全玻璃真空太阳集热管工艺操作规程.docx

1、全玻璃真空太阳集热管工艺操作规程全玻璃真空太阳集热管工艺操作规程1. 适用范围本规程规定了全玻璃真空太阳集热管生产的技术要求及操作步骤、技术安全守则、工序检验、主要设备、定岗定员和材料、能源的消耗定额等。本规程适用于全玻璃真空太阳集热管生产的全部过程。 2. 技术要求符合GB/T17049-1997全玻璃真空太阳集热管、全玻璃真空太阳集热管 检验规程。4. 原材料标准见全玻璃真空太阳集热管原材料检验规程5. 工艺流程图集热管生产过程的工艺流程如下：清洗烘干镀膜封口排气退火烤消包装其中，镀膜工序为特殊过程。6.技术要求及操作步骤5.1 清洗6.1.1准备往第一水槽内注入一次水， 按1：10000

2、（V/V）的配比配制洗洁净溶液。往第二、第三水槽内注满去离子水。6.1.2 内管清洗 6.1.2.1将内管水平放置在周转小车上，打开一次水阀门，对玻璃管进行充分浸 润。6.1.2.2开启清洗机，用绸子布蘸配比为1：100（V/V）的洗洁净溶液擦拭内管，要求所有表面均要擦到；然后把擦好的管子插入清洗机的旋转杆冲洗5秒，再逐支依次放入第二、第三水槽内进行涮洗，最后将洗净的管子管口向下逐支插在内管烘干车上。 *不使用清洗机操作的，执行以下操作步骤：a. 用绸子布蘸配比为1：100（V/V）的洗洁净溶液擦拭内管，要求所有表面必须擦到，擦洗过程中内管的外表面必须见到洗洁净白沫。b. 把擦洗好的内管逐支放

3、入第一水槽内，用绸子布在水中均匀擦洗一遍。c. 然后再逐支放入第二水槽内涮洗干净，最后将洗净的管子管口向下逐支插在内管烘干车上。6.1.2.3在清洗过程中，若发现内管的内壁有泥土、油污或其它污渍存在，则用专用工具逐支刷净，然后再重复6.1.1.2的操作。6.1.2.4打开去离子水阀门，对放置在烘干车上的内管进行反复冲洗，让水流由上而下均匀流过每支管子，要求每个地方都充分冲洗到。6.1.2.5控水至无明显水珠后，戴上细纱手套，外面戴无损的一次性手套，把内管管口向上逐支插在内管烘干车上。6.1.3 外管清洗6.1.3.1将外管平放在周转车上，打开一次水阀门，浸润玻璃管的内、外壁，然后利用专用工具逐

4、支将外管的内壁擦洗干净。用绸子布将外管的外壁擦洗干净，再将外管逐支插在外管烘干车上。6.1.3.2对插放在烘干车上的外管，用一次水进行多次冲洗后再用去离子水冲洗外管的内、外壁，要求外管的内、外壁都要充分冲洗到，然后控水至无明显水珠。6.1.4换水 清洗机水槽内的水每六小时更换一次；第二、第三水槽内的去离子水每 四小时更换一次。6.1.5烘干6.1.5.1技术要求 烘箱烘干温度控制为12010。6.1.5.2准备 检查设备、供电正常后将烘箱内清理干净。6.1.5.3操作步骤a. 将已控好水的内、外管分别推进烘箱，每台烘箱内放置3辆小车。b. 关闭烘箱门，开启电源（风机开关随即打开），仪表盘上绿色

