ESD作业规范.docx

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ESD作业规范

ESD防静电控制技术规划

1.目的

本文件旨在规定ESD防静电控制技术规范，为产品在元器件进料、制造、贮存、包装等各个环节提供明确可靠的ESD技术支持，从整体上提高公司静电防护和控制水平，提高客户的满意度。

注：

ESD是英文“ElectroStaticDischarge”的缩写，意思指静电放电（静电瞬间泄放）。

2.适用范围

本规范适用于公司科技内部静电防护工程的设计、使用、管理、维护和检测。

3.职责：

3.1公司ESD组织结构和职责

公司公司ESD控制组织结构框图：

ESD主委

ESD小组

3.1.1公司ESD控制的组织结构分为主委、ESD小组和执行部门。

主委负责整体规划公司/工厂ESD工作。

3.1.2ESD小组负责人为公司ESD协调者，负责公司ESD标准的制定、修改和组织结构、管理制度的建立，监督标准的实施。

ESD小组负责公司各执行部门ESD日常执行状况的监督，生产现场规划防静电设计、新

架设的生产线防静电设施验收，公司纳入防静电材料、物品、设备、仪器等防静电品的验收。

ESD的点检测试有ESD各部门执行人员完成。

3.1.3执行各部门负责标准的实施、检查、纠正和反馈职能。

稽查工作由ESD小组和执行层共同完成。

防静电物流周转工具由执行层各使用部门负责保管、实施和维护。

3.1.4工程部负责公司各部门ESD设备异常的对应、维修、保养及新开产线静电接地线架设。

3.1.5测试仪器的维护校准工作由仪器计量室负责。

公司公用ESD测试仪器由ESD小组统一保管。

4.器件敏感分类解释

4.1静电敏感器件的敏感等级分别按照HBM、MM、CDM三种模式来进行分类。

一般来说，器件的

静电敏感电压的高低在三种模式之间没有必然的对应关系。

没有特殊说明时，本指引主要以人体模式来描述器件静电敏感电压的相关问题。

静电敏感组件的敏感等级按照其上所安装的最敏感器件的敏感等级来确定。

最初器件的ESD损伤主要采用HBM进行分析，随着电子技术和生产工艺的不断发展，MM和CDM类型的ESD对器件的危害也越来越普遍，，因此采用MM和CDM模式对静电敏感器件进行分析的方法逐渐发展普及起来。

4.1.1人体放电模式（Human-BodyModel,HBM）的静电敏感等级分类

静电敏感器件等级普遍采用人体模式静电放电进行划分（人体带电和器件接触放电），所有的静电敏感器件或组件按照人体模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个等级：

HUMANBODYMODEL

CLASSVOLTAGERANGE

Class00voltsto≤249volts

Class1A250voltsto≤499volts

Class1B500voltsto≤999volts

Class1C1000voltsto≤1999volts

Class22000voltsto≤3999volts

Class3A4000voltsto≤7999volts

Class3B8000voltsto≤15999volts

非静电敏感器件≥16000volts

4.1.2机器放电模式（MachineModel,MM）的静电敏感等级分类

器件静电敏感等级的机器模式主要用于器件的自动化处理过程的分析（带电金属和器

件接触放电），静电敏感器件或组件按照机器模式静电放电损伤的阈值电压被划分为

以下几个等级：

MACHINEMODEL

CLASSVOLTAGERANGE

M1＜100volts

M2100voltsto＜200volts

M3200voltsto＜400volts

M4≥400volts

4.1.3器件充电模式（Charged-DeviceModel,CDM）的静电敏感等级分类

器件静电敏感等级的充电器件模式主要用于器件自身带电后的放电分析，静电敏感器件或组件按照充电器件模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个等级：

CHARGEDDEVICEMODEL

CLASSVOLTAGERANGE

C1＜125volts

C2125voltsto≤250volts

C3250voltsto≤500volts

C4500voltsto≤1000volts

C51000voltsto≤1500volts

C61500voltsto≤2000vol

5.静电防护区域（EPA）的界定和标识

5.1ElectroProtectedArea,EPA（静电防护区域）的划分

EPA必须具有如下的基本环境要求

5.1.1明确的区域界限和防静电警示标志；

5.1.2对区域内的所有导体包括人员可靠接地；

5.1.3消除一切不必要的静电产生源；

5.1.4严重静电源（拉伸膜、白色塑胶等）至少100cm，非不可避免的静电源必须远离30cm.

