光学干涉测量关键技术Word格式文档下载.docx

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当把被测量引入干涉仪一支光路中，干涉仪光程差则发生变化。

通过测量干涉条纹变化量，即可以获得与介质折射率和几何路程关于各种物理量和几何量。

按光波分光办法，干涉仪有分振幅式和分波阵面式两类。

按相干光束传播途径，干涉仪可分为共程干涉和非共程干涉两种。

按用途又可将干涉仪分为两类，一类是通过测量被测面与参照原则波面产生干涉条纹分布及其变形量，进而求得试样表面微观几何形状、场密度分布和光学系统波像差等，即所谓静态干涉；

另一类是通过测量干涉场上指定点干涉条纹移动或光程差变化量，进而求得试样尺寸大小、位移量等，即所谓动态干涉。

下图是通过度波面法和分振幅法获得相干光途径示意图。

光学测量惯用是分振幅式等厚测量技术。

图一普通光源获得相干光途径

与普通光学成像测量技术相比，干涉测量具备大量程、高敏捷度、高精度等特点。

干涉测量应用范畴十分广泛，可用于位移、长度、角度、面形、介质折射率变化及振动等方面测量。

在测量技术中，惯用干涉仪有迈克尔逊干涉仪（图二）、马赫-泽德干涉仪、菲索干涉仪、泰曼-格林干涉仪等；

随着激光技术浮现及其在干涉测量领域中应用，使干涉测量技术在量程、辨别率、抗干涉能力、测量精度等方面有了明显进步。

70年代后来，抗环境干扰外差干涉仪（交流干涉仪）发展迅速，如双频激光干涉仪等；

近年来，光纤干涉仪浮现使干涉仪构造更加简朴、紧凑，干涉仪性能也更加稳定。

从光学零件质量控制到光学系统象质评价，从典型光学技术到自适应光学工程，当代干涉测量技术应用领域不断扩展。

另一方面，当代数字图像解决技术、传感器技术和计算机技术使干涉图像判读技术实现了计算机实时自动判读，大大提高了干涉测量精度和敏捷度。

图二迈克尔逊干涉仪原理图

下面咱们重要简介干涉测量原理实际应用——双频激光干涉仪，并简朴简介其工作原理以及其测量中具备优势。

2、干涉测量原理实际应用——双频激光干涉仪

2.1干涉仪：

实现干涉测量仪器叫干涉仪。

激光干涉仪是一种所谓“增量法”测长仪器，它是把目的反射镜与被测对象固联，参照反射镜固定不动，当目的反射镜随被测对象移动时，两路光束光程差即发生变化，干涉条纹也将发生明暗交替变化。

若用光电探测器接受，当被测对象移动一定距离时，条纹亮暗交替变化一次．光电探测器输出信号将变化一种周期，记录下信号变化周期数，便拟定了被测长度。

2.2单频激光干涉仪：

从激光器发出光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹（其原理图类似迈克尔逊干涉仪原理图）。

当可动反射镜移动时，干涉条纹光强变化由接受器中光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由相应公式算出可动反射镜位移量L。

使用单频激光干涉仪时，规定周边大气处在稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量成果。

2.3双频激光干涉仪：

双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪基本上发展一种外差式干涉仪。

和单频激光干涉仪同样，双频激光干涉仪也是一种以波长作为原则对被测长度进行度量仪器。

它可用于精密机床、大规模集成电路加工设备等在线在位测量、误差修正和控制。

双频激光干涉仪采用外差干涉测量原理,克服了普通单频干涉仪测量信号直流漂移问题,具备信号噪声小、抗环境干扰、容许光源多通道复用等诸多长处,使得干涉测长技术能真正用于实际生产。

当前干涉仪产品大多为双频激光干涉仪。

2.4双频激光干涉仪原理：

图三为双频激光干涉仪工作原理图。

单模氦氖激光器置于纵向磁场中，由于塞曼效应使输出激光分裂为具备一定频差（约1-2MHz），旋转方向相反左右圆偏振光。

双频激光干涉仪就是以这两个具备不同频率圆偏振光作为光源。

左右圆偏振光通过1/4破片后成为互相垂直线偏振光、（其中垂直于纸面，平行于纸面）。

图三双频激光干涉仪工作原理

分光镜使、某些光反射，另一某些光透射。

反射光经偏振片1后由左侧光电探测器接受并经前置放大整形电路解决，作为后续电路解决基准信号。

透射光通过偏振分光镜后使、分离，偏振方向平行于纸面光透过偏正分光镜到固定在被测量物体上可动反射镜，当可动反射镜随被测量物体移动时，产生光多普勒效应，返回频率变为，为多普勒频移量，它包括了可动反射镜位移信息。

返回、光在偏振分光镜处再度汇合，经反射镜后由右侧光电探测器接受并经前置放大整形电路解决，作为系统测量信号。

下面是对两处光电探测器处光强状况讨论：

设左侧光电探测器处两束光、波动方程分别为：

（1）

（2）

合成振幅为：

（3）

光强函数为：

（4）

由于光电探测器频响限制，实际接受光强为：

（5）

同理，可以计算右侧光电探测器处接受光强为：

（6）

由式（5）和式（6）可见，左侧光电探测器接受信号为始终流分量与一交流信号叠加，这一信号经由交流放大器和过零触发器构成前置放大整形电路解决后，输出一组频率为持续脉冲；

