真空机器人通信协议手册Word格式文档下载.docx
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PLACE
使机器人将晶片放入一个特定的工位和槽位中
RESET
执行对机器人程序的软件复位
RELEASE
释放对机器人的伺服控制
XFER
使机器人把晶片从一个工位传输到另一个工位
OperationalInterlockCommand
MAP
指定一个从名字到物理IO的映射
REMOVEIO
删除一个了已经映射了的IO配置
RQINTLCK
报告Interlock的状态
RQIOMAP
查询IO映射
RQIOSTATE
查询所有输入输出IO的状态
RQSTNOPTION
查询工位的参数设置
SETINTLCK
设置Interlock的状态
SETSTNOPTION
设置工位参数
STORESTNOPTION
存储工位参数
RequestCommands
RQBG
查看后台任务状态
RQCPTR
显示当前位置数据
RQCOMM
查询通讯参数
RQIOECHO
显示串口通讯回显参数
RQLOAD
查询指定手臂装载状态
RQLOADMODE
查询装载显示类型
RQPOSABS
查询绝对位置
RQPOSDST
查询目标位置
RQROBOTAPPLIC
查询机器人序列号
RQRTRCT2
查询机器人取放的二次缩回值
RQRVSN
查询软件版本号software
RQSTN
查询工位配置参数
RQVERSION
查询版本
RQWHO
查询固件版本firmware
SetCommands
SETIOECHO
设置串口通讯回显参数
SETLOAD
设置指定手臂装载状态
SETLOADMODE
设置装载模式显示类型
SETRTRCT2
设置机器人取放的二次缩回值
SETSTN
StoreCommands
STOREIOECHO
存储串口通讯回显参数
STORELOADMODE
存储装载模式显示参数
STORERTRCT2
存储机器人取放的二次缩回值
STORESTN
存储工位配置参数
3.3通信命令格式
GOTO
功能：
格式：
GOTONstation[R（EX|RE）][Z（UP|DN）][SLOTnum][[ARM]arm]
参数：
station:
指定工位号，范围1-30，“N”字段不可省略。
R（EX|RE）:
指定手臂在R轴方向动作，RX为伸展，EX为收缩。
Z（UP|DN）:
指定手臂在垂直方向动作，UP为上升，DN为下降。
SLOTnum:
存放晶圆的槽位。
ARMarm：
将要移动的手臂，可选为A（默认）和B，“ARM”字段不可省略。
备注：
R、Z、SLOT三个可选参数至少指定一个，否则报错。
举例：
GOTON1ZDOWNSLOT1ARMB
GOTON2REXZDOWNSLOT1ARMB
HALT
在Background模式下，该命令使机器人停止所有的运动。
HALT
HLLO
应答：
Hello
HOME
HOME[ALL][R][T][Z]
ALL:
指定所有轴的参考位置
R:
指定在R轴方向的参考位置
Z:
指定在Z轴方向的参考位置
T:
指定在T轴方向的参考位置
HOMEALL
HOMER
HOMET
HOMEZ
LFTST
MOVE
如果多于一个的轴被指定，每次移动一个轴向。
MOVE[R|T|Z][ABS|REL]value[[ARM]arm]
R|T|Z:
指定要移动的轴向，至少指定一个轴。
ABS|REL:
指定目标值是绝对还是相对值，至少指定一种模式。
value：
在相对模式中，指定距离值；
在绝对模式中，指定的是特定点。
A手臂或B手臂，“ARM”不可省略。
轴和模式必须指定，手臂不指定默认为A手臂。
MOVETREL100ARMB
PICKstation[SLOTslot][[ARM]arm]
station:
指定的工位号，范围为1-30。
SLOTslot:
指定从哪个槽位中取。
ARMarm:
指定A手臂或B手臂。
若未指定工位号，系统报错，槽位号不指定默认为1，手臂不指定默认为A手臂。
PICK2SLOT2ARMA
PLACE
PLACEstation[SLOTslot][[ARM]arm]
PLACE2SLOT2ARMB
RESET
RELEASE
XFER[[ARM]arm]station-astation-b
ARMarm:
指定A手臂或B手臂，默认为A手臂，当用B手臂时必须制定。
“ARM”字段不可省略。
station-a:
做取出动作的工位，范围1-30。
station-b:
做放置动作的工位，范围1-30。
XFERARMA17
指定一个从名字到物理IO的映射。
MAP[name][WAF_SEN|SBIT_SVLV_SEN|EX_ENABLE|RETRACT_PIN][HI|LOW]TO[DIGITAL_IN|DIGITAL_OUT][io_num]
name:
指定一个特定的名字，最大为20个字符。
type:
指定IO的类型，可选参数为WAF_SEN、SBIT_SVLV_SEN、EX_ENABLE、RETRACT_PIN之一。
characteristic:
指定IO的状态，可选参数为HI或LOW。
io_name:
指定IO设备的物理特性，数字输入或数字输出，可选参数为DIGITAL_IN或DIGITAL_OUT
io_num:
指定实际要映射的物理IO地址，用十进制指定，系统不识别“0x”开头的字符。
MAPSTN_2_WAFRETRACT_PINHITODIGITAL_IN1
MAPSTN_1_WAFWAF_SENHITODIGITAL_IN2
MAPSTN_3_WAFWAF_SENHITODIGITAL_IN3
REMOVEIO
REMOVEIOio_name
io_name:
最大20个字符，为使用MAP命令时所指定的MAP名字。
ThenameassignedtophysicalI/OusingtheMAPcommand.