5.1.5进入本区域应作好人员防静电要求，包括有防静电功能的工衣、工帽、工鞋（鞋套）、腕带或静电手套、静电指套并作人体综合电阻测试合格后才能进入。

5.1.6未采取有效防静电措施的人员、设备、物料、工具等皆不得入内；

5.2根据公司产品器件的静电敏感度等级，本公司EPA静电敏感度等级防范要求为特级（HBM50

-100V）EPA区域和二级（HBM500-1000V）EPA区域防护要求为：

5.2.1特级EPA为静电放电严格控制区域，生产加工和操作被评估为静电高风险的区域以及静电高敏感级别的产品的制造区应划分为特级EPA。

生产区域射频及光器件产品的PCBA及模块的加工环节，如：

预配及拣料区域、单板加工、单板测试、单板模块组装、单

板模块维修、无尘室（如EDFA、光电模块）或带PCB板的半成品等;如有其它产品的静电敏感度小于HBM100V，也应放在特级EPA生产。

5.2.2二级EPA为基本的静电放电控制区域，涉及静电敏感物料的各个生产操作区域至少要定义为二级EPA区域，必须实施最基本的静电放电控制措施。

生产区域单板模块库房、整机组装、调测、包装、逆向库房、单板模块老化、环境实验室；

器件在库房内不进行拆包，则可设置为二级EPA。

5.3静电防护区域基本控制措施

静电防护区域基本控制措施要求按照下表实施：

EPA等级

ESD控制措施

特级EPA

二级EPA

静电电压控制标准

50-100V

500--1000V

防静电标识

√

√

静电地板或地垫

√

√

温/湿度仪器

√

√

防静电桌垫

√

√

防静电工作椅

√

√

防静电腕带

√

○

防静电工作手套、指套

√

○

防静电工作鞋

√

√

腕带测试仪和人体电阻测试仪

√

√

ESD数据采集系统

√

○

ESD门禁系统

√

○

静电消除器（如：

离子风机）

√

○

接地系统监控仪

√

○

防静电烙铁

√

√

防静电吸锡器

√

√

其它用于产品的常用装配、调试及辅助工具防静电处理

√

○

静电电压测试仪

√

√

表面电阻测试仪

√

√

离子风机测试仪

√

○

防静电周转工具

√

√

防静电包装材料

√

√

防静电作业指导书袋

√

○

防静电文件夹

√

○

防静电液

○

○

必要的静电产生材料禁止带入EPA

√

○

区域外或独立区域对非防静电包装进行拆包

√

√

说明：

“√”—表示全部要求；“○”---表示可选或部分要求

5.4防静电标识要求

为提高人员的防静电意识，防止因标识不清发生不符合静电安全的操作与静电危害，要求防静电区域（EPA）、防静电设施、器材等防静电物品，以及静电敏感器件及组件等有关包装上应标注有醒目的ESD标识，以便提醒员工采取合适的ESD防护措施，减少静电风险，提高产品质量。

（防静电标识严格按照标识管理规定执行）

5.5静电敏感区域的工程环境防静电规范

5.5.1防静电工程环境的要求：

SMT车间温度要求保证在22℃~28℃，相对湿度（RH）：

30%~60%；

其它区域温度：

10℃~30℃，相对湿度（RH）：

30%~75%；

当产品物料及生产环境对环境温湿度有特殊要求时，应根据产品物料的特性需求和实际条件采取相应的局部环境保证措施。

EPA内应配备温度计和湿度计，如果是不具备数据采集功能的普通温湿度计，则要求在每班次作二次记录（超标数值用红色笔标出）。

当相对湿度超出规定的范围时，应暂时停线并及时通知相关联部门人员协调动力维护、环卫等采取适当的加湿或抽湿措施。

5.5.2每月的温湿度记录应归类保存，保存期至少1年。

5.6地面的技术要求

5.6.1地板的防静电要求:

