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1、北京大学物理学院北京大学物理学院脉冲激光沉积和磁控溅射双模式沉积系统”招标采购项目招标文件编号： 2013012北京大学实验室与设备管理部二一三年月三十日第一部分 投标邀请 2.第二部分 招标说明 4.第三部分货物需求一览表及技术规格 7.第四部分设备明细表 12第五部分 技术规格偏离表 13第六部分原厂授权书 14开 标一 览 表 15第一部分投标邀请公告日期：2013年5月29日项目名称：北京大学物理学院“脉冲激光沉积和磁控溅射双模式沉积系统”招标采购项目招标编号：2013012招标机构名称：北京大学实验室与设备管理部地 址：北京市海淀区颐和园路5号北京大学红5楼邮编：100871电 话：

2、62758587 62751412;传真：62751411联系人：张宇波石铄北京大学实验室与设备管理部（以下简称“招标机构”）具体承办北京大学物理学院“脉冲激光沉积和磁控溅射双模式沉积系统” 招标采购项目的招标采购事宜， 邀请合格投标人就下列货物和有关服务提交密封投标。合格投标人均可在招标机构得到进一步的信息和查阅招标文件。1.招标内容1.1招标货物名称：脉冲激光沉积和磁控溅射双模式沉积系统1.2数量及技术规格要求：数量壹套，技术规格要求详见标书1.3交货地点：北京首都机场2.合格投标人必须符合中华人民共和国政府采购法第二十二条之规定。3.招标文件购买时间和办法： 2013年5月30日一201

3、3年6月24日9:00至16:30时在招标机构（北京大学西门内红1楼、红2楼之间横楼二层5216室）购买招标文件。标书售价 200元人民币，售后不退。4.投标人可从北京大学招标公告栏或实验室与设备管理部网站下载本次招标的电子版标书（http:/www .1 ab.pku.edu.c n/more2.asp ），以供参考。5.接受投标时间、投标截止时间及开标时间5.1接受投标及投标截止时间：所有投标书应于 2013年6月25日8:30前递交到上述购买标书地址，逾期恕不接受。5.2开标时间：兹定于2013年6月25日8:30整在北京大学实验室与设备管理部后院会议室进行开标、 评标工作。6.投标细则

4、6.1投标内容6.1.1最终用户：北京大学物理学院6.1.2设备名称：“脉冲激光沉积和磁控溅射双模式沉积系统”6.1.3投标语言：投标文件第四部分 -Summary Sheet of Goods Description （设备明细表）及第五部分-Specification and Deviation Form （技术规格偏离表）以中英文对照应标，其余相关投标文件以中文应标。6.1.4投标货币：美元/欧元6.1.5交货时间：合同签订后的四个月内6.2付款条件：招标机构接受以下付款方式： ：100M可撤消即期信用证，其中 90啖款凭装运单据支付，10%尾款凭用户签字确认且加盖单位公章的验收报告支付

5、。6.3标书文件要求6.3.1投标设备及价格明细表 （Summary Sheet of Goods Descriptio n）6.3.2技术规格应答及偏离表（Specification and Deviation Form ）（请对技术标书内容逐项应答并填充具体指标）6.3.3技术资料及样本原件6.3.4原厂商委托书原件（适用于投标人为贸易公司者）6.3.5资格证明文件包括：营业执照（复印件）；法人资格证明或法人代表授权书；税务登记证明（复印件） ；银行资信证明；近三年的销售业绩及投标人认为有必要提供的相关证明文件。6.4 文件数量：一式六份（一份正本五份副本） ，开标一览表（SUMMARY

6、SHEET FOR BID OPENING本壹份（请单独放在信封内供开标用）7.投标地点和开标地点：北京大学实验室与设备管理部 B08会议室8.中标结果将在公示期满后以书面形式通知中标商。9.中标服务费按差额定律累进法计算收取，具体为：9.1100万元人民币以下部分按 1 %收取；9.2100 500万元人民币部分按 0.8 %收取；9.3500 万元以上人民币部分按 0.6 %收取。10.条款解释：本招标文件内容的解释权属于北京大学实验室与设备管理部。第二部分招标说明一.招标要求1.北京大学实验室与设备管理部（以下简称“招标机构” ）具体承办北京大学物理学院“脉冲激光沉积和磁控溅射双模式沉积

