废水废液工程技术要求及招标规范.docx
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废水废液工程技术要求及招标规范
东营中联国际集成电路废水处理厂
新建工程
技术要求及招标规范
一、技术要求及招标规范范围说明2
二、规范和条例2
三、技术说明4
四、废水处理工艺设计要求8
五、工艺流程及P&ID图10
六、设备规格及厂牌12
七、电气控制工程说明13
八、防腐工程说明17
九、管线工程说明19
十、废水工程接口说明21
十一、投标文件23
东营东芯集成电路废水处理厂新建工程
技术要求及招标规范
一、技术要求及招标规范范围说明
有关本合约废水处理工程的各系统装置的设计、供应、安装、调试、操作及维修等技术之要求，于本技术规范书及有关图纸内详细说明，以提供符合本合约要求的工程设计、制造至完工的各项细则。
为能妥善完成本合约内各项工程事项，承包商须按要求提供一切所需的设计人员、施工及监督人员、材料、工具、物料、设备、储存、各有效的证件、图纸、临时施工措施、工地安全、检查、调试及运行等事项。
--------------------------第1节结束----------------------
二、规范和条例
所有设备、材料的供应和施工工艺，必须符合下列各机关、部门所颁布的最新的法定职责、条例、规格、标准、施工准则和业务条例：
2.1.1所有中国中央和当地政府机关及部门，包括但不仅限于以下所列的单位：
1.消防局
2.规划局
3.环境保护局
4.卫生防疫局
5.自来水公司
6.环境卫生管理局
7.供电局
8.排水管理处
2.1.2所有中国中央和当地所制定的规范和准则，以及国际认可的规例和标准，最新版本，包括以下,但不仅限于以下所列：
1.《建筑设计防火规范》GB50016-2006
2.《工业金属管道设计规范》GB50316-2000
3.《工业设备及管道绝热工程设计规范》GB50264-97
4.《城市区域环境噪声标准》GB3096-93
5.《工厂企业厂界噪声标准》GB12348-90
6.《工厂企业噪声控制设计规范》GBJ87-85
7.《环境空气质量标准》GB3095-1996
8.《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996
9.《污水综合排放标准》GB8978-1996
10.《建筑给水排水设计规范》GB50015-2003
11.《建筑给水排水管道工程施工及验收规范》GB50268-97
12.《建筑给水排水及采暖工程施工质量验收规范》GB50242-2002
13.《电子工业职业安全卫生设计规定》SJ30002-92
14.《压力容器安全技术监察规程》（质技监局锅发[1999]154号）
--------------------------第2节结束---------------------
三、技术说明
3.0.1废水来源
本废水处理工程,为收集8”晶圆生产工艺所产生的各类废水及废液,废水、废液分类说明如下:
项次
废水分类
废水来源
1
IWW一般酸碱废水
制程系统一般酸碱废水
2
FWW含氟废水
制程系统含氟废水
酸处理塔排水
HF废液定量输送
3
AW酸性含磷废水
制程系统酸性含磷废水
4
AHWW含氨废水
制程系统含氨废水
氨气吹脱及吸收塔排水
5
CMP研磨废水
制程系统背晶研磨废水
制程系统金属研磨废水
制程系统电介质研磨废水
制程系统多晶硅研磨废水
6
回收水
制程系统清洗水
3.0.2废水废液水质特性
各类废水及废液成份,如下列各表参考说明,供投标厂商进行工艺设计评估,惟投标商需考虑8"晶圆厂通用水质作完整考虑,以确保废水处理系统达标排放.
废液成分
名称
成分
处理方式
硫酸废液
浓度80%左右
收集委外处理
HF废液
浓度20%
收集委外处理/定量输送至含氟废水处理系统处理
光阻液废液（PIX）
-
收集委外处理
去光阻废液（STRIPPER）
-
收集委外处理
减薄废液（THINNER）
-
收集委外处理
有机溶剂废液（IPA）
-
收集委外处理
IWW一般酸碱废水水质特性
分析项目
浓度范围
pH
2～13
COD（mg/L）
＜150
FWW含氟废水水质特性
分析项目
浓度范围
平均值
pH
1.0～3.0
2.5
F-（mg/L）
500～1200
1000
SS（mg/L）
50～300
175
SO42-（mg/L）
1000～2200
1600
PO43-（mg/L）
＜5
3
AW酸性含磷废水水质特性
分析项目
浓度范围
pH
1～3
PO43-（mg/L）
100～500
AHWW含氨废水水质特性
分析项目
浓度范围
pH
2～12
NH3-N（mg/L）
＜2000
F-（mg/L）
＜300
H2O2（mg/L）
＜100
CMP研磨废水水质特性
分析项目
浓度范围
pH
2.5～10.5
SS（mg/L）
100～1000
NH3-N（mg/L）
＜15
TOC（mg/L）
1～80
SiO2（mg/L）
0.5～200
回收水水质特性
分析项目
浓度范围
pH
6～9
电导度（us/cm）
1000～2000
3.0.3废水废液排放量
废水排放量
编号
系统
设计能力
处理系统所在位置
责任方
名称
符号
1
酸碱废水
IWW
40m3/h
960m3/d
废水处理站
承包商
2
含氟废水
FWW
10m3/h
240m3/d
废水处理站
承包商
3
酸性含磷废水
AW
5m3/h
120m3/d
废水处理站
承包商
4
含氨废水
AHWW
5m3/h
120m3/d
废水处理站
承包商
5
研磨废水
CMP
5m3/h
120m3/d
废水处理站
承包商
6
回收水
——
10m3/h
240m3/d
废水处理站
承包商
废液排放量
名称
排放量
系统所在位置
责任方
设计
能力
实际排放量
磷酸废液
5m3/h
0.45m3/d
3号建筑（FAB）废水提升站
承包商
硫酸废液
5m3/h
3.2m3/d
3号建筑（FAB）废水提升站
承包商
HF废液
5m3/h
12m3/d
3号建筑（FAB）废水提升站
承包商
光阻液废液（PIX）
5m3/h
0.32m3/d
3号建筑（FAB）废水提升站
承包商
去光阻废液（STRIPPER）
5m3/h
0.47m3/d
3号建筑（FAB）废水提升站
承包商
减薄废液（THINNER）
5m3/h
0.47m3/d
3号建筑（FAB）废水提升站
承包商
有机溶剂废液（IPA）
5m3/h
0.47m3/d
3号建筑（FAB）废水提升站
承包商
3.0.4废水排放标准
本项目生产废水按《污水综合排放标准》（GB8978-1996）的二级排放标准执行。
污染物
单位
二级排放标准
pH
_
6.0~9.0
SS
mg/L
150
BOD5
mg/L
30
CODcr
mg/L
150
氨氮
mg/L
25
Cu离子
mg/L
1
F离子
mg/L
10
--------------------------第3节结束---------------------
四、废水处理工艺设计要求
1
对排放的废水分类收集，分别处理与综合处理相结合;废水分类至少应区分为含氟废水、CMP研磨废水、含氨废水、酸碱废水、酸性含磷废水及收集暂存废液类.
