Gas 施工程序Word文档下载推荐.docx
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Assembly,FinalIntegeration,andFinalTest
100/10
6
CommonPleums
Seperatedwithfloor-toceilinghardorsoftwalls,haveseparatereturnairgrilles,andbepositivelypressurizedtoaminimumof1.3mmH2O
表4-1施工场所分类表
1.1.2.公用设施
于施工过程中，常须使用不同系统，以协助工程进行。
例：
PurgeGas、WeldGas、CleanGas、DIwater等。
表4-2即针对各个不同之系统提出其规格要求。
DryingGas
PurgeGas
WeldGas
DIWater
Function
AfterCleaning
ForTesting
ForWelding
-
Filtration
0.01umrated
ParticleRating
＜1pcs@0.1um/ft3
0pcs@＞0.2um/ft3
OxygenContent
＜1.5ppm
＜10ppb
＜50ppb
MoistureContent
＜1.0ppm
HydrocarbonContent
＜2.0ppm
7
THCasContent
＜20ppb
8
PurifiedatPOC
Required
9
Resistivity
＞18mΩ-cm@250C
10
COContent
11
CO2Content
12
TOC
13
Silica
＜5ppb
14
Bacteria
＜10colonies/100millimeter
15
HotDITemperature
Min800C
16
Minimumspecification:
purifiersand0.01umratedFilter
表3-2系统规格要求表
1.1.3.安卫要求
任何之施工程序皆须使用安全锥、护栏、等为隔离作业区及警示装置用。
施工前必须先观察周围遭各式阀件，按钮及其它机器位置，以免碰触。
施工前必须先就核定之施工图面，进行现场研判施工方式。
须时时保持洁净施工原则及施工环境之清洁。
并定期依据附表之『净洁施工自动检查表』进行抽查。
已通气管路因工程需要进行修改时。
施工承商须会同本公司人员及业主进行相关确认程序后，始准予施工。
预配之盘面组就定位后，须保持以Nylon&
Cap塞住，不得开放盘面两端。
1.1.4.物料搬运
施工承商须依工程进度安排，依核发之施工单及『领料单』向物料管理人员领取所需物料。
无论于任何状况下皆需穿戴手套，始准予碰触物料。
物料之包装及拆除均须在前述之洁净环境内进行。
任何施工物料于离开储存区或于施工区域内搬移前，皆需予以封住进出口两端。
任何施工物料不得任意置之于地板或地面上。
1.2.切管与预作处理
程序请参照附表4-3。
切管工具刃片需时常检视更换，以防钝化后影响施工品质。
切管工具须使用lathe-type之wheelcutter或附有alignment功能之特殊设计锯刀。
切管后之管末端须予以端面处理及去除毛边。
且施工侧需朝下，严禁碎屑进入管内。
切管或端面处理时须持续以1.5bars之GN2吹净，避免微粒子进入管内。
切管断面须符合原洁净物料规格，包括其管径、管厚及真圆度等。
已完成管路禁止垂直切管，若一定需要时，需通知MIC相关人员。
切管后之可用管件需记录其HeatingNo.于管件上，并分类放置待用，若达无法使用之状态，须视同废料处理并整理后交回物管人员处。
1.3.弯管施工
程序请参照附表。
1/2”以下管径可采弯管施工，若因现场因素无法执行，则一律使用Elbow施工。
弯管需使用合适之弯管器，不可使用手弯，除美观外也可降低微粒子产生。
弯管曲率至少以1/2”管路五倍弯曲率为原则，亦即如图号R003所示。
表4-4切管、预作程序
表4-5弯管程序
2.