7、系统”招标采购项目的招标采购事宜 （Bid No. 2013012）。2.投标人应仔细阅读招标文件（包括技术规格）的全部条文。3.投标人所提供货物的技术规格应符合或超过标书中技术规格的要求。 如果投标人不提供技术规格偏离表说明偏离情况，则将认为提供的货物完全符合招标文件的要求。4.投标产品是用新技术制造的， 应相当或超过招标文件规定的技术规格， 投标产品应具有相当或更好的性能、可靠性和耐用性。5.投标时提交的产品样本必须是“原件” ，而不是“复制件”。6.交货地点为北京首都机场海关。7.交货时间在标书的技术规格部分中已注明。 在投标文件中，投标人必须说明在授标以后完成交货的时间，经双方同意的交

8、货期从合同生效之日算起。8.除了在技术规格中提出的要求外，在合同生效后 60天之内，为使用户做好准备工作，卖方应给最终用户邮寄一套所供产品的全套技术资料，其中包括操作手册（或应用指南） 、维修手册等，另一套完整技术资料应随货物包装发运，这些费用应包括在该品目的基本报价中。9.在合同生效后30天内应将设备安装前对实验室的具体要求邮寄给最终用户。10.设备应包括一套标准附件和专用工具，投标人按常规提供的标准附件和工具的数量，应在投标中说明，并报单价。这些费用应包括在该品目的基本价格之内。11.对招标品目，除了标准附件外投标人还可提供保证设备正常运行的附件，专用工具，它们是该品目的补充部分，需分别报

9、单价和总价，在评标时其总价应计入该品目的基本价格之内。12.在技术规格中提出了询问的附件、备件、专用工具和消耗品，需分别报单价和总价，一旦接受，其 费用将记入合同。13.除了技术规格中买方提出的要求之外， 投标人可以推荐某些附件、 备件和消耗品，它们是供选购的,应分别报单价和总价，一旦接受，其费用将计入合同。14.维修及技术服务要求详见标书技术需求部分。15.投标文件一式六份（一正五副），包括以下文件：15.1投标设备及价格明细表 （Summary Sheet of Goods Descriptio n）15.2技术规格应答及偏离表（Specification and Deviation Fo

10、rm）（请对技术标书内容逐项应答并填充具体指标）15.3技术资料包括样本原件15.4原厂商委托书原件（适用于投标人为贸易公司者 ）15.5资格证明文件15.6开标一览表（请单独放在信封内供开标用）16.投标文件有效期为自开标之日起的 60天。投标货币为美元/欧元。接收投标文件截止时间为 2013年6月25日8:30时。投标商务必在此时间前把密封投标文件送达，逾期恕不接受。邮编：100871； 电话：012-62758587 62751412 ； 传真：012-62751411联系人：张宇波、石铄二.评标原则1.初步审查及确定是否基本响应：1.1审查投标人所投的标是否完整无误，如单价和总价间有出

11、入，则以单价为准，修正总价；如文字与数字间有出入，则以文字金额为准；1.2确定标书是否对招标文件做出了基本响应，即是否符合招标文件的所有条款，有没有重大偏离。重大偏离系指实质上影响投标人提供货物数量、质量或交付期，或者指实质性地与招标文件不一致， 限制了招标方的权利或投标人的义务；1.3对标的响应性的确定是依据投标文件本身的内容，而不受外因的影响；1.4确定为未做出基本响应的标将予排除，投标人不能在开标之后，通过改正不符之处而使其投标变为能响应。对于投标文件中并不构成重大偏离的任何细小的不正规、不一致或参差不齐，可以忽略。2.评标方法：本次招标采用综合评分法， 是指在最大限度地满足招标文件实质