1.1
厂区制程排水管线,废水及废液收集管线材质应依本补充说明第9节「管线材质」及所附空白标单材质要求执行工程.
2
采用切实可行的先进技术与设备、自动监测等自动化程度高的装备，确保处理效果达标，自动化控制系统具体要求如下：
2.1
废水站控制柜设触控式屏幕，用以监控和调整各类参数；废水站控制柜需备有通讯接口，由业主接线将废水站控制柜内的信号传输至业主中控室计算机，用以数据的监视和报告的输出
2.2
提供系统报警装置（故障报警及超载报警）
2.3
设备需考虑合理的备用数量
2.4
水泵和风机的吸入口要有过滤装置
3
处理工艺注意以下问题：
3.1
处理工艺方法可采用：
1.化学法；2.物理法；3.生物法；4.物化法
3.2
酸碱废水应采用三段式PH调整，保证系统稳定运行
3.3
含氟废水采用两段式化学混凝沉淀工艺
3.4
高浓度含氨废水,因其中含有氟（F-）,故在先经吹脱（AirStripping）及氧化除氨后，需再并入含氟废水处理.
3.5
酸性含磷废水采用化学混凝沉淀工艺
3.6
研磨废水采用化学混凝沉淀工艺
3.7
回收水采用极电透析，导电度去除率>75%.
3.8
处理工艺需考虑“以废治废”，降低运行成本
3.9
处理系统要有回流及警急排放暂存功能，让不合格废水重新再处理
4
为保证系统质量及运行稳定性，套装设备必须由设备厂商整体提供
--------------------------第4节结束---------------------
五、工艺流程及P&ID图
5.0.1工艺流程描述
1．研磨废水处理系统
在工艺生产过程中产生的研磨废水经收集管道至收集槽，然后经提升泵至废水站储槽，再经化学混凝沉淀系统处理后，出水并入酸碱废处理系统达标排放，产生的污泥排入各系统共享之浓缩池。
2．酸性含磷处理系统
在工艺生产过程中产生的酸性含磷废水经收集管道至收集槽，然后经提升泵至废水站储槽，再经化学混凝沉淀系统处理后，出水并入酸碱废处理系统达标排放，产生的污泥排入各系统共享之浓缩池。
3．含氨废水处理系统
含氨废水和氨气吸收塔排水分别经收集管道至收集槽，然后经提升泵至废水站储槽，先经PH调整、加热后进入吹脱塔进行脱氮，脱氮后出水则再进行化学氧化，进一步除氮，之后出水在进入含氟废水处理系统进行除氟。
吹脱塔的含氨废气应以吸收塔进行中和处理,尾气应符合法令标准后排放.
4．含氟废水处理系统
含氟废水用管道收集后至含氟废水收集槽和浓HF废液收集槽内，此外，酸性废气洗涤塔排出的废水，因其含有F离子，也用管道输送至含氟废水收集槽内，而后含氟废水用泵将其送至废水处理站内含氟废水储槽；高浓度HF废液用泵定量打到废水处理站含氟废水储槽内，与含氟废水一起进行处理。
含氟废水采用两段化学混凝沉淀法进行处理，处理后出水进入酸碱废水系统调整PH后排放。
产生的含氟污泥单独处理，先经浓缩池浓缩后再经脱水机脱水。
5．酸碱废水处理系统
酸碱废水经管道收集至酸碱废水收集槽，然后用泵送至废水站内酸碱废水储槽，经过三段PH调整后排放。
6．回收处理系统
RO浓水、酸碱中和后的排水以及机台回收水经收集后，进入EDR（倒极电透析）系统脱盐处理，处理后的水可作为厂区内回用水使用。
7．高浓度废液收集系统高浓度废液（剥离废液、PIX废液、IPA废液、清洗废液、HF废液、硫酸废液等）经收集后由专业公司外运处理。
5.0.2P&ID
图所附废水处理工艺流程图,投标商为求水质稳定达标,可自行增加处理单元,但不得以减化为由,予以删减处理单元.
--------------------------第5节结束----
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