ATHLETE晶圆植球机新程序建立.docx

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ATHLETE晶圆植球机新程序建立

ATHLETE晶圆植球机新程序建立

ATHLETE植球机新程序的建立

一，准备工作

1，将机台TABLE改成我们所需要的尺寸，如BL6212为8寸产品，就需要将TABLE更换成8寸，详细见改机清洗规范

2，检查球具是否是我们所需要建立程序产品的球具，若焊球成分，大小都相同则无需更换；只要其中有一样不同就需要更换球具，具体见改机清洗规范

3，更换相应的STENCIL，具体见改机清洗规范

wafer上左右两个特殊点相对于MAP中心点的坐标；3，MAP中心点分别相对于stencil上左下角球和右下角球的坐标

左下角最外侧一个球中心为测量STENCIL上第一个对位点

二，建立程序

1，手自动开关旋至MANUAL档，按“HOME”进行原点复位

2，按“STOP”进入停止状态

NEWTYPE

3，选择“FILE”右侧显示功能菜单，选择“NEWTYPE”来进行6’或8’产品原程序的COPY，例如：

TI8YRZI8是8寸产品，NEW6是6寸产品

4，选择一个作为拷贝程序后进行程序新建命名，如：

输入BL03EVS8

5，选择“RecipeEditor”，然后选择右侧“TYPECHANGE”选择刚刚所创建的新程序，按“OK”保存，系统载入新程序

三，参数的输入与修改

1，将“TYPEDATA”打开，选择“OPERATIONDATA”

2，选择WAFER尺寸和设置片厚参数

3，保存参数设置

4，选择“WAFERRECOGNITIONPOINT”

4，选择“PRINTINGMOVEMENTSETTING”

9，GAPBTWWAFERANDMASK和GAP

GAPBTWWAFER&MASK和GAPBTWSUPPORT&MASK这两个参数值跟胶量有关，新建程序时可以不改，涂胶后根据胶量而改。

5，在“TYPEDATA”界面底下选择“PAGEDOWN”进入下一页，然后选择“BALLRELEASESETTING”来进行球量设定。

6，因为COPY的是8寸程序，所以“BALLRELEASESETTING”只需修改一片WAFER的球数由2个植球BRUSH来分配，由于片子是-135°放置，左边BRUSH分配总球数X40%，右边BRUSH分配总球数X60%

四，WAFER与MASK的位置和图像识别

1，将WAFER手动模式传递到TABLE上，具体见操作规范

2，返回MANUAL操作的主界面，选择第三项“TYPEREGISTRATION”。

3，选择“RECOGNITIONPOINTTRANSFER®ISTRATION”

4，选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”进行WAFER上识别点位置的移动

5，先移动到前面一个识别点的认识位置

6，观察左边显示器是否已经移动到我们在CAD图上标识的识别点位置。

如图所示已经在特殊DIE（即识别点）附近。

7，如果显示屏上没有显示识别点，则需要去观察识别WAFER的CAMERA当前所在位置，靠近人一侧的为识别FRONT点的CAMERA，靠后的是BACK点的CAMERA，见下图。

8，观察识别点与CAMERA偏差位置后，选择软件“TABLEJOGMOVE”

9，根据偏差距离，选择适当的JOG量（小键盘5为JOG量+，0为JOG量-），然后移动TABLE上（Y+），下（Y-），左（X-），右（X+）。

10，利用上述JOGMOVE，将白色十字线移到识别点的标识位置，如图

11，在“TABLEJOGMOVE”中记下当前的X,Y坐标值，如图X：

1145.107Y：

84.660

12，CANCEL“TABLEJOGMOVE”，再次选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的FRONTPOINT，打开此时的“TABLEJOGMOVE”，记下当前的x’,y’坐标值，例如x’：

1144.107，y’：

83.660X轴方向的偏差量A=X-x’=1145.107-1144.107=1

同理Y方向的偏差量B=Y-y’=84.660-83.660=1。

然后选择“TYPEDATA”中的“WAFERRECOGNITIONPOINT”，将FRONTPOINT的X,Y坐标值分别减去A.，B，保存退出。

13，再选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“FRONTPOINTTRANSFER”去检查下补正参数后的识别点位置是否正确，若正确则进行下一步，反之则再进行以上步骤校准。

14，选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“BACKPOINTTRANSFER”

15，同样方法找到BACKPOINT的正确位置

16，按“PAGEDOWN”进入下一界面，选择“RECOGNITIONPATTERNRECOGNITION”

17，选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“FRONTTRANSFER”

18，待移动到waferFRONT识别点后选择“【REGISTR】WAFERRECOGNITIONPATTERN”，并选择“FRONT”

19，需要用鼠标进行图形的识别，

确定键SET

20，选择“ENTRY”

21，先选择“CENTER”将“+”移至识别DIE顶角中心

22，然后选择“PTNSTRAT”定义识别范围的起始位置

23，“PTNSIZE”定义识别范围的终止位置，即尺寸大小。

要求所框图形是唯一的

24，然后按按“EXECU”执行

25，选择“EXECUTEWAFERRECOGNITION”中的“FRONT”进行检查

26，检查显示屏左上角的SCORE值是否大于9000，若小于则需要按上述步骤重新调整

27，选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“BACK”

