0.68-1.08N
1次/班
同上
Pd2+
50-60ppm
(1)取5ml活化槽液,至100ml容量瓶中,加纯硝酸少许,解胶至澄清为止,加纯水定容到刻度,摇匀,用AA机测,读数为a.
(2)计算:
Pd2+(ppm)=20*a.
添加公式:
CA-230(L)=(中値-测値)*V槽/1500
比重
>1.145
用量程为1.1-1.2的比重计测,直接读数.
速化
1线886L
2线900L
AL-242B
0.9-1.3%
1次/班
(1)取加速槽液5mL于锥形瓶中加入50mL水加入6N盐酸25mL,加入20%碘化钾10ml用0.1N硫代硫酸钠标液滴定至黄色,加入淀粉指示剂继续滴至无色为终点。
(2)计算:
AL-242B(%)=1.2NV%
(3)补加:
AL-242B(L)=(1.2%-测)*V槽
PH
8.75-9.25
用PH计直接测量
电镀药水化验操作规范
制作单位:
品保部
文件编号:
QY-QA3009-05
制作日期:
2010/01/20
版本号:
D1
总页数:
第05-5页共10页
工序
槽名(体积)
分析项目
控制范围
分析频率
分析方法及计算公式
脉冲电镀线
铜槽
1500L
H2SO4
210-230g/L
1次/3天
计算与分析方法同一铜线铜槽硫酸
CuSO4.5H2O
60-80g/L
1次/3天
计算与分析方法同一铜线硫酸铜
CL-
55-85ppm
1次/3天
计算与分析方法同一铜线CL-
光剂
3-5mL/L
1次/周
计算与分析方法同一铜线光剂
哈氏试验
1次/周
电流2A,记时5min,由赫尔槽打哈氏片判定,哈氏看板三个月一换
污染指数
≤120uA
1次/周
由CVS仪直接测定
酸洗700L
H2SO4
9-11%
1次/3天
计算与分析方法同一铜线酸洗
脱铜
600L
HNO3
300-500mL/L
1次/3天
计算与分析方法同一铜线脱铜
电镀药水化验操作规范
制作单位:
品保部
文件编号:
QY-QA3009-05
制作日期:
2010/01/20
版本号:
D1
总页数:
第05-6页共10页
工序
槽名(体积)
分析项目
控制范围
分析频率
分析方法及计算公式
填孔电镀线
铜槽
H2SO4
210-230g/L
1次/3天
计算与分析方法同一铜线铜槽硫酸
CuSO4.5H2O
60-80g/L
1次/3天
计算与分析方法同一铜线硫酸铜
CL-
55-85ppm
1次/3天
计算与分析方法同一铜线CL-
光剂
2.5-6.5mL/L
1次/周
计算与分析方法同一铜线光剂
润湿剂
7-11mL/L
1次/周
1)用8mL/L的润湿液作标准曲线并保存
2)把槽液放在吸管下,把VMS液放在电极下,按分析即可,记录数据
整平剂
6-10mL/L
1次/周
1)作整平剂曲线并保存
2)用50mL的含LEVER标准液作INTERCEPT,再加入50mL槽液,并加光剂(6-光剂测值)/20毫升,润湿剂(25-润湿测值)/20毫升,按分析即可,记录数据
哈氏试验
1次/周
电流2A,记时5min,由赫尔槽打哈氏片判定,哈氏看板三个月一换
污染指数
≤120uA
1次/周
由CVS仪直接测定
预浸
预浸剂
9-11%
1次/周
1)用75mL的INTERCEPT标准液作空白
2)加入25mL的预浸槽液按分析即可,记录数据
酸洗
H2SO4
9-11%
1次/3天
计算与分析方法同一铜线酸洗
脱铜
HNO3
300-500mL/L
1次/3天
计算与分析方法同一铜线脱铜
电镀药水化验操作规范
制作单位:
品保部
文件编号:
QY-QA3009-05
制作日期:
2010/01/20
版本号:
D1
总页数:
第05-7页共10页
工序
槽名
(体积)
分析项目
控制范围
分析频率
分析方法及计算公式
一次电镀铜1#线
电镀铜槽(12000L)
H2SO4
200-240g/l
1次/3天
(1)取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5NNaOH标准液滴定至黄色为终点,滴定毫升数为V.
