N型单晶硅制备技术.docx

1、N型单晶硅制备技术N 型单晶硅制备技术引言作为最理想的可再生能源， 太阳能具有“取之不尽， 用之不竭” 的特点， 而利用太阳能发电具有环保等优点， 而且不必考虑其安全性 问题。据统计， 2007 年全国一次能源消耗 26.5 亿吨标煤，而我国地 表每年吸收太阳能达 17000亿吨煤。我国有 158完平方公里荒漠， 假 如太阳能利用率达到 10%，即荒漠区 10%土地上的太阳能转化，就 可以满足全国 2007 年的能源需求。欧洲联盟国家在 2010 年太阳能光 电转换的电力占所有总电力的 1.5。我国十二五计划表示到要达到 “十二五末非化石能源在一次能源消费中的比重达到 11.4%”这一目标，中

2、国未来数年必将掀起太阳能等新兴能源产业的投资浪 潮。在能源短缺， 环境保护问题日益严重的我国，研究低成本高效率 地利用太阳能尤为重要。近 30 年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开 拓方面都获得了长足发展， 成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。 而其中的太阳光伏发电是世界上节约能源、 倡导绿色电力的一种主要 的高新技术产业。 发展光伏产业已经成为全球各国解决能源与经济发 展、环境保护之间矛盾的最佳途径之一。 目前晶体硅太阳能电池占据 着光伏产业的主导地位，占世界太阳能电池市场的 80。1 单晶硅熔融的单质硅在凝固时硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核， 如 果这些晶核长成晶面取向相

3、同的晶粒， 则这些晶粒平行结合起来便结 晶成单晶硅。单晶硅具有准金属的物理性质，有较弱的导电性，其电 导率随温度的升高而增加， 有显著的半导电性。 超纯的单晶硅是本征 半导体。在超纯单晶硅中掺入微量的皿A族元素，如硼可提高其导电 的程度，而形成P型硅半导体；如掺入微量的V A族元素，如磷或砷 也可提高导电程度， 形成 n 型硅半导体。 单晶硅的制法通常是先制得 多晶硅或无定形硅， 然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状 单晶硅。1.1单晶硅的光电转化原理纯的硅晶体总体显电中性， 自由电子和空穴的数目是相等的。 如 果在硅晶体中掺入能够俘获电子的硼、铝、镓或铟等杂质元素，那么 它就成了空穴型

4、半导体，简称 p (positive)型半导体。如在硅晶体中 掺入能够释放电子的磷、 砷等杂质元素，那么它就成了电子型半导体， 简称n(negative)型半导体。当p型和n型半导体结合在一起时，在交 界面处便会形成一个特殊的薄层，这是由于 P型半导体多空穴，n型 半导体多自由电子，出现了浓度差。n区的电子会扩散到P区，P区 的空穴会扩散到 n 区。这样原本呈电中性的界面变成了 n 区带正电、 P区带负电，一个由n指向P的“内电场”，从而阻止扩散进行，所 以内电场又叫势垒电场。当太阳照射 p-n结时，在半导体内的电子由 于获得了光能而释放电子， 相应地便产生了电子一空穴对， 并在势垒 电场的作

5、用下，电子被驱向 n 型区，空穴被驱向 P 型区，从而使 n 区有过剩地电子，P区有过剩地空穴；于是，就在 p-n结附近形成了 与势垒电场方向相反的光生电场。光生电场的一部分抵消势垒电场， 其余部分使P型区带正电、n型区带负电。于是，就使得在 n区与P 区之间的薄层产生电动势， 即光生伏打电动势。 当接通外电路时便有 电能输出。 这就是 p-n 结接触型单晶硅太阳能电池势垒电场方向相反 的光生电场。光生电场的一部分抵消势垒电场，其余部分使P型区带 正电、n型区带负电。于是，就使得在 n区与p区之间的薄层产生电 动势，即光生伏打电动势。当接通外电路时便有电能输出。1.2N 型单晶硅半导体元素硅，

6、 在元素周期表中属于族元素， 其原子的最外层电 子数有个，这是一种比较稳定的元素，如果掺入皿族硼元素，因为硼 原子最外层只有三个电子， 它比硅原子外层少一个电子， 在硅原子中 掺杂硼原子后，在硅原子晶格中产生空穴，这种被掺杂的硅叫P型半 导体。如果在硅单晶中掺杂V族元素，如磷或砷，磷和砷原子最外层电 子数有五个， 它比硅原子的外层电子数多一个电子， 做为导体可增加 硅的导电性能，这种掺杂的硅叫 N 型半导体。半导体材料的电学性能与掺杂景多少及掺杂源的纯度有直接的 关系，一般在制造这些材料及掺杂过程中， 都需要在超净环境下进行 , 否则不需要的杂质，也变成了掺杂源，污染了半导体材料，严重影响 材