为有效地使人体静电能通过地板尽快泄漏到大地，除操作人员穿防静电服、防静电鞋外，其先决条件是地板必须具有一定的导电性能，即是防静电的。

这种防静电地板能泄漏设备、工装上的静电，也能泄漏移动操作时不易使用腕带的人

体静电。

普通地板材料的电阻率都较高，难以泄放人体、工装、设备上的静电。

下面的图表为各种地板的泄漏电阻:

（单位:

Ω）

各种地板材料的电阻特性参照下表：

地坪材料名称

泄漏电阻

地坪材料名称

泄漏电阻

石

104~109

沥青

1011~1013

混凝土

105~1010

聚氯乙烯（贴面）

1012~1015

一般涂刷地面

109~1012

导电性水磨石

105~107

橡胶

109~1013

导电性橡胶

104~108

木、木胶合板

1010~1013

导电性聚氯乙烯

107~1011

5.6.2防静电地板的静电特性定期检查与维护保养

5.6.2.1检查频率：

EPA区域每季度点检一次；

5.6.2.2检查指标：

表面电阻；

5.6.2.3检查标准：

电阻率为1×104Ω＜RS＜1×109Ω；

5.6.2.4检查仪器：

绝缘电阻表。

5.6.2.5相对湿度低于30%时，应增加测量接地电阻的次数，当电阻比较大时可适量撒少量的水（符合安全要求标准情况下）。

5.6.2.6当地板上附着有绝缘性的油膜、树脂、橡胶和脏污时，应根据情况定期清除。

5.6.2.7若采用抛光防静电地板蜡的地面，3个月检查测量一次地面的表面电阻，并记录测量结果。

5.6.2.8清扫清洁防静电地板时不得使用绝缘性的地板腊。

5.6.3静电敏感区域的防静电保护接地技术要求

防静电接地必须有一个安全可靠的防静电接地母线（防静电地线），所有人体、工作

台垫、等以并联的方式接入防静电接地母线。

5.6.3.1接地线：

也称为地线母线。

接地主干线的截面积应不小于100mm2，支干线的截面积应为4~6mm2的多芯线材，人体静电线为黄色，设备接地线为黄绿色；设备的接地线采用截面积应不小于1.0mm2的导线；