(2)计算:
H2SO4=49*N*V
(3)补加:
H2SO4=(220-测)*7.9
CuSO4·5H2O
55-75g/l
(1)取1ml样于锥形瓶中加PH=10的缓冲液至溶
液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN指示
剂用0.05NEDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴
定毫升数为V
(2)计算:
CuSO4·5H2O(g/l)=250*N*V.
(3)补加:
CuSO4·5H2O(Kg)=(65-测)*5.5
Cl-
40-80ppm
(1)取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加
入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比较
(2)重复上述步骤,将测试液加5-6滴0.1NAgNO3标液.
(3)用0.01NHg(NO3)2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到
清晰,清晰度与此液比较核实.
(4)计算:
Cl-(ppm)=1420*N*V(5)添加:
HCl(mL)=(60-测)*14.5
哈氏试验
1次/周
电流2A,记时5min,由赫尔槽打哈氏片判定,哈氏看板三个月一换
光剂含量
1-3mL/L
1次/周
由CVS仪直接测定
污染指数
≤120uA
1次/周
由CVS仪直接测定
脱铜
(2800L)
HNO3
300-500ml/l
1次/3天
(1)取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,用2-3滴甲基橙指示剂0.5NNaOH滴至黄色为终点,记下NaOH之毫升数V.
(2)计算:
HNO3(L)=65.94*V*N
(3)补加:
HNO3(L)=(400-测)*V槽/1000
酸洗
(1600L)
H2SO4
6-8%
同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析
养板槽(1000L)
H2SO4
0.5-1.0%
1次/班
同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析
电镀药水化验操作规范
制作单位:
品保部
文件编号:
QY-QA3009-05
制作日期:
2010/01/20
版本号:
D1
总页数:
第05-8页共10页
工序
槽名
(体积)
分析项目
控制范围
分析频率
分析方法及计算公式
一次电镀铜2#线
电镀铜槽(5500L)
H2SO4
200-240g/l
1次/3天
(1)取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5NNaOH标准液滴定至
黄色为终点,滴定毫升数为V.
(2)计算:
H2SO4=49*N*V
(3)补加:
H2SO4=(220-测)*17.1
CuSO4·5H2O
55-75g/l
(1)取1ml样于锥形瓶中加PH=10的缓冲液至溶
液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN指示
剂用0.05NEDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴
定毫升数为V
(2)计算:
CuSO4·5H2O(g/l)=250*N*V.
(3)补加:
CuSO4·5H2O(Kg)=(65-测)*12
Cl-
40-80ppm
(1)取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加
入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比较
(2)重复上述步骤,将测试液加5-6滴0.1NAgNO3标液.
(3)用0.01NHg(NO3)2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到清晰,清晰度与此液比较核实.
(4)计算:
Cl-(ppm)=1420*N*V(5)添加:
HCl(mL)=(60-测)*31.5
哈氏试验
1次/周
电流2A,记时5min,由赫尔槽打哈氏片判定,哈氏看板三个月一换
光剂含量
1-3mL/L
1次/周
由CVS仪直接测定
污染指数
≤120uA
1次/周
由CVS仪直接测定
脱铜
(2768L)
HNO3
300-500ml/l
1次/3天
(1)取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,
用2-3滴甲基橙指示剂0.5NNaOH滴至黄色为
终点,记下NaOH之毫升数V.
(2)计算:
HNO3(L)=65.94*V*N
(3)补加:
HNO3(L)=(400-测)*V槽/1000
酸洗
(1600L)
H2SO4
6-8%
同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析
养板槽(1000L)
H2SO4
0.5-1.0%
1次/班
同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析
电镀药水化验操作规范
制作单位:
品保部
文件编号:
QY-QA3009-05
制作日期:
2010/01/20
版本号:
D1
总页数:
第05-9页共10页
工序
槽名
(体积)
分析项目
控制范围
分析频率
分析方法及计算公式
一次电镀铜3#线
电镀铜槽(3700L)
H2SO4
200-240g/l
1次/3天
(1)取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5NNaOH标准液
滴定至黄色为终点,滴定毫升数为V.
