无尘室管理规定 2Word文档下载推荐.docx

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2.5洁净室环境控制的内容包括：

空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。

3．0 

适用范围 

半导体公司所有洁净生产区及洁净辅助间（包括人员净化用室、物料净化用室和相关生活用室等）、车间内管理区（包括局部办公、值班、管理和体息室等）和将来新建、改建、扩建的洁净厂房及其辅助用房。

4．0 

洁净生产区 

是洁净厂房的主要局部，对洁净级别有明确规定的区域。

洁净辅助间 

是洁净厂房不可缺少的必备房间。

洁净辅助间对洁净厂房的平面关系密切，对洁净厂房的建造带来影响和投产后能否满足产品生产的需要以及能否可靠地防止生产过程的污染或交叉污染至关重要。

管理区 

是洁净厂房内的产品生产过程的生产管理、技术管理用房和必要的操作人员的休息、福利用房。

设备区 

即净化空调系统、公用动力系统等用房，是洁净厂房的重要组成局部。

5．0 

无尘车间洁净室施工管理制度

5．1．1 

背景

5．1．1．1 

半导体制造业必须在洁净的环境中进行，在施工中必须遵循行业规那么和程序。

本文件列出了这些规那么和程序的概要。

为了保证工程的成功，现场的每一位人员都必须遵守。

5．1．1．2 

图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。

这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房内的地方。

5．1．1．3 

洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建，后期所有洁净室施工工程仍按照本制度规定的原那么进行管理。

5．1．2 

责任与义务

5．1．2．1 

所有承包商有责任确保他们的工人都了解这些规那么和程序，并且在他们疏于遵从或违反时给予培训和训练。

被分配到洁净建设区域的每位工人有责任和义务理解并遵守洁净建设规那么和程序。

5．1．2．2 

承包商负责执行洁净室草案。

他将每天对洁净建设区域进行检查，并填写检查清单。

承包商负责提供洁净室所需物品，例如：

鞋套，毛巾，垫子和工装。

他也负责提供每日执行洁净规那么和程序的人员和设备。

5．1．2．3 

承包商建造区域入口并对其进行管理。

他提供清洗晾晒每个入口处鞋、外套和衣服的清洗店。

他将对在洁净区域工作的人员进行培训，并维护被允许在此区域工作的人员身份认定和管理。

5．1．2．4 

开始阶段，承包商应在每个入口处安排人员〔除非半导体公司在该入口处安排有人员〕以确保本规那么和程序的执行。

5．1．2．5重复违反规那么和程序的人员将被开除。

没有贯彻执行本规那么和程序的供给商将被除名。

5．1．3 

草案细那么

洁净室草案分为三局部，每一局部对应施工的一个过程。

施工接近完工阶段，不允许从外面或洁净区域的施工场地带入脏物。

5．1．3．1第一局部

"

