DesmearPTH部分操作守册Word格式文档下载.docx
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工序
控件目
控制范围
标准及分析频率
温度（℃）
时间（min）
打气
过滤
211
碱当量
强度
0.80–1.1N
10–14%
0.90N（2次/天）
12%（2次/天）
75-83
不要
要
除胶
高锰酸钾
45–60g/l
55g/l（2次/天）
75-85
8-12
Normal
（13-15）
HighTg
锰酸钾
<
25g/l
25g/l（2次/天）
0.9–1.3N
1.1N（2次/天）
比重
1.15
除胶量
20-60mg/dm2（normalTg）
2次/天
中和
硫酸
1-3%
2%（2次/天）
20-25
2-3
不要
要
双氧水
1.5-2.5%
3316
2%
Cu
20g/l
<
15g/l（1次/天）
除油剂
3325
调整剂强度
铜含量
80-120%
1.0g/L
100%（2次/天）
1.0g/L（2次/周）
55-65
5-7
微蚀NaPS
过硫酸钠
60–100g/l
80g/l（2次/天）
1.5%（2次/天）
>
20g/l换缸（1次/天）
40µ
″（2次/天）
25-32
1.0-2.0
1-2%
蚀铜厚度
5-25g/l
30-60µ
″
404
1.120-1.160
1500ppm
1.140（1次/天）
1500ppm（2次/周）
28-32
0.5-1.5
44
60–90%
75%（2次/天）
40-46
氯化亚锡
3–12g/l
6g/l（1次/天）
1.135-1.167
1.150（1次/天）
880
铜
1.7–2.3g/l
2.0g/l（1次/4h）
30-36
薄板：
33-36
15-18
氢氧化钠
10–13g/l
11.5g/l（1次/4h）
甲醛
2.5–5.5g/l
4.0g/l（1次/4h）
总EDTA
26–34g/l
30g/l（1次/4h）
沉铜厚度
10-25µ
18µ
″4次/天
酸浸
0.5–1%
0.5-1%
20-30
6小时
4）配制槽液程序及用量
4.1配制槽液用量
所用藥品名稱
浓度
缸体积（L）
开缸用量
千尺消耗量
槽液寿命
除膠
高錳酸鉀
55g/l
1000
55KG
1kg
25万尺或
副产物>
25g/l
NaOH
44g/l
44KG
0.5kg
膨鬆劑211
12%
500
60L
1L
15万尺
36g/l
18kg
0.3kg
中和
双氧水（35%）
10L
1.3L
Cu>
硫酸（98%）
3%
15L
1.5L
---
除油劑3325
10%
50L
1.0L
6万尺
粗化劑
NaPS
過硫酸鈉
90g/l
45kg
5kg
硫酸（98%）
1.5%
7.5L
預浸劑404
270g/l
135kg
3kg
1.5g/l
活化劑
135kg
2g/l
10L
0.4L
化學沉銅
C/P880A
1%
500*3
3.5L
6个月
C/P880E
4.5%
67.5L
2L
C/P880C
2.5%
37.5L
-
NaOH（340g/l）
2.8%
42L
8L
HCHO（36%）
22.5L
6L
4）配制槽液程序及用量（续）
4.2.配制槽液程序
4.2.0配槽前需对所有槽体进行彻底清洗：
a.用水冲尽槽内垃圾及污物.
b.用30~50G/LNaOH浸泡8HR.
c.用水冲净.
d.用3~5%H2SO4浸泡4HR.
e.用水冲净.
f.若是碱性槽需再用10G/LNaOH浸泡10MIN.
g.用水冲净.
4.2.1膨松剂MLB211
a.加入半缸纯水于槽中.
b.加入过滤蕊于过滤泵中.
c.加入NaOH于槽液中.
d.等候5–15分钟,直至NaOH完全溶解.
e.加入膨松剂MLB211.
f.开动过滤泵.
g.补充足够水位.
h.开启加热器,将温度提升至78C.
4.2.2.除胶缸.
a.加入75%缸纯水于槽中.
b.加热至60-65C.
c.开动搅拌器.
d.加入高锰酸钾（KMnO4）,缓慢地加入槽中.
e.加入NaOH于槽液中.
f.补充足够水位.
g.提升温度至78C.
h.抽取样本到实验室分析当量,高锰酸钾及锰酸钾.
i.调校含量于控制范围之内.
4.2.3.中和
a.加入2/3缸纯水于槽中
b.缓慢地加入硫酸，并开启搅拌。
c.缓慢地加入双氧水，并开启搅拌。
d.加入3316
e.搅拌至完全均匀.
g.放入滤芯于过滤泵中.
h.开动滤泵.
i.开启冷水系统,将温度降至20–25C.