7、料和器件的质量。从理论上来讲，不管是硼掺杂的 P 型硅片或是磷掺杂的 N 型硅 片都可以用来制备太阳能电池， 但是现在世界上大部分的晶体硅太阳 能电池生产厂家都采用掺硼的 P型硅片生产太阳能电池。因为 N型 硅片制备的太阳能电池开路电压和填充因子较低， 并且长期使用或存 放时 N 型硅片太阳能电池性能会有所退化，而在 p 型硅片上形成 N+ 发射结比在N型硅片上形成P+发射结在工业化生产上更容易实现。目前主流工业化生产的 P 型硅太阳能电池转换效率已经可以稳 定在 18%以上，要想在不增加成本的情况下再提高效率已经非常困 难，于是人们把眼光转向少数载流子寿命比 P型硅高得多的N型硅, 并取得了

8、很大进展。（1） N 型硅的优点P 型硅太阳能电池具有转换效率高，技术成熟等优点，占有世界 太阳能电池产量的绝大部分。 但在制造过程中， 扩散制结工艺需要在 温度约1000C进行，工艺复杂，成品率低。而 N型硅太阳能电池生 产工艺可在200C以下进行。符合低成本、高产量、高效率的要求。其次，相同电阻率的N型硅片的少数载流子寿命比P型硅片高。 （注：少数载流子寿命反映了太阳能电池表面和基体对光生载流子的 复合程度，即反映了光生载流子的利用程度，少数载流子寿命越高， 太阳能电池的短路电流、开路电压也会提高。是太阳能电池设计、生 产的重要参数，但其会受到高温处理过程的影响。 ）第三，N型硅片对金属污

9、染的容忍度要高于 P型硅片。（2） N 型硅片的缺点N 型硅片制备的太阳能电池开路电压和填充因子较低 (注：填充 因子是衡量电池输出特性的重要指标， 代表电池在最佳负载时所能输 出的最大功率，其值越大表明太阳能电池的输出特性越好。 )由于 n 型硅片需要硼元素形成PN结，对于P+发射结这样的太阳能电池结构 表面复合严重， 并且长期使用或存放时性能会有所退化， 而常规的表 面钝化手段均无明显效果。但是 JBenick 等人利用 Al2O3 作为钝化 层获得了良好的钝化效果。他们采用 PERL结构，在n型FZ硅片上 得到了 23.4%高转换率的太阳能电池， 这也是 N 型硅太阳能电池的最 高世界纪

10、录。 有人利用非晶硅作钝化层也取得了很好的钝化效果。 虽 然N型CZ硅片是咼效太阳能电池的理想材料，但现在铸造多晶硅中 含有较多的Cr和Fe,这两种金属杂质对材料性能影响很大。1.3单晶硅太阳能电池市场 单晶硅电池是由咼质量单晶硅材料制成的， 现在单晶硅电池的制 作工艺已近成熟，一般都采用表面织构化、发射区钝化、分区掺杂等 技术，开发的电池主要有平面单晶硅电池和刻槽埋栅电极单晶硅电 池。光伏电池技术进步是降低光伏发电成本、 促进光伏产业和市场发 展的重要因素。 在光伏技术和微小型半导体逆变器技术飞速发展的今 天，利用单晶硅所生产的太阳能电池可以直接把太阳能转化为光能， 实现了迈向绿色能源革命的

11、开始，单晶硅太阳能电池是目前最成熟、 最稳定、最可靠、应用最广的太阳能电池， 其光电转换效率最咼 (24%)， 但成本也最咼。单晶硅作为目前世界上最重要的单晶材料之一， 国内对硅材料需 求旺盛，年增长率为22%,国内目前只能满足6英寸（150mm）以硅 片需求量的 30%， 8 英寸及其以上尺寸硅片 100%依赖进口。从芯片 尺寸上看,国内太阳能电池用硅片主要以 6英寸为主； 8英寸硅片用 量次之；3英寸、4英寸、5英寸硅片用量则相对较少；而 12英寸硅 片目前还集中在半导体领域中,太阳能领域还没有应用。单晶硅是光伏行业中太阳能电池发电的转换器。 单晶硅生产处于 太阳能光伏产业链的中游, 目前