5、指标灯亮，风机正常运转。c. 打开快速加热开关和加热保温开关，烘箱开始全功率加热；当烘干室温度达到仪表的设定温度时，红色指示灯亮，此时关闭快速加热开关，烘箱进入自动保温状态。d. 当烘箱保温20分钟后，断开保温加热开关，烘干室开始降温。当温度自然降温至80以下后，关闭电源。在烘干的过程中，应按要求填写烘 干操作记录。6.1.6产品经自检合格后转下工序。6.2 JT-800型镀膜机镀膜6.2.1 技术要求6.2.1.1铝靶的直径58mm；6.2.1.2压缩空气的压强应达到0.40.6Mpa；6.2.1.3镀膜操作室的室温小于35，相对湿度小于70%RH；6.2.1.4操作工每班应用吸尘器对镀室清

6、理一次。6.2.2 操作步骤6.2.2.1准备a. 打开压缩空气阀门，检查空气压强是否达到0.40.6Mpa。b. 打开冷却循环水阀门，同时检查通水状况是否良好，各水管的接头和阀门有无泄漏。c. 检查氩气、氮气、乙炔三种气体的联接状况，看接头是否有泄漏。d. 分别打开氩气、氮气、乙炔三个气瓶的总阀，检查气瓶内压力。若氩气、氮气的高压表的显示值低于0.5MPa ，乙炔高压表的显示值低于0.3MPa，则需更换新气瓶。6.2.2.2开机a. 开启本机电源。b. 开机械泵同时压差电磁阀开、前级阀开，等2分钟以后，开复合压强控制仪电源，当电离计显示数值低于7Pa后开扩散泵，并记录扩散泵的加热时间。c.

7、分别缓慢调节氩气、氮气、乙炔三个气瓶上的减压阀，使得氩气、氮气 的低压表读数控制在0.10.2MPa之间，不得超过0.2MPa；乙炔低压表读数控制在0.050.1MPa之间。d. 打开质量流量计显示器电源开关，进行预热约5分钟。e. 打开计算机电源，输入工艺卡片中规定的工艺参数。f. 扩散泵加热超过60分钟后，将阀档拨至“放气”位置，放气后将阀档由“放气”档拨至“停”位置，然后打开镀室门，然后用吸尘器清理镀室。6.2.2.3 装管a. 打开转架电源开关，将电压调至8010V之间，将合格内管插入转架插杆。装管时，预先戴好干净的细纱手套，外层再戴上无损的未使用过的一次性手套，戴好之后不许触摸其他物

8、品，如门、车把、桌椅等。b. 玻璃管全部插满插杆后，观察每支管子的自转状态，确定玻璃管间无碰撞后，关闭转架电源开关，关闭镀室门。6.2.2.4 粗抽真空 将阀档转换开关由“停”拨至“粗抽”位置，2分钟后开复合压强控制仪电源，同时将电离计开关拨至“自动”。热偶计开始显示读数。6.2.2.5 精抽真空 当热偶计显示值达到7Pa后，将阀档转换开关由“粗抽”经“停拨至“精抽”位置，每档转换间隔应停顿10秒钟左右，使阀门充分关闭。6.2.2.6 清靶a. 当电离计显示值达到1.010-2Pa后，将阀档转换开关拨至“精抽”档，同时将复合压强控制仪上压强开关由“测量”拨至“控制”。b. 开启转架电源开关，将

9、电压调至8010V之间。c. 开启磁控靶电源，如启动时过流报警，可反复启动“报警位”和“启动位”按扭，直至正常放电；然后调节电流旋钮，直至放电电压达400V以上。6.2.2.7溅射镀膜a. 启动计算机，按下“运行”键，同时把质量流量计开关拨至“阀控”位置。b. 当镀膜机处于溅射工作状态时，操作员不得离开控制柜，要随时观察设备的运行状态，注意各仪器仪表显示的数值变化，严格按要求填写镀膜操作记录。6.2.2.8装配支架a. 在镀膜机抽真空的过程中，操作工应完成装填支架的准备工作。b. 装填支架前，检查支架清洗是否干净，焊接是否牢固。c. 支架装填到外管的圆头部，装填时应避免支架划伤外管的内壁。装填

