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1.2非接触式少子寿命测量仪器(SEMILAB)

名称:

个人计算机、测试基台

将需要测试的不同硅片放置于测试台面上

使用软件为UPCD,测试多为扩散后的硅片.

点击ASET键,LT为测试显示值。

少子寿命数值规定如下:

FZ片子大于100

原始硅片单晶10um以上

多晶5um以上(原则上要求要大于10um正常中需要算大于10um以上的所占比率)

扩散后硅片单晶10um左右(原则上要大于10um)

多晶7um左右(原则上要大于10um)

影响少子寿命的内容

杂质类型即深能级杂质如金属杂质等等严重影响少子寿命

硅片表面态的状况,即高温处理前硅片的表面状况直接影响少子寿命

杂质浓度对少子寿命的影响,重掺杂状况下会引起晶格的畸变,复合加剧影响少子寿命

1.3SUN-Voc检测方法

对电池片的选择要求,

Uoc

Isc

Rs

Rsh

FF

NCell

Lreve2 

0.604

7.688

2.22

98.60

78.23

0.1498

2.199

0.609

7.631

2.38

67.61

78.648

0.1497

4.667

串并联正常,漏电较大的电池片

J01,测试前后表面

J02,测试结区

使用厚的滤光片、1号滤光片和3号滤光片;

将机台的两根线接上机台(一根红的,一根蓝的),红线接红接口,蓝线接蓝接口.

将电池片的电流密度算出(电流除以电池片面积),输入测试软件中.

将待测电池片放在机台上,正面朝上,用测试笔点在主栅线上

点击Measure键,然后让软件自己校准

完成后,再点两次Rasmple,

然后再点击IVCurve,对曲线进行拟合,

查看Jo1、Jo2、PFF和0.1sun下的品质因子的数值.

2.1膜厚折射率检测方法

扫描椭圆偏振光测试仪

测试计算机、控制器、测试基台(三种)

对于基台1,长方形斜面台测试单晶2,小圆盘测试多晶3,大圆盘测试抛光片

首先激光对点,标记需要测试的部位,选择需要测试的膜对应的文件,

点Measure,Th与n为所需要的数值(Thick膜厚与refractiveindex折射率)

测量方法

镀膜后电池片放置于测试台面上,单晶选择小型圆行测试台面成斜面多晶选择圆形台面水平放置

数值取值单晶72—76nm多晶80—85nm

对于实际操作中,单晶范围一般在70—80nm多晶范围一般在80—90nm

3.1反射率测试方法

积分式反射仪

计算机、测试腔、测试台、标准片

操作方法:

打开电源将按钮“Power”打到I电流位置,氙灯亮后,将电流调整至5A工作电流,光谱仪正常工作时指示灯为红色.

软件使用:

SR-D8(CDI)

触发氙灯。

将按钮“Power”打开到“I”位置,以接通电源,氙灯被打开;

当氙灯被触发点亮后,转动旋钮,将电流表读数调节到5A的位置,即氙灯的额定工作电流;

确认光谱仪与电脑正常连接后,接通光谱仪的电源,确认红色指示灯亮起,并且风扇可以正常工作;

双击桌面上的“SR-D8(CDI)”图标,进入主操作界面;

将载物台移动到最右端,使积分球的出光口对准底板上的消光片,单击“Device”中的“background”项,即进行背景光的测量;

将基准片放在托盘上,然后将载物台移动到左端,使积分球的出光口对准基准片,单击“Device”中的“Reference”项,开始对基准片进行测量;

选择“File”中的“OpenRecipe”项,按照实际测量的需要,选择对应的Recipe;

将待测片放在载物台上,使积分球的出光口对准需要测量的区域。

单击“Measurement”按钮,开始测量;

注意:

在测量的过程中,不要接触光纤、光谱仪、积分球等。

以免数据失真;

在“ShowList”的下拉菜单中,将会显示曲线名称和颜色的关系,点击“Copy”可将数据复制到Excel等软件中,也可以将数据通过单击“ShowList”的下拉菜单“Save”可将数据保存到指定文件夾;

 

由于组件时没有统一的标准,所以在测量前需要对灯箱高度进行微调,测量时积分球与组件是以接触的方式,所以在移动载物台或者取片的时候,必须将灯箱升高,以免造成积分球的偏移或损伤。