5.6.3.2设备接地线端口必须使用接地端子进行接地，保证安全牢靠，易拆装。

5.6.3.3接地电阻：

指接地母线与大地之间的接触电阻，静电保护接地电阻应小于4Ω；

5.6.3.4静电极的埋设：

埋设地线的原则是埋设地点的土壤电阻系数愈小愈好接地体与土壤的接触面积要大，接触密度要高，接触要紧；

埋设地线的注意事项：

a.接地线与接地线接头必须焊接牢固，要有足够的机械强度，引线不要过长采用耐腐蚀的接地体金属；

b.要保持接地体附近土质的密度质量，并不断采取措施防止接地电阻变大；

防静电地线必须是永久性的；|

5.6.4接地线的定期检查

5.6.4.1检查对象：

所有的设备接地线及接地端口；

5.6.4.2检查仪器：

万用表和接地电阻测试仪；

5.6.4.3检查参数：

接地电阻

5.6.5接地线的定期维护

5.6.5.1对于检查不过关的接地线必须采取措施及时解决，并实施跟踪确认；

5.6.5.2确保接地线有效接地；

5.6.5.3对于生锈的或接触不好的接地线要及时更换；

5.6.5.4对于松动的接地线要重新连接；

5.6.5.5按接地线相关规定进行维护。

5.7静电敏感区域的人员防静电规定

5.7.1各类人员的防静电知识培训要求及职责

有可能进入静电敏感区域的员工或有可能接触静电敏感器件的员工都应接受防静电知识培训，这既是对每位员工的基本要求，也是减少静电危害的根本方法和途径之一。

5.7.1.1所有新员工在接受入厂培训时，必须接受ESD知识的培训。

课程包括至少50分钟的理论知识培训和简要讲解本规范内容。

培训结束后，由人力资源部组织ESD的考试，合格者才能上岗；若考核不合格，要再培训再考核，直到合格才可上岗。

5.7.1.2所有在职人员必须每年接受不少于4小时的ESD知识再培训。

培训内容包括介绍

ESD的新技术，新规范等。

5.7.1.3在静电敏感区域内工作的生产人员及与静电敏感器件有直接或间接接触（包括静电感应）的作业人员，必须接受ESD基本知识和防静电工艺规程操作要求的培训，作为上岗考核的必考内容之一。

考核不合格者不得安排在有防静电要求的岗位工作。

上岗考核的有效期为一年，一年后必须进行重新培训考核。

5.7.1.4工艺人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训，掌握电子工业产品的防静电工

艺技术，在生产过程中指导生产作业人员落实防静电措施，并对他们进行静电防护日常教育；

5.7.1.5品质系统管理人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训，熟悉各类ESSD的静电敏感性能及其防护知识，监督防静电工艺规程的贯彻执行，评估防静电工程实施效果；

5.7.1.6采购部人员必须接受ESD基本知识培训，熟悉ESSD的品种、型号、标识识别和静电防护常识，严格遵守物料或产品在采购和运输过程中静电防护的规范；

5.7.1.7仓储，转运人员必须接受ESD基本知识培训，懂得在储存和转运过程中防护ESSD静电器件及相关的存放操作要求；

5.7.1.8检验和试验人员（包括外购件入厂检验试验和产品检验人员）必须接受较为ESD专业知识培训，熟练掌握ESSD的检测知识和防静电器件的检测方法，严格按设计技术文件要求和工艺规程进行检验和试验；

5.7.1.9负责防静电接地和架设生产线的人员，应接受较为专业的ESD知识培训，熟悉防静电接地系统要求，掌握接地点、地线、及其它防静电设施的敷设或安装；

5.7.1.10生产管理人员应了解ESD基本知识，严格按静电敏感器件的设计文件要求和工艺规程组织生产，并开展对生产员工的静电防护日常教育；

5.7.1.11计量检定人员也应了解ESD基本知识，尤其是关于防静电仪器的校验知识，要定期调校防静电检测器材，保证其安全、有效；

5.7.1.12由于工种变化或者转到新的部门，如从非EPA转移到EPA，从行政部门转到产品开发部门等，需要进行适应新环境ESD控制要求的再培训；

5.7.1.13提高培训是针对ESD工作骨干人员组织的静电防护技术的高级培训，适用于ESD小组成员、区域ESD责任人、各部门ESD工作人员和ESD责任人的预备人选等。

提高培训由公司ESD负责人根据需要不定期举行。

提高培训的内容主要是ESD标准的学习讨论、ESD新技术的学习，ESD案例学习和疑难问题讨论等。

5.7.2人体静电防护系统

5.7.2.1防静电工作服是指为防止静电荷积累，用防静电织物作为面料而制成的工作服，

样式有连体式、分体式等。

防静电工作服主要用来泄放人体高绝缘性能的服装所

产生的静电或减少人体静电产生；

5.7.2.2推荐防静电工作服要求耐洗涤时间：

≥33小时（或洗涤次数大于70次）；

5.7.3防静电服使用要求

5.7.3.1进入防静电区域的人员必须按规定穿防静电大褂衣，夹克衣或防静电连体服，严禁穿一般合成纤维工作服，防静电工作服应有ESD标识；

5.7.3.2大褂衣和夹克衣可在普通防静电工作区域使用。

对于防静电要求特别高的场所，如无尘室高精密电子产品装联车间或实验室，作业人员必须穿连体衣，同时还需戴上口罩、防静电手套、防静电手环；

5.7.3.3防静电衣必须在更衣区更换，不允许在EPA区域穿或脱防静电衣；

5.7.3.4禁止在防静电衣上附加或佩带与工作无关的金属物品或塑胶物品；

5.7.3.5不能把非防静电衣的衣领翻出盖住防静电衣的衣领，防静电衣如是夹克衣须将拉链拉好，扣子扣好，如是大褂衣须将扣子扣满扣好，非防静电衣的长度不能长过静电衣，不准将防静电衣的袖子挽起，不准将手表、手饰、戒子等与工作无关的装饰物品露出防静电衣外；

