英福康氦检仪技术手册分解.docx
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英福康氦检仪技术手册分解
技术手册
2003年3月11日2.0版
UL1000Fab
氦检漏仪
1一般信息
1.1本手册使用符号
1.1.1安全符号
1.1.2指示符
1.1.3真空符号
1.1.4术语定义
1.2INFICON服务的支持
1.2.1维修中心
1.3前言
1.3.1用途
1.3.2技术参数
1.3.2.1物理参数
1.3.2.2电气参数
1.3.2.3其它参数
1.3.2.4环境条件
1.4开箱
1.4.1设备供货范围
1.4.2附件与选件
1.4.2.1吸入器管线SL200
1.4.2.2工具箱
1.4.2.3氦气瓶支架
1.4.2.4ESD垫层
1.4.2.5手持单元
2安装
2.1运输
2.2就位
2.3电连接
2.3.1供电电源
2.3.2数据采集系统的连接
2.3.2.1附件
2.3.2.2数字输出
2.3.2.3数字输入
2.3.2.4记录仪
2.3.2.5RS232
2.3.2.6手持单元
2.4真空连接件
2.4.1进气口
2.4.2排气
2.4.3放空
2.4.4冲洗/气镇
3初始运行检查
3.1需要的设备
3.2初始运行说明
3.2.1启动与测量0-2
3.2.2内部校准
3.2.3验证
4说明和工作原理
4.1前言
4.2UL1000Fab的组件
4.2.1真空系统
4.2.2控制面板
4.2.2.1液晶显示器
4.2.2.2启动按键
4.2.2.3停止按键
4.2.2.4抑零按键
4.2.2.5菜单按键
4.2.2.6软键
4.2.2.7数值输入
4.3工作模式
4.3.1真空模式
4.3.2吸入器模式
5UL1000Fab的运行
5.1显示屏
5.2起转模式中的显示屏
5.3测量模式中的显示屏
5.3.1校准的调用
5.3.2扬声器音量
5.3.3显示屏的状态线
5.3.4数值显示模式
5.3.5趋向模式
6菜单说明
6.1主菜单
6.2一览
6.2.1线性/对数刻度
6.2.2显示范围自动/手动
6.2.3时间轴
6.2.4对比度
6.2.5待用模式中的本底
6.2.6小数点位数
6.2.7漏率过滤器
6.3模式
6.4触发与警告
6.4.1触发值1
6.4.2触发值2
6.4.3音量
6.4.4单位
6.4.5警告延迟
6.4.6音响警告型式
6.4.6.1定点0-3
6.4.6.2漏率正比
6.4.6.3设点
6.4.6.4触发警告
6.5校准
6.6设定值
6.6.1真空设定值
6.6.1.1放空延迟
6.6.1.2保护功能
6.6.1.3内测试漏孔漏率
6.6.1.4机器因素
6.6.2抑零-时间
6.6.3质量
6.6.4接口
6.6.4.1记录仪输出
6.6.5杂项
6.6.5.1时间和日期
6.6.5.3语言
6.6.5.3校准请求
6.6.5.4电源频率
6.6.5.5服务区间排气过滤器
6.6.5.6服务信息排气过滤器
6.6.6参数保存/载入
6.6.6.1载入参数组1
6.6.6.2载入参数组2
6.7信息
6.7.1服务
6.7.1.1调试
6.7.1.2因素
6.7.1.3切换灯丝
6.7.1.4高级功能
6.7.1.5手动调谐
6.7.1.6复位功能
6.8查访控制
6.8.1查访校准功能
6.8.2更改菜单-PIN
6.8.3更改设备-PIN
6.8.4抑零
7校准
7.1前言
7.2校准进程
7.2.1内部校准
7.2.1.1自动内部校准
7.2.1.2手动内部校准
7.2.2外部校准
8误差和警告信息
8.1提示0-4
8.2信息清单
9接口说明
9.1ASCII-模式
9.1.1误差信息
9.1.2参数
9.1.3实例
9.1.4指令清单
9.2二进制模式
9.2.1实例
9.2.2数据格式
9.2.3误差信息
9.2.4指令
10维护
10.1INFICON服务
10.2维护计划
10.2.1最小维护
10.2.2标准维护
10.2.3高级维护
10.3维护步骤
10.3.1更换排气消音器
10.3.2打开UL1000Fab
10.3.3检查/更换过滤器过滤筛网
10.4涡轮分子泵
10.5涡旋泵
附录
A图
B索引
0-5
1一般信息
