QC质量改进成果发布资料模板PPT推荐.ppt

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改进型课题类型：

改进型1公司概况天津中环新光科技有限公司是天津中环电子信息集团有限公司的全资子公司，公司坐落于天津市西青微电子工业区。

公司由中环集团承接天津市科学技术委员会的二十项重大项目之一而成立，于2008年3月底注册。

一期工程中环集团投资3000万元人民币，市财政支持1000万人民币；

二期工程中环集团投资7000万人民币。

公司拥有雄厚的技术实力，技术团队由多名从事LED材料外延的中科院物理研究所外延专家领衔，带领多名博士、硕士进行外延以及芯片技术的研发和生产。

公司采用国际先进的美国进口外延炉（MOCVD设备）生产LED外延片。

现主要生产红、橙、黄以及黄绿光等各种规格的AlGaInP四元系（2英寸、4英寸）LED外延片和芯片。

2主要产品及生产设备3一、团队概况一、团队概况表1小组名称新光精进QC小组成立时间2012年3月本年度注册时间2013年3月小组注册编号XG-QC-130306课题注册时间2013年3月课题注册编号XG-QC-130306课题类型改进型小组人数10人活动时间2013.3-2013.8活动次数2次4姓名职称组内职务组内分工受TQC教育时间于坤鹏助工组长总策划60小时以上张荣勤高工技术顾问技术指导60小时以上白春玲技师组员具体实施50小时以上芮雅强助工组员具体实施50小时以上张金刚助工组员具体实施45小时以上崔娜技师组员具体实施45小时以上李家征助工组员具体实施45小时以上张茜技师组员具体实施40小时以上谢宝红技师组员具体实施40小时以上崔美筠技师组员具体实施40小时以上表25二、二、XG-C06HRXG-C06HR表面表面工艺改进课题介绍工艺改进课题介绍XG-C06HRXG-C06HR芯片特征图片芯片特征图片XG-C06HRXG-C06HR芯片表面工艺问题的发现芯片表面工艺问题的发现芯片宏观和芯片宏观和微观图片微观图片XG-C06HRXG-C06HR芯片是中环新光生产的一款特种红芯片是中环新光生产的一款特种红光光LEDLED芯片。

业内这种芯片的特点是产出率芯片。

业内这种芯片的特点是产出率高，打线粘合度强和功率均衡等。

而支撑这高，打线粘合度强和功率均衡等。

而支撑这些独有特点的关键之一就是些独有特点的关键之一就是“表面表面”。

表面有。

表面有划伤或缺失等不良导致产出率低；

表面不饱划伤或缺失等不良导致产出率低；

表面不饱满不圆润会导致客户使用时打线粘合度弱；

满不圆润会导致客户使用时打线粘合度弱；

表面形状不规则就会导致电流扩散不均匀，表面形状不规则就会导致电流扩散不均匀，从而影响输出光功率的均衡性。

由于工艺上从而影响输出光功率的均衡性。

由于工艺上的原因，的原因，XG-C06HRXG-C06HR这款产品制作过程中这款产品制作过程中“表表面面”的种种缺陷直接降低了该产品的产品质的种种缺陷直接降低了该产品的产品质量和产出数量。

由此产生了本次量和产出数量。

由此产生了本次QCQC课题。

课题。

6表3为了使活动顺利进行，团队制定了周密的活动计划7三、课题的选定过程三、课题的选定过程要改要改3.13.1选题及选定理由选题及选定理由8综合以上四种要素，无论从哪个评价项目来看，改善“表面不良”都是首当其冲的序号问题点现况说明评价项目总分顺位选定队能力急迫性重要性效果性1载片过程损伤在工件流动过程中，发生断裂和残损等情况，影响产出率。