5.7.3.6防静电大褂衣和夹克衣，应保持清洁，工作服的洗涤应尽量采用简易方法进行，采用中性洗涤剂，要避免受到较强的机械和化学操作的洗涤；

5.7.3.7防静电工作服应在首次穿用前作防静电性能检测，只有测试合格方可投入使用，使用一定时期后应对其防静电性能进行复测，防静电大褂衣和夹克衣每周应做一次防静电特性复测，对于检测不过关的防静电大褂衣和夹克衣应停止使用，更换符合静电要求品使用；

5.7.3.8相关部门在收到新的防静电衣时，通知ESD执行人员对防静电服的静电电压进行检测。

检测数量为抽样来料的5％若抽样数低于2件，则抽取2件。

检测方法如后面所示，如果该批防静电衣有一件测试不合格，则拒收。

除上述方法外，如果每次点检静电衣的表面电阻在0.1*106≤RS＜1/1011Ω之间或经磨擦后的静电电压仍小于等于0.1Kv，或在2S内泄放至0.1Kv内则为合格，否则为不合格。

5.7.3.8防静电服的检测

a.目前使用的防静电防静电大褂衣，主要是测试它的摩擦电压和表面电阻这两个指标；

b.检测指标：

表面电阻和摩擦静电压；

c.检测标准：

表面电阻（点与点、片与片、袖与袖之间）0.1*106≤RS＜1*1011

Ω或摩擦静电压小于0.1Kv或在2S内降至0.1Kv以下；

d.检测仪器：

兆欧表和静电电压表；

e.防静电性能检测条件：

温度15~30℃，相对湿度30-60%。

5.7.4防静电帽

5.7.4.1防静电帽的相关规定请参照防静电服。

防静电帽应正确佩戴，帽沿朝前头发不能露出防静电帽外后脑部分的短细的头发不能超过防静电衣领外（如下图）。

5.7.5防静电工作鞋

5.7.5.1作业人员必须穿防静电鞋，经过人体综合电阻测试合格后，方可进入静电敏感区域工作；

5.7.5.2防静电工作鞋每半年应做一次防静电特性检测，对于检测不过关的防静电工作鞋应停止使用，更换新的且检测OK品；

5.7.5.3检测指标：

系统电阻和摩擦静电压；

5.7.5.4检测标准：

＜3.5*107Ω或＜1*109Ω/摩擦电压1S内降到100v以内；

5.7.5.5检测项目：

系统电阻、摩擦静电压；

5.7.5.6防静电鞋的使用要求

a.为使人体有效接地、防止人体和鞋本身带电，并保证操作者因意外接触高电压

时不致受到伤害，除应将车间地面做成防静电地面以外，操作者还应穿用防静

电鞋，同时防静电鞋底应具有使人体与大地构成回路的材料和结构；

b.EPA区域内的工作人员必须穿防静电工鞋，人体综合电阻应该满足5.7.5.4要求。

人体综合电阻要求员工每班测试3次并记录；

c.穿防静电鞋必须穿袜子，不得另加鞋垫，特别是绝缘性鞋垫。

不得在鞋底、鞋面上粘贴绝缘胶片或其它涂料，保持鞋底的清洁；

d.坐式操作的员工应保证工鞋接触地面，双脚不可抬离地面放置；

e.需要进入EPA工作的临时或外来人员也应穿着防静电工鞋并经过测试记录。

5.7.6防静电手套或指套

5.7.6.1凡在工作中需直接接触ESSD的操作者，均需使用防静电手套或指套。

5.7.6.2在不便使用有绳防静电腕带的岗位，如流动操作岗位，须使用防静电手套。

坐式操作，必须佩戴腕带；

5.7.6.3防静电手套和指套较脏时应及时清洗干净，手套使用期限最多为半月，到有效期后，生产、品质到辅料仓统一以旧换新，有破损统一到辅料仓更换；

