白光干涉仪(原理)--ppt课件PPT文件格式下载.ppt
《白光干涉仪(原理)--ppt课件PPT文件格式下载.ppt》由会员分享,可在线阅读,更多相关《白光干涉仪(原理)--ppt课件PPT文件格式下载.ppt(37页珍藏版)》请在冰豆网上搜索。
NanoSystem白光干涉仪,深圳市欧博浩瀚科技有限公司()刘友喜(LeoKeenLiu),三维测量技术比较,COMPARE,OpticalTriangulation,CSM,1nm,1um,1mm,1nm,1um,1mm,垂直分辨率,垂直测量范围,AFM,WSI,PSI,OPT:
@#@光学三角测量CSM:
@#@共焦扫面显微镜PSI:
@#@移向干涉测量法WSI:
@#@白光干涉法AFM:
@#@原子力显微镜,三维图像的比较,根据测量技术特征,产品主要功能,三次元形状测量表面粗糙度(Ra,Rq,Rp,Rv,Rt,Rz)高度,段差,幅度测量(数纳米到最大5mm)关心领域信息(体积,断面积)2D测量,产品主要特征,高度方向测量分辨率0.1nm的高分辨率与倍率无关的分辨率固定(Z轴)使用方法简单,测量快速非破坏性,无样品破损反复性及再现性优秀测量容易,HighAccuracyNon-Contact3DSurfaceProfiler,“使用白光干涉仪的纳米分辨率三维形状测量”,NanoView系列(NV系列),更精确!
@#@更快速!
@#@更简便!
@#@,NV-1800,NV-2400,NV-2700,NV-3200,Specification,白光干涉测量原理,PRINCIPLE,干涉现象,相长干涉和相消干涉,干涉信号扫描,干涉条纹物理意义,干涉条纹,干涉条纹,影响干涉信号的要素,干涉透镜(物镜)的N.A干涉透镜(物镜)从被测物可接收光的角度,如果被反射光的角度比该干涉透镜可接收角度大,大部分光线会脱离入射镜头使入射光数量减少,干涉信号微小或不会出现干涉现象。
@#@,被测物的反射度对象物体的反射度小,照射到物体的大部分都会被吸收,反射光强度会减少,干涉信号微小或不会出现干涉现象。
@#@(太阳光下那些物体程黑色是表示该物体吸收光,视为红色是主要反射红外线领域的光。
@#@),三维细微形状测量实例,APPLICATION,创造性的非接触式二维/三维测量解决方案,BusinessDivision,MeasuringResultofMVAHeight,MeasuringResult,ColumnSpaceontheLCDColorFilter,DefectontheLCDGlass,StamperontheDiffusionPlateforLCD,LCDPanel,Height,DiameterWidth,Pitch,Position,etc,RGB&@#@BM,PhotoSpacer&@#@RGB(Stitching),ReflectiveLCDAnalysis,SphericalPattern,Spray式PR涂层均匀性测量,Glass,141nm,LCD用GlassR-edge,CharacterontheGlass,Glass关联测量例子,FlexibleFPDPattern(GelType),碳纳米管,LGPPattern,OLED有机物蒸镀,PKGSubstrateInspection,Roughness,Diameter,Height,Width,Space(userdefinedbaseplane),etc,PCBViaHole,CuThickness,BallPad,Trace,CSPSubstrateInspection,SectionAnalysis,Multi-SectionAnalysis,3DAnalysis,CooperFoilSurfaceI,MetalJetontheFilm,SmallBall,CoinedBall,StitchingResults,BGAonFlipChipSubstrate,BallGridArray,CeramicPCBSubstrate,具有Wrapage的Substrate,StudBump/导光板/磨具,StudBump,Core-Edge,Stemper,GearedPatternonGlass,“V”GroovesforsiliconOpticalBrenchs,EtchedPattern,MachinedAlSurfacebyBallEndMill,MachinedCuSurfacebyDiamondTuningMachine,MachinedSurface,MicroStructure,ViaHoleDepthonBuild-upPCB,MEMS,核电管道磨损量2D,核电管道磨损量3D,Pipe磨损形象测量,关心区域域放大,测量分析,工具三次元形状测量,工具形状测量,Grid形状测量,