12、国内拉单晶技术已趋成熟, 国家“863” 计划超大规模集成电路（IC）配套材料重大专项总体组在组织专家北 京对西安理工大学和北京有色金属研究总院承担的 “ TDR-150 型单晶 炉（ 12 英寸 MCZ 综合系统）”完成了验收。这标志着拥有自主知识 产权的大尺寸集成电路与太阳能用硅单晶生长设备, 在我国首次研制 成功。这项产品使中国能够开发具有自主知识产权的关键制造技术与 单晶炉生产设备, 填补了国内空白, 初步改变了在晶体生长设备领域 研发制造受制于人的局面, 在生产装备上已经完全实现国产化。 产业 链最上游是多晶硅的生产厂商, 多晶硅高新技术与设备为欧美国家所 垄断,国内的多晶硅生产厂商

13、与欧美厂商没有竞争优势, 目前中国全 年所需要的多晶硅中仍然有 50%需要从美国等国的光伏企业进口。 而 处于下游的国内电池封装商面对的市场主要集中在欧美国家, 其发展 容易受制于人。因此在光伏产业中单晶硅生产企业相对最具安全。江苏作为光伏产业大省,太阳能电池产量占了全国的三分之二、 全球的四分之一,在世界太阳能电池产量前 15 位的电池制造商中,江苏占了 5 家，江苏的光伏产业呈现协调快速发展势头， 并且在全国 率先出台了江苏省新能源产业调整和振兴规划纲要和江苏省光 伏发电推进意见，果断提出将采取电价补贴的政策手段，计划通过 3 年努力，力争在全省建成光伏并网发电装机容量 400 兆瓦。泰州

14、 市新能源产业振兴规划纲要（ 2009 2012年），在泰州建设 30 兆瓦 屋顶电站、 2 兆瓦建筑一体化电站，中盛光电集团成为被重点扶持的 企业之一。而作为泰州的邻市扬州， 2010 年光伏产业的年销售收入 已达到 400 亿元以上，其中规模较大的企业有江苏顺大、 晶澳太阳能， 2010 年 12 月 19 日，由波司登控股集团有限公司与江苏康博科技有 限公司共同投资 60亿元打造的、年产 6000吨高纯硅项目也在扬州签 约。不仅是电池制造，光伏电站，包括周边零配件的整个生产链在江 苏已经初具规模，这将为单晶硅生产销售提供便利条件。1.4单晶硅项目投资经济效益分析 单晶硅拉晶技术成熟，材料

15、市场前景广阔，中国硅单晶的产量、 销售收入近几年递增较快， 为世界和中国集成电路、 半导体分立器件 和太阳能光伏电池产业的发展做出了较大的贡献。以在产的某公司 90型单晶炉（生产八英寸单晶棒）为例（ 20 台 炉）：1.产能： 12炉/月/台。2.单晶硅棒生产： 60个小时/炉，炉内加工时间 50 个小时，投料、 冷却 10个小时， 60公斤/炉，成品 55公斤，余料可再回炉，成品单 晶棒产量 660 公斤/月/炉。3.行业加工成本为 150 元/公斤，原料多晶硅为 900 元/公斤，以 此计算。4.单晶硅圆棒销售均价在 1300 元/公斤左右，按 55 公斤/炉、 12 炉 /月/台产能计算

16、， 20 台单晶炉正常生产，可完成 13.2 吨/月产量， 销售额 1716 万元/月，销售成本 1386 万元，创造利润 330万元，利 润率 20%。5.总投资 5100万元，其中设备投资 2500万元，厂房建设 800 万 元，流动资金 1800 万元。总投资 5100 万元，年销售额 2 亿元，利润 3960 万元，利润率 20%，资本回报率 77.6%。综上所述，从国际及国内政策与市场环境分析， 光伏行业高投入、 高产出、投入快、产出快、见效快、收益高，是典型的资金密集型产 业，近几年还将保持一个较快的增长速度。太阳能是未来最清洁、安 全和可靠的能源， 发达国家正在把太阳能的开发利用