2231822表面不良从图形工艺的开始到产品产出，各个环节都对表面有损伤，每一次损伤都会降低芯片的产出数量。

76482513电性不稳成品测试发现部分产品电性不稳定，电压和亮度有较大的波动性，影响同一款产品的稳定性。

123173表49四、现状调查四、现状调查序号不良项目不良率百分比累积百分比1电极不良37400K85%85%2外延缺陷1760K4%89%3发光区损伤2200K5%94%4残留胶体1320K3%97%5电极发黑440K1%98%6其他880K2%100%合计44000K100%2013201320132013年年年年2222月到月到月到月到3333月月月月2000200020002000片工件产出芯片表面不良统计概况片工件产出芯片表面不良统计概况片工件产出芯片表面不良统计概况片工件产出芯片表面不良统计概况表5要改要改要改要改1020132013年年年年22月到月到月到月到33月月月月100100片工件产出芯片电极不良统计概况片工件产出芯片电极不良统计概况片工件产出芯片电极不良统计概况片工件产出芯片电极不良统计概况要改要改要改要改11五、设定课题改善目标五、设定课题改善目标图图11图图图图表表表表数数数数值值值值以以以以1k1k1k1k为为为为单单单单位，位，位，位，1k1k1k1k等等等等于于于于一一一一千千千千颗颗颗颗12六、要因解析六、要因解析6.16.16.16.1工艺流程简介工艺流程简介工艺流程简介工艺流程简介匀胶匀胶显影显影贴膜贴膜合金合金刻蚀刻蚀曝光曝光去胶去胶切割切割镜检镜检图图图图2222136.2原因分析电极不良净服穿戴不整齐净服穿戴不整齐净服穿戴不整齐净服穿戴不整齐贴膜机划伤电极贴膜机划伤电极贴膜机划伤电极贴膜机划伤电极镜检造成划镜检造成划镜检造成划镜检造成划伤伤伤伤取放片方取放片方取放片方取放片方法有问题法有问题法有问题法有问题匀胶台转速异常匀胶台转速异常匀胶台转速异常匀胶台转速异常导致胶膜不均导致胶膜不均导致胶膜不均导致胶膜不均吹干方法不吹干方法不吹干方法不吹干方法不合理合理合理合理入职培训没做好入职培训没做好入职培训没做好入职培训没做好工件运输方工件运输方工件运输方工件运输方式错误导致式错误导致式错误导致式错误导致电极划伤电极划伤电极划伤电极划伤试剂溶液有质量试剂溶液有质量试剂溶液有质量试剂溶液有质量问题导致过刻蚀问题导致过刻蚀问题导致过刻蚀问题导致过刻蚀光刻胶质量光刻胶质量光刻胶质量光刻胶质量问题导致掩问题导致掩问题导致掩问题导致掩胶脱落胶脱落胶脱落胶脱落气压轴偏气压轴偏气压轴偏气压轴偏离导致粘离导致粘离导致粘离导致粘胶胶胶胶掩模板损掩模板损掩模板损掩模板损伤导致电伤导致电伤导致电伤导致电极损伤极损伤极损伤极损伤温湿度不均衡导温湿度不均衡导温湿度不均衡导温湿度不均衡导致电极脱落致电极脱落致电极脱落致电极脱落治具不干净导致治具不干净导致治具不干净导致治具不干净导致电极污染电极污染电极污染电极污染压紧面板过硬导压紧面板过硬导压紧面板过硬导压紧面板过硬导致曝光不均致曝光不均致曝光不均致曝光不均图图图图3333未按照标准作业未按照标准作业未按照标准作业未按照标准作业指导作业指导作业指导作业指导作业146.36.3要因确认要因确认序号可能的末端因素调查确认标准要求负责人完成时间1净服穿戴不整齐1，回放2013年2-3月间的通道录像，是否在进入车间时已经穿戴整齐；

2，回放2013年2-3月间的车间录像，员工是否穿着整洁，戴口罩，戴手套。

进入车间钱穿戴整齐，进入工艺间工作时戴口罩和手套，人体裸露面积小于0.025于坤鹏2013年4月2日2入职培训没做好1，调查各相关站别员工入职培训记录和上岗前测评成绩；

