ASYAE01 KSElite操作指导书04Word格式.docx

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无

5责任

5.1所有本工序操作人员严格遵循此指导书.

6指导内容

6.1基本操作顺序:

6.1.1开机:

6.1.1.1确认压缩空气阀门打开

6.1.1.2确认EM-Stop未被锁住

6.1.1.3打开电源

6.1.1.4机台初始化

6.1.2关机

6.1.2.1清除机台上物料

6.1.2.2按MotorStop键使键合机处于待命模式，K&

SElite需将Motor双键同时按。

6.1.2.3关主机电源

6.1.2.4关压缩空气

6.1.3自动焊接

6.1.3.1确认气压表显示值为40-65psi

6.1.3.2确认送线系统正确

6.1.3.3根据POSITROLLOG（ASY-AE01R01）,检查加热块温度显示正确

6.1.3.4从模式列中选

（1）AUTO模式

6.1.3.5将来料弹匣放入load中，（紧贴InputWall放置）

6.1.3.6确认正确的程序号

6.1.3.7按index键，substrate进入键合位置

6.1.3.8按ENTER+Autoindex自动键合开始

6.1.4换金线

6.1.4.1从线轴上取下旧线轴同时关闭拉紧器按钮

6.1.4.2将线轴放入线轴架，绿色标识朝外

6.1.4.3将金线从线轴→传感器→气导→导管→玻璃漏斗→线夹→磁嘴依次穿入

6.1.5清除一个程序

6.1.5.1选择（3）PROGRAM

6.1.5.2选择

（1）LOAD/SAVE/CLEAR

6.1.5.3选择

（1）CLEAR

6.1.5.4选择OK

6.1.6调用一个程序

6.1.6.1选择（3）PROGRAM

6.1.6.2选择

（1）LOAD/SAVE/CLEAR

6.1.6.3选择

（1）DRIVEC：

/A：

6.1.6.4选择（3）LOADPROCESSPROGRAM

6.1.6.5选择OK

6.1.7Teach加热块的位置

6.1.7.1选择（3）PROGRAM

6.1.7.2选择

（2）MHSTEACH

6.1.7.3选择（4）TEACHH/BPOSITION

6.1.8Teach基片打线位置

6.1.8.1选择（3）PROGRAM

6.1.8.2选择

（2）MHSTEACH

6.1.8.3选择（4）TeachBondPosition

􀂃

→将十字线对正加热块刻痕左上角按B1

→将十字线对正加热块刻痕右下角按B1

→按OK

→设定操作点，按B1

→按Done

→将滑鼠移至第一个眼点位置，按B1Teach

→移至第二个眼点，按B1Teach

→按Done结束

6.1.9教Die上眼点

6.1.9.1选择（3）PROGRAM

6.1.9.2选择（3）TeachNewRefSys

6.1.9.3选择

（2）TeachDieRef

6.1.9.4选择

（1）Configuredierefsys

→教手动操作点1→B1

→教手动操作点2→B1

→教眼点1,→B1

→教眼点2,→B1→Next

→教BONDPAD位置→Done

6.1.10教LEAD上眼点

6.1.10.1选择（3）PROGRAM

6.1.10.2选择（3）TeachNewRefSys

6.1.10.3选择

（2）TeachLeadRef

6.1.10.4选择

（1）Configureleadrefsys

→教手动操作点1B1→Next

→教LEAD位置→OK

6.1.11教键合

6.1.11.1选择（3）PROGRAM

6.1.11.2选择（4）WIRE/PARA

6.1.11.3选择

（1）TeachWire

6.1.11.4选择（4）TeachSingleWire

确定第一根，第二跟金线，选择（7）Autolearndelta,则所有金线自动连

好

6.1.12教金线的打线顺序

6.1.12.1选择（3）PROGRAM

6.1.12.2选择（4）WIRE/PARA

6.1.12.3选择（4）Resequencewire

6.1.12.4选择

（1）ResequenceSinglewire

→ChangeAWiretoWire→Resequence→Done

6.1.13复制Device