第一局部主要针对直到主要施工完成后。

包括屋顶，覆层，门和窗户。

所有工人必须从图纸上标明的通道进出施工现场。

每个入口将会有清洗店。

所有工人进入必须保持鞋子干净。

不允许穿奇特的服装，工人的衣服应该保持适当的干净。

现场平安规那么必须时刻遵守。

所有设备和材料必须从一个入口进入施工现场，并且保持干净，不允许有碎片掉下。

施工现场内不允许吃东西，吸烟，喝酒。

每班结束时，必须清走所有垃圾和废旧物品。

总之，整个施工现场每天必须保持干净。

5．1．3．2第二局部

第二局部主要针对直到gridline 

B西边洁净区域的内墙完成。

此时，只允许承包商雇佣的工人在洁净区域。

其他供给商如果要进入洁净区域，必须提前向承包商提出申请，得到允许前方可进入。

工人、设备和材料的入口是经过威世半导体（西安）管理人员同意的。

gridlines 

1和2之间的通向成品仓库的外门。

⌝

15和16之间的通向原料仓库的外门。

其它入口必须经过洁净工程承包商的书面批准。

两个入口旁边将会为很可能造成污染的材料准备或拆包预留区域。

进如洁净区域之前，材料和设备不允许有脏物或由掉下，并且应该用干净的干布擦拭干净。

任何可能会造成污染的活动必须必须提前经过洁净工程承包商的批准。

这包括砂纸打磨，碾，开凿，演练，焊接，切割和任何用水或喷淋工作。

承包商要用任何可能的方法预防污染。

装好的地板必须用PVC板包装保护。

第一局部提到的必要的衣服、鞋套也是必须的。

第二局部草案执行期间，洁净区域必须每天吸尘。

5．1．3．3 

第三局部

第三局部主要针对直到生产车间全部建成。

气体鼓风机将持续运行以维护房间的压力要求。

进入的工人穿鞋套和工作服。

所有进入洁净区域的材料，工具和设备要用IPA和水的混合物擦拭。

在第三局部草案执行期间，洁净区域每天要用有过滤装置的洗尘设备吸尘。

5．1．4 

洁净安装

必须采取洁净措施保持安装洁净。

各类部件如节气闸，扩散体在进入施工现场时应洁净并且拆掉包装。

内部外表应该用IPA和水的混合物擦拭。

洁净安装过程中，必须密切关注所采取的洁净措施的可靠程度，对于隔离围护设施一定要作到及时发现、立即纠正。

5．1．5 

最后洁净

洁净区域的所有安装完成后，要进行最后洁净。

洁净要用IPA和水的混合物擦拭。

先洁净天花板，然后是墙壁，墙壁应从上到下，最后是地面。

最后洁净完成后，gridline 

B东边通过的区域将是唯一进入洁净室的通道。

以前的原料成品仓库入口将被保护。

最后洁净完成后，任何进入的人都必须通过威世半导体（西安）现场经理的批准。

5.1.6设备、物品进入洁净室规定

无尘车间洁净度定期检测制度/测量标准

5.2.1为了保证洁净室的洁净度满足工艺要求，必须定期对洁净室内的洁净度进行检测。

5.2.2检测测试设备：

激光粒子记数器

5.2.3检测周期：

每周一上午、下午对各洁净区域进行一次检测

5.2.4检测条件：

静态洁净度测试

5.2.5数据收集整理：

将每次检测的结果输入监控室的电脑中储存，并在每个季度末〔或下季度初〕给各部门发该季度的洁净度记录图表电子档通报给各部门。

5.2.6各洁净区域洁净级别标准：

按照?

半导体公司能源管理标准?

要求执行。

区域、系统名称洁净等级标准相当于ISO级别等效于GB级别

K-1系统 

划片区域

静态1万级 

K-1系统改造前为静态10万级 

CLASS 

7

CLASS 

8CLASS 

8

K-2系统 

包封区域静态30万级 

8．3CLASS 

8．3

K-3系统 

搪锡区域静态30万级 

K-4系统 

测试区域静态30万级 

K-8系统 

电镀区域静态30万级 

现有其他空调系统 

舒适性空调系统，无洁净要求 

Not 

ApplicableNot 

Applicable

5.2.7洁净室用净化空调系统及设备的维护管理与相应的操作规程、维修制度等〔包括净化空调系统和洁净室相关的公用动力系统的设备、管线等管理维护，如，空气过滤器、空调机、局部净化设备、冷冻机及水泵、纯水设备、配电设备、平安报警设施等〕执行威世半导体（西安）厂务部相关SOP文件。

5.2.8参考文件

FSD-SOP-01 

?

供电操作指导书及标准制度?

FSD-SOP-4-1 

AHU系统操作指导书?

FSD-SOP-4-2 

洗气塔操作指导书?

FSD-SOP-4-3 

锅炉操作指导书?

FSD-SOP-4-4 

制冷机操作指导书?

FSD-SOP-06 

厂务部平安操作规程?

FSD-SOP-07 

设备维护保养流程?

FSD-SOP-08 

消防系统操作指导书?

FSD-SOP-12 

厂务部运行管理制度?