17、作为能源革命主 要内容长期规划，光伏产业正日益成为国际上继 IT 、微电子产业之 后又一爆炸式发展的行业。2 单晶硅的制造技术目前生长单晶硅的工艺主要采用直拉法 (CZ) 、磁场直拉法(MCZ)、区熔法(FZ)以及双坩埚拉晶法，CZ、FZ和MCZ单晶各自适用于不同的电阻率范围的器件，而 MCZ可完全代替CZ,可部分代 替FZ。全球电子工业用CZ单晶硅约占单晶硅总用量的80%, FZ单 晶硅约占15%，硅外延片(EPl)约占5%。直拉法、区熔法用于生长单 晶硅棒材，直拉法生长的单晶硅主要用于半导体集成电路、二极管、 外延片衬底、太阳能电池，晶体直径可控制在 38英寸；区熔法单晶主要用于高压大功率

18、可控整流器件领域，广泛用于大功率输变电、 电力机车、整流、变频、机电一体化、节能灯、电视机等系列产品， 晶体直径可控制在36英寸。2.1直拉法(Czochralski 法)直拉法，也叫切克劳斯基 (J.Czochralski)方法。此法早在1917 年由切克劳斯基建立的一种晶体生长方法， 用直拉法生长单晶的设备和工艺比较简单，容易实现自动控制，生产效率咼，易于制备大 直径单晶，容易控制单晶中杂质浓度，可以制备低电阻率单晶。据 统计，世界上硅单晶的产量中 85 %以上的是用直拉法生产的。CZ法生长硅单晶已有 40多年的历史了， Teal和Buehler等 人描述的无位错硅单晶直拉法的基本原则到今

19、天仍然没有太多的 改变。但是该工艺通过不断的改进和完善，生长工艺已日趋成熟。晶体的直径不断增大，缺陷不断减少。杂质分布的均匀性也不断得 至U提高。2.1.1直拉法的基本原理及示意图直拉单晶制造法（CZ法）是把原料多晶硅硅块放入石英坩埚 中，在单晶炉中加热融化，再将一根直径只有10mm的棒状晶种（称 籽晶）浸入融液中。在合适的温度下，融液中的硅原子会顺着晶种 的硅原子排列结构在固液交界面上形成规则的结晶，成为单晶体。 把晶种微微的旋转向上提升， 融液中的硅原子会在前面形成的单晶 体上继续结晶，并延续其规则的原子排列结构。 若整个结晶环境稳定，就可以周而复始的形成结晶，最后形成一根圆柱形的原子排列

20、 整齐的硅单晶晶体，即硅单晶锭。当结晶加快时，晶体直径会变粗， 提高升速可以使直径变细，增加温度能抑制结晶速度。反之，若结 晶变慢，直径变细，则通过降低拉速和降温去控制。拉晶开始，先 引出一定长度，直径为 35mm的细颈，以消除结晶位错，这个 过程叫做引晶。然后放大单晶体直径至工艺要求，进入等径阶段， 直至大部分硅融液都结晶成单晶锭， 只剩下少量剩料。在拉制单晶过程中，不仅要获得完整的单晶锭， 同时还要严格控制单晶性能参数如单晶直径、晶向、导电型号、以及电阻率和电阻率均匀性等， 以达到所需要求。CZ法的主要设备及原理示意图如图所示。直拉单晶生成示意图2.1.2直拉单晶操作流程如图所示，CZ法生

21、长单晶硅工艺主要包括加料、熔化、缩颈 生长、放肩生长、等径生长、尾部生长 6个主要步骤。（1） 加料：将多晶硅原料及杂质放入石英坩埚内，杂质的种类依 电阻的N或P型而定。杂质种类有硼，磷，锑，砷。在轻掺杂的 情况下，p型的掺杂物一般为硼，n型的掺杂物一般为磷。而在拉 制重掺n型硅单晶时，需要使用特殊的掺杂方法。（2） 熔化：加完多晶硅原料于石英埚内后，长晶炉必须关闭并抽成真空后充入高纯氩气使之维持一定压力范围内， 然后打开石墨加热器电源，加热至熔化温度（1420 C）以上，将多晶硅原料熔化。 在此过程中，最重要的控制参数是加热功率的大小。 使用功率过小会使得整个熔化过程耗时太久而降低产率， 使

22、用功率过大熔化多晶硅，虽然可缩短熔化时间，但有可能造成石英坩埚壁的过度损伤， 而降低石英坩埚的寿命，这一点在拉制大直径硅单晶时是非常危险 的。多晶硅熔化后，应在高温下保持一段时间，以排除熔体中的气 泡。因为如果在晶体生长过程中存在微小气泡发射至固液界面， 将有可能导致晶体失去无位错生长特征（俗称“断苞” ），或者在晶体中引起空洞。CZ法生长单晶硅主要工艺示意图（3）缩颈生长：当硅熔体的温度稳定之后，将籽晶慢慢浸入硅熔 体中。由于籽晶与硅熔体场接触时的热应力，会使籽晶产生位错， 这些位错必须利用缩劲生长使之消失掉。 缩颈生长是将籽晶快速向上提升，使长出的籽晶的直径缩小到一定大小（ 4-6mm ）