6.1.13.1选择（3）PROGRAM

6.1.13.2选择（7）DeviceOperation

6.1.13.3选择（4）Copy

6.1.13.4选择SelectAll

用光标在LeadFramePaddle上确定一个点，然后在所要复制的Device上

选择同一个点，按Copy键即可。

6.1.14设置PadTeach选择项并TeachDieBondSites

6.1.14.1选择（3）PROGRAM

6.1.14.2选择（3）TeachNewRefSys

6.1.14.3选择

（2）TeachDieRef

6.1.14.4选择

（1）Configuredierefsys

6.1.14.5选择（4）PADFIND按B1或ENTER来设置ON/OFF

6.1.14.6ON:

当第一个PAD确认后，其他的PAD可以自动定位；

6.1.14.7OFF：

必须手动确定每一个键合点；

6.1.14.8选择（5）PADSIZE:

LENGTH

6.1.14.9选择（6）PADSIZE:

WIDTH

6.1.14.10选择

（2）MANUAL:

手动一个接一个的TEACHPAD的位置

6.1.14.11选择（3）1，LRowTeach:

手动Teach第一个PAD的位置最后一个PAD位置，

期间的所有PAD自动搜索

6.1.14.12选择（4）1，2,LRowTeach:

手动TEACH第一，二个PAD的位置和最后一个

PAD的位置，期间的所有PAD自动搜索。

（BondPadPitch的大小恒定不变）

6.1.14.13PAD的位置完全teach好后选择Done

6.1.15AutoPadReteach

6.1.15.1选择（3）PROGRAM

6.1.15.2选择（5）EditRefSys

6.1.15.3选择要Reteach的Die参考系统后，按Done确定。

6.1.15.4选择（7）ReteachPads

6.1.15.5选择（5）Settings按B1来设置Current

6.1.15.6Current:

按机台当前设置自动搜寻Pad

6.1.15.7Stored:

按机台保存的设置自动搜寻Pad

6.1.15.8选择

（1）PadFinder按B1来设置on

6.1.15.9on:

机台自动搜寻Pad

6.1.15.10off:

必须手动确定每个Pad位置

6.1.15.11选择（4）ReteachAll并按B3进入PadReteach状态

6.1.15.12自动搜寻结束后选择

（2）ReteachPads

6.1.15.13按B3逐个检查Reteach后的焊点位置。

6.1.15.14检查结束后选择Done

6.1.16设置LeadTeach选择项并TeachLeadBondSites

6.1.16.1选择（3）PROGRAM

6.1.16.2选择（3）TeachNewRefSys

6.1.16.3选择

（2）TeachLeadRef

6.1.16.4选择

（1）ConfigureLead

6.1.16.5选择

（1）VLLON（相当于EachLeaddetecton）

6.1.16.6选择（5）AutoTipFind:

ON

6.1.16.7ON:

机器会自动定位键合点，即自动计算从引脚部以规定的距离延伸到键合

点

6.1.16.8OFF：

机器不能自动找到所要键合的位置时手动定位键合点

6.1.16.9选择（3）TipLength:

输入引脚上所要键合的距离

6.1.16.10选择（4）LeadWidth:

输入引脚的宽度

6.1.16.11选择（8）CorridorLength:

输入与引脚相交的两条平行线的宽度

6.1.16.12选择Next

6.1.16.13选择

（2）Manual:

手动一个接一个的TeachLead的位置

6.1.16.14选择（3）1,LRowTeach:

手动Teach第一个Lead的位置和最后一个Lead的位

置，期间的所有Lead自动搜索

6.1.16.15选择（4）1,2,LRowTeach:

手动Teach第一个、二个Lead的位置合作后一个

Lead的位置，期间的所有Lead自动搜索（BondLeadPitch的大小恒定不变）

6.1.16.16Lead的位置完全teach好后，选择Done.