FSD-SOP-13 

市政动力能源中断紧急应变方案?

FSD-SOP-20 

厂务核心机组应急迫换操作指导书?

ATD1210C 

能源管理标准?

JVP1301C 

公共设施管理规定?

洁净室人员管理制度

5．3．1 

洁净室的人员管理包括：

制定专职管理人员的职责、洁净室人员的准入制度、人员培训教育规定、进入洁净室人员的“人净程序〞管理和退出管理制度等。

5．3．2 

人员净化与进入

5.3.2.1在洁净厂房内众多的污染源中，人是主要污染源之一，尤其是工作人员在洁净环境中的活动，会明显地增加洁净环境的污染程度。

5.3.2.2对于高级别洁净区域，应严格控制进入人员数量，并标准进行二次更衣。

5.3.2.3要获得生产环境所需要的空气洁净度等级或延长空气过滤器的使用寿命，对进入洁净室的人员、物料进行净化十分必要。

5.3.2.4为保持洁净室空气洁净度，应尽量减少进入洁净室人员带入的污染物。

所有进人洁净室的人员必须严格地按规定程序进行人身净化。

5.3.2.5个人衣服物品全部放到指定的柜子里，去掉化装，换上指定的服装，按空气洁净度等级相应的脱衣顺序脱衣，放在规定的衣柜内。

5.3.2.6进入脱衣室，在更衣凳前将皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脱下放在鞋柜内，禁止不脱鞋直接跨越更衣凳而进入更衣室。

5.3.2.7假设公司后期开展需要更高洁净级别要求的洁净区域〔指高于ISO 

Class7级别〕进入前，需要设置盟洗室用洗手器洗手〔先用洁净洗涤剂洗涤，再用洁净水冲洗。

洗涤后用自动烘手器烘干〕。

5.3.2.8但凡交叉污染的媒介，要经常洗涤。

不要用手触及高净化产品和高净化包装材料等。

要按规定戴手套和指套。

5．3．3 

洁净室工作人员须知

5.3.3.1进入洁净室的人员应严格执行人身净化制度、路线和程序，任何人不得随意更改。

在洁净室内必须按规定着衣、戴帽、换鞋。

5.3.3.2进入洁净级别1万级以及高于万级的洁净区域，必须至少经过二次更衣。

可先从一次更衣室进入，进行更鞋、脱外衣、换洁净服、戴口罩、帽子〔或洁净头套〕后，经过走廊进入二次更衣室，进行二次更衣、更鞋、戴防静电腕带、戴口罩、戴帽子，确认更换完毕后，进入风淋室进行风淋后，才能进入万级以及高于万级的洁净区域。

5.3.3.3严禁不通过风淋而直接走旁通门进入洁净室。

旁通门只允许人员出到洁净间外以及发生紧急情况时的进出。

5.3.3.3.1风淋室使用须知

A.风淋室是工作人员进入净化区域前进行人身净化的专用设备，它能将人体外表吸附着的尘埃用高速气流吹去，使工作人员不带污染源进入净化区域，并能使净化区域与非净化区域起到气闸作用。

