PVD操作使用说明.docx

PVD操作使用说明.docx

《PVD操作使用说明.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《PVD操作使用说明.docx（17页珍藏版）》请在冰豆网上搜索。

PVD操作使用说明

“稀土永磁材料表面防护磁控溅射”使用说明

控制和显示面板

溅射/偏压电源控制设定面板

目录

注意：

系统工作前确认冷却水均开启，水流继电器均吸合，所有控制柜三相供电正常！

！

系统抽气3

大腔室抽气3

小腔室抽气3

大腔室抽气系统关闭3

小腔室抽气系统关闭3

离子源的工作4

离子源1的使用4

离子源2的使用5

离子源3的使用5

磁控圆形靶的使用5

C1或C4的使用5

磁控矩形靶的使用8

中频电源的使用9

脉冲电源2的使用9

样品转盘的使用10

真空室1样品转盘的使用10

真空室2样品转盘的使用10

加热电源的使用10

励磁电源的使用11

升降电机的使用11

状态指示11

靶材更换12

圆形靶的更换12

矩形靶的更换12

软件连锁说明12

偏压的操作13

注意：

系统工作前确认冷却水均开启，水流继电器均吸合，所有控制柜三相供电正常！

！

系统抽气

大腔室抽气

✧注意：

抽气前请确认放气阀关闭！

Ø粗抽：

当大腔室真空度>20Pa，启动机械泵2，打开旁抽阀1。

Ø当大腔室真空度<=20Pa，关闭旁抽阀1，启动机械泵1，启动分子泵1。

然后可以同时打开分子泵2以及截止阀（也可以不使用）

Ø主抽：

当分子泵转速达到450RPM（指示灯变绿，表示分子泵达到额定转速），打开挡板阀，进行主抽。

此时可以同时打开闸板阀1（也可以不使用）。

✧注意：

打开旁抽阀1或2时，必须先关闭截止阀，和挡板阀、闸板阀！

✧注意：

开启截止阀、挡板阀、闸板阀时，必须先关闭旁抽阀1和2！

小腔室抽气

Ø粗抽：

当小腔室真空度>20Pa，启动机械泵2，打开旁抽阀2

Ø当小腔室真空度<=20Pa，关闭旁抽阀2，打开截止阀，延时3-5秒后启动分子泵2。

Ø主抽：

当分子泵2转速达到450RPM（指示灯变绿，表示分子泵达到额定转速），打开闸板阀2，进行主抽。

✧注意：

打开旁抽阀1或2时，必须先关闭截止阀，和挡板阀、闸板阀！

✧注意：

开启截止阀、挡板阀、闸板阀时，必须先关闭旁抽阀1和2！

大腔室抽气系统关闭

Ø关闭挡板阀及闸板阀1，延时5-10秒

Ø关闭分子泵1，等待转速下降

Ø当分子泵频率显示到200以下，关闭机械泵

小腔室抽气系统关闭

Ø关闭闸板阀2，延时5-10秒

Ø关闭分子泵2，等待转速下降

Ø当分子泵频率显示到200以下，关闭电磁阀及机械泵

离子源的工作

离子源1的使用

Ø选择“室I进气”按键。

Ø确认电离规关闭（真空计上复合按键指示灯关闭），开启进气阀5（此时其余进气阀门应关闭），对气路管道抽气。

Ø点击“定值调节”按键，选择流量2数值，设定气体流量（3-10sccm）。

等待流量2显示值稳定后调解节流阀

Ø点击节流阀“电源”按键，使得节流阀电机上电。

Ø在“目标位置”输入设定值控制节流阀阀板的角度（0-90，0全关，90全开）

Ø点击“停止/启动”按键，等待“当前位置”显示值与“目标位置”设定值一致时，观察当前真空度。

Ø离子源可工作的真空范围：

1.5X10-2Pa~7.0X10-2Pa之间。

Ø当真空度在上述范围类可以启动离子源。

需要在“控制柜”手动控制。

程序如下：

1.开启离子源面板“总开关”（注意：

开启前确认所有调节旋钮在最小位置）

2.开启“阳极开关”，调节“阳极电压调节”旋钮，阳极电压调节到150V左右。

3.打开“灯丝开关”，将灯丝电流缓慢调至10A左右。

4.缓慢调节“阳极电流调节”旋钮，直至出现阳极电流。

5.如果调节“阳极电流调节”旋钮始终没有出现阳极电流，可将“阳极电流调节”旋钮

调至最大。

然后适当增加灯丝电流或阳极电压，直至出现阳极电流。

如果还未出现阳极电流，可以重新调整“流量”大小/“节流阀”角度，并适当改变离子源工作真空度。

6.等待阳极电流稳定后手动打开离子源挡板，进行清洗或镀膜。

7.关闭离子源时，首先将各旋钮调至最小，然后依次关闭“灯丝开关”、“阳极开关”、

“总开关”。

✧注意：