同样右侧光电探测器接受信号经放大整形后，输出一组频率为持续脉冲。

通过减法器实现两组脉冲相减得到值（包括了被测量位移信息），即

（7）

又由多普勒效应

（8）

式中V为测量反射镜移动速度，C为光速，f为光频。

设测量长度为L，则有

（9）

频率时间积分为周期数N，因此上式可以化为

（10）

此式即为双频激光干涉仪原理公式。

由式（6）可见，双频激光干涉仪测量信息是叠加在一种固定频差上，属于交流信号，具备很大增益和高信噪比，完全克服了单频激光干涉仪因光强变动导致直流电平漂移，使系统无法正常工作弊端。

测量时虽然光强衰弱90%，双频激光干涉仪仍可以正常工作。

由于其具备很强抗干扰能力，因而特别适合现场条件下合用。

2.5单、双频激光干涉仪比较及分析：

单频激光器它一种主线弱点就是受环境影响严重，在测试环境恶劣，测量距离较长时，这一缺陷十分突出。

其因素在于它是一种直流测量系统，必然具备直流光平和电平零漂弊端。

激光干涉仪可动反光镜移动时，光电接受器会输出信号，如果信号超过了计数器触发电平则就会被记录下来，而如果激光束强度发生变化，就有也许使光电信号低于计数器触发电平而使计数器停止计数，使激光器强度或干涉信号强度变化重要因素是空气湍流，机床油雾，切削屑对光束影响，成果光束发生偏移或波面扭曲。

这种无规则变化较难通过触发电平自动调节来补偿，因而限制了单频干涉仪应用范畴，只有设法用交流测量系统代替直流测量系统才干从主线上克服单频激光干涉仪这一弱点。

而双频激光干涉仪正好克服了这一弱点，它是在单频激光干涉仪基本上发展一种外差式干涉仪。

和单频激光干涉仪同样，双频激光干涉仪也是一种以波长作为原则对被测长度进行度量仪器，所不同者，一方面是当可动棱镜不动时，前者干涉信号是介于最亮和最暗之间某个直流光平，而后者干涉信号是一种频率约为1.5MHz交流信号；

另一方面，当可动棱镜移动时，前者干涉信号是在最亮和最暗之间缓慢变化信号，而后者干涉信号是使原有交流信号频率增长或减少了△f，成果依然是一种交流信号。

因而对于双频激光干涉仪来说，可用放大倍数较大交流放大器对干涉信号进行放大，这样，虽然光强衰减90%，依然可以得到适当电信号。

由于这一特点，双频激光干涉仪可以在恒温，恒湿，防震计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标测量机等，也可以在普通车间内为大型机床刻度进行标定，既可以对几十米大量程进行精密测量，也可以对手表零件等微小运动进行精密测量，既可以对几何量如长度、角度．直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量，也可以用于特殊场合，诸如半导体光刻技术微定位和计算机存储器上记录槽间距测量等等。

图四是双频激光干涉仪实物图，图五是双频激光干涉仪在实际测量中应用。

图四双频激光干涉仪实物图

图五对机床运动进行测量

2.6双频激光干涉仪优越性：

●精度高：

双频激光干涉仪以波长作为原则对被测长度进行度量仪器。

虽然不做细分也可达到um量级，细分后更可达到nm量级。

●应用范畴广：

双频激光干涉仪除了可用于长度精密测量外，配上恰当附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等等。

●环境适应力强：

虽然光强衰减90%，依然可以得到有效干涉信号。

由于这一特点，双频激光干涉仪既可在恒温、恒湿、防震计量室内检定量块、量杆、刻尺、微分校准器和坐标测量机，也可以在普通车间内为大型机床刻度进行标定。

●实时动态测速高：

当代双频激光干涉仪测速普遍达到1m/s，有甚至于十几m/s，适于高速动态测量。

2.7双频激光干涉仪发展趋势：

同大多数测量仪器同样，双频激光干涉仪也有向高辨别率，高精度，高测速发展趋势。

3、总结

双频激光干涉仪是激光在计量领域中最成功应用之一,是工业中最具权威长度测量仪器。

双频激光干涉仪创造使激光干涉仪最后挣脱了计量室束缚，更为广泛应用于工业生产和科学研究中。

用激光干涉仪作为机床测量系统可以提高机床精度和效率。

起初仅用于高精度磨床、镗床和坐标测量机上，后来又用于加工中心定位系统中。

但由于在普通机床上使用感应同步器和光栅普通能达到精度规定，而激光仪器抗振性和抗环境干扰性能差，且价格较贵，当前在机械加工现场使用较少。

随着双频激光干涉仪向着高辨别率、高精度、高测速方向发展，其研究领域也在进一步拓宽。

但愿咱们能在双频激光干涉仪这方面研究有所进展和突破，研制出具备先进水平测量仪器。

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