5.7.6.4防静电手套应采用防静电织物面料，指套应采用防静电橡胶，防静电手套或指套的防静电性能检查标准值请参照5.10.3.1项。

5.7.7防静电腕带

5.7.7.1员工在操作ESD敏感器件的时候，应该佩带防静电腕带并接地。

当ESSD处于防静

电容器的保护状态中，如转运、存储操作，操作人员不要求带腕带接地。

5.7.7.2腕带由手腕带（松紧圈）和接地线两部分组成，佩戴腕带的作用是提供一个安全的静电释放通道。

腕带具有一定电阻值，该电阻值是手腕带内表面到地的电阻值。

可拉伸的弯曲接地线与手腕带的内表面连接，接地线的材料是导体，手腕带的内

表面是导电材料（导电织物或导电橡胶），手腕带外表面应该是绝缘或耗散材料。

接地线一端串接有一个1MΩ的限流电阻并与腕带扣连接，另一端可保持与ESD接地点连接。

接地线串接电阻以确保操作者意外触及高电压时不致发生人身伤害，该电阻的选择原则是，一方面应保证操作业者在触及高电压时流过人体的电流不大于5mA，另一方面又要保证人体所带的静电能通过该电阻很快泄放，使皮肤上的静电小于100V，一般该电阻阻值取为1MΩ。

5.7.7.3腕带防静电性能参数要求：

参照5.10.3.1项；

静电泄放至100V以下的时间：

小于0.1s；

腕带佩带方法：

将腕带佩戴于手腕处，不能松动，手腕感觉四周握紧。

保证手腕带内表面金属面与皮肤良好接触，接地线与ESD接地点连接。

腕带接地应采用香

蕉插头、插孔的连接方式，双回路和单回路手环不可混插入插孔内。

5.7.7.4因无绳防静电腕带的性能对环境湿度依赖性太强，禁止使用无绳腕带。

5.7.7.5每班次开工前，每位员工都应自检防静电环是否正常，并作好记录，只有测试合格，才可以进入静电敏感区域工作；

5.7.7.6静电手环必须编号管理；腕带和腕带连接线分别用蓝色油性笔（使用小头写）写

上使用者工号进行编号，双回路手环同样，两者必须配套使用（如下图）。

5.7.8临时或外来人员的防静电管理

5.7.8.1临时（外来）人员，包括参观人员、非本车间联系工作人员、临时施工人员（包括电工、修理工、装饰工等），进入防静电区域时，要求按作业员工标准进行静电防护实施；

5.7.8.2临时（外来）人员在参观过程中原则上只能沿通道行走，不得靠近或接触产品。

需要接触制品或成品、部品的临时或外来工作人员，佩戴腕带必须通过腕带测试并记录、戴静电手套才能接触含有静电敏感器件的制品或成品、部品；

5.7.8.3防静电区域内需要进行某种维护、修理作业时，维护人员应携带并使用防静电维修设备，并遵守防静电区域的有关规定；

5.7.8.4在生产区域入口处设置放置外来人员静电防护物品的场所。

5.8静电防护区域的防静电操作规范

5.8.1所有的ESSD（静电敏感器件）及其部件的操作必须在静电安全工作台上进行；

5.8.2进入EPA防护区域的所有电子元器件都应视为ESSD来对待；

5.8.3贮存和运输ESSD及其部件时，应妥善进行防静电包装；

5.8.4拒绝接受未包装在防静电容器里的ESSD；

5.8.5所有用非ESD材料包装的电子元器件都应在指定的静电泄放区域，经过拆包和静电泄放处理后，方可用防静电中转工具将其转到静电敏感区域；

5.8.6不允许在EPA区域内存放和处理非ESD的材料，不允许在非静电敏感区域内存放和处理未包装的ESSD，不允许非ESD的材料与ESSD混放；

5.8.7进入EPA区域的人员，都要必须穿好防静电工作服，必须戴上防静电环