B.风淋室设定和状态：

风淋室在投入使用前必须完成调试和设定，使之保持自动风淋状态。

C.风淋室使用

⎭使用者无需按任何键即可开门进入风淋室内，人数每次限定三人,把门关好即可自动风淋,风淋时旋转身体360度, 

等待风机停止工作以后蜂鸣响，内门开锁，用户出风淋室。

按“照明开〞键即可翻开室内照明灯。

⎭

风淋室的微电脑对所做设定有记忆功能,关闭风淋室电源再次翻开电源时风淋室处于上次操作的最后设定状态。

禁止一线使用者对设备的数值设定进行更改，数据更改必须由专业的管理人员进行。

禁止使用者野蛮对风淋室的门〔红外电控锁〕强行推拉而损坏设备。

风淋设备假设因使用不当而损坏，使用部门应据实反映损坏原因，并立即报修。

⎭一线员工在使用过程中发现状态异常，应立即通知主管部门进行处理；

并停止使用风淋室。

D.风淋室正常/异常状态的界定：

1.风淋室正常初始化自检：

翻开电源操作面板LED数码显示时间点亮，同时电脑控制器做一次检测，二门是否关闭，有门开着那么等待关门，如果二门都关闭那么自动进入正常工作状态。

2.正常工作状态

如果系统处于不工作状态：

按电源开关键使系统处于工作状态，LED被点亮。

⎭按照明开/关那么风淋室灯被点亮或熄灭，人员可根据需要循环选择。

系统处于正常等待工作状态时，风淋室的两扇门处于关闭未锁状态。

3.异常状态：

喷嘴出现微弱风速、门不能正常关闭或开启、电源操作面板无显示。

5.3.3.3 

.2 

进出风淋室流程机理：

⌝进入：

当外门（红外电控锁）被翻开时，内门〔红外电控锁〕自动闭锁。

如果用户进入风淋室，经过红外探头，风机将自开工作一定时间，此时内外门均闭锁，风机停止工作以后蜂鸣响，内门开锁，用户出风淋室。

开门、关门整个过程结束。

退出：

当内门被翻开时外门自动闭锁，用户关门后，那么内外门均开锁，用户可以从任意门出风淋室。

开门、关门，整个过程结束。

5.3.3.4作业人员在洁净室内工作时，动作要轻。

严格执行操作规程，不允许跑跳、打闹及喊叫，不作不必要的动作，不作易发尘和大幅度的动作。

5.3.3.5作业人员在洁净室内工作时，尽量防止人员聚集现象。

假设个别工位无特殊协作需求，其他工位员工禁止聚集、围观与自己工位工作不相干的其他工位正常工作事件。

5.3.3.6为不干扰气流，在作业区上游侧不应放物品，生产操作一般应在洁净工作台或气流的上游进行。

5.3.3.7不允许将与生产无关和容易产尘的物品带入洁净室，严禁在洁净室内吸烟、饮食和进行非生产性活动。

5.3.3.8患有以下几种疾病的员工是不宜进入洁净室的：

呼吸系统疾病〔如严重的感冒咳嗽等，患者除了会传播病菌、病毒外，还会因咳嗽而产生大量的污浊颗粒混入洁净的空气中〕、皮肤疾病〔如明显脱皮、掉皮屑的皮炎等〕；

针对上述情形假设采取了可靠的额外人净措施时是可以进入洁净室的。

5．3．4 

洁净室人员退出时应注意的事项

5.3.4.1为了防止再次进入和往返作业对洁净室造成交叉污染按规定的顺序退出洁净室。

5.3.4.2洁净室人员在作业中途和作业完毕在退出到更衣区之前不得脱掉洁净工作服，进入更衣室先脱洁净室用鞋，放在规定的场所。

5.3.4.3必要时脱鞋前洗手，脱鞋后再摘掉帽子，放在规定处。

5.3.4.4脱洁净工作服时不要触及地板、桌子和其他物品，对于洁净服一般由下至上脱〔由下至上是指先脱鞋、再脱衣、再去除帽子和口罩〕，用衣架挂在规定的处所。

5.3.4.5脱去洁净工作服以后，假设需再进洁净室时，仍需按进入洁净室的顺序进行人净。

5.3.4.6退出10K及其以下级别洁净室时不需要经过空气吹淋。

直接走旁通门退出10K洁净室是允许的。

5.3.4.7不能穿洁净工作服上厕所及进入动力设备间、仓库等非洁净区域。

5．4．洁净服管理制度 

洁净服的管理包括：

洁净服采购和制作（含材料选择）、洁净服使用管理、洁净服的清洗规定等。

5．4．1 

洁净服采购和制作 

5.4.1.1 

洁净服必须选用由专业厂家制作的合格产品。

5.4.1.2 

洁净服必须满足工艺对洁净/防静电等的全部要求。

5．4．2 

洁净工作服使用管理根本原那么 

5.4.2.1 

人员进入洁净室首先由个人洁净工作服专用柜或收纳处取出洁净工作服，假设洁净工作服尚未开封，需仔细切开包装拿出服装，不沾带包装料碎屑。

5.4.2.2 

穿衣时，不要使衣服触及地板、桌子、椅子等物品，不要沾污袖子和裤腿下摆，姿势要保持直立，按从上至下顺序穿衣［戴帽→穿衣〔分体洁净服先上衣后裤子〕→穿鞋］，必要时须设置专用的穿衣台。