2，重新测评相关站别员工是否符合上岗条件。

1，相关岗位人员入职前进行相关培训并且测评成绩合格；

2，实时测评成绩合格于坤鹏2013年4月4日3未按照标准作业指导作业对照各站*站工艺指导书普查各工艺站工作过程。

工艺契合度系数a=（工艺动作/工艺要求）90%张金刚2013年4月5日4贴膜机划伤电极回查贴膜后检查记录，检查贴膜机表面是否有破损污染等情况。

记录达到98%面积电极合格，贴膜机表面无任何磨损和污染芮雅强2013年4月5日5匀胶台转速异常导致胶膜不均测试匀胶太转速是否按照工艺要求逐步稳定在特定值上。

电机启动后5秒内达到4000转/分钟，持续4000转/分钟50秒，最后5秒内降至0转/秒崔娜2013年4月6日15序号可能的末端因素调查确认标准要求负责人完成时间6掩模板损伤导致电极损伤检查掩模板在10倍显微镜视场下有多少缺陷10倍显微镜，每个视场下总电极缺陷个数平均小于2个崔娜2013年4月7日7压紧面板过硬导致曝光不均匀保证工件不被压断的情况下将托盘最大限度与工件压紧，观察工件与光刻板之间是否有缝隙没有任何缝隙白春玲2013年4月8日8气压轴偏离导致粘胶测试气压轴八个固定端子是否平齐八个端子高度差小于0.02毫米白春玲2013年4月9日9光刻胶质量问题导致掩胶脱落抽取现场光刻胶样本，去相关部门检验粘度=30mPa*s谢宝红2013年4月11日10显影液问题导致显影不完全用现场显影液制备若干硅片试验片，统计不良单片不良颗粒数小于1000颗于坤鹏2013年4月11日11工件运输方式错误导致工件电极划伤检查工件在传输过程中的载体，看是否有对电极接触性的划伤无划伤李家征2013年4月12日16序号可能的末端因素调查确认标准要求负责人完成时间6掩模板损伤导致电极损伤检查掩模板在10倍显微镜视场下有多少缺陷10倍显微镜，每个视场下总电极缺陷个数平均小于2个崔娜2013年4月7日12吹干方法不合理导致电极变黑检查吹干工艺，看是否有些操作步骤会损伤到工件或吹干过程中有污染残留损伤仅限于定位端电极损伤小于500颗，无任何污染残留崔美筠2013年4月12日13取放片方法有问题检查取片时是否损伤电极或污染电极无损伤，无污染李家征2013年4月13日14镜检造成电极不良及损失检查镜检操作有无对电极的划伤和损失无划伤，无损失谢宝红2013年4月14日15治具不干净导致电极污染检查现场所有在用和备用治具，干净无污染张茜2013年4月15日16温湿度不均衡导致电极脱落调用2013年2-3月温湿度记录，检查是否均符合温湿度标准温度223，相对湿度30%-70%于坤鹏2013年4月16日17要因确认

（一）净服穿戴不整齐净服穿戴不整齐净服穿戴不整齐净服穿戴不整齐调用进厂摄像调用进厂摄像调用进厂摄像调用进厂摄像扫描记录，检扫描记录，检扫描记录，检扫描记录，检查净服、防尘查净服、防尘查净服、防尘查净服、防尘鞋、人体裸露鞋、人体裸露鞋、人体裸露鞋、人体裸露面积、口罩、面积、口罩、面积、口罩、面积、口罩、手套是否达到手套是否达到手套是否达到手套是否达到进厂区标准，进厂区标准，进厂区标准，进厂区标准，不符合标准的不符合标准的不符合标准的不符合标准的是否有是否有是否有是否有ALARM,ALARM,ALARM,ALARM,如果有如果有如果有如果有ALARMALARMALARMALARM是否及时制止是否及时制止是否及时制止是否及时制止并处理为并处理为并处理为并处理为OKOKOKOK。

图表显示监控严密全部净图表显示监控严密全部净图表显示监控严密全部净图表显示监控严密全部净服穿戴整洁服穿戴整洁服穿戴整洁服穿戴整洁18要因确认

（二）入职培训没做好入职培训没做好入职培训没做好入职培训没做好基本素基本素基本素基本素质筛选质筛选质筛选质筛选进厂进厂进厂进厂教育教育教育教育方向性方向性方向性方向性岗位培训岗位培训岗位培训岗位培训岗位分配岗位分配岗位分配岗位分配颁发颁发颁发颁发上岗资质上岗资质上岗资质上岗资质上岗工作上岗工作上岗工作上岗工作一级筛选一级筛选一级筛选一级筛选通过通过通过通过二级筛选二级筛选二级筛选二级筛选通过通过通过通过考试考试考试考试合格合格合格合格简历简历简历简历符合符合符合符合1111，安全教育，安全教育，安全教育，安全教育2222，员工守则，员工守则，员工守则，员工守则3333，质量观念，质量观念，质量观念，质量观念4444，岗位认知，岗位认知，岗位认知，岗位认知5555，职业健康，职业健康，职业健康，职业健康1111，匀胶站标准作业，匀胶站标准作业，匀胶站标准作业，匀胶站标准作业2222，曝光站标准作业，曝光站标准作业，曝光站标准作业，曝光站标准作业3333，贴膜站标准作业