4.2.配制槽液程序（续）
4.2.4.除油剂CC3325
a.加入半缸纯水于缸中.
b.加入过滤芯于滤泵中.
c.开动过滤泵.
d.加入除油剂C/C3325
e.补充足水位..
f.开动发热器,直至加温到60C.
4.2.5.粗化缸NaPS
a.保留十份一旧液.
b.加入3/4份缸自来水.
c.加入硫酸.
d.搅拌,然后加入NaPS
e.开动打气,直至完全溶解.
f.补充足水位及循环泵.
4.2.6.预浸剂C/P404
a.加入3/4纯水于槽中.
b.加入C/P404粉.
c.搅拌溶液.直至所有C/P404粉完全溶解.
d.开动过滤泵.
e.补充水位.
4.2.7.活化剂CAT44
b.加入C/P404粉.
c.搅拌溶液,及加温至42–45C.
d.直至所有C/P404粉完全溶解.
e.更换滤芯及开动过滤泵.
f.补充水位.
g.加入活化剂CAT44,并搅匀.
4.2.10.沉铜水CP880
a.加入2/3缸纯水于槽中,开启打气.
b.加入C/P880E
c.开启打气,待2-5分钟.
d.加入C/P880A搅拌5分钟.
e.加入C/P880C搅拌5分钟.
f.加入NaOH（340g/l）及HCHO（360g/l）.
g.补充水位.
h.开动加热器.
i.更换滤芯及开动过滤泵.
j.升温至32C.
k.取样分析.
l.调校浓度达控制范围.
5）化学沉铜工艺生产线开工规则
5.1生产前准备
5.1.1.先开动所有过滤泵后,再开动所有加热器.
5.1.2.补足所有药品缸的水位,通知化验室分析调整药水含量.
5.1.3.检查药水缸温度
a.MLB211,75-83C
b.KMnO4,75-83C.
c.中和 20-25C
e.C/C3325,55-65C.
f.NaPS,25-32C
g.C/P404,28-32C.
h.CAT44,40-46C.（不能高于48C.）
j.C/P880,30-36C.
5.1.4.检查所有过滤泵功能.并定时更换滤芯（1次/7天）,如发现过滤泵流量不足时,应立即更换滤芯.
5.1.5.检查洗水缸的流量及打气.
5.1.6.检查沉铜缸的储液桶的液位是否足够（C/P880A,C/P880E,NaOH,HCHO）.
5.1.7取样分析各槽液并补充至标准值（取样时必需注意液位是否正常）.
5.1.8检查拖缸板是否足够,停拉1-2小时之内,每个沉铜缸需要1缸拖缸板,2小时以上需2缸拖缸板.拖缸板于每次使用前需去除铜层方可使用,最好不要过除胶渣,从除油缸开始.
5.1.9检查自动加药控制器（S/E471）
a.按（POWER）.
b.等壹至贰分钟,待显示表读出数值.
c.打开泵电挚（ON）
d.按（MAN）,有灯号指示.
e.检查缸中喉管能否加药.
f.按（MAN）至（AUTO）.
5.1.10完成以上工作后便可生产.
5.1.11自动加药添加比例：
880A：
880E：
NaOH：
HCHO = 1：
0.7：
2：
1.5
5.1.12除胶缸电解再生器电流控制：
生产时电流：
800－1000A（温度要在60º
C以上）
停产时电流：
500－600A（温度要在60º
5.1.13当沉铜缸EDTA偏低时（＜26g/l），不要大量添加880E，建议调大880E添加泵使EDTA慢慢升至30g/l,再将添加泵调至正常值。
5）化学沉铜工艺生产线开工规则（续）
5.2生产时的补充
5.2.1每生产一千平方尺按下表作补充.
药品名称
千尺补充量
膨松
1.0升
NaOH（300g/l）
1.0公升
KMnO4
1.0公斤
NaOH（300g/l）
2.0公升
中和
H2SO4
1.5公升
H2O2
1.3公升
除油CC3325
CC3325
微蚀
5.0公斤
1公升
预浸404
CC404
2.5公斤
活化CAT44
0.3公升
沉铜880
880A
880E
HCHO（360g/l）
3公升*
2公升*
6公升*
5公升*
注:
缸中有板时,切勿补充药品.
*自动加药启动后无需补充.
5.3特别事项
5.3.1CAT44的水位补充
由于CAT44直接与水混合时会出现分解.所以如要补充水位时,应该用
50-80g/lCP404溶液,而补充水位每次不能多于40升.
