减薄抛光CMP工艺Word文档下载推荐.docx

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减薄抛光CMP工艺@#@@#@六、维护与保养：

@#@1.要定期对减薄机的循环水及滤芯进行清洗和更换。

@#@2.每次研磨/抛光工艺结束后要对台面进行清洗，并对陶瓷环及陶瓷托盘定期超声清洗。

@#@3.发现减薄/研磨/抛光后片面度偏差过大应考虑对设备进行维护和检修，必要时要进行盘面修平和修锐工作。

@#@4.注意观察各个步进电机润滑油液面的高度，定期补给。

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