无尘室管理要点.docx

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无尘室管理要点

無塵室之管理

一般注意事項

1.普通注意事項

為保持無塵室的清淨度，必須經常維持正常的氣流狀態。

因此，負責無塵室操作

之專門人員必須經常檢查並防止會擾亂氣流之一切備品、物品等被帶進無塵室內。

但作業上必須之物品或設備盡量維持最少限度，並盡量配置在不會擾亂氣流之位置

為原則。

2.傢俱等設備用之材料

無塵室內使用之設備材料，盡量使用不會產生塵粒之不鏽鋼或有適當之表面處理；耐磨性佳之鋼品、鋁製品及優良塑膠製品等。

3.構造

上述設備等之構造，盡量採用構造簡單且與其他物品接觸或磨擦時不會產生磨耗粉質，在各角部份要圓滑，避免有突出之角。

4.傢俱等設備之維修

　必須在無塵室內用之傢俱等設備必須保持乾淨，有必要補修時立即修理，經常保持良好狀態，修理困難者立即廢棄不用而換新。

桌子

　　不得不用木製者，表面須施EPOXY樹脂加工以防止發塵。

要用簡單的桌子不能有抽屜、腳板，及側面板等。

桌腳下端應套上橡膠或塑膠套。

椅子

　　盡量採用沒有背及腳踏板之椅子，椅腳之高度以坐下來腳適當地接觸到地板為原則，萬一非用高椅子不可時要準備腳踏台。

椅腳下端應裝有塑膠製之小輪子或應套上橡膠套。

為避免產生塵料盡量不使用椅墊（CUSHION）為原則，萬一不得不用椅墊時要用發塵性少之材料完全封蓋，因為椅墊容易損傷而在損傷之狀態下使用易產塵粒，故須特別注意。

搬運箱

　　有關原料、半製品或產生之搬運箱及作業上須要之工具箱均須用特製之專用箱，須附蓋，下面裝有橡膠或塑膠者。

容易清潔之構造，並須定期檢查及清潔。

搬運車

　　構造簡單為原則，不要使用可摺疊式。

放置物品之表面材料特別採用耐磨性高者。

車輪之軸承必須用充填黃油密封式滾珠軸承，並用耐磨性高之橡膠輪胎。

重量輕並容易清潔之構造。

須做定期檢查，維修及清潔。

筆記用品

1.紙類

要用特別加工，發塵量少（或全無）之紙類。

如需要帶進以一般紙類印刷之文件時需要放在透明之塑膠袋中。

或有防塵處理之紙

類印刷者。

鉛筆、橡皮擦、自來水筆、蠟筆、普通紙類均不能帶進無塵室內。

筆記

時要用塑膠做的原子筆，無塵紙或塑膠紙類。

告示板、黑板類

　　普通黑板及粉筆當然不能使用，必要時在準清淨室內（低一級之清淨室）用白板，FELTPEN，清淨室專用之擦布。

告示板要用自立式，並附有輪子可移動式者，並放置在準清淨室。

告示板之構造為不易聚積灰塵或其他污染物並容易清潔者。

告示用之紙當然要用如上項規定之專用紙並告示愈少愈佳。

垃圾箱

　　垃圾箱不能放置在比清淨度CLASS5清潔之無塵室內。

無塵室內之製造及有關設備

製造及有關設備之選定

1.要選用發塵性少之設備，尤其須注意活動部份之發塵，由於製造、處理而產生之粒子及使用材料。

2.製造及有有關設備之構造

3.容易聚積灰塵粒子或會散發塵粒之構造，盡量避免之。

4.生產用之水、瓦斯、藥品等乃為污染之原因，故應配備過濾裝置。

製造及有關設備之配置及裝設

1.當計劃如何配置各種設備時應事先考慮不易聚積塵粒或污染物質之配置方法，並容易清潔為原則。

2.如真空泵等易產生污染物質之設備，應裝設在無塵室外，但必須裝設在無塵室內時應有適當的覆蓋並做局部排氣。

3.當配置瓦斯管、給水管、電氣配管等能源供給設備時，其構造須考慮到容易清掃，不易聚積污染物為要。

或考慮其他方法如設管道間或暗溝等。

4.與製造設備連接之地方也須要慎密考慮。

如作業檯之配線等可利用中空之腳柱，配線在其中，盡量避免露出在外面而使配管複雜，最好內藏於有平坦之表面之包圍內。

製造及有關設備使用上應注意事項

1.製造及有關設備，有時免聚積塵粒，故要做定期之清潔。