23、由于位错线与生长轴成一个交角，只要缩颈够长，位错便能长出晶体表面，产生零位错的晶体。这种缩颈工艺称为 Dash技术。它是无位错的基础，在CZ法和FZ法中都会用到。（4） 放肩生长：长完细颈之后，须降低温度与拉速，使得晶体的直径渐渐增大到所需的大小。 采用减缓拉升速度与降低熔体温度的 方法逐步增大直径，达到预定值。目前，基本都采用平放肩工艺， 即肩部夹角接近180,这样可以提高多晶硅的利用率，尤其是对 于大直径硅单晶，平放肩工艺具有重要的经济意义。（5） 等径生长：长完细颈和肩部之后，借着拉速与温度的不断调整，可使晶棒直径维持在正负 2mm之间。通过控制拉速和熔体温度，补偿液面下降引起温场的改变

24、，以达到晶体直径恒定。一般由 于坩埚中的液面会逐渐下降及加热功率逐渐上升等因素， 使得晶体的散热速率随着晶体长度而减小，所以固液界面处的温度梯度减 小，因此拉速通常会随着晶体长度的增加而减小。 这段直径固定的部分即称为等径部分。单晶硅片取自于等径部分。图为完成了引晶、放肩和转肩后转入等径生长的晶体实物图如下：籽晶直拉硅单晶进入等径生长的实物图片2.1.3 N型直拉单晶配料控制对于N型原料，应使所配比原料中的磷原子总浓度与目标电 阻率所对应的磷原子浓度相等。掺磷硅单晶电阻率计算掺杂剂浓度计算如下：( 6.242 X 1013 了N = x 10z. PAq + Arx + A2x2 + A3x3

25、l 1 + Brx + B2x2 +式中-帀Ao=-3.1083Ai=-3.2626A2=-1.2196A3=-0.13923B1 = 1.0265B2=0.38755B3=0.041833掺磷硅单晶浓度计算电阻率公式:6242 X 1O1S 亍 P = NX1蛊1+By+B + By2式中:= 0.057501曙 468157路 019833酰 40183762.1.4 直拉法生产单晶硅的优缺点直拉法的优点有：1）可以在晶体生长过程中直接观察生长情 况，为控制晶体的外形提供了有利条件，利用控制加热器功率、影 响提拉速度可以控制晶体的直径； 2）便于精密控制生长条件，可以以较快的速度获得优质大

26、单晶； 3）可以方便地采用“回熔”和“缩颈”工艺，对降低晶体的位错密度，减少镶嵌结构，提高晶体 的完整性有很大作用；4）可以使用定向籽晶，选择不同取向的籽 晶可以得到不同取向的单晶体； 5）晶体自由表面处生长，不与增祸接触，能显著的减少晶体的应力以及在增祸壁上的寄生成核。 直拉法的缺点：I） 一般要用增祸作容器，导致熔体、单晶体受到不 同程度的污染；2）当熔体含有易挥发物时，则控制熔体、单晶体 组分比较困难。2.1.4新型CZ生长技术为了克服普通的 CZ生长方法在生长硅单晶是所固有的一些 局限性，发展了一些特殊的 CZ生长法以满足各种特殊的要求。MCZ生长半导体工业所用的硅单晶， 几乎90%是

27、用CZ法生长的。常规CZ法生长的晶体中，氧主要来自石英钳锅，其浓度变化范围介于 4.0x10与2.0x108原子/厘米之间，随晶体生长的各种参数而变， 其浓度上限接近于硅熔点时的饱和浓度。 氧在硅晶体内的分布是不均匀的 :沿晶体轴向，头部浓度最高，尾部浓度最低 ;沿晶体径向，中间浓度高， 边缘浓度低。 直拉硅单晶中氧起着有益的和有害的两 种作用。从有益方面来说，由于钉扎位错，增强了硅晶格，滑移得 以延迟。 通过沉淀氧化物和伴生位错网络， 氧原子间接吸除易动性 杂质；从有害方面来说， 如果氧化物沉淀起因于初始氧浓度高的话， 则通过硅一氧复合体产生施主，形成堆垛层错，并使片子翘曲。要 是保持氧浓度

