二铜作业指导书Word格式文档下载.docx
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4.1物料
铜球、铅锡球、H2SO4、烷基磺酸、缎面锡添加剂、酸铜光泽剂、SPS、HCL、酸性清洁剂、硫酸铜、烷基磺酸锡、烷基磺酸铅
4.2工具
量杯、胶手套、温度计
5、作业流程及说明：
5.1作业流程
收到生产计划编排及流程卡→准备工作→装板→电Cu/T/L→质量检查→收板
5.2流程说明
操作过程
操作要点
操作要求
1、准备工作
1.检查各药液,水缸的液位及温度
2.开启过滤、摇摆,打气,根据药液温度决定是否开冷却系统
3.开水洗至适当流量
4.检查所有挂具是否良好
1.温度.浓度在控制范围内
2.过滤良好,水洗干净
3.溢流水洗干净
4.夹具无破损
5.调整飞巴在正确位置
2.装板
1.将合格的待电镀板装于挂具上
1.待电镀板无擦花、冲不净,脱膜等现象
2.不可夹于线内
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3.前处理
1.开启自动开关,吊车将夹好的板放入除油缸内
2.出除油缸经二次水洗,微蚀后经二次水洗进酸洗缸
3.进入CU缸
1.除油时间5min
2.微蚀时间1min
4.电CuT/L
1.浸酸后直接放入电CU缸内
2.开整流器,按电镀指示调整电流
3.镀Cu后板,水洗干净进入镀T/L缸
4.开整流器,按电镀指示调整T/L缸电流
1.镀CU时间54min
镀T/L时间9min
5.取板
1.将镀后合格板转下工序
2.拆板后立即退膜蚀刻
1.无刮花及脱膜现象
2.戴手套卸板
6.QA检查
1.检查外观是否良好
2.做切片测CuT/L厚度
3.判断板的质量
1.镀层光亮无针孔,不上镀现象
2.镀层厚度达到MI要求
3.达到MI客户要求
6、操作方法与药液管理
6.1操作方法
，温度、浓度是否在控制范围内，机器设备运行是否正常
，再依次打开各电器电源开关，按二铜行车步骤表操作，检查吊车与计算机程序是否一致
，手不可触摸板面，两手拿板两边，检查板面有无异物正常方可上板
，必须插架，手套上不能沾酸性药液
6.2药液管理
6.2.1
缸名
控制范围
开缸药量
换缸频率
添加量
打气
过滤
温度
浸泡时间
酸性
除油
457:
10%±
2%
100L
60000ft2
2L/KSF
√
38℃±
2
5min
微蚀
SPS:
80±
20g/L
H2SO4:
2±
0.4%
68kg
25.5L
40000ft2
Cu>
25g/L
2kg/1000ft2
0.2L/1000ft2
28±
2℃
1’
酸预浸
5±
42.5L
1.5L/1000ft2
RT
电铜
CuSO4:
75±
10g/L
10.5±
1%
CL:
50±
20ppm
铜光泽剂:
124kg*8（11）173L*8（11）
200ml*8（11）
16.5L*8（11）
双氧化-活
性炭/年
碳芯过滤/月
拖缸/周
0.3L/1000AH
9.5L/1000FT2
54'
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磺酸预浸
MS-A:
5%
43L
依分析
电锡铅
120±
MS-Sn:
14±
3g/L
MS-pb:
6±
1.2g/L
铅锡添加
208L*2
77L*2
20L*2
66L*2
沉降处理/年
棉芯过滤/2周
铅锡添加剂:
0.5L/KAH
1.8L/KSF
26±
9'
6.2.2
缸名称
药水更换频率
过滤棉芯.碳芯,更换频率
除油缸
每2周更换一次
微蚀缸
每1周更换一次
跟CU离子含量而定（Cu2+<
25g/L）
浸酸
酸洗
铜缸
碳处理一年一次
每周一次
锡缸
锡:
备注:
正常做板每日24小时
镀锡水缸:
每周更换一次
如果做板的数量少可延长使用时间
7、注意事项
7.1缸液液位是否达到要求（板面全部浸入）
7.2过滤系统打气系统,振动器系统、摇摆系统是否良好
7.3各药水缸药水液成份是否符合要求,需查化验<
<
分析日报表>
>
7.4各药水缸药液温度是否符合操作要求
（1）清洁缸38℃±
2℃
（2）微蚀缸28±
2℃（3）电铜缸28±
7.5挂架及飞巴是否干净,铜槽之铜块是否足够,锡铅槽之锡铅块是否足够
7.6检查实际电流跟计算机显示电流是否一致
7.7检查板面是否有刮花.烧焦,铜粒等
7.8检查镀层是否分布均匀良好,孔内铜厚最少0.8mil
7.9自主检查合格首板送IPQC检查合格后才可批量生产
7.10每班更换胶手套
7.11停产超过24小时，需电解4小时
7.12每星期补加铜球、铅锡球一次并做电解8小时
8、相关表单
8.1生产日报表（FM-750405R01）
8.2设备一级保养点检表（FM-750203R01）
8.3首件/自主检查表（FM-7501E1501R01）
8.4制程条件查核表（FM-7501E1502R01）
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XXX电子有限公司
二铜行车步骤表
步骤
缸号
状态
缸号
备注
1
8-9
↑
22-33
一、程序：
1〈没有剥挂具〉
7
↓
21
二、镀铜54min
3
10
17
镀锡：
9min
4
18
周期：
4'
50"
5
15
—
6
三、飞巴位置：
11
1#、、8#、9#、10#
8
16
11#、15#、17#、22#～33#
9
13
20
12
14
19
22
23
24
25
26
27
28
29
30
31
32
注：
“↑”表示上升，“↓”表示下降；
“一”表示不作上下运动。
2〈没有剥挂具〉
二、镀铜66min
10min
5′45″
1#、8#、
9#、11#、15#、18#、22#～33#
4〈没有剥挂具〉
二、镀铜：
72'
35"
6'
30"
1#、7#、8#、、9#、11#、
15#、17#、22#、23#、24#、
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