二次配工程规范.docx
《二次配工程规范.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《二次配工程规范.docx（65页珍藏版）》请在冰豆网上搜索。
二次配工程规范
中緯積體電路（寧波）新建工程
氣體管線二次配工程規範
CONTENTSPAGES
1.
目的
為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉，且亦能維護HookUp二次配管施工之品質及作業安全。
本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準。
2.範圍
2.1.製程設備氣體管線Hook-up工程材料採購及管路安裝；Hook-up範圍，GN2、PN2、PO2、CDA自主管預留閥至機台內部接點（含支管），PH2、SiH4、SiH4/N2由氣體站氫氣純化器出口及SiH4、SiH4/N2氣瓶櫃出口接至機台（含VMB），其他特殊氣體自位於氣體房或Subfab之氣瓶櫃/架至機台內部接點（含VMB/VMP），其中必要的管線、管件及焊接所需氣體，均由承包商負責提供。
GN2、PN2、PO2各支管位置及預留take-off閥尺寸及數量，請參照”FAB棟一層大宗氣體二次配平面圖”（圖號SP-211）；各VMB/VMP位置，請參照”FAB棟一層特殊氣體二次配平面圖”（圖號SP-212）；氣體站至FAB間氣體管線，請參照”氣體站至FAB棟氣體二次配管線平面圖”（圖號SP-234）；GN2、PN2、PO2、CDA自take-off閥至機台間所需裝設之閥件，請參照”SP-2二次配管詳圖”（圖號SP-231）；而take-off閥及VMB/VMP與機台銜接點等相關資料，請參照附件一”Bulkgastake-offlist”、附件二”SpecialtygasVMB/VMPlist”及附件三”CDAtake-offlist”。
承包商需根據該表資料，設計至機台管線之路徑。
2.2.前項氣體管線Hook-up工程之管路細部設計、施工圖繪製、ISO圖繪製（Auto2000或以上版本圖檔予顧問及業主）、安裝後洩漏偵測、各項不純物量測、訊號測試、材料存放及廢料清潔等雜項工程。
其中施工圖及ISO圖面，需依照機台用量流程圖（P&ID）及機台設備外觀圖繪製，並配合材料明細表供業主確認。
2.3.本項工程為連工帶料施工，並包含施工中所需之施工工具、施工設備、無塵服、安全防護器具、管支撐及雜項消耗等，均由承包商負責。
2.4.配合”二次配工程說明”（規範標號NS-SP001）要求所需各項雜項費用。
2.5.所有管路標示，管路標示依照”二次配工程說明”辦理。
2.6.所有管路防震固定支撐架之安裝定位。
2.7.高架地板開孔及收邊之工程發包、請款，切割區域管理。
2.8.氣體站至FAB間管線所需管橋由業主提供，承包商需負責依業主指示規劃氣體管線路徑，並負責安裝所需管夾等固定裝置。
3.文件送審
文件名稱
投標階段
（3份）
設計階段
（5份）
竣工階段
（5份）
報價表（Quotationform）
X
專案組織表（Projectorganization）
X
X
專案執行時程表（Projectschedule）
X
X
工程界面清單及位置圖（List&locationoftie-inpoint）
X
X
X
系統管儀圖（P&IDs）
X
X
X
焊接設備清單（Equipmentlist）
X
X
X
設備及材料型錄及資料（Vendor’scatalogsandinformationtosupporthisquotation，includingelectricalsystem&I/Csystem）
X
X
X
儀表安裝詳圖（Instrumentinstallationdrawing）
X
X
送審文件清單及時程（Transmittallistandschedule）
X
品質管制程序書（Qualitycontrolprocedure）
X
工地辦公室及物料暫存區需求（Siteofficeandwarehouserequirements）
X
驗收及測試計劃/報告（Inspection&testplan/reports）
X
X
製造商測試報告（Manufacture’sinspection&testreports/records）
X
X
計算書（Contractor’scalculations）
X
X
管線配置圖（Piperoutingplan）
X
X
X
管線支撐詳圖（Pipesupportdrawing）
X
X
管材規格（Pipingmaterialspecification）
X
X
管線施工程序書（Pipingconstructionspecification）
X
X
註：
1.承包商需於得標後一周內提出文件送審清單，並於施工前2周提送設計文件及相關管件及標示實體供審核；送審圖面則需在業主提出意見後3天內修改並再次送審。
2.所有送審文件必須以中文或英文書寫；英文送審文件需附中文說明。
3.所有竣工階段需提送之文件均需檢附電子檔
4.施工說明
4.1.一般說明
4.1.1.承包商應於施工前提送施工程序書及管路測試程序書，經審核通過後，方可據以施工。
4.1.2.承攬商需於工作場所設置工程負責人，需有相關工程經歷三年以上，其工作職責為：
4.1.2.1.施工進度控制。
4.1.2.2.施工人員管理及安排。
4.1.2.3.材料數量管制。
4.1.2.4.現場會勘放樣。
4.1.2.5.參與承攬商溝通協調會議
4.1.3.承攬商需於工作場所設置品管負責人，需有相關工作經歷三年以上，其階層與工程負責人同等，其工作職責為：
4.1.3.1.施工品質控制。
4.1.3.2.施工完工品質驗收。
4.1.3.3.施工驗收報告匯總。
4.1.3.4.原料進廠自主檢查。
4.1.4.承攬商需於工作場所設置物管負責人，需有相關工作經歷一年以上，其工作職責為：
4.1.4.1.材料數量管理。
4.1.4.2.進廠料件驗收。
4.1.5.承攬商需於工作場所設置工安衛負責人，需有相關工作經歷一年以上，其階層與工程負責人同等，其工作職責為：
4.1.5.1.現場安全衛生工作監督。
4.1.5.2.參與承攬商安全衛生協調會議。
4.1.5.3.承攬商施工人員安全衛生訓練。
4.1.6.施工人員數組，依工程數量適時增加人員，但在工程期限內最低需保留三組，每組人員最少三人，每組至少有一人有焊接執照，並由一資深組長帶領，所有進廠施工之人員必須經過認可且通過工安檢定之人員。
4.1.7.品管人員數組，依工程數量適時增加人員，但在工程期限內最低需保留一組，每組人員最少二人，由一資深組長帶領，但不可由品管負責人擔任。
4.1.8.承攬商有任何人員調動需經過認可，且業主相關之人員有權提出異議要求更換，承攬商不得有異議。
4.2.材料說明
4.2.1.氣體管線之分類及其材質要求如下表規定辦理。
氣體種類
材質
a.