28、小于38PPma,就可减少这种有害作用。在 CZ 晶体的生长期间， 由于熔体存在着热对流， 使微量杂质 分布不均匀，形成生长条纹。因此，在拉晶过程中，如何抑制熔体 的热对流和温度波动， 一直是单晶生产厂家棘手的问题。 为了抑制 熔体的热对 VrL 以降低熔硅与石英坩埚的反应速率， 并使氧可控， 从而生长出高质量的单晶。 由于半导体熔体都是良导体， 对熔体施 加磁场， 熔体会受到与其运动方向相反的洛伦兹力作用， 可以阻碍 熔体中的对流， 这相当于增大了熔体中的粘滞性。 适当分布的磁场 能减少氧、硼、铝等杂质从石英坩埚进入熔体，进而进入晶体的作 用。采用这中技术生长出的硅晶体可以具有得到控制的从低

29、到高广 泛范围的氧含量， 并减少了杂质条纹。 在生产中通常采用水平磁场、 垂直磁场等技术。MCZ 法的基本原理为：在熔体施加磁场后，运动的导电熔体 体元受到洛伦兹力作用。洛伦兹力为 F=qVXB 式中 q 为熔体体元 具有的电荷， V 为体元的运动速度， B 为磁感应强度矢量。由洛伦 兹定律可知，穿过磁力线 运动的导电熔体内部便产生与移动方向和磁场方向相垂直的电流。 此电流与磁力线相互作用， 使导电熔体 受到与移动方向相反的作用力， 使熔体流动受到抑制。 也可将洛伦 兹力抑制热对流的效应理解为磁场增加了熔体的动粘度。 在磁流体 动力学中， 常用哈特曼数 M 来表征这个效应。 哈特曼数 M 定义

30、为： M2=（T / p v） （ HD）2, M2=（单位体积中的磁粘滞力/单位体积中的 粘滞力）（即加磁场时动粘度与不加磁场时动粘度之比 ）。式中为磁导率，H为磁场强度，（T为电导率，p为熔体密度，v为运动粘 滞系数， D 为石英增涡直径。当 M 大于 l 时就意味着加磁场时的 熔体动粘度占优势。增加熔体的磁 动粘度，就提高了表征热对流开始产生的临界 瑞利数 Rc。对于普通的流体，不产生热对流的临界瑞利数为 103，而当坩埚中的熔硅量大于 10Kg 时，可以估算出瑞丽数约为 10，所以普 通的 CZ 硅熔体中必然会产生热对流。 加上磁场后， 可以估算出当 磁场强度为 1500 高斯时 M

31、约为 10，这时临界瑞利数约为 10。因 而加上磁场后提高了熔体不产生热对流的临界瑞利数， 热对流受到 抑制， 亦即增加了石英坩埚壁附近的溶质边界层厚度， 所以从石英 坩埚壁进入熔硅中的氧和其他杂质减少。MCZ 法有许多优越性：1.磁致粘滞性控制了流体的运动，大大地减少了机械振动等原 因造成的熔硅掖面的抖动，也减少了熔体的温度波动；2.控制了溶硅与石英柑祸壁的反应速率，增大氧官集层的厚 度，以达到控制含氧量的目的。与常规 CZ 单晶相比，最低氧浓度 可降低一个数量级；3.有效地咸少或消除杂质的微分凝效应，使各种杂质分布均 匀，减少生长条纹；4.减少了由氧引起的各种缺陷；5.由于含氧量可控，晶体

32、的屈服强度可控制在某一范月内，从 而减小了片子的翘曲；6.尤其是硼等杂质沽污少，可使直拉硅单晶的电阻率得到大幅 度的提高；7.氧分布均匀，满足了 LSI 和 VLSI 的要求。连续 CZ 生长技术为了提高生产率， 节约石英坩埚 （在晶体生产成本中占相当比 例），发展了连续直拉生长技术，主要是重新装料和连续加料两中 技术：重新加料直拉生长技术：可节约大量时间（生长完毕后的降 温、开炉、装炉等） ，一个坩埚可用多次。连续加料直拉生长技术： 除了具有重新装料的优点外， 还可保 持整个生长过程中熔体的体积恒定， 提高基本稳定的生长条件， 因 而可得到电阻率纵向分布均匀的单晶。 连续加料直拉生长技术有两 种加料法：连续固体送料和连续液体送料法。2.2区熔法生产单晶硅2.2.1区熔法生长单晶区熔法单晶生长是半导体晶体生长的一种方法。 区熔法是利用 热能在半导体棒料的一端产生一熔区