10、支架必需使用专用工具并配戴一次性手套，不得用手直接接触支架以免造成污染。支架装填完毕后，在外管管口部位装上护套，以备出炉时装管使用。装填护套时，操作工应戴一次性手套或细纱手套。6.2.2.9 终止溅射镀膜 当计算机显示层数为最末一层的21分钟时，执行如下操作：a. 按下靶电源“停止”键，然后把激磁电流调至“0”值。b. 按下计算机“复位”键。c. 将氮气、乙炔计量流量计开关由“阀控”拨至“关闭”。 d. 将复合压强控制仪由“控制”拨至“测量”，将阀档转换开关由“精抽”档拨至“精抽”档。e. 当镀室内真空度达到9.010-3Pa以上后，将阀档转换开关由“精抽”档拨至“停”，关复合压强控制仪电源，

11、停顿10秒钟后将阀档转换开关由“停”拨至“放气”，当无气流嘶响声后打开镀室门，再将阀档转换开关拨至“停”。6.2.2.10出管a. 取管：手握已镀膜管下部垂直往上提，使管口脱离转架轴，将镀膜管移出镀室。b. 内外管装配：手握已镀膜内管，管口向上，管身竖直放入已装好护套的外管中；放入时应注意避免内管的圆头划伤外管内壁，使其轻缓下落，直至接触到支架。内管装入外管后，按住内管端口往下轻压，使支架包住圆头，装配完毕后，取下护套。c. 注意：凡将镀膜管装入外管或从外管内取出时，都必须使用护套。如因外管缩口确实装不进护套时，则必需用手护着镀膜管，慢慢进出，确保膜层无划伤。6.2.2.11连续工作时重复6.

12、2.2.36.2.2.10的操作步骤。6.2.2.12产品经自检合格后，由操作工在内管管口部位印上工号，转下工序。6.2.4 关机6.2.4.1在镀膜机停止工作前，先关镀室门，开“粗抽”阀，将镀室的真空度抽到7Pa以下。6.2.4.2 关“粗抽”阀，关“扩散泵”（即“扩散泵”开关拨至“机械泵”）6.2.4.3 关闭三气总阀（高压、低压）.6.2.4.4 在扩散泵停止加热60分钟后，关机械泵（阀档转换开关拨至“停”）。6.2.4.5关循环水，关电源总开关。6.2.4.6设备关机后长期停放，则需放净水套及盘管内的循环水，并用高压空气吹干。6.3 JT-850型镀膜机镀膜6.3.1 技术要求 同6.

13、2.1的规定6.3.2 操作步骤6.3.2.1准备 同6.2.2.1的规定6.3.2.2开机a. 开启本机电源。b. 将机箱控制面板上的电源开关置于“开”的位置，屏幕出现系统自检过程，直到控制系统的第一个画面。按下“维持泵”按钮，延时1分钟后，“维持阀”开，按下“机械泵”按钮，然后再按下“粗抽阀”按钮，当电离计显示数值低于7Pa时，开扩散泵，记录扩散泵加热时间。扩散泵加热超过90分钟后，方可进行正常的操作。c. 分别缓慢调节氩气、氮气、乙炔三个气瓶上的减压阀，使得氩气、氮气的低压表读数控制在0.10.2MPa之间，不得超过0.2MPa；乙炔低压表读数控制在0.050.1MPa之间。d. 打开质

14、量流量计显示器电源开关，进行预热约5分钟。e. 打开计算机电源，输入工艺卡片中规定的工艺参数。f. 按下“放气”按钮，放气后按下“停”，然后打开镀室门，用吸尘器清理镀室。6.3.2.3 装管 同6.2.2.3条的规定6.3.2.4 粗抽真空 选择“自动”状态，系统首先进入“粗抽”，2分钟后开压强控制仪电源，热偶计开始显示读数。6.3.2.5 精抽真空 当热偶计显示值小于7Pa时，自动进入“精抽”，同时打开电离计。6.3.2.6 清靶a. 当高真空达到0 .810-2Pa（电离计显示值）后，自动进入“精抽”。b.转架旋转电源开关自动打开，检查电压是否在6010V之间，不符合则用手动调整。c.等复