(2)计算:
H2SO4=49*N*V
(3)补加:
H2SO4=(220-测)*7.9
CuSO4·5H2O
55-75g/l
(1)取1ml样于锥形瓶中加PH=10的缓冲液至溶
液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN指示
剂用0.05NEDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴
定毫升数为V
(2)计算:
CuSO4·5H2O(g/l)=250*N*V.
(3)补加:
CuSO4·5H2O(Kg)=(65-测)*5.5
Cl-
40-80ppm
(1)取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比较
(2)重复上述步骤,将测试液加5-6滴0.1NAgNO3
标液.
(3)用0.01NHg(NO3)2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到清晰,清晰度与此液比较核实.
(4)计算:
Cl-(ppm)=1420*N*V(5)添加:
HCl(mL)=(60-测)*14.5
哈氏试验
1次/周
电流2A,记时5min,由赫尔槽打哈氏片判定,哈氏看板三个月一换
光剂含量
1-3mL/L
1次/周
由CVS仪直接测定
污染指数
≤120uA
1次/周
由CVS仪直接测定
脱铜
(780L)
HNO3
300-500ml/l
1次/3天
(1)取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,
用2-3滴甲基橙指示剂0.5NNaOH滴至黄色为
终点,记下NaOH之毫升数V.
(2)计算:
HNO3(L)=65.94*V*N
(3)补加:
HNO3(L)=(400-测)*V槽/1000
酸洗
(1200L)
H2SO4
6-8%
同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析
养板槽(1000L)
H2SO4
0.5-1.0%
1次/班
同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析
电镀药水化验操作规范
制作单位:
品保部
文件编号:
QY-QA3009-05
制作日期:
2010/01/20
版本号:
D1
总页数:
第05-10页共10页
工序
槽名
(体积)
分析项目
控制范围
分析频率
分析方法及计算公式
一次电镀铜4#线
电镀铜槽(3700L)
H2SO4
200-240g/l
1次/3天
(1)取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,
加2-3滴甲基橙.用0.5NNaOH标准液滴定至
黄色
为终点,滴定毫升数为V.
(2)计算:
H2SO4=49*N*V
(3)补加:
H2SO4=(220-测)*7.9
CuSO4·5H2O
55-75g/l
(1)取1ml样于锥形瓶中加PH=10的缓冲液至溶
液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN指示
剂用0.05NEDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴
定毫升数为V
(2)计算:
CuSO4·5H2O(g/l)=250*N*V.
(3)补加:
CuSO4·5H2O(Kg)=(65-测)*5.5
Cl-
40-80ppm
(1)取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比较
(2)重复上述步骤,将测试液加5-6滴0.1NAgNO3
标液.
(3)用0.01NHg(NO3)2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到清晰,清晰度与此液比较核实.
(4)计算:
Cl-(ppm)=1420*N*V(5)添加:
HCl(mL)=(60-测)*14.5
哈氏试验
1次/周
电流2A,记时5min,由赫尔槽打哈氏片判定,哈氏看板三个月一换
光剂含量
1-3mL/L
1次/周
由CVS仪直接测定
污染指数
≤120uA
1次/周
由CVS仪直接测定
脱铜
(780L)
HNO3
300-500ml/l
1次/3天
(1)取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,
用2-3滴甲基橙指示剂0.5NNaOH滴至黄色为
终点,记下NaOH之毫升数V.
(2)计算:
HNO3(L)=65.94*V*N
(3)补加:
HNO3(L)=(400-测)*V槽/1000
酸洗
(1200L)
H2SO4
6-8%
同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析
养板槽(1000L)
H2SO4
0.5-1.0%
1次/班
同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析