12、性要求前提下， 按照招标文件中规定的各项因素进行综合评审后， 以评标总得分最高的投标人作为中标候选供应商或者中标供应商的评标方法。3.评分因素所占权重：3.1投标报价：30%;3.2综合商务：10%，考虑投标商资质状况；考虑投标人供货方案；考虑投标人近 3年来做过的与本项目相同或相似的项目业绩等；3.3技术性能：50%，考虑投标商的设计方案、投标产品的配置、性能等；3.4售后服务：10% ;售后服务，培训等；4.标的澄清：为有助于对评标文件进行审查、 评价和比较，我们可以请投标人澄清其投标内容。 提出澄清的要求与答复均应是书面的，并不得改变投标价格或实质内容。5.资格后审：5.1这次评标中，我

13、们将对综合得分最高投标人和紧接其后的具有评估价的另一投标人进行重点资格后审；5.2确定所选择的投标人是否有资格满意地履行合同，同时对紧接其后的具有评估价的另一投标人也要 求做出类似的确定；5.3做出确定时将考虑投标人的财务、技术、服务和生产能力。审查是以投标人提交的投标人资格证明 文件及我们认为必要的其它资料为基础进行的；5.4如果确定综合得分最高的投标人不符合履行合同资格，其标将被排除，随即考虑第二家。6.授予合同的准则：招标机构不承诺最低价中标，将把合同授予成功的投标人，即所投的标被认定是能最大限度的响应、 综合得分最高且是经资格后审后认为能满意地履行合同的投标人。7.废标：遇到下列情况之

14、一时，可以废标：7.1全部投标厂商均不具备投标资格；7.2全部投标实质上都有不符合招标文件要求；7.3缺乏有效的竞争；7.4投标价格超过预算，招标人无力支付。三评标程序1.从开标到批准授予合同为止，这一段工作称为评标。2.开标后，业务组整理投标文件及有关商务资料，登记分发给评标人进行评标。3.评标人检查投标文件的完整性。投标文件应包括以下文件：3.1投标设备及价格明细表 （Summary Sheet of Goods Descriptio n）3.2技术规格应答及偏离表 （Specification and Deviation Form）3.3技术资料（样本原件）3.4原厂商委托书原件（适用于

15、投标人为代理商或贸易公司 ）3.5资格证明文件3.6开标一览表（请单独放在信封内供开标用）第三部分货物需求一览表及技术规格1设备名称：脉冲激光沉积和磁控溅射双模式沉积系统（ Pulsed Laser and Mag netro n Sputteri ngDual Modules Vacuum Depositi on System ）2数量：1套3设备用途说明（用户今后的具体使用用途）本系统将主要用于制备钙钛矿氧化物薄膜、氧化物异质结、金属半导体氧化物，高质量金属薄膜等复合材料薄膜、以及在光纤探针和纳米线材料等表面镀金属或其它功能材料。 目标是利用所生长的薄膜材料开展纳微光子器件和纳米光子学领域

16、的基础科学研究工作。4工作条件 （包括电源电压，环境温度，相对湿度是否长时间连续运行）电源：符合用电标准， AC220V/380V, 50Hz。相对湿度：20%-70% 长时间运行，无问题情况下 24小时运行。温度：10-40摄氏度。5规格、技术要求及参数（包括提供技术文件或图纸、设备工作条件及环境要求）本系统主要由高真空外延室，预真空进样室和样品传送机构，真空系统，脉冲激光沉积光学部件，磁控溅射装置，热蒸发装置，离子束辅助沉积装置，非标准部件的光纤及纳米线侧面沉积样品台， RHEED监测设备，计算机控制及相关软件，以及其他配套辅助设备组成。5.1本系统至少包括两个真空腔室， 即进样室和外延室

17、； 含有样品传递机构， 样品通过传送杆来稳定 咼效传递。5.2高真空外延室，预真空进样室样品台：样品台可装载基片尺寸不小于 50mm或数个小基片；样品台可连续回转，转速可调范围 560转/分，转速均匀性w 0.1转/分；样品台加热系统的加热温度可调范围 30- 850摄氏度，控温精度土 0.2摄氏度，加热均匀性 w21%/cm ;靶台组件配有3-6个靶，靶材尺寸 50mm或者30mm靶与样品之间距离可调，范围不小于 30120mm（腔外调节），调节精度w 0.5mm；每块靶材可实现计算机控制的连续自转和连续公转；自转转速可调范围 560转/分，公转转速可调范围110转/分，转速均匀性w 0.1