注意我们建议您仔细阅读本使用说明书，以保证从一开始就进入
最佳工作状态。
本使用说明包含有关UL1000Fab的功能、安装、启动和运行等重要信息。
一般说明
本公司保留设计与特定参数的更改权。
图示是无约束的。
1.1本手册使用符号
1.1.1安全符号
有关操作安全与保护的重要标注如下：
注意
有关正确搬运与使用设备的信息。
忽视将导致误动作或设备的局部损伤。
警告
有关防止大范围地损坏设备和环境的信息。
危险
有关防止各种人身伤害的信息。
熟练人员
表示必须由熟练人员才能执行的步骤。
1-1
1.1.2指示符
提示有关有益的步骤的信息。
注意有关用户必须遵守的特殊技术要求的信息。
参考图示依次包含章节数，图号和项号。
例如：
Fig.2-4/7为2章的图4中项7。
1.1.3真空符号
下面列出本手册中使用的一些重要的真空符号。
真空泵通用
涡轮分子泵
测量仪器
阀门
1.1.4术语定义
自动换挡
自动选择前置放大器的量程和真空量程。
取决于所选的工作模式：
“2：
真空模式”，“2：
吸入器N/SP模式”或“2：
部分常规/无油模式”，UL1000Fab的自动换挡功能覆盖整个量程或漏率。
不仅漏率讯号而且试样中的压强（进气口压强PE）和前级压强（PV）均用作为控制目的。
在主量程之间的量程转换通过阀门执行。
在主量程内的细量程转换由切换前置放大器的增益系数来完成。
1-2
自动质量调整
这个功能自动调整质谱仪从而显示最大漏率。
控制计算机在选择的范围内改变离子加速电压直到离子检测器检测到最大的离子流。
在每次校准过程中自动运行质量调整功能。
自动抑零
确定和自动适应氦本底。
通过这功能，确定仪器的内部零点，然后将它从当前的漏率讯号中扣除。
这功能在校准过程中或当操作起始按键时运行，只要UL1000Fab在待用或放空模式至少预先运行20秒钟。
如先前抑制的氦本底应跌落，这样在抑零期间将只显示限值，零点是自动适应的。
菜单
菜单允许用户按自己的要求编程UL1000Fab。
菜单是树状结构的。
缺省
UL1000Fab供应时工厂设定的状态。
FINE
FINE是中间测量模式，进气口压强在1至0.1毫巴之间。
检测限值为1×10-10毫巴·升/秒。
GROSS
GROSS是用于高进气口压强的测量模式（1至15毫巴）。
最小检测限值为1×10-7毫巴·升/秒。
ULTRA
ULTRA是最灵敏的测量范围，进气口压强低于0.1毫巴。
最小检测限值为1×10-12毫巴·升/秒。
1-3
最小可检漏率
UL1000Fab的最小可检漏率≤5×10-12毫巴·升/秒。
内部氦本底
在测量系统中的氦分压强。
内部氦本底值在待用模式中测量，并从讯号中扣除。
测量
测量模式
待用
UL1000Fab测量试件的漏率。
INFICON服务的支持
如将设备返回INFICON或INFICON的授权代理。
请标明设备无危害健康的物质或设备已污染。
如已污染，前请标明危害的性质。
无污染申报表的任何设备INFICON将按发送地址退回。
详细说明污染类型的表格复制于图1-1中。
建议签订一份维护和检修合同。
1-4
污染申报表
检修和/或服务的提供仅适用于已提交正确完整申报表的真空设备和元件。
手续不完整的将导致延迟。
本申报表必须由经过授权和有资格的人员填写和签署。
1产品说明
型号
编号
出厂号
2返修原因
3使用的工作液体
4产品的污染过程：
毒性否□是□
腐蚀性否□是□
生物危害性否□是□*）
易爆性否□是□*）
放射性否□是□*）
其它有害性物质否□是□
*）已污染的真空产品如无书面的污染资料是不能接受的！
5有害的物质、气体和/或副产品
请列出与设备接触过的物质、气体和副产品：
商标/
产品名称
制造厂
化学名称
（或符号）
危险性材料
等级
如泄漏应采取
的措施
人体接触的
急救方法
6有法律约束的申报：
我申明本申报表中的信息是完整和正确的。
污染的产品将按相应的危险性物质包装、运输和标志的规定发运。
公司或机构的名称：
地址：
邮编：
电话：
电传：
电子邮件：
姓名：
公司盖章：
日期和有法律约束的签名：
图1-1污染申报表
1-5
1.2.1维修中心
当您需要紧急协助时，请与当地的INFICON维修中心联系或联系德
国科隆的服务热线。
国家
公司
城市
电话
传真
E-Mail
巴西
PVPrestVacuo
Ltda.
