Cascade探针台介绍资料下载.pdf

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Sunplus中心区：

中心区：

UESTCXi-anJTUXiEUInst.55thMicrosystemInst.Inst.Tech.PhysicsFairchildBYDSupertexHK.etc.Xi-anEULanzhouUniv.Inst.24,29SMICNS.etc.SMIC.etc.ESSUNCascade客户分布客户分布C产品简介产品简介ESSUNCascade产品简介产品简介ascadeMicrotechCaMUSSicroTecSUMiESSUNCascade公司简介公司简介深圳易商公司简介深圳易商公司简介探针台介探针台介Cascade探针台介探针台介绍绍探针台集成系统实例探针台集成系统实例ESSUN易商易商公司简介公司简介易商易商公司简介公司简介易商公司背景介绍易商公司背景介绍易商站点分布易商站点分布易商站点分布易商站点分布易商产品介绍易商产品介绍易商市场占有易商市场占有易商市场占有易商市场占有易商公司背景易商公司背景ESSUN深圳市易商仪器有限公司（ESSUN）专业从事仪器仪表及易商公司背景易商公司背景深圳市易商仪器有限公司（）专从事仪器仪表及微波元器件的销售、租赁、技术服务和测试系统设计。

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电磁屏蔽专利技术电磁屏蔽专利技术业内唯一低温不结霜探针探针：

探针探针：

满足fA级漏电流测试实现10000V电压的测量Chuck：

实现10,000V电压的测量完成500G器件测量Chuck：

区别于传统，采用以微孔吸附模式AtChkAutoChuckSit120008英寸英寸半自动晶圆探针台半自动晶圆探针台ESSUNSummit120008英寸英寸半自动晶圆探针台半自动晶圆探针台提供高性能在片测试并具提供高性能在片测试，并具有200mm的晶圆探测能力可用于器件的RF&

DC特性测可用于器件的RF&

DC特性测试、晶圆级可靠性测试、探针接触式测试、器件模型或针接触式测试、器件模型或者是良率测试等。

可提供的温度范围:

可提供的温度范围-60to200常温到300Tesla晶圆功率器件特性分析仪晶圆功率器件特性分析仪ESSUNTesla晶圆功率器件特性分析仪晶圆功率器件特性分析仪精确分析晶圆级大功率器件的性能支持55200的测试温度支持-55to200的测试温度最新设计的专利Chuck保证您超薄Wafer的吸附Wafer的吸附提供一个低噪声且全方面保护的封闭的测试环境拥有功率控制能力最大电压1,100V（Triax）;

3,000V（Coax）最大电流60A（Pulsed）;

10A（DC）包含一个安全轻便的激光幕布系统最大电流60A（Pulsed）;

10A（DC）功率损耗100W/cm包含个安全轻便的激光幕布系统集成了Summit12000半自动探针台ELITE300300mm半自动晶圆探针台半自动晶圆探针台ESSUNELITE300300mm半自动晶圆探针台半自动晶圆探针台提供300mm高性能晶圆级器件的自动测试能力（12英寸）能够用于RF以及DC器件性能分析、晶圆级可靠性测试、探针接触式测试、器件模型或者是良率的提取。

器件模型或者是良率的提取。

可测试温度范围：

-60C到300CEdge-闪烁噪声测量系统闪烁噪声测量系统ESSUNEdge闪烁噪声测量系统闪烁噪声测量系统这是一个单用户解决方案。

它通过优化从探头到数据采集的整个测量路来满足您对闪烁噪声数据的精度可重复性和可靠性的要求路来满足您对闪烁噪声数据的精度，可重复性和可靠性的要求它包括：

一个ELITE或Summit12K探针台个ELITE或Summit12K探针台信号采集单元噪声处理单元系统电缆和SMU电缆闪烁噪声测量软件低噪声互连模块能够准确测量1Hzto40MHz的闪烁噪声提供前所未有的抗噪声性能提供前所未有的抗噪声性能能够实现1/F和DC参数测量模式的无缝过渡PMV150半自动真空探针半自动真空探针ESSUN应用：

应用：

MEMSMOEMS：

ii加速传感器RFMEMS开关气体加速器micro-mirrors光开关微型热辐射仪特点和优势：

特点和优势：

高真空条件下探测可达10-7mbar不同的晶圆衬底载体可以达到8英寸或者一个DIE高灵活性：

系统能够根据用户需求进行自定义测量范围广（I-V，C-V，HF）求进行自定义PAV150半自动真空探针半自动真空探针ESSUN应用应用MEMSMOEMSMEMS：

加速传感器RFMEMS开关气体加速器MOEMS：

micro-mirrors光开关气体加速器微型热辐射仪特点特点和和优势优势：

高灵活性：

系统能够根据用户需求进行自定义特点优势特点优势高真空条件下探测可达10-7mbar不同的晶圆衬底载体义测量范围广（I-V，C-V，HF）其他测试要求也能够不同的晶圆衬底载体以达到8英寸或者一个DIESUSS探针工作台其他测试要求也能够实现（例如运动分析）SUSS探针工作台手动真空探针台手动真空探针台PLV50ESSUN在高真空环境中物有所值的手动片上探测在高真空环境中物有所值的手动片上探测SUSS的PLV50是非常物有所值和操作简便的一款探针台同时能够满足晶圆可达到100mm的款探针台，同时能够满足晶圆可达到100mm的高价格测试方案。

特别满足实验室的设计要求，它提供的测试范围很广，包括I-V，C-V和HF测试而且能够在真空度达到105mbar时进行试，而且能够在真空度达到10-5mbar时进行测试。

应用灵活确保了DC和HF的测量。

MEMS和光电子工程测试。

应用应用应用应用：

MEMS/MOEMS加速传感器偏航率感测器/陀微型热辐射仪微镜/光开关偏航率感测器/陀仪传感器RF-MEMS开关，谐振器微镜/光开关下一代技术有机发光二极管振器气体加速器CascadeSummit12K探针台探针台ESSUNCascadeSummit12K探针台探针台Cd12K直流测试中的应用直流测试中的应用ESSUNCascade12K直流测试中的应用直流测试中的应用可以作为芯片的直流偏执使用可以作为芯片的直流偏执使用由于配置4个直流探针，可满足多端口器件测量端口器件测量MOSFETDIODEDIODERESCAPCAPCascade12K直流测试参数提取直流测试参数提取ESSUNCascade12K直流测试参数提取直流测试参数提取利用直流电缆，通过与半导体参数分析仪的接口相连即可实现晶圆级器件的测试与参数提取参数提取。

4.00E-025.00E-02MOS（ID_VG）1.00E-022.00E-023.00E-02ID0.00E+