15、合压强控制仪稳定后，手动起靶，直至放电正常，然后调节电流旋钮，直至电压达400V以上。6.3.2.7 溅射镀膜a. 启动计算机，按下“运行”键。b. 按下机箱控制面板上的“镀膜”按钮。c. 当镀膜机处于溅射工作状态时，操作工不得离开控制柜，随时观察设 备的运行状态，注意各仪器仪表显示的数值变化，严格按要求填写 镀膜操作记录。6.3.2.8 装配支架 同6.2.2.8的规定6.3.2.9 终止溅射镀膜 计算机运行完前21秒，执行如下操作：a. 按下靶电源“停止”键，然后把激磁电流调至“0”值。b. 按下计算机“复位”键。c. 按下“镀膜完成”画面上的“返回”按钮，放气完毕后，按下“停”按钮。d.

16、 当镀室内真空度达到9.010-3Pa以上后，高阀自动关闭，关复合压强控制仪电源，选择“手动”状态，按下“放气”按钮，放气完毕后，按下“停”按钮。6.3.2.10出管同6.3.2.10的规定6.3.2.11连续工作时重复6.3.2.36.3.2.10的操作步骤。6.3.2.12产品经自检合格后，由操作工在内管管口部位印上工号，转下工序。6.3.3 关机6.3.3.1 当镀膜机要停止工作时，执行如下机程序6.3.3.2 在镀膜机停止工作前，先关镀室门，按下“粗抽”按钮，将镀室真空度抽到7Pa以下。6.3.3.3 按“停”按钮，按“扩散泵”按钮停扩散泵。6.3.3.4 关三气总阀（高压、低压）.6

17、.3.3.5 在扩散泵停止加热90后，按下“维持泵”按钮停维持泵。6.3.3.6 关循环水，关电源总开关。6.3.3.7 若设备关机后长期停放，则需放净水套及盘管内的循环水，并用高压空气吹干。6.4 封口。6.4.1 技术要求封口时不应有黑烟燎到内管的表面或外管内壁。6.4.2 操作步骤6.4.2.1开启电源开关，检查车床各部位的运转情况、支撑杆的同心度和弹簧卡 片的固定情况等，保证车床处于完好状态。6.4.2.2检查上工序转来的管子支架装配是否端正，管子是否完好，确定合格后，印上封口工号。6.4.2.3将管子装夹到车床上，接上活三通空气管后，点燃车床灯，点燃时先开液化气后开氧气。 6.4.2

18、.4先用软火对准封接部位进行预热，同时用压缩空气吹除管内的水汽，再把火焰调到合适的大小，烧熔内、外管的封接部位，然后用石墨铲翻接。6.4.2.5 封接后再用火焰对准内、外管封接处烧熔，并逐渐降低火焰温度，同时一边吹空气一边用石墨铲整形，使接口圆滑。6.4.2.6封口后取下活三通空气管，取下封好的集热管，放在周转小车上，层与层之间在管口部位加垫石棉布。如发现封口后管内水汽大，必须用机械泵抽掉水汽。6.4.3关机 玻璃车床在长时间不用时，应先将灯头的火焰关掉，等支撑杆完全冷却后方可将车床电源关掉，关机时先关氧气后关液化气。6.4.4产品经自检合格后转下工序。6.5 排气6.5.1 技术要求6.5.