REMOVEIOSTN_3_WAF
RQINTLCK
RQINTLCK[ALL][WAF_SEN|TZ]
RQINTLCKWAF_SEN
[ALL][WAF_SEN|TZ]至少存在一个参数，否则报错。
statemode
state:
Y=晶片传感器使能
N=晶片传感器禁止
mode：
ON=机器人在Z轴运动之前执行T轴运动
OFF=机器人同时执行T轴和Z轴运动
RQIOMAP
RQIOMAP[ALL|name]
指定ALL或者IO映射名字
RQIOMAPSTN_1_WAF
IOMAPSTN_1_WAFWAF_SENHIGHDIGITAL_IN1
RQIOSTATE
RQIOSTATE[io_name]
io_name，IO映射名字。
RQIOSTATESTN_1_WAF
STATESTN_1_WAFWAF_SENNOT_BLOCKED
RQSTNOPTION
RQSTNstation[[ARM]arm]OPTION[WAF_SEN（EX|RE）|SBIT_SVLV_SEN|EX_ENABLE|RETRACT_PIN]
WAF_SEN（EX|RE）、SBIT_SVLV_SEN、EX_ENABLE、RETRACT_PIN四选一
STNstationOPTIONsensornamestate
station：
工位号
sensor：
传感器类型，四种之一。
name：
传感器所指定名字，如果没有，返回NONE。
State：
BLOCKED=晶圆遮挡传感器
CLEAR=传感器未被遮挡
RQSTN1ARMAOPTIONWAF_SENEX
SETINTLCK[WAF_SEN（Y|N）[TZON|OFF）]
Y=晶片传感器使能
ON=机器人在Z轴运动之前先执行T轴运动
SETINTLCKWAF_SENN
SETSTNOPTION
SETSTNstation[[ARM]arm]OPTION[WAF_SEN（EXname|REname）|SBIT_SVLV_SENname|RETRACT_PINname|EX_ENABLEname]
WAF_SEN（EXname|REname）:
指定在当前工位下的晶圆传感器名字
SBIT_SVLV_SENname：
指定在当前工位下槽位值感器名字
RETRACT_PINname：
指定在当前工位下Retract传感器名字
EX_ENABLEname：
指定在当前工位下Extend传感器名字
SETSTN4AOPTIONWAF_SENEXSTN_4_WAFR_SEN
STORESTNOPTION
STORESTNstation[[ARM]arm]OPTION[ALL|SBIT_SVLV_SEN|RETRACT_PIN|[WAF_SEN（RE|EX）]|EX_ENABLE]
工位号，范围1-30。
指定是A手臂或者B手臂
STORESTN4ARMAOPTIONALL
STORESTN4ARMAOPTIONWAF_SENEXSTN_4_WAFR_SEN
RQBG
BGstatuserror
status:
N–无活动的后台任务
Y–有活动的后台任务
error:
当前的错误吗，无错误码则显示“0000”。
BGN2204
RQCPTR
RQCPTRsensor
RQCPTR1
CPTRT1000000T2000000Z000018
RQCOMM
RQCOMM[（[M/B|FLOW|LF|ECHO|CHECKSUM|DREP|ERRORLEVEL|BAUDRATE）]
COMMmodeflowlinefeedechochksumdata_reperrorlevelbaudrate
报告所有选项
mode:
报告通讯模式
MON监控模式
PKT数据包模式（_RDY）
flow:
报告命令执行类型
SEQ序列模式
BKG后台模式
BKG+后台加强模式
linefeed:
报告linefeed状态
ON使能
OFF禁止
echo:
报告回显设置
ON回显使能
OFF回显禁止
checksum:
报告校验设置
data_rep:
数据报告标志，兼容VT5
AUT自动模式
REQ请求应答模式
errorlevel:
错误显示等级
1-5自动模式
baudrate:
波特率.