Santanade
Parnaiba
+55.11.870.2665
+55.11.870.2665
pv@.br
中国
INFICONLTD
香港
+852.2520.2880
+852.2865.6883
reach.china@
北京
+86.10.6590.0164
+86.10.6590.0521
广州
+86.20.8723.6889
+86.20.8723.6003
上海
+86.21.6295.3094
+86.21.6295.3852
法国
INFICON
Vif
+33.4.7672.5215
+33.4.7672.5235
德国
INFICONGmbH
科隆
+49.221.3474.2222
+49.221.3474.2221
Leakdetection.service
@
以色列
MarkTechnologies
Ltd.
KiriatOno
+972.3.534.6822
+972.3.534.2589
日本
INFICONCo.Ltd.
Ibariki-ken
+81.298.89.2741
+81.298.89.2838
reach.japan@
韩国
INFICONLtd.
汉城
+82.31.206.0237
+82.31.206.0239
reach.korea@
新加坡
INFICONPTELTD
新加坡
+65.890.6250
+65.890.6266
reach.sigapore
@
台湾
INFICONCo.Ltd.
ChubeiCity,
Hsinchu
+886.3.553.3797
+886.3.553.3794
reach.taiwan@
英国
INFICONLtd.
伦敦
+44.208.971.7050
+44.208.971.7005
美国
INFICONInc.
EastSyracuseNY
+1.315.434.1167
+1.315.434.2551
Service.usa@
SanJose,CA
+1.408.361.1200
+1.408.361.1556
Austin,TX
+1.512.448.0488
+1.512.448.0398
1.3前言
1.3.1用途
UL1000Fab是氦检漏仪。
本仪器可用下面两种测试方式检测试件中漏孔的位置与大小：
•首先将试件抽空，在外面喷氦。
为此需在UL1000Fab与试件间提供真空连接（真空模式）。
或
•在试件中充以氦压，用连接于仪器进气口上的吸入器探头在试件外搜索（吸入器模式）。
1-6
注意
UL1000Fab只能用于检漏。
切勿用作为抽气系统（尤其不能抽腐蚀性或潮湿气体）。
1.3.2技术参数
1.3.2.1物理参数
最大进气口压强15毫巴
最低可检氦漏率
•真空模式
-GROSS模式1×10-7毫巴升/秒
-FINE模式1×10-10毫巴升/秒
-ULTRA模式5×10-12毫巴升/秒
（见下面的注）
•吸入器模式1×10-7毫巴升/秒
可显示的最大氦漏率0.1毫巴升/秒
测量范围１2个量级
漏率讯号的时间常数<1秒
（盲住，最终值的63%）
粗抽能力25米3/小时（50Hz）
进气口处的抽速（氦）30米3/小时（60Hz）
•真空模式
-GROSS模式0.7升/秒
-FINE模式0.7升/秒
-ULTRA模式2.2升/秒
可检质量数２，３和４
质谱仪１８０°
扇形磁场
离子源两个阴极；
铱／氧化钇
进气口DN25KF
起转时间（从开机）≤2.5分
注意
达到最小可检漏率范围必须满足某些条件：
1-7
UL1000Fab已充分预热
室温条件必须稳定（温度，无震动/加速）
被测试件已长时间抽空（本底不再降低）
抑零功能必须起作用
1.3.2.2电气参数
电源，单相（与型号有关）
件号500-100220…240伏,50/60Hz
件号500-101100…120伏,60Hz
功率损耗1100伏安
保护类型IP40
电源电缆（EU，USA，UK）3米
1.3.2.3其它参数
阀门电磁阀
尺寸（宽×高×深）包括手把（毫米）1068´525´850
尺寸（宽×高×深）包括手把（吋）42´21´33
重量（公斤）110
重量（磅）242
噪声电平dB（A）<58
音响警告dB（A）90
使用中最大可接受加速度
污染水平（按IEC60664-1标准）2
过电压类别（按IEC60664-1标准）Ⅱ
1.3.2.4环境条件
用于室内
允许环境温度（在运行过程中）+10…+40℃
允许储存温度-40…+60℃
最高相对湿度80％无凝聚
最大允许海拔高度（在运行过程中）2000米
1-8
1.4开箱
UL1000Fab到货后应立即开箱，即使暂不安装。
检查运输箱是否有任何外伤。