18、转/分；有效防止靶材间的交叉污染；5.3真空系统外延室极限真空w 5.0x10 -9Torr ；系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气， 20分钟可达到5x10-7 Torr ；进样室极限真空w 5X10-7Torr ；系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气， 20分钟可达到5x10-6 Pa；外延室和进样室配合使用，要求外延室达到高超高真空，使用包括干泵 +分子泵+离子泵等;抽气能力：分子泵抽速 700升/秒；各真空泵相关匹配的电源和控制系统；真空泵前配防尘装置进行保护；工作状态下压力探测及保持系统；配有相应的高真空计和低真空计；5.4脉冲激光沉积光学部件配有与现有准分子脉冲激光

19、器匹配的光学部件（光学支架，透镜，反射镜，保护壳等） ，执行脉冲激光溅射功能。实现激光束在 X和Y平面内的二维扫描，扫描角度可控，扫描速率连续可调，范围 35mm秒。5.5磁控溅射部件两套兼容超高真空环境的磁控溅射源；各自都配有射频电源， 功率300W可通过计算机检测镀膜的速度和厚度， 可自动控制或编程控制工艺参数及控制挡板的开启关闭，镀膜速度控制精度高于 0.1 ?/s。5.6热蒸发部件（可选部件）一套热蒸发沉积装置，配有电源及控制器，水冷却套管，集成挡板等；（如紧凑型电子热蒸发源配置）可通过计算机检测镀膜的速度和厚度，镀膜速度控制精度高于 0.1 ?/s。5.7非标准部件的光纤及纳米线侧面

20、沉积样品台该样品台在轴向可连续回转，转速可调范围0.1-10转/秒；样品台轴线与溅射羽辉夹角可调，调节范围土 30;5.8计算机控制及相关软件主要控制公转换靶、靶自转、样品自转、样品控温、激光束扫描 ，溅射离子源等。5.9其他配套辅助设备5.9.1 高氧压下的差分式高能电子衍射仪， 包括RHEED虽度振荡、生长速率监测系统，CCD探测器，计算机控制软件等；最小束斑w 0.1mm能量25keV,配有独立真空泵及真空计等；5.9.2离子源（可选部件），配有离子束发生源及电源 1套，可以辅助薄膜沉积， 氩离子动能1keV,束流60mA等。5.10工作气路气流控制外延室：质量流量器控制3路（氧气或氩气

21、），真空角阀控制1路（解除真空除氮气）；MFC勺控制精 度三 1%,最大流量为 100sccm，最小重复精度为 0.2sccm。进样室：真空角阀控制 1路（解除真空除氮气）；5.10附件及零配件（备件及消耗品，包括专用工具）提供系统整体和各个重要部分的详细图纸；配备循环水冷却系统和电源控制系统 ，冷却水的流量10升/分钟，控温精度土 1摄氏度；各种真空测试装置的灯丝，铜垫圈，衬底加热丝或加热器，安装和维护系统所需要的工具；膜厚监测仪，石英晶体测厚仪及其备件和耗件;设备烘烤系统；6 .技术指标镀膜腔体极限真空度：优于 5 x 10 -9Torr。外延真空室暴露大气后重新开启真空系统时，真空度8必

22、须在75分钟内达到 5 x 10 - Torr。对于2英寸的Si基片，溅射厚度为 250nm的Al膜，去掉5mmB勺边缘，薄膜不均匀性低于土 5%。在室温镀膜过程中基片温度不得超过 80 C。7.技术服务条款7.1.安装、调试与培训仪器到货后，厂家需在接到用户通知后 10个工作日内进行安装调试；提供用户管理人员的现场操作使用及基本维护的免费培训。 培训由乙方资深工程师执行， 为2-3个工作日。其地点为仪器安装现场。培训内容主要包括仪器工作原理及仪器的操作； 软件操作及应用；日常维护事宜。用户使用仪器一段时间后，投标商对用户相关人员进行进一步操作和技术培训。7.2.验收：设备各项指标符合投标要求