校准

进行如下的动作将载物台移动到最右端,使积分球的出光口对准底板上的消光片,单击“Device”中的“background”项,即进行背景光的测量;

将基准片放在托盘上,然后将载物台移动到左端,使积分球的出光口对准基准片,单击“Device”中的“Reference”项,开始对基准片进行测量如前相同的步骤;

取下基准片,换上标准片,进行6.8步骤,得到一组反射率数据;

打开标准数据与测量值进行比较。

测量数据的平均反射率与标准数据的平均反射率的偏差小于1%;

软件参数的设定

Recipe参数的设定。

在主操作界面中,依次点击File”、“EditRecipe”、“Login”、“Recipe”;

“BoundariesforCalculation”的设定不要超过光谱仪的硬件参数范围;

“AlarmSetting”是指如果测量结果超出了设定的范围,在打印出的报告中会有“NG”提示标志;

当“Savefileafterthemeasurement”被选定后,“Path”将生效,所设定的位置为测量结果的保存文件夹,“filename”为最后一次测量结果的文件名;

“R(%)”是设定offset参数生效范围的,根据不同的使用测量范围,对recipe进行设定。

对结果的补偿所对应的公式为Y=AX3+BX2+CX+D。

在测试前必须与标准片进行在背光条件下的对比。

单晶反射率一般在13—15

多晶反射率一般在21---25

4.1电池扫描分析仪

Corescan扫描分析仪

测试腔、测试探针、计算机

可以测试接触电阻分布;

并联电阻分布;

开路电压分布;

光生电流密度分布.

打开电源,将机身左侧后部的电源开关拨至“I”位置;

点击电脑桌面上的“Correscan”图标,输入密码,进入软件操作界面;

点Scantype,设置Scantype,需设置X、Y、对角线,对X1、X2、Y1、Y2设置是表示需要扫描的区域.测试整个电池片X1、X2、Y1、Y2为0

对测试项进行选择,其中包含四部分(Coresan、Shuntscan、Vocscan:

、LBICscan.)

对测试间距可以选择,一般选择2.0mm,如果需要测试更细密,则选择0.5mm、1mm

探针校正。

在“ControlPanel”窗口下,单击“Probeadjustment”,如果太短,顺时针旋转探针旁边的旋纽,太长则反之;

扫描“LBICScan”,不需要进行探针校正;

在扫描时需观察电池正面电极主栅线是两根还是三根而选择压条.

将待扫描的电池片放置好,将压条对准主栅线,按下“VACUUM(真空)”的蓝色按纽,启动真空泵;

扫描“VocScan”,须将压条取下;

合上盖子,点击“starttestrun”,测试是否可以运行;

进入“MEASUREMENT”点击“StartXXXXScan”进行扫描;

说明:

在扫描之前系统会提示保存数据,需要数据的话须保存;

保存点击Print

做过接触式扫描(除了LBICScan)的电池片表面会有清晰的划痕,所以不能做重复性的扫描。

测试分析图表:

Corescan

Shuntscan

Vocscan

LBICscan

Info:

Rseries

Voc

Jsc

好的电池片的大致范围

小于15mV

小于10mV

不均匀差小于10mV

不均匀度小于3%

原理图

可能导致坏电池的部分原因

1.丝网印刷不好

2.过度烧结或烧结不够

3.发射极不统一

4.有少量的磷硅玻璃

1.边缘隔离不好

2.过度烧结

3.SiC的搀杂

1.发射极不统一

2.原材料的不好

1.钝化不好

2.原材料的质量不好

5.1浓度测试仪

梅特勒-托利多浓度分析仪

包含部分:

主机药液放置点、取样器、标准液、操作平台、终端设备控制器

取样为1g以内,不同的取样药液需要对应的不同标准液.

取样器药液放置孔有22个,仅有数字标识.

点击操作平面,平面如上图:

a为重置键:

它中断所有正在进行的任务。

b为信息键:

它调出相应屏幕内容的交互式在线帮助。

c为主页键:

使用它们返回主页(在显示屏的左右两侧)。

重置键为紧急按钮,出现异常操作或者测试错误时使用.

设置可以使用电脑主机,一般使用终端设备控制器,如下:

对图片解释

方法:

该菜单进入方法编辑器,可以创建和管理方法。

样品系列:

在这个菜单中可以创建和管理由单一试样组成的系列,可以创建不同的取样分析点对应不同的标准液。

结果:

菜单中可以管理分析结果。

设置:

菜单中可以对滴定仪使用的硬件和全部资源进行配置。

此外还可以在这里进行全局设置和用户设置。

手动操作:

菜单下进行一些手动的操作,如:

启动搅拌器、电极、泵、溃液等等.