使用前需要将离子源输出线摘下，检查各电极对地的绝缘情况！

✧注意：

接触离子源电极以及输出端子前，必须先确认各指针表归零！

✧注意：

灯丝电流工作范围10-15A，尽量不要大于20A！

✧注意：

阳极电压不要超过200V！

离子源2的使用

Ø选择室I进气按键。

Ø确认电离规关闭（真空计上复合按键指示灯关闭），开启进气阀4（此时其余进气阀门应关闭），对气路管道抽气。

Ø点击定值调节按键，选择流量1数值，设定气体流量（3-10sccm）。

Ø等待流量1显示值稳定后调解节流阀

Ø其余同上。

离子源3的使用

Ø选择室II进气按键。

Ø确认电离规关闭（真空计上复合按键指示灯关闭），开启进气阀9（此时其余进气阀门应关闭），对气路管道抽气。

Ø点击定值调节按键，选择流量4数值，设定气体流量（3-10sccm）。

Ø等待流量4显示值稳定后调解节流阀

Ø其余同上。

磁控圆形靶的使用

C1或C4的使用

Ø选择室I进气按键。

Ø确认电离规关闭（真空计上“复合”按键指示灯关闭），开启进气阀1，选择2或/和3，对气路管道抽气。

Ø点击“定值调节”按键，选择流量2或/和流量1数值（流量2对应进气阀3，流量1对应进气阀2），设定气体流量。

Ø等待流量2或/和流量1显示值稳定后调解节流阀

Ø点击节流阀“电源”按键，使得节流阀电机上电。

Ø在“目标位置”输入设定值控制节流阀阀板的角度（0-90，0全关，90全开）

Ø点击“停止/启动”按键，等待“当前位置”显示值与“目标位置”设定值一致时，观察当前真空度。

Ø磁控靶起辉的真空范围：

起辉压力2-5Pa之间，工作范围0.1-10Pa。

Ø当真空度达到理想溅射真空度时进行以下溅射电源及靶的选择：

Ø选择“脉冲偏压电源/中频电源”窗口。

出现下列菜单：

Ø确认脉冲偏压电源1处于“停止”状态，将“靶#1”或/和“靶#4”选择按键从“禁用”切换为“启用”。

Ø如果“脉冲偏压电源”不作为溅射电源，则可作偏压使用（使得基片对地产生负偏压）。

选择“真空室I偏压”或“真空室II偏压”。

Ø点击脉冲偏压电源1的设定框，设定功率值，设定完毕之后，切换“停止/启动”按键至启动状态，电源即开始工作。

Ø脉冲偏压电源1的实际工作参数均在以下显示框内显示，实时观测工作参数及真空室内辉光情况，

Ø此时，靶的挡板处于关闭状态，此时可以进行预溅射对靶面进行清洗。

（预溅射时间一般为10秒-2分钟不等）

✧注意：

新换靶材时会有轻微打火现象，应在小功率下对靶面进行清洗，如打火严重应将功率继续调小直至关闭，稍后待靶面冷却后继续小功率清洗！

Ø当预溅射结束后即可开启挡板对样品进行溅射：

Ø点击“电源开关”使靶挡板电机上电，然后按住”开”按钮，使之变为绿色即为挡板开启到位

Ø如果按住关”按钮，使之变为绿色即为挡板关闭到位。

Ø如果使用C2或C3。

Ø进气调节同C1或C4。

Ø选择“脉冲偏压电源/中频电源”窗口。

出现下列菜单：

Ø确认脉冲偏压电源2处于“停止”状态，将“靶#2”或/和“靶#3”选择按键从“禁用”切换为“启用”。

Ø如果“脉冲偏压电源2”不作为溅射电源，则可作真空室1偏压使用（使得基片对地产生负偏压）。

选择“真空室I偏压”。

Ø脉冲偏压电源2也可带小真空室矩形靶工作，详见矩形把工作方式。

Ø点击脉冲偏压电源2的设定框，设定功率值，设定完毕之后，切换“停止/启动”按键至启动状态，电源即开始工作。

Ø其余步骤同C1或C4

磁控矩形靶的使用

Ø选择“室2进气”按键。

Ø确认电离规关闭（真空计上复合按键指示灯关闭），开启进气阀6，选择7或/和8，对气路管道抽气。

Ø点击定值调节按键，选择流量3或/和流量4数值（流量3对应进气阀7，流量4对应进气阀8），设定气体流量。

Ø等待流量3或/和流量4显示值稳定后调解节流阀

Ø点击节流阀“电源”按键，使得节流阀电机上电。

Ø在“目标位置”输入设定值控制节流阀阀板的角度（0-90，0全关，90全开）

Ø点击“停止/启动”按键，等待“当前位置”显示值与“目标位置”设定值一致时，观察当前真空度。

Ø磁控靶起辉的真空范围：

起辉压力2-5Pa之间，工作范围0.1-10Pa。

Ø当真空度达到理想溅射真空度时进行以下溅射电源及靶的选择：

Ø选择“脉冲偏压电源/中频电源”窗口。

出现下列菜单：

中频电源的使用