5.4.2.3 

戴兜帽和帽子时要把头发全部遮住，头部紧紧地包在兜帽内。

5.4.2.4 

假设不穿洁净鞋而采取代用鞋套的临时措施，穿鞋套时要把裤腿下摆紧紧地裹在鞋套内。

5.4.2.5 

在不违反洁服使用管理根本原那么前提下，生产线可细化出实用的和可操作性强的具体规定。

5．4．3 

洁净服的清洗规定 

5.4.3.1 

洁净服的清洗假设采取外协形式，清洗公司应选取经考察合格的专业清洗公司。

5.4.3.2 

洁净服的清洗液不得对洁净服的性能有影响；

洁净服的面料清洗后不允许有脱丝、掉渣。

5.4.3.3 

清洗后的衣物防静电织物性能不应被破坏，假设被破坏，应及时报废或降级使用，降级使用应有明显标记且禁止在有防静电要求的区域内使用。

5.4.3.4 

清洗完成的洁净服应进行可靠包装后运送及存放，防止与外界的交叉污染。

洁净室物流/洁净室内设备及工器具管理制度 

5．5．1 

物流管理包括：

进入洁净室的物料准入制度，物料的清理和清扫规定、废弃物管理制度等。

5.5.1.1 

为防止污染物带入洁净室（区），所有送入洁净室（区）的各种物料、原辅料、设备、工器具包装材料等均需按要求进行外包装清理、吹净，有效地去除外外表的微粒。

5.5.1.2 

在洁净厂房内根据空气洁净度等级、产品生产的要求设置必要的物料净化设施，包括外包装清理室，气闸室或传递窗（柜）等。

5.5.1.3 

物料在外包装清理室撤除外包装、装入洁净容器内或当外包装不能撤除时，对其擦拭去除尘土或采用其他去除污染物的方式对设备、容器工具进行清洁处理，并使清理前后的物料以一定标志予以区别。

5.5.1.4 

洁净区域的专用周转小车、周转盒必须有清晰的标志，与非洁净周转小车有明显的区分标识，禁止混用。

5.5.1.5 

对清理外包装后的物料应经过气闸室或传递窗（柜）才能进入洁净室（区），气闸室或传递窗（柜）的作用与人员净化用气闸室相似，用于保持洁净室的空气洁净度和洁净室内必须的压力。