完全取开包装材料。
检查UL1000Fab的完整性（参考1.4.1节设备供货范围），并仔细目
测检查UL1000Fab。
如发现任何损伤，立即报告代理商和保险商。
如损坏件必须更换，请
与订货部门联系。
提示保留包装材料，以便发现损坏时申诉。
提示开箱请用随设备提供的开箱工具。
1.4.1设备供货范围
氦检漏仪UL1000Fab
排气软管适配件
电源电缆夹具
成套保险丝
成套工具袋
软管卡箍（2+2）
排气过滤器用的过滤筛网（要安装的）
文件夹
-UL1000Fab技术手册
-UL1000Fab备件清单
1-9
1.4.2附件与选件
下列部件可附加订货：
吸入器管线SL20014005
工具箱（可拆卸的）551-000
氦气瓶支架551-001
ESD垫层551-002
手持单元成套件，包括
-手持单元20099022
-带电缆（按需要），4米20099027
-延伸电缆，8米14022
带软管的喷枪16555
1.4.2.1吸入器管线SL200
使用UL1000Fab的吸入器管线可容易地转换成吸入器检漏仪。
吸入器管线长度为4米（即12呎）。
1.4.2.2工具箱
工具箱是带盖的可拆卸的分隔箱，可存放接头和小夹具加上手持单元（参阅1.4.2.5节）。
存放空间约5升。
工具箱放置在工作面上，用手把压住。
1.4.2.3氦气瓶支架
氦瓶支架使您便于随UL1000Fab携带氦瓶和喷枪。
只适用小型和中型的氦瓶不影响UL1000Fab的稳定性。
1.4.2.4ESD垫层
这个垫层放在UL1000Fab的工作面上，由进气口环夹住与接地。
用于避免工作面与灵敏的试件间的放电。
1-10
1.4.2.5手持单元
手持单元是一个遥控器，用于从30米外的距离操纵UL1000Fab。
它具有开机，停机/放空，抑零与扬声器音量，和用条图显示漏率。
1-11
2安装
2.1运输
注意
UL1000Fab仪器未设置任何吊眼，因此运输时不要使用任何起吊设备。
注意
推拉UL1000Fab必须使用为此目的提供的把手。
注意
远距离运输必须使用原来的包装箱。
将UL1000Fab装入运输箱时，不要安装小脚轮。
2.2就位
将UL1000Fab推至所需的位置，制动小脚轮。
警告
UL1000Fab运行时，不能暴露于水或水滴中。
也不能暴露于任何其它液体中。
警告
避免接触酸、碱或溶剂，以及避免恶劣的气候环境。
2-1
警告
UL1000Fab仅限于室内使用。
注意
确保充分的空冷条件。
切勿阻塞空冷的进风口和排风口。
注意
为避免有坡度时滑动可锁住UL1000Fab小脚轮的前轮。
注意
将UL1000Fab推至所需的位置，制动小脚轮。
建议用吸入器探头检测距UL1000Fab半径约10米内所有的氦源，检查是否存在任何氦漏。
2.3电连接
2.3.1供电电源
注意电气连接必须遵守当地的规程。
警告
将UL1000Fab连接至电源前必须确认当地的供电电源电压与UL1000Fab的额定值相符。
仪器必须连接有保护接地的电源。
2-2
UL1000Fab电源电压的额定值可从仪器后板电源插座图2-2/7下
方的铭牌上读出。
电压是固定的不能更改。
在电源开关中为每根电源导线装有单独的保险丝。
仪器的可拆卸电源电缆随仪器供货。
电源插座图2-2/7位于仪器的后板上。
危险
必须使用带有保护接地导线的3芯电源电缆。
运行UL1000Fab时必须连接保护接地。
2-3
图2-2：
连接件
1.附件7.电源插座
2.数字输出8.电源开关
3.数字输入9.扬声器
4.记录仪10.放空
5.RS23211.冲洗/气镇
6.手持单元12.排气
提示插座：
附件，数字输出，数字输入和记录仪的接脚1在顶上。
接脚编号是向下计数的。
2.3.2数据采集系统的连接
2.3.2.1附件
下列附件连接至这个接口图2-2/1：
外放空阀
外分流阀
吸入器探头
2-4
接脚1和3连接有0.8安慢熔保险丝。
功率容量为10瓦。
接脚自上至下编号。
脚用途
1+24伏，不间断供电电源，用于INFICON分流阀或吸入器管线。
2GND24
3,6输入
4,5,7,8输出
2.3.2.2数字输出
脚用途
1+24伏，与„DigitalOut“的插座1桥接
2GND24
3触发器1
4触发器2
5触发器3
6抑零工作
7准备
8校准工作
9校准请求
10误差
11警告
12气镇
13测量
14记录仪选通
15公共数字输出
2-5
2.3.2.3数字输入
脚用途
1+24伏，与„DigitalOut“的插座1桥接
2GND24
3启动
4停止
5抑零
6校准
7清除
8
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