5.3.2由于CAT44与大量空气接触时亦会出现分解.所以要小心以下事项以免带入太多的空气带入缸中.
a.补充大量液体时,要分数次从缸壁慢慢溜入,
b.注意在过滤系统有没有渗漏,特别在更换滤蕊或喉管后.
6）化学沉铜工艺生产线停工规则.
6.1关掉所有药水槽中的加热器.
6.2.关掉洗水缸的入水掣及打气掣.
6.3.保持沉铜缸C/P880有打气及过滤.
6.4关掉行车电掣.
6.5关掉自动加药控制器.
6.5.1关掉加药泵.（沉铜缸自动加药泵可提前2缸缸关闭）
6.5.2关掉电源（POWER）.
6.5.3完成.
6.6.降低除胶缸温度至40C.
7.化学沉铜工艺生产线之停电或机械故障处理方法.
7.1.当遇到停电或机械故障的时候,把正浸在化药品槽溶液中的板取出并放进后面之水缸中.
7.2.如停电及机械故障超过10分钟,便要把所有板从水缸取出重做.
7.3.在沉铜缸内之板可以继续沉铜直至时间足够,然后取出进行板电镀.
7.4C当电力供应或机械故障回复正常的时候,沉铜缸必须分析"
氢氧化钠"
"
甲醛"
及"
铜"
的含量,然后经过调整才能开始正常生产.同时检查缸壁是否有铜析出,如有铜析出则需倒缸,并且当（Cu2+）小于1.0g/l时需换缸.
7.5重做板程序
背光不良（小于7级） 板电（1/2电流） 磨板 沉铜 板电 做记号
7.5.1.沉铜前:
a.磨板.（注意压力不能过大）.
b.案正常程序进行沉铜.
7.5.2如沉铜后发现有起泡或粗糙问题,案下列程序:
b.微蚀.（清除孔中铜层，可用水平微蚀至刚除去孔内铜层）
c.过水清洗干净.
d.再轾微磨板.
e.进行化学铜.（但在粗化缸的时间只可浸壹分钟）.
8）化学沉铜及PPR全板镀铜工艺工程之保养事项及程序
保养事项
频率
程序
洗水缸
更换新鲜清洁的水及清洗槽边和槽底且将缸底集物清除干净
每星期一次
a.打开缸底闸掣.
b.将水缸内所有水排出,用抹布清洁干凈,且将缸底集物清除.
c.关上缸底闸掣.
d.放入清水.
粗化缸
更换药液
每生产约5000平方呎板（Cu=25g/l）更换一次
要保留1/3旧溶液。
膨松剂211
更换滤芯
每星期1次
a.用稀硫酸浸洗过滤芯.
b.用自来水清洗过滤芯及过滤泵.
c.放入过滤泵中使用.
除胶
清洗缸底残渣及再生器
每次换缸时做
a.用水清洗缸内残渣.
b.配成2%双氧水/2%硫酸溶液来浸洗0.5-1小时至缸内之残渣溶解为止（要将再生器取岀）.
c.取出再生器用216-5旧中和剂浸洗及用水清洗干净那些残渣然后放回缸内.
d.最后用水把主缸清洗干净.
中和剂
每星期2次
除油
整洁剂
C/C3325
b.用自来水清洗过滤芯.
b.用自来水清洗过滤芯后并放在预浸缸浸5分钟。
8）化学沉铜工艺工程之保养事项及程序（续）
化学
沉铜
880
更换过滤袋
每星期3次
a.用自来水清洗过滤袋及用NaPS液浸洗过滤袋积铜.
c.b.用水冲洗干净滤袋把滤袋放入缸中使用.
清理缸中积铜
a.过滤缸中溶液往备用缸中.
b.再用清水浸洗.
c.放走清水.
d.加入清水一缸.
e.加入20-50ml/l硫酸.
f.加入35-45g/lNaPS.
g.浸蚀24小时.
h.放走溶液.
i.再用清水浸洗.
j.把空缸中的铜溶液过滤回工作缸中.
9）品质检定方法及标准
9.1.背光试验
9.1.1每天生产取第一至五缸生产时需做背光测试（用背光片,从膨松缸开始）.
9.1.2.作好背光片（用钻石刀把样本切割在孔的中线）.
9.1.3.然后放在光源上,再用50-100倍放大镜检查.
9.1.4.检定标准为8级或以上.
10）品质检定方法及标准（续）
10.2沉铜速率试验
10.2.1准备2"
X2"
正方形除去铜箔的FR4胶板.