6.1.16.17选择Next

6.1.16.18选择Associateleads:

对于具有VLL设定的引脚进行搜索连接，此时系统隐含

显示，对引脚进行VLL确认，并一群组为每一次搜寻单位

6.1.16.19选择Done

6.1.17更换劈刀

6.1.17.1选择（5）Calibration

6.1.17.2选择

（2）BondHead

6.1.17.3选择（6）CapChangeSequence

6.1.17.4选择按ShiftF10，使定位器移回原点

6.1.17.5选择移动键合头到适当的位置，以利劈刀的移除（一般在左前方）

6.1.17.6选择将金线抽离劈刀，如有需要，将USG（F7）打开

6.1.17.7选择将真空张力气关闭（Tensioner）

6.1.17.8用水砂纸清洁线夹，后用线夹纸和酒精将清洁干净

6.1.17.9选择将新的劈刀装入Transducer，并上顶到停止点，根据6.1.17.11根据设备

型号,选择对应型号的扭矩扳手,用扭矩扳手锁死。

6.1.17.10选择Done

6.1.17.11选择Calibrate:

开始进行超音波校正

6.1.17.12根据设备型号，确认Impedance所显示的数据是否可以接受；

如果超出范围，

则重装劈刀，设备型号/劈刀板手设定/超音波USGImpedance对应关系要求

如下。

machinetype

设备型号

Tightentorque（oz-in）

扭力板手要求

USGImpedanceSpec

超声波范围

K&

SK&

SElite2515-55（Ohm）

SElite

25

15-35（Ohm）

6.1.17.13选择Done

6.1.17.14选择CrosshairoffsetCalibrate:

校正十字线，需在High和Low状态下分别校

准一次。

6.1.17.15选择EFOHeight:

校正打火高度,按Z-Chess键和上下键使打火杆和劈刀在同

一水平位置，如在260-280mil之间,则接受Accept，否则重调。

6.1.17.16选择RelearnBondHeight:

校正劈刀头的侧高动作

6.1.17.17选择Threadwire,即穿金线打开线夹（ClampOpen）,穿金线，并按ShiftF6

进行烧球

6.1.17.18选择Done

6.1.18全自动状态下改点

6.1.18.1选择

（1）Auto

6.1.18.2选择（9）SequenceSetup

6.1.18.3选择（5）Correctbondlocation

6.1.18.4CorrectSingle:

改单个点，按B1（SelectSite）选择所要改的点把十字光标移动

到所要键合的区域再按B3（Correct）即可

6.1.18.5CorrectSequence:

多个点一起改。

按B1（SelectSite）选择所要改的第一点和最

后一个点，在最后一个点上把十字光标移动到所要键合的区域，再按

B3（Correct）其所有的点全部改好

6.1.18.6如果球打偏了，按（9）More

6.1.18.7再按（4）Correctcrosshairoffset,确认在HIGH状态下，移动光标后按

B3（Correct）

6.1.18.8按OK

6.1.19Load新程序时，教PRS方法

6.1.19.1选择

（1）Auto

6.1.19.2选择Run/Stop

6.1.19.3出现Eyepointlearnfailure

6.1.19.4选择

（2）PRS:

ON

6.1.19.5选择

（1）ManualAlign

6.1.19.6DiePadcorrection

6.1.19.7出现Eyepointlearnfailure

6.1.19.8选择

（2）PRS:

6.1.19.9选择

（1）ManualAlign

6.1.19.10LeadPadcorrection

6.1.19.11按Run机器自动寻找并教正

6.1.20键盘功能

6.1.20.1F1（Swap）:

实现屏幕的转换

6.1.20.2F2（Video）：

对于实物进行放大

6.1.20.3F3（Zoomin）：

放大

6.1.20.4F4（Zoomout）：

缩小

6.1.20.5F5（Center）：

移动到加热块中心

6.1.20.6F6（Notapplicable）：

不用

6.1.20.7F7（USGOn）：

打开超声波

6.1.20.8F8（ClampOpen）打开线夹

6.1.20.9F9（Worklight）：

打开灯光

6.1.20.10F10（Optical）：

调整光线

6.1.20.11ShiftF1（SaveProgram）：

当前程序存盘

6.1.20.12ShiftF2（Notapplicable）：

6.1.20.13ShiftF3（Wireandbondsitelabel）：

金线及键合区域标号

6.1.20.14ShiftF4（W/HOper）：

工作区域操作

6.1.20.15ShiftF5（MagOper）：

Load/Unload区域操作

6.1.20.16ShiftF6（FireFAB）：

烧球

6.1.20.17ShiftF7（BondHtRelrn）：

重新定位打线高度

6.1.20.18ShiftF8（Crosshair）：

光标移动方向

6.1.20.19ShiftF9（Z-Chess）：

BondHeadZ方向移动

6.1.20.20ShiftF10（ParkIndexer）：

定位爪子到原点位置

6.2穿线注意事项

6.2.1金线放入线轴，绿色标签向外；

6.2.2依次将金线通过转换器，气导，张紧器；

6.2.3按F8打开线夹，将金线从玻璃导管穿入线夹，按F8关闭线夹；

6.2.4按F8打开线夹，将金线从瓷嘴小心穿入，注意勿用镊子接触瓷嘴下

端尖部，将

6.2.5金线下拉少许并向上折起，再向前拉出少许金线，必要时可按F7打

开超声波，

6.2.6具体效果如下图2示：

图1

图2

断线或机台报警后穿线也需同步骤4，以保证劈刀内一段金线拉直，不会造成线弧弯

曲。

6.3CROSSHAIRCALIBRATION注意事项

6.3.1高倍显微镜校正必须在DIE上做，校正时如图3参考圆环内圆（空白

处）作基

准，并规定校正过程以蓝色线对准中心为校正完毕。

6.3.2低倍显微镜校正必须在LEAD上做，如图3以圆环外圆为基准，其余

同6.3.1

6.3.3校正必须先从高倍开始然后进行低倍校正，全部完成后如还需校正高

倍必须先

退出校正过程，然后重新进入校正程序。

6.4工具材料：

6.4.1酒精、鑷子、無塵布

6.5机台拍照功能的打开：

6.5.1选择Auto。

6.5.2选择RealTime3rdOpt。

6.5.3选择Add/Deleteinspection。

6.5.4在Die上X方向选取一个点拍一张照片，按B1添加。

6.5.5在Die上Y方向选取一个点拍一张照片，按B1添加。

6.5.6在Lead左上角选取一个点拍一张照片，按B1添加。

6.5.7把AutoInspection打成On。

6.6加热块校准方法（列入PM項目，半年每次）：

6.6.1校准仪器:

6.6.1.1表面温度计型号：

RS-232

6.6.1.2确认加热块表面温度的设定值与实测值的偏差,及设定温度。

6.6.2步骤：

6.6.2.1将压缩空气关闭。

6.6.2.2将加热块温度设定值调至220℃

6.6.2.3将表面温度计的测温头固定在加热块中心,等待（30S-40S）左右,读取数值并记录。

6.6.2.4根据工艺要求,实测温度应为规定值±

3℃,读数值合乎范围,记入附表1。

6.6.2.5如实测温度与显示偏差值在±

3℃内为合格，如不合格就调节设定值在调节失败的

的情况下SHUTDOWN设备联系供应商。

附表1：

日期

允许偏差±

3℃

设定温度（℃）

实测温度（℃）

偏差

判断

测温者

备注

附件：

7.1．ASY-AE01R01POSITROLLOG

7.2．ASY-AE01R02POSITROLLOGGUIDELINE

7.3．ASY-AE01R035S确认

7.4．ASY-AE01R04K&

SW/BHALFYEARLYPMRECORD

7.5.ASY-AE01R05键合机温度测量表

7.6ASY-AE01R06设备完整性检查表