以测HF-HNO3中HF和HNO3的质量比为例

选择“HF-HNO3%”,会出现如图三的界面;

对于方法号根据所选择的溶液进行对应选择,上图中有7种选择方法,HF-HNO3%为1,HF-HNO3L为2,NaOH为3。

等等

图三

称样品的质量范围为0.5g-1.0g,将小烧杯放在取样器上,在“样品大小”栏中输入所称的值,数值可以精确到小数点后三位,如图四;

图四

然后选择“起始位置”,烧杯放在几号就填几号,在准备工作就绪后,选择“开始”进行测量;

图五为测试界面

图五

等测量结束后,结果会在电脑和控制器上显示出来。

6.1光学显微镜

仪器名称:

使用方法:

打开电源。

将机身右侧后部的主电源开关拨至“I”位置;

将待观察的试样放置到载物台上;

转动物镜转盘,使5倍物镜进入光路;

转动调焦旋纽,使视野中出现清晰的图像;

移动载物台,使试样上需要观察的部分位于视野中央;

切换到高倍物镜,调节微调旋纽,使图像清晰;

如需在暗场下观察,将右侧的切换拉杆拨至“DF”位置,同时推进孔径光阑FS;

双击计算机屏幕上的“OLYSIM”图标,打开图像捕捉窗口后,点击快捷工具栏中的“采图”按钮,并将观察筒右侧的光路切换拉杆拉出至中间位置,便可以在计算机屏幕上获得显微图像。

调校

调节目镜的瞳间距:

通过目镜观察时,调节观察筒,直到左右视场完全吻合。

观察筒中间的白点标明了瞳间距的大小,可以记下数值以便以后再次观察。

不戴眼镜的操作人员观察时应将目镜上的橡皮圈翻出。

调节屈光度:

将标准台尺放到载物台上,将物镜转盘切换到5倍物镜,使视场中出现完整的标尺图像;

用右眼通过右侧目镜观察,调节调焦旋钮获得清晰的标尺图像;

握住右侧目镜,使十字线测微尺刻度保持水平,同时转动屈光度调节环,直到测微尺的刻度与标准台尺的刻度完全重合;

用左眼通过左侧目镜观察,调节目镜上的屈光度调节环,使图像清晰。

对中孔径光阑(AS):

转动物镜转盘,使10倍物镜进入光路,然后把样品放在载物台上,对图像粗略聚焦;

卸下左侧的目镜,直接从目镜筒中观察,拉出孔径光阑调节杆,将孔径缩小为70~80%;

使用六角改锥插进两个孔径光阑对中螺丝,转动这两个螺丝,将光阑图像调节到中央;

注意事项:

用暗场进行观察时,必须推进视场光阑调节杆,完全打开孔径光阑。

在高倍下观察或者观察某些样品时,适当缩小孔径光阑,可以获得高反差和低眩光的图像。

对中视场光阑(FS):

轻轻拉出显微镜机身右侧的FS拉杆,稍稍缩小视场光阑;

使用六角改锥插进两个视场光阑对中螺丝,转动这两个螺丝,将视场光阑图像调节到视场中央;

开大视场光阑,直到光阑图像与视场同样大小;

用暗场进行观察时,应推进视场光阑调节杆,完全打开视场光阑。

载物台对中:

在载物台上放一个试样,调节显微镜获得图像;

旋转载物台,使载物台的旋转中心与目镜中的十字线重合。

测微尺参数

物镜倍数

5X

10X

20X

50X

100X

目镜测微尺每小格长度

20um

10um

5um

2um

1um

比例尺刻度代表的长度

200um

100um

50um

目前选用观察软件,选择需要的倍数,通过粗调螺母和微调螺母调整物镜与物体的距离;

达到清晰后对图片进行保存.

对成像焦点,记录微调螺母上的数字,可以计算两点间高度.

对镜头上的标尺可以计算平面内两点距离.

7.1LBIC、IQE和QE检测

扩散长度多晶要求在400以上,越大越好

单晶要求在600以上,越大越好

IQE内量子效应

QE外量子效应

正常图形短波400—500nmQE响应大于80%,长波响应1000nm附近响应大于60%

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