一般大宗氣體
GN2
CDA
CDA（forburnbox）
SUS316LBA/5S
SUS316LAP/5S
SUS304/5S
b.
自燃性氣體
SiH4,SiH4/N2,PH3/N2
內管SUS316LEP/外管SUS304
c.
其他氣體
PN2,PO2,SiH2Cl2,NH3,PH2,B2H6/N2,Cl2,HBr,NF3,BCl3,HF,CHF3,CF4,C2F6,SF6,PAr,PHe,N2O,He/O2
SS316LEP/5S；另BCl3、SiH2Cl2之管線需提供加熱帶以確保供氣量。
4.2.2.各類管線、管件及儀表廠牌，請依下表規定辦理，承包商應以一次配選用廠牌為優先考量，如欲選用非下表規定之廠牌，需經過業主審核同意後使得選用。
項目
規格
廠牌
a.
SUS316LBApipe
Rmax<3.0μm
Sumikin/Kuze
b.
SUS316LBAtube
Rmax<3.0μm
Sumikin/Kuze
c.
SUS316LBAfitting（forpipe）
Rmax<4.5μm
Kitz/Kuze/Swagelok/Ham-let
d.
SUS316LBAfitting（fortube）
Rmax<4.5μm
Kitz/Kuze/Swagelok/Ham-let
e.
SUS316LEPpipe
Rmax<0.7μm
Sumikin/Kuze
f.
SUS316LEPtube（註1）
Rmax<0.7μm
Sumikin/Kuze
g.
SUS316LEPfitting（註1）
Rmax<0.7μm
Kitz/Kuze/Swagelok/Ham-let
h.
SUS316LBAvalve（≧15A）
Bellowvalve,Rmax<4.5μm
Kitz/Ohno/Motoyama
i.
SUS316LBAvalve（<15A）
Diaphragmvalve,Rmax<3.0μm
Kitz/Fujikin/Ohno/Motoyama
j.
SUS316LEPvalve（≧15A）
Bellowvalve,Rmax<1.0μm
Kitz/Ohno/Motoyama
k.
SUS316LEPvalve（<15A）
Diaphragmvalve,Rmax<0.7μm
Kitz/Fujikin/Ohno/Motoyama
l.
Regulator
SUS316LEP,VCRtype,Rmax<1.0μm
AP-tech/Veriflo/Tescom/Crown
m.
FilterinVMB/VMP
SUS316LEP,VCRtype,poresize：
0.003µm
Pall/Millipore
n.
Gasketfilter
SUS316LEP,poresize：
0.01µm
Pall/Millipore
註：
1.Cl2、NF3等氣體需選用VIM+VAR鋼材。
4.2.3.VMB/VMP設備
4.2.3.1.承包商需負責設計及提供特殊氣體供應所需VMB及VMP，其安裝數量及位置請參照”附件二SpecialtyGasVMBlist”及相關圖面指示辦理；經過VMB/VMP後管線則直接接至使用點。
4.2.3.2.VMB及VMP所需安裝各項閥件及儀表請參照”VMB/VMP示意圖”（圖號SP-230）指示辦理。
承包商於每種氣體之VMB/VMP，均需於進氣主管路預留3/8”隔膜閥（氫氣為1/2”）以供未來擴充用。
4.2.3.3.VMB需具備差壓計以檢視排氣之正常與否。
4.2.3.4.VMB須具備緊急關斷功能，且緊急關斷需能於現場及遠端控制。
4.2.3.5.所有儀電設備之組裝與測試需根據NFPA70，NationalElectricalCode。
4.2.3.6.得標商應於現場進行VMB/VMP之功能測試，現場測試其氦測漏率應≦1×10-9atm-cc/sec。
4
升级会员 