RQCOMMM/B
COMMMON
ERRORLEVEL和BAUDRATE暂不支持查询
RQIOECHO
InMonitorMode:
ECHOSTATUS[Y|N]
InPacketMode:
IO[Y|N]
Y指定回显选项开
N指定回显选项关
MonitorMode:
监控模式
PacketMode:
数据包模式
ECHOSTATUSN
RQLOAD
RQLOAD[[ARM]arm]
LOAD[arm]status
arm:
指定手臂A或B
提供特定手臂的装载状态
ON=末端手指有装载
OFF=末端手指无装载
?
=UNKNOWN手臂无法检测是否有装载
RQLOADARMA
LOADAON
RQLOADMODE
type
装载模式类型
BI=两种状态，ON或OFF
TRI=三种状态，ON、OFF或？
RQPOSABS[[ARM]arm][R][T][Z]
或
RQPOSABS[[ARM]arm]ALL
POSABS[r-location][t-location][z-location]
POSABSr-locationt-locationz-location
RQPOSABSAALL
POSABSR0.000T0.000Z0.010
RQPOSDST[[ARM]arm][R][T][Z]
RQPOSDST[[ARM]arm]ALL
POSDST[[ARM]arm][r-destination][t-destination][z-destination]
POSDST[[ARM]arm]r-destinationt-destinationz-destination
RQPOSDSTALL
POSDST17500318100721032
RQROBOTAPPLIC
RQROBOTAPPLIC
SIASUN-GRC-4.2-4
RQRTRCT2
RQRTRCT2
value二次缩回值
应用于PICK或PLACE命令带有offset的
0.000
RQRVSN
RQSTNstation[[ARM]arm]（[R][T][Z][LOWER][NSLOTS][PITCH]）
RQSTNstation[[ARM]arm]ALL
查询R,T,Z,LOWER,NSLOTS,和PITCH
手臂A或B
lower:
运输手取片的升降距离
n-slots:
槽位号
pitch:
槽位之间的高度
至少要制定一个参数，如果有参数ALL，其他参数都可以省略。
RQSTN5ARMAALL
STN0001A06750001800000325000050000001000000
RQVERSION
RQWHO
SETIOECHO
SETIOECHOstatus
SETIOECHOY
SETLOAD
SETLOAD[[ARM]arm]status
SETLOADARMAON
SETLOADMODE
SETLOADMODE[BI|TRI]
SETLOADMODETRI
SETRTRCT2
SETRTRCT2value
应用于PICK或PLACE命令带有offset的情况
SETSTN
SETSTNstation[[ARM]arm]（[Rr-loc][Tt-loc][Zbto][LOWERlower][NSLOTSslots][PITCHpitch]）
或
SETSTNstation[[ARM]arm]ALLr-loct-locbtolowerslotspitch
指定r-loc,t-loc,bto,lower,slots,和pitch
工位号
手臂A或B
r-loc:
R轴方向伸缩参数
t-loc:
T轴方向旋转参数
bto:
Z轴方向升降参数
取片的升降距离
slot:
槽位之间的距离
SETSTN4AALL468432700020020010
至少指定一个参数，如果有参数ALL，其他参数不用设置。
STOREIOECHO
STORELOADMODE
STORERTRCT2
STORESTN
STORESTNstation[[ARM]arm][R][T][Z][LOWER][NSLOTS][PITCH]
or
STORESTNstation[[ARM]arm]ALL
LOWER:
取片的升降距离参数
NSLOTS:
槽位号参数
PITCH:
槽位之间的距离参数
STORESTN5ARMAALL
STORESTN4ARMARTZLOWERNSLOTSPITCH
4.通信错误提示
表4.1串口通信程序错误表
错误号
错误显示
5100
GOTO工位号超范围
5101
Mapping不支持的IO类型
5102
Mapping缺少端口状态
5103
Mapping缺少
升级会员 