Ø确认中频电源处于“停止”状态，将“中频电源选择按钮”从“禁用”切换为“启用”。

Ø点击中频电源的设定框，设定电流值，设定完毕之后，切换“停止/启动”按键至启动状态，电源即开始工作。

Ø中频电源输出阴阳极分别接在CA和CB上，工作时CA和CB在正弦波的每个半周互为阴阳极。

脉冲电源2的使用

Ø确认脉冲偏压电源2处于“停止”状态，将“矩形把1”或/和“矩形把2”选择按键从“禁用”切换为“启用”。

Ø点击脉冲偏压电源2的设定框，设定功率值，设定完毕之后，切换“停止/启动”按键至启动状态，电源即开始工作。

样品转盘的使用

真空室1样品转盘的使用

Ø黄色框为转速设定，白色框为转速显示，设定好后点击“启动/停止”按钮，绿色为转动运行状态，此时转盘公转同时带动样品自转。

真空室2样品转盘操作使用同上。

加热电源的使用

Ø首先确认控制柜上加热电源机箱处于关闭状态，然后在机箱前面板上通过选择开关，选择加热1或加热2，加热1和加热2分别对应真空室1和2的加热器。

✧注意：

切勿带电切换，否则损坏电源！

Ø然后开启机箱面板上“启动”按钮，使机箱上电。

Ø点击“设定温度”框，设定加热温度，然后按住“写入”键一秒左右，即设定完毕。

Ø点击“启动”按钮，加热电源即开始工作。

Ø通过机箱前面板“功率调节”旋钮，调节加热电流，调解后电流表显示值即为加热电流上限值，控温表根据温度设定值自动在“0-上限值”之内进行电流调节，从而控制温度。

Ø须将后面板通讯电缆拔下后，方可通过控温表上按键进行参数设置，关于控温表的操作具体请详见fp93中文操作说明书。

Ø关于控温电源具体结构原理，详见加热控温电源说明书。

✧注意：

加热时电流需要缓慢调节，真空室1加热电流勿超过13A，真空室2加热电流勿超过30A！

✧注意：

加热前须检测加热电极对地绝缘情况！

✧注意：

接触加热电源输出端子或加热电极前，确保切断电源！

励磁电源的使用

Ø励磁电源为铜线圈提供直流电压，产生电磁场，通过调节“功率”旋钮，控制线圈电流使得磁场强度变化，进而进行非平衡溅射等工艺手段。

该电源为控制柜手动面板操作。

Ø使用前，确保线圈输出极对地绝缘良好，线圈冷却水通畅。

升降电机的使用

Ø通过点击“升/降”按钮来实现升降电机的正反转控制，进而实现小真空室上盖的升降。

升或降分别通过上下限位进行连锁，如上升过程中，电机定位片撞击升限位开关，使之触点断开，上升停止，同时升限位指示灯变为红色。

Ø降限位工作方式与升限位工作方式相同。

进行降操作时，须两人同时操作，其中一人点击按钮，另一人通过控制上盖定位片以保证真空室上盖对准腔体。

状态指示

Ø上位机界面除以上描述外，还可对以下功能进行显示：

Ø真空计的显示：

Ø挡板开关指示：

挡板关状态

挡板开状态

挡板开或关均未到位，或限位开关与定位螺钉距离远

Ø靶选择状态指示：

绿色表示该靶被选择，未选择时为灰色

Ø水流及机械泵三相指示状态：

红色为缺水或者缺相

靶材更换

圆形靶的更换

Ø先拧下屏蔽罩，再旋开靶材压盖上三个螺钉，取下靶材压盖拿出靶材。

Ø安装时先清洗靶材，然后将靶材放入靶材压盖，旋紧三个螺钉，拧上屏蔽罩，使屏蔽罩与靶材之间距离保持2-3毫米，

✧注意：

安装时要求靶材与靶的接触面一定要平整！

矩形靶的更换

Ø先取下矩形靶，拧下屏蔽罩，取下靶材压盖拿出靶材。

Ø安装时先清洗靶材，然后将靶材放入靶材压盖，拧上屏蔽罩，保证屏蔽罩与靶材之间距离保持2-3毫米，

✧注意：

安装时要求靶材与靶的接触面一定要平整！

软件连锁说明

✧截止阀开启时，旁抽阀1、2无法开启

✧闸板阀1开启时，旁抽阀1、放气阀1无法开启

✧挡板阀开启时，旁抽阀1、放气阀1无法开启

✧闸板阀2开启时，旁抽阀2、放气阀2无法开启

✧旁抽阀1开启时，截止阀、放气阀1、挡板阀、闸板阀1无法开启

✧旁抽阀2开启时，截止阀、放气阀2、闸板阀2无法开启

✧放气阀1开启时，挡板阀、闸板阀1、旁抽阀1无法开启

✧放气阀2开启时，闸板阀2、旁抽阀2无法开启

✧放气阀2关闭时，升降升开关无法开启

偏压的操作

启动偏压前：

Ø将机械手拉至与转盘距离最远，并固定，

✧注意：

否则将触电！

！

！

Ø请将AE电源切换成LOCAL模式

ØAE电源选择电压模式，并设定电压值

Ø在软件界面进行偏压切换选择

Ø在AE电源面板上点击ON按钮启动偏压