10.2.2.用挂勾把胶板挂于沉铜钢架上.
10.2.3.当胶板完成沉铜后,收回并风干.
10.2.4.将胶板放入250ml烧瓶内.
10.2.5.加入25亳升的pH=10氨缓冲液.
10.2.6.加入2-3滴双氧水（35%）
10.2.7.搅拌至所有铜都溶解.
10.2.8.加入60-70毫升乙醇.
10.2.9.加入4-5滴PAN指示剂.
10.2.10.用0.1NEDTA标准液滴定至草绿色为终点.
10.2.11标准检定为10-25u"
.
10.2.12.计算=EDTA用量（ml）x2.72x2
附注:
沉铜速率也可用重量法测定,这里不作详述.
10.3.粗化缸蚀铜速度控制
10.3.1用2吋x2吋的1.6mm铜箔板.
10.3.2.放入焗炉,用125-135C焗0.5-1小时.
10.3.3.再放入防潮瓶内20分钟.
10.3.4.然后用电子天秤称取其原重量Wi（g）.
10.3.5.随生产板浸入生产线内的除油缸中,并于微蚀缸后的水洗缸取出（保证浸蚀时间跟生产线的程序一样.）
10.3.6.放入清洗水缸清洗,并放入焗炉焙干约30’-1小时.
10.3.7.再放入防潮瓶内20分钟.
10.3.8.然后用电子天秤称取其最后重量Wf（g）.
10.3.9.计算:
蚀铜速度=
Wi-Wf
x400000=T微寸（u"
）
8.96x51.6
10.3.10.控制范围为30-60u"
.（理想范围是40u"
）
11.问题分析程序及原因
11.1.问题分析程序
11.1.1.检查化学品槽液的温度.
11.1.2.检查所有化学品控制条件是否在控制范围.
11.1.3.检查水洗缸内的水是否清澈及流量是否足够.
11.1.4.检查经粗化后的铜箔板是否亮粉红色.
11.1.5.检查所有过滤泵是否运作中.
11.1.6.检查自动加药系统是否操作正常.
11.1.7.检查自动加药泵能否泵出药品及其比例是否正常
11.1.8.检查电解再生器及整流器是否正常操作.
11.1.9.检查感光测量器是否正常操作.
11.1.10.试做数块有孔的试板,分析背光结果及厚度.
11.1.11.检查钻孔效果及磨披锋机是否正常.
11.1.12正常生产板中,抽取样本检查及记录坏板数量.
11.问题分析程序及原因（续）
11.2孔瘤问题（Nodules）
原因
改善方法
1）
活化剂44中的氯化亚锡分解.
把活化剂溶液作全缸过滤;
及把比重保持在1.150-1.167之间及保持温度于42-46C（不能高于50C）.
2）
调整剂3325槽液过热.
保持温度于55-65C（不能高于70C）.确保循环过滤正常.
3）
沉铜水的沉积速率过高.
降低沉铜水的温度,氢氧化钠浓度.
4）
树脂氧化剂中的氧化锰（MnO2）过高.
把树脂氧化剂全缸更换.
5）
自来水的水质被污染.
安放更理想的过滤系统及使用纯水代替自来水.
7）6）
镀铜药水游离粒子过多.
放入拖缸板,用低电流拖缸及把镀铜水全缸过滤.
7）
阳极袋破烂.
更换阳极袋.
11.3背光不良及孔内无铜
1）
孔壁整洁不良
提高除油调整剂的含量在90%以上或更新槽液.
保持温度在55-65C.
3）2）
沉铜药水活化能力不良.
把氢氧化钠的浓度升至12.0g/l;
甲醛浓度升至4.0g/l;
把温度保持在34C或增加拖缸板量.
蚀刻树脂不良.
保持高锰酸钾在理想范围48–55g/l之间,并把温度及当量提高.
膨润不良.
检查调整剂MLB211的浓度,当量及有没有分解,必要时用全缸更换.并保持温度在75C.
钻粗度过高及不良.
改善钻孔条件.
6）
活化孔壁不足.
保持活化剂CAT44的钯浓度在90ppm以上或强度在70%以上.
11.4破孔角（CornerCrack）
除披锋工序时磨板过度.
调节上下磨轮的压力或更换磨擦.
11.5黑灰沉铜层呈现（BlackCopperDeposition）
氢氧化钠浓度过低.
把氢氧化钠浓度升高.
2）
操作温度过低.
保持操作温度在高限.
沉铜槽液被污染
更换槽液.
11.6铜面粗糙
粗化溶液发生结晶现象.
稀释溶液或全缸更换.
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