19、1.1复合真空计的显示值：p3.010-3Pa。6.5.1.2不同规格的集热管保温时间如下：a) L1200型保温30分钟；b) L1500型保温40分钟。6.5.2 操作步骤6.5.2.1打开循环水阀门，同时检查通水状况是否良好，各水管的接头和阀门有无泄漏。6.5.2.2开启本机电源总开关，起动机械泵，检查机械泵运转是否正常，然后开启复合真空计电源。6.5.2.3开扩散泵，预热时间超过30分钟后，方可进行排气操作。6.5.2.4把烘箱升到排气台最高位置，并合上保险架，将上工序转来的管排放在台面上。6.5.2.5关闭三通阀和高阀，打开放气阀，对真空管道系统放气，并接上吹气胶管。然后点燃手灯，把

20、集热管的排气管按次序接到排气台真空管道的玻璃管上。6.5.2.6所有排气管接好后，关闭放气阀，打开三通阀，开始对集热管抽真空。6.5.2.7预抽1分钟以后，用高频火花检漏仪对排气管接口及对接部位检漏。如果有漏管，关闭三通阀，对系统放气后再进行补漏。6.5.2.8检查23次后确认没有漏点，且集热管的夹层内电火花呈浅色荧光，真空达到7Pa5Pa后关闭三通阀，开高阀抽真空，同时打开电离计。6.5.2.9打开保险架放下烘箱，打开“温控电源”、“加热电源”及“真空报警” 开关，开始升温。6.5.2.10真空度高于810-2Pa情况下，将温度升到42010，当保温达到规定的时间后，若复合真空计的显示值仍为

21、3.010-3Pa，可按实际情况适当延长保温时间。6.5.2.11保温结束后，关闭“加热电源”，当温度降至250以下时，可以逐渐 提高烘箱加速冷却，当温度降至150以下可以提升烘箱至全开，并合上 两层保险架。6.5.2.12打开液化气阀门，点燃手灯，再打开氧气阀门，调好火焰，将集热管在排气管的缩腰处封下，放在周转小车上，层与层之间在管口部位加垫石棉布。6.5.2.13当排气台上的真空管全部封离后，关真空报警，关闭高阀，关闭电离计和复合真空计电源。 6.5.2.14 连续工作时重复6.5.2.46.5.2.13的操作。6.5.3 关机 需要关机时，应先关闭高阀，再关闭扩散泵电源，30分钟后，停机

22、械泵， 关循环水，关闭总电源开关。如设备关机后长期停放，则需放净盘管内的循环水，并用空气吹干。6.5.4 产品经自检合格后，在圆头部位贴上工号，转下工序。6.6 退火6.6.1 技术要求T-1“温控一”设定温度6405， “温控二”设定温度为4605。T-2“温控一”设定温度6255， “温控二”设定温度为4605T-3“温控一”设定温度6405。T-4“温控一”设定温度6405。T-5“温控一”设定温度6405。T-6“温控一”设定温度3305， “温控二”设定温度为2405。T-7“温控一”设定温度 5255， “温控二” 设定温度为3605。6.6.2操作步骤6.6.2.1 根据集热管的

23、规格调节好转架的高度。 在退火过程中，可按应力消退情况调整转架的转速，并对转架的高度进行微调。6.6.2.2开启电源开关，检查退火炉运转情况，无异常情况后，打开温度开关升温至设定温度值。6.6.2.3待一、二温区的温度升至设定温度后，将上工序转来的集热管逐支放置 在退火炉上。6.6.2.4集热管在转架上旋转一周后，再逐支取下放在周转小车上，层与层之间要在管口部位垫好石棉布。6.6.3 关机集热管全部离开第一温区后，关闭“温控一”电源，集热管全部离开转架 后，关闭“温控二”电源，然后关旋转电源，最后关闭总电源。6.6.4 产品经自检合格后转下工序。6.7 烤消6.7.1操作步骤6.7.1.1打开