5.5.1.6 

传递窗（柜）应满足如下要求。

两侧门上设窗，能看见内部和两侧；

确保两侧门不能同时开启〔可通过两侧门上设连锁装置或通过严格管理来实现〕；

传递窗内尺寸可适应搬运物料的大小及重量，气密性好并有必要的强度；

根据用途的不同可设置室内灯、杀菌设施。

5．5．2 

洁净室内设备及工器具管理包括：

设备及工器具的搬入管理，清扫和清洁规定，设备及工器具的退出管理等。

5.5.2.1 

工艺设备进入洁净区域前，应事先明确运输路线，去除设备运输通道上的障碍物，包括对活动洁净围护板的拆卸，并作好隔离防护措施，尽可能防止破坏洁净区域的环境；

假设设备搬入可能对生产造成污染，应提前安排局部停产配合设备搬入。

5.5.2.2 

隔离防护的设施必须确保严密可靠，能够有效控制污染物的扩散，并注意监控其完好状态，假设有破损，及时修补使严密完好。

5.5.2.3 

设备进入洁净区域前，必须先在缓冲区〔或缓冲地带〕进行彻底的清洁和擦拭。

5.5.2.4 

在进行设备、材料搬运的过程中，要严格进行洁净控制，设备进车间前注意在洁净缓冲区〔或临时缓冲走廊〕的相关清洁工作。

尤其注意不得穿洁净服经设备、材料通道门到户外，如此经过交叉污染过的衣服、鞋套、帽子再次无任何措施又进入洁净室，会造成洁净室交叉污染。

5.5.2.5 

在设备、材料搬运期间应尽可能防止让步接受可能出现的环境扰动，对人员、设备、材料净化管制应严格进行控制。

一定要严格控制污染物扩散，尤其是交叉污染的现象，否那么会有高效过滤器〔HEPA〕的污染损失，以及额外的洁净清理费用。

5.5.2.6 

如下列图所示，在洁净室批准入口处设置洁净缓冲/管制间，任何进入洁净室内的物品必须经过缓冲间。

5.5.2.7 

物品进入洁净室的流程。

室外预清洁→传入缓冲区→缓冲区内最终清洁→传入洁净室内 

首先，室外、缓冲间〔或临时缓冲走廊〕、洁净室内各有一支搬运组〔共三组〕候命，这三组人员根据各自的环境身着不同的服装：

室外身着普通工作服，缓冲间内身着清洁的服装并穿戴鞋套，洁净室内身着完整的洁净服，带有口罩和手套等，这三组人互不能进入其它人的工作区域。

当有设备、物品需要运输时，首先室外组人员对物品进行预清洁，然后翻开缓冲间室外侧的门〔或设备预留进出外门〕，将物品传入缓冲区。

必须保证，在翻开缓冲间室外侧门〔或设备预留进出外门〕时，洁净室侧的门处于关闭状态。

缓冲区〔或临时缓冲走廊〕的那组人员对物品进行最终的清洁，并用干净的洁净布检测合格后，翻开洁净室侧的门，将物品传入洁净室内。

如此才标准的完成了物品传送和清洁的过程。

5.5.2.8 

设备搬入完成并就位后，立即清理设备区域的杂物、撤除隔离防护措施、恢复活动洁净围护板，并对设备搬入区域及附近区域进行彻底的清扫和清洁，使满足洁净。

5.5.2.9 

撤除隔离防护措施应注意控制防止交叉污染，恢复活动洁净围护板应保证围护结构的密闭性，密封压条要保证有效密封，胶密缝应恢复严密平整。

5.5.2.10 

小型工器具搬入管理需要满足物流管理要求。

5.5.2.11 

大型工器具搬入管理可参照工艺设备搬入管理要求执行。

5.5.2.12 

设备本身的清扫和清洁由生产部门及保养部门进行规定的编制及执行，但其可靠性必须满足洁净要求。

5.5.2.13 

设备和大型工器具的退出与搬入管理类似，也应事先明确运输路线，去除设备运输通道上的障碍物，包括对活动洁净围护板的拆卸，并作好隔离防护措施，尽可能防止破坏洁净区域的环境；

假设设备退出可能对生产造成污染，应提前安排局部停产配合设备退出。

5.5.2.14 

设备和大型工器具退出后，立即清理设备区域的杂物、撤除临时隔离防护措施、恢复活动洁净围护板，并对设备退出区域及附近区域进行彻底的清扫和清洁，使满足洁净。

洁净室清洁、清扫和灭菌管理制度 

5．6．1洁净车间及洁净车间走廊清洁操作程序见下表：

5．6．1-〔A〕洁净车间清洁操作程序 

工具 

吸尘器、防静电尘推、长软管、小毛刷、簸箕、 

防静电尘推布头、伸缩杆、梯子、防静电去尘布 

耗材 

防静电去尘剂、防静电清洁剂。

清洁 

部位 

1、 

车间墙；

2、 

门窗、文件柜、地面 

具 

体 

操 

作 

方 

法 

用伸缩杆配合去尘布，自上而下，进行