28，同样方法进行“BACK”识别点的图像登录和检查

29，返回到此界面，选择“PTMASKRECOGNITIONPOINTTRANSFER”

30，选择“LEFT”移动到涂胶MASK的左边对位点

31，观察机台CAMERA的位置

左边对位点目前CAMERA位置

32，利用“TABLEJOGMOVE”移动到对位点位置

33，记下当前“TABLEJOGMOVE”中X,Y坐标值，如图X:

433.510Y:

167.281

34，选择“TYPEDATA”中的“MASKRECOGNITIONPOINT”

35，将X,Y坐标值输入进PTMASKRECOG,.LEFT中的X,Y

36，再次选择“PTMASKRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“LEFT”检查位置是否正确。

若不正确则需要按上述重新调整。

37，点击“【REGISTER】PRINTINTMASKRECOGNITIONLEFT，按OK让软件记住位置

38，选择“PTMASKRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“RIGHT”

39，同样方法找到RIGHT对位点的正确位置，记下当前“TABLEJOGMOVE”的坐标值，例如：

x’:

529.490y’:

167.192，那么补正值A=x’-X=529.490-433.510=95.980；B=y’-Y=167.192-167.281=-0.089

40，将补正值输入“TYPEDATA”中“MASKRECOGNITIONPOINT”—“PTMASKRECOGNITIONRIGHT”中的X,Y坐标值。

41，按“PAGEDOWN”进入下一界面，选择“RECOGNITIONPATTERNRECOGNITION”

42，选择“PTMASKRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“LEFT”

43，选择“【REGISTER】PRINTINGMASKRECOGNITIONPATTERN

44,选择“LEFT”

45，利用鼠标选择“ENTRY”

46，处理方法与WAFERRECOGNITIONPOINT相同。

47，登录完以后选择“EXECUTEPRINTMASKRECOGNITION”中的“LEFT”进行验证检查

48，查看显示器左上角SCORE值是否大于9000，若没有达到则需要按上述方法重新调试

49，同样方法先移动到“RIGHT”对位点位置，然后登录图像

50，同“PTMASKRECOGNITION”，相同方法处理“MTMASKRECOGNITION”的“LEFT”和“RIGHT”

五，CHECKPOINT

1，返回到此界面，选择“MOUNTINGPOINTCORRECTION”

2，选择“MOUNTINGMASKRECOGNITION”

3，选择“WAFERRECOGNITION”

4，选择“MOUTINGPOINTTRANSFER”

5，等片子贴上植球MASK，检查圆片MAP与MASKMAP的重合情况利用“TABLECORRECTIONJOGMOVE进行粗调，方法同“TABLEJOGMOVE”。

有角度偏移，按照“顺+逆-”原则。

6，粗调完毕后，将第二个显示器切换到LINEB

7，选择“MTPOINTCORRECTIONVAUELAUTOMATICINPUT”保存植球补正量

8，选择“MOUNTINGPOINTCHECKPOINTTRANSFER”

9，其中植球CHECKPOINT有4个（1，2，3，4），建议使用2移动到MAP边缘

10，选择“MOUNTINGROBOTJOGMOVE”

11，将CHECKCAMERA移动到CHECKPOINT2的上边缘

12，观察显示器上的图形，选定一球

13，利用“TABLECORRECTIONJOGMOVE”将球在MASK开口中移正

14，CANCEL，利用“MOUNTROBOTJOGMOVE”将JOG调至10MM倍率，向下移动5次，即CAMERA50MM行程，观察显示器上的球与开口位置

15，从2图位置比较可以看出，存在着顺时针角度偏移，需要逆时针方向调整，利用“TABLECORRECTIONJOGMOVE”按照“顺+逆-”原则进行角度调整，并调整X,Y方向将球处于开口中心

16，选择“MTPOINTCORRECTIONVAUELAUTOMATICINPUT”保存植球补正量

17，选择“MOUNTROBOTJOGMOVE”向上移动50MM返回原来位置，观察现在球与开口位置情况，如果还是存在偏移，继续用此方法调整，直到Y方向无变化，X方向同理，时时注意保存。

18，选择“TYPEDATA”中的“PRINT/MOUNTPOINTSETTING”

19，将PPTCORR（WHOLORF）和PPTCORR（BSQUEE）里参数改成与MOUNTPOINTCORRECTN相同。

20，返回至此界面，选择“PRINTINTPOINTCORRECTION”

21，选择“PRINTINGMASKRECOGNITION”

22,选择“WAFERRECOGNITION”

23，选择“PRINTINGPOINTTRANSFER”

24，选择“PRINTINGCHECKPOINTTRANSFER”

25，涂胶CHECK点有2个位置（1，2）

26，建议选择1，将CHECKCAMERA移动至CHECK1位置

27，将第二个显示器选择LINEA

28，观察球与涂胶MASK开口位置情况，调整方法同植球MASK相同，注意的是因为CHECKCAMERA装在刮刀上的，所以只能在Y方向移动，调整过程勿忘记时时将“PTPOINTCORRECTIONVAUELAUTOMATICINPUT”保存

六，所有CHECK都调整完毕，手动操作涂遍胶检查胶情况。