2.磨耗之機件，皮帶等會產生塵粒，故要定期更換。

3.室內之溫濕度控制，尤其對濕度之控制要特別注意；因空調設備如運轉、停機頻繁時

4.設備本身會結露而生銹，因此產生塵粒，故須特別小心。

製造及有關設備之維護

1.當維修有關設備其產生之塵粒會影響產品，故盡量搬到無塵室外修理。

2.對於修理業者有必要讓他們熟知，並遵守3.3項（進出無塵室人員及在室內應注意事）。

3.如能在靠近無塵室設立一間維護專用之工作房仍為無塵室管理上最理想的規劃。

4.在無塵室內使用之工具原則上要做為無塵室內專用者，除特別理由之外不可帶出無塵室外。

無塵室運轉設施

　　無塵室用之裝置、設備、配件等均能維持良好之無塵室清淨者乃最重要之條件。

過濾網（FILTER）

1.預慮網或稱初級過慮網（PRE-FILTER）

（1）目的

預慮是為延長ULPA（ULTRALOWPENETRATIONAIR）及HEPA（HIGH-

EFFICIENCYPARTICULATEAIR）過慮網之使用壽命為目的。

以過濾外氣中之粗

塵粒及室內產生之較大塵粒為使命。

（2）選用

　　隨使用環境及使用目的裝設中性能或高性能之過慮網組合1段或2段使用之。

（3）管理

　　裝在HEPA或ULPAFILTER前之預慮網，每個用1次或1次以上做檢查，污染很

　　厲害者用水洗（水洗式）或更換。

纖維質慮網如有破損者應換新。

2.終端過慮網（FINALFILTER）

（1）目的

按無塵室清淨度條件之要求過慮0.3µm以上或0.1µm以上之塵粒子為目的。

（2）選用

　　按使用目的考慮粒徑（PARTICLESIZE）無塵室清淨度、維護管理、壓力損失等各

條件選定HEPAFILTER或ULPAFILTER。

（3）管理

　　依照5.5.2（風速）規定測量風速時檢查有無風速減少、風車皮帶鬆弛、送風機

系統或終端FILTER裝配迫緊（PACKING）之鬆弛、過慮網阻塞，查其原因並

調整之。

填墊材料或封漏材料老化時會產生空氣洩漏，故要做定時檢查及查漏

工作。

　　依據（7）方法做終端過慮網之查漏試驗發現有漏時應鎖緊螺絲或換新填料，確

定無漏為止。

　　　裝設過慮網後每年最少2次檢查FILTER本體週邊有無漏出污染空氣。

　　　發現阻塞很厲害之ULPA或HEPAFILTER應立即更換。

　空氣洗塵室（AIRSHOWER）

1.目的

作業人員或物品要進入無塵室以前先以過HEPAFILTER之高速清淨空氣將附著於人

體，衣服或物品表面之污物吹落並吸收之設備。

2.選用

空氣洗塵室進口及出口之間不能同時開啟，同時規定時間之空氣吹出未完前通往無

塵室之門不能開啟，也就是門之開閉要自動式或電磁LOCK式。

但逢到臨時緊急情

況時也能隨意打開者。

根據對人及對物之各別用途或每次使用之人數而決定採用之大小或型式，也應考慮

到預備室（前室）與無塵室之配列選用直進型或L型。

3.管理

遵照廠商供給之使用手冊（MANUAL）做維修工作，惟吹出口，內壁及底板須每天

清掃一次。

至於吹出風速及空氣清淨度監視工作要依照5.5（無塵室監視工作）項之

規定實施。

傳遞箱（PASSBOX）

1.目的

當物品（含材料、產品或半製品）進入無塵室及防止因規定風量以上之流失而形成無塵室內壓之降下之裝置。

2.選用

PASSBOX進出口門不可同時開啓，應裝有連鎖裝置（INTERLOCKSTSTEM）。

底

板須有耐磨性且平滑而不產生塵粒為原則。

開閉很頻繁時應裝設附HEPAFILTER之空氣門（AIRCURTAIN）以防止外氣之侵入，

同時限制無塵室內清淨空氣之流出外面。

3.管理

PASSBOX內部應在每天開工前依照規定之方法擦拭清潔。

真空吸塵器

1.目的

吸取無塵室內地板、設備上附著之塵粒或液體以防止這些塵粒之再飛散以達到清潔目的之

裝置。