23、，以及生长材料验收实验 ：样品1:高真空下在 SrTiO3(001)基片上外延生长 40nm厚的BaxSr1-xTiOLa xSrxMnO异质结，检验RHEED 电控、测厚等功能；样品2：较高真空下在 MgC基片上沉积300nm厚的Au:BaTiO3复合薄膜；样品3:在光纤探针表面镀 100nm厚Au膜。7.3.保修期：自仪器安装调试合格之日算起的壹年。 设备保修期满前1个月，卖方免费负责一次全面的检查、 维护，并写出正式报告，如发现潜在问题，应负责排除。设备供应商提供终身维修，并保证保修期满后不 低于十五年的零配件供应。7.4.服务响应时间：接到用户通知后二十四小时内给予答复， 两个工作日内

24、给出解决方案并到达用户现场解决问题。 重大问题或其它无法立刻解决的问题应在一周内解决或提出明确的解决方案，如因卖方原因不能及时修 复，保修期将相应顺延。7.5.软件升级：在硬件支持的前提下，免费提供软件升级。76提供维护操作手册和维修图。8.包装要求及运输方式包装要求：应使用崭新坚固之木箱（标准出口包装） ，适合于空运、海运或陆运等长途运输方式；适合气候变化；抗震、防潮、防雨、防锈、防冻。投标商应对任何由于不当包装或防护措施不利而导致的商 品损坏、损失、锈蚀、费用增长等后果负责。运输方式：空运或其他方式（须注明）9.交货日期：合同签订后 5个月10 .交货地点：北京首都机场或北京其他口岸第四部

25、分设备明细表Summary Sheet of Goods Descripti onBid No. 2013012Item No.序号Commodity品 名Specificati ons技术规格Qty数量Unit单位Un it Price单价Amount总价Signature of Bidder: 投标商签字：第五部分技术规格偏离表Specificati on and Deviati on FormBid No. 2013012Item No.序号Commodity品 名Specificati ons required 标书要求技术规格Specificati ons offered 投标应答技

26、术规格Deviati on偏离说明Signature of Bidder: 投标商签字：第六部分原厂授权书参与投标的代理商或贸易公司须持有制造商针对本次投标的授权，或在有效期内的长期授权。进口品牌原厂授权书可参照如下格式：LETTER OF AUTHORITY FROM MANUFACTURER (Name of Manu facturer)To Whom it May Concern:We (Name of Manufacturer), a manufacturer duly organized under the laws of (Name of Coun try) and hav ing

27、 its prin cipal place of bus in ess at (Address of Manu facturer), hereby make, con stitute and appoint , a company duly organized under the laws ofand havi ng its prin cipal place of bus in ess at , to be our true andlawful attorney in fact to do the following:(1)To represe nt and bind us in the P.

28、 R. China for the Buyers In vitati on forBid No. 2013012 for supply of the Goods proposed in the bid which we manufacture orproduce.(2)That, as a manu facturer, we bi nd ourselves as co-maker of the bid and are joi ntly and severally resp on siblefor the complia nee of the said bid.(3)That we hereby

29、 give and grant to the said full power andauthority to do and perform all and every act and thing whatsoever, requisite, n ecessary and proper to be done in the premises, as fully to all intents and purposes as we might or could do, with full power of substituti on and revocati on, hereby ratify ing

30、 and con firm ing all that orits duly authorized representative shall lawfully do, or cause to be done by virtue hereof.IN TESTIMONY WHEREOF WE HA VE HERETO SIGNED THIS DOCUMENT ON 2013 .Accepted on 2013 .NAME OF TRADING COMPANY NAME OF ISSUING MANUFACTURER(Name of duly authorizedreprese ntative to sig n,rank or positi on and departme nt)(Name of duly authorized represe ntative to sig n, rank or positi on and departme nt)开标一览表SUMMARY SHEET FOR BID OPENINGBid No. 2013012Name of Bidder投标商名称Country of Origin of Bidder投标商国别Country of