白光干涉仪(原理)--ppt课件PPT文件格式下载.ppt

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@#@共焦扫面显微镜PSI:

@#@移向干涉测量法WSI:

@#@白光干涉法AFM:

@#@原子力显微镜,三维图像的比较,根据测量技术特征,产品主要功能,三次元形状测量表面粗糙度(Ra,Rq,Rp,Rv,Rt,Rz)高度,段差,幅度测量(数纳米到最大5mm)关心领域信息(体积,断面积)2D测量,产品主要特征,高度方向测量分辨率0.1nm的高分辨率与倍率无关的分辨率固定(Z轴)使用方法简单,测量快速非破坏性,无样品破损反复性及再现性优秀测量容易,HighAccuracyNon-Contact3DSurfaceProfiler,“使用白光干涉仪的纳米分辨率三维形状测量”,NanoView系列(NV系列),更精确!

@#@更快速!

@#@更简便!

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@#@,被测物的反射度对象物体的反射度小,照射到物体的大部分都会被吸收,反射光强度会减少,干涉信号微小或不会出现干涉现象。

@#@(太阳光下那些物体程黑色是表示该物体吸收光,视为红色是主要反射红外线领域的光。

@#@),三维细微形状测量实例,APPLICATION,创造性的非接触式二维/三维测量解决方案,BusinessDivision,MeasuringResultofMVAHeight,MeasuringResult,ColumnSpaceontheLCDColorFilter,DefectontheLCDGlass,StamperontheDiffusionPlateforLCD,LCDPanel,Height,DiameterWidth,Pitch,Position,etc,RGB&@#@BM,PhotoSpacer&@#@RGB(Stitching),ReflectiveLCDAnalysis,SphericalPattern,Spray式PR涂层均匀性测量,Glass,141nm,LCD用GlassR-edge,CharacterontheGlass,Glass关联测量例子,FlexibleFPDPattern(GelType),碳纳米管,LGPPattern,OLED有机物蒸镀,PKGSubstrateInspection,Roughness,Diameter,Height,Width,Space(userdefinedbaseplane),etc,PCBViaHole,CuThickness,BallPad,Trace,CSPSubstrateInspection,SectionAnalysis,Multi-SectionAnalysis,3DAnalysis,CooperFoilSurfaceI,MetalJetontheFilm,SmallBall,CoinedBall,StitchingResults,BGAonFlipChipSubstrate,BallGridArray,CeramicPCBSubstrate,具有Wrapage的Substrate,StudBump/导光板/磨具,StudBump,Core-Edge,Stemper,GearedPatternonGlass,“V”GroovesforsiliconOpticalBrenchs,EtchedPattern,MachinedAlSurfacebyBallEndMill,MachinedCuSurfacebyDiamondTuningMachine,MachinedSurface,MicroStructure,ViaHoleDepthonBuild-upPCB,MEMS,核电管道磨损量2D,核电管道磨损量3D,Pipe磨损形象测量,关心区域域放大,测量分析,工具三次元形状测量,工具形状测量,Grid形状测量,

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