管件施工
2.1.焊接施工
≦150A之PIPE一律使用可移动式自动轨道氩焊（Auto-OrbitalTIGWelding）技术施工。
>
150A之PIPE可使用移动式手动TIG（TungstenInertGaseous）设备技术施工。
焊接人员须认证许可后，始能执行焊接。
且焊接人员之认证须定期举行。
2.2.基本要求
所有焊接设备须合符洁净施工要求，且确保其设备运转良好性及施工精准度。
焊接使用之钨棒，须保持其端面洁净及品质。
量测钨棒间距时，须使用高精密准确度之工具，确保其精密度在0.002in内。
每次之焊接参数（purgetime、orificesize、purgeratesandinternalpressure）调整皆须予以记录。
Purge管路与与焊接原件接触时之管路皆须为SUS管路。
≧15A之管路可采管件先行点焊方式施工。
惟点焊时，须保持施工管路为正压Purge状态且须以Arc焊机进行点焊。
焊接方式须采内压焊接法。
2.2.1.焊道特性要求
焊接时，焊道不可重复烧焊，烧焊失败时需切除后重新施作。
施工承商每焊结一口时即应填写于附件之『焊接记录表』，并于焊道处标示签名。
同一条管路，若开始进行焊接，即须于当日内完成，不可延至隔日。
焊道规格要求请参见附表4-6。
Discontinuly
BulkGases
SpecialtyGas
≦3/8”
≧1/2”
<
3/4”
NA
穿透要求
完全穿透
内焊道宽度要求
1.5t
Concavity
10%t
20%t
Convexity
Misalignment
BeadWidth
1t>
3t
Discoloration（Inner）
Discoloration（Outer）
LightBlueHalo
LightBrownHalo
BeadMeander
20%ofbeadwidth
表4-6焊道规格要求
2.2.2.SamplePiece
施工承商需于工程开始前于现场制作二份各种不同管径之标准焊道样品，以供未来现场目视检察比对之标准。
因每次焊接条件诸如：
电源、管材材质、批号等，皆会影响焊接品质。
故必须于施工条件更换后，欲再进行焊接前，制作SampleCoupons。
SampleCoupons需外观整齐，焊道大小适中，内部不可有氧化现象，焊道需均匀且微凸，不可凹陷。
附表4-7为SampleCoupons之要求时机。
要求时机
规格
每日焊接开始前
TubetoTube
每日焊接结束
Purge量不足
BendonTube
钨棒更换
焊接未持续（中断超过1hr）
焊接管径变更
PurgeGas管路变更
电源更替
表4-7SampleCoupons要求时机表
2.2.3.管路Purge
配管焊接时，所有临时管路须为SUSEP级。
Purge管路组件须包括Valve、Regulator、FilterandPurifier…。
Purge管路的设置，须保持焊接管路及组件之充分purge，未有deadspace状态。
Pre-Purging的时间应充分的使管路焊接区域内之H2O及O2<
100ppb。
焊接程序后应立即执行Post-Purging，使焊接区内之温度降至200℃以下。
焊接完成后应立即以铁刷刷除外焊道之微氧化层，施作时，应避免其施作不当，反产生工作区域内之微粒子污染。
2.2.4.焊接钨棒
焊接钨棒须避免其操受污染，且予以定期更换。
基本上建议，至少每焊接25次时须更换之。
2.3.施工检视
2.3.1.焊道检视
所有之焊道皆须100%外观检视，视其是否合符前述表4-6之焊道规格。
至少须有20%以上之焊道，以内视镜方式检视其焊道，且使用工具须避免伤害其管件内面。
2.3.2.尺寸及参数检视
尺寸及参数检视须依据下述执行
Ø
检视区域须与管件组装区域相同洁净等级内进行。
检视其施工图面与完成管件是否符合，不合者须退回处理。
利用各式合格工具检视其尺寸、角度等施作品质是否合格。
检视所有焊道之外观及尽可能使用内视镜检视内焊道品质，若因客观环境无法执行时，须以采样方式切下焊道检视其是否合符要求。
合格之预置管件须予以标示或包装。
不合格品须立即改善，且封闭系统若必要采取切管动作时，须双边purge。
2.4.盘面施工规则
工程若遇主管路尺寸较盘面进管尺寸为大时，一律规定须于进盘面前60cm始缩管，不可提前缩小管路。
盘面之架设，须依施工图面进行。
若有困难，须立即向本公司现场人员反应以谋求解决方式。
2.5.其它施工规则
管路标示贴纸其方向、字体、种类需正确不可马虎了事。
黏贴样式见附件之图号T001~T007。
图号R011及附表4-8则为管路支撑及标示间距表。
各式SWG及VCR接头不可先行锁紧，仅需稍加施力，以免破坏管材。
机台及Take-Off点所附之管塞接头，请放置于现场不得收之。
管路施工，水平垂直误差应小于5%，如有不符，即需重新施作。
不慎掉于地上之Gasket须立即予以拋弃之。
Size
Distance
1/2”
2m
15A~50A
3m
50A
4m
表4-8管路支撑及标示
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