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其中有调幅、调频等等之说。

同样在机电一体化的长度测量技术中如光栅和感应同步器等传感器里多半是采用相位调制方法来进行长度测量的。

尤其是感应同步器和容栅传感器有非常相似之处。

在感应同步器里,滑尺上有两组激磁绕组,相隔一定的距离,分别施加正弦和余弦电压,它们在定尺绕组上产生总感应电势的初相位中包含了与时间无关的机械位移量x的信息。

所不同的是容栅传感器采用了电容和分别施加8路相位差以45度递增的正弦电压而已。

这种正弦电压是由时钟振荡器产生的方波经分频器产生周期性的畸形方波,其基波成分就是正弦波了。

如果没有交流信号作为载波,那么机械位移信息就很难传送。

因此在这里只须用交流电路中的相量复数计算方法就足够了,不过式子太长了一些,有时分子和分母要分开来写。

既然是调相,那么鉴相器就是解调器了。

当然还有辨别x的方向功能等都包括在电路中了。

本文主要分析电容栅板传感器测量位移的原理。

 

数显卡尺的结构

图1是卡尺结构的示意图。

主要的传感器元件是定栅2,它粘贴在尺身上。

动栅5,它与尺框相连结,并且随尺框一起移动。

动定栅之间的电容量随着其相对位移依一定规律而变化。

在6组8路驱动交流电压的作用下,在接收板输出一个交流电压信号,其相位是机械位移量x的函数。

它在一定精度下呈近似线性函数。

从而在这种调相和解调过程中实现长度精确计量,并在液晶显示屏中显示读数。

二.测量电路原理

如下图所示,电路板中有时钟振荡器,产生时钟脉冲方波,所谓分频,就是周期性地拉宽方波的峰或谷,产生畸形方波,其基波即为正弦波。

有8个分路,每一路施加正弦电压初相位以45度角(π/4)的增量依次递增,此8路信号施加给每组中的8条动栅板条,共6组(对应48条动栅)。

接收板输出的信号也是正弦波电压,其频率与输入信号相同,其初相角则是动栅机械位移的函数,近似线性变化。

由位移x产生输出的

交流电压相位与x的关系呈近似的线性变化,而输出的相位值通过集成电路转换为数字显示,显示的数字就是位移值了。

接下一篇

(2)

二。

电路原理(集成电路芯片)

三.动栅与定栅尺寸和它们之间的相互位置(图中数字单位为mm)

此外,接收板r是与定栅耦合的,它长25.4mm。

因定栅节距为5.08mm,故25.4/5.08=5,就是说,接收板与5节定栅相耦合。

这些数据将在计算式中用到,特此强调一下。

四.容栅传感器中机械结构与电信号传送过程

图中e1(t),e2(t)......e8(t)表示由时钟脉冲产生的8路交流电压,其初相角依次以45度角递增。

分别作用到相邻的8块动栅板上。

图中只表示其中的第一组,其余各组和第一组相同。

即:

动栅板共有6组(6x8=48条),接收板长25.4对应着5组耦合。

接下一篇

五.8路驱动电压源--周期畸形方波

设τ为5。

5μsec,即时钟脉冲周期。

则畸形方波周期T=512τ.(图中的多数小方波周期估计为16τ)

前半周期凸畸形,后半周期为凹畸形。

其基波为正弦波,依次以45度初相位递增:

六.各路驱动电压相位矢量图

七.等效电路图

八.各动栅电容随位移x变化图

开始计算

平行平板电容计算的一般公式

1)Cr--接收板对一块定栅的耦合电容,介质为空气+涤纶,其厚度各为0.1mm,共0.2mm:

2)C0……定栅板与尺身(地)之间的电容。

因为定栅覆箔板厚度为0。

35mm,其基材为环氧树脂,故有

3)Cro……接收板与屏蔽接地板之间的电容。

由于屏蔽板尺寸与定栅板相同,其板面间距离也相同

4)C1(x),C2(x)……至C8(x)各组每块动栅板与定栅之间的电容.它们是机械位移量x的函数,有时为零,有时为斜

函数Kx,有时为最大值KW(常数)。

如图8所示,由于是不连续的折线,必须分段计算各对应时刻的电容值。

当动栅条完全与定栅耦合时,

设每毫米宽对应的动栅与定栅耦合电容为K,则有

K=Ci(x)max/0.635==1.37397x10^(-12)法/mm

W=0.635mm本来是动栅节距,为了计算方便,用以代替板宽,误差不会很大。

为了简化,用Ci代替Ci(x).由图8可以看出:

i. 

当0≤x≤W时各条动栅的电容值分别是

C1=Kx

C2=C3=C4=KW

C5=K(W-x)

C6=C7=C8=0

ii. 

当W≤x≤2W时

C1=C2=C3=KW

C4=K(2W-x)

C5=C6=C7=0

C8=K(x-W)

iii. 

当2W≤x≤3W时

C8=C1=C2=KW

C3=K(3W-x)

C4=C5=C6=0

C7=K(x-2W)

iv. 

当3W≤x≤4W时

C7=C8=C1=KW

C2=K(4W-x)

C3=C4=C5=0

C6=K(x-3W)

其余依此类推。

由图4还可以看到,在x为任何值时,动栅上的48块极板中总有分一部分与地(屏蔽板)形成电容。

相应的输入信号直接入地,对传感器的输出信号不产生影响。

在计算时可把该电容当作零。

动栅上共有6组极板,各组的工作情况都是相同的,所以可取其中一组来进行分析。

每组8块发射极板,各自收到从驱动电路送来的方波信号或基波正弦信号e1(t)、e2(t)…e8(t),叫做8路驱动信号。

它们依次以45度相位差递增。

驱动信号的形状比较特别,也有人称之为标记脉冲的(图5)。

此信号之周期T=512τ=2816μ秒。

在1/8T开始处较宽的凸波,而在后1/2T开始处又有较宽的凹波,这样在整个T周期内的基波就是正弦信号了。

因此就把它当作正弦波了。

实际上测出的波形也是正弦波。

所以把它们写作e1(t)=Esin(ωt),e2(t)=Esin(ωt+π/4),e3(t)=Esin(ωt+π/2)…….它们就是我们计算的交流电压源,每条电路都是交流电路,完全可以用克希霍夫第一、第二定律写出等效电路中的电流和电压方程,它们是:

C2=C3

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