2.選用

不可擾亂室內氣流很厲者。

移動式真空吸塵器須內藏HDPAFILTER且乾濕兩用者，並自身不會產牛塵粒。

3.管理

無塵室用真空吸塵器應為無塵室內專用者，不可在無塵室使用，不用時塵於置在次級無塵

室中，每次使用後應清掃吸管等吸氣系統。

氣闡（緩衝室）（AIRLOCK）（作業人員之退出用）

1.目的

AIRLOCK是作業人員退出無塵室時使用，目的是防止一定量之空氣流出外面。

2.選用

AIRLOCK之清淨度及氣壓比無塵室低但比鄰接之房間高為原則。

無塵室之間最好是採用密閉型及自動開閉式。

入口及出口門應裝連鎖裝置（INTER-LOCK）

防止同時開，或裝指示燈，可以顯示出口門開著。

3.管理

AIRLOCK內不可放置任何物品。

應按照規定之方法做定期清潔。

依據5.5（無塵室內監視方法）之規定定期測試室內壓力

及塵埃濃定。

預備定（AIRLOCK）（物品搬入及搬出用）

※AIRLOCK：

氣壓平衡阻隔室。

1.目的

不能通過傳遞箱（PASSBOX）之較大物品，甚至出入時不可使無塵室之氣壓下降，或由於流失之空氣量太大以致無塵室內之清淨度降低，或擾亂正常氣流，此AIRLOCK有緩衝之用。

入口及出口門應裝連鎖裝置（interlock）防止兩個門同時開，或裝指示燈可顯示出口門是開著之狀態。

若要搬入相當大之物品時須隨時可以監視物品表面之清淨度為要。

如上述物品沒有達到規定之清淨度，必須附備清淨裝置，因此視其需要，要裝有清淨裝置之AIRLOCK。

2.選用

3.管理

原則上AIRLOCK內不可放置任何物品。

定期按照規定之方法做地面、壁、門、天花板之清潔工作。

並依照（無塵室內之監視方法）之規定定期測試室內壓力及清淨度。

確認有無維持規定之條件。

　對無塵室之器材搬入與搬出

一般而言應遵守下列5項原則：

1.搬入無塵室之器材一另件、備品、工具、設備應維持在最小限度，並要完全清潔後始可搬入。

2.已清潔並在完全清淨狀態下被保管之器材應放入密閉之容器，然要搬入前應先清潔容器外表。

或用雙重包裝時搬入前提時）先取開外層包裝後再搬入也可以。

3.為防止搬入器材至無塵室因門之開閉而產生擾亂室入氣流而影響清淨氷，故盡量利用傳遞箱（PASSBOX）或預備室（AIRLOCKROOM）。

4.要搬比較大型之器材進入無塵室時，為避免影響到無塵室內之氣流狀態及清淨，盡量利用預備室（AIRLOCKROOM），並避免在作業中搬入上述大型器材。

5.須要保持良好清淨狀態之中間製品，等要搬出無塵室時，須經過傳遞箱（PASSBOX），以防止外面空氣之侵入，及門之開閉時產生之室內氣流之流失與發塵至最小限度。

搬器材進入無塵室之清潔方法

1.搬入器材之清潔方法須依污染物之種類，物品之形狀、構造、材料、所要求之清淨度而由專業人員決定。

（a）搬大型物品進入無塵室時事先在一般環境之污染區域以壓縮空氣或普通真空吸塵器做初次清潔，然後在次清淨室使用無塵室內專用真空吸塵器或以擦拭方法施以必要之清潔。

（b）無塵室內用之所有小物品應遵照專業人員指示在次清淨室內依照計劃之時間，以擦拭、或超音波洗滌方法完全清潔後放入經清潔之搬運箱搬入。

2.有必要在無塵室內再行清潔時，則在無塵室內裝設清潔用設備，並對此設備施以局部排氣以免污染室內。

　無塵室至監（MONITORINGINCLEANROOM）

　氣流

1.無塵室內之氣流形式（AIRFLOWPATTERN）是否符合設計之要求，須做氣流測試確認。

2.氣流測試最好採用污染無塵室之可能性較少之塔夫特（TUFTMETHOD）法。

3.氣流測試原則上由專業人員施行之。

4.氣流測試應在專業人員決定之作業區域及容產生亂流之位置施行，每年最少做1次並記錄結果。

5.專業人員應將測試記錄結果與設計值做比較，檢討並判斷現狀是否符會設計條件。

　風速

1.在無塵室內