24、循环水阀门，检查冷却系统有无渗、漏水现象。6.7.1.2开启电源开关，检查风冷系统工作是否正常。6.7.1.3按下“一档灯丝”按钮，此时电子管灯丝电压缓慢的升至2V左右。6.7.1.4经过5分钟后，按下“二档灯丝”按钮，此时电子管灯丝电压升到6.3V 左右。6.7.1.5经过5分钟后，才可按下“高压”按钮，此时“阳极高压表”68KV，“阳极电流表”0.51A，“栅极电流表”70100mA都应正常指示。6.7.1.6退火后的集热管冷却后，即可烤消。烤消时，集热管圆头不得超过感应线圈。烤消完成后，将集热管逐支排放在周转小车上，层与层之间要在圆头部位垫好石棉布。6.7.1.7若过流指示灯燃亮，可按下

25、“复位”按钮。6.7.1.8高频炉在一般情况下应尽量减少空载时间。6.7.2 关机按下“高压关”和“灯丝关” 按钮，冷却5至10分钟后关掉风冷电机（即本机的总电源），关循环水。6.7.3 产品经自检合格后转下工序。6.8 包装6.8.1 操作步骤6.8.1.1 准备在包装进行前须对包装材料（包括包装箱和泡沫板）进行检查，包装箱要干净，完好；严禁使用有破损、潮湿、变形的包装箱，泡沫板要完整无破损。6.8.1.2 装箱a. 用胶带将包装箱底封好，胶带要粘贴牢固、平整，不得起皱、偏斜。胶带粘贴到包装箱两端的长度为805mm，包装箱经胶带粘贴后，下面应严密无缝，从两侧看缝隙5mm。b. 根据包装箱规格

26、在包装箱两端放置相同规格的泡沫板，严禁使用其它规格的泡沫板代替；长度1500mm以上规格的集热管包装除两端放置沫板外，中间位置上、下各放一块泡沫板c. 将检验合格的集热管逐支擦拭干净，保证管体无灰尘、油污、手印，包装过程中要轻拿轻放，严禁一手拿多管；d. 集热管放入包装箱后要贴上防伪标签，标签粘贴位置为两个卡爪中间，距尾嘴15mm处355mm位置；标签要粘贴平整，不得倒贴、歪贴、漏贴。e. 将填写完整的合格证或装箱单放入包装箱。f. 包装箱封箱前要对箱内进行检查，保证无泡沫板碎料及其他杂物，确认每个包装箱内已放置合格证或装箱单，并检查合格证、装箱单是否洁净，完好，内容填写是否完整。g. 用胶带

27、将已装完的包装箱封好，胶带要粘贴牢固、平整，不得起皱、偏斜。胶带粘贴到包装箱两端的长度为805mm，包装箱经胶带粘贴后，上面应严密无缝，从两侧看缝隙5mm。6.8.1.3 打包 将已封好的集热管包装箱用半自动捆扎机进行打包。首先调节捆扎机，使打包带松紧适度；打包带的位置：如包装箱上有标记，严格按标记打包；如包装箱上没有标记，打包带距箱体两端的距离100mm，如中间需打包时打在正中位置，不得偏斜。6.8.1.4运输、装卸a. 运输、装卸过程中要轻搬轻放，避免造成人为损坏。b. 运输过程中包装箱的堆码高度为4层，严禁超高运输（汽车运输除外）。c. 车间包装成品运输入库后，要根据成品库保管员的安排码

28、堆整齐，不得出现歪斜、超高等现象。6. 主要设备序号设备名称规格型号数量（台）用途或使用场所备注1清洗机IS-15001清洗内管2烘干箱101-13玻璃管烘干3镀膜机JT-8006镀膜（镀膜二车间）4镀膜机JT-85012镀膜（镀膜一车间）5玻璃车床BC-378封口6玻璃车床BC-586封口 （镀膜二车间）7排气台B-4020排气 （镀膜二车间）8排气台LY-4048排气 （镀膜一车间）9退火炉TH-607退火 10高频炉GP-10KW-Z46烤消 11点焊机P103-43镀膜 8. 技术安全守则8.1 劳动保护8.1.1 清洗8.1.1.1清洗操作工在执行清洗操作时，必须配戴手套、皮围裙和水

29、靴。8.1.1.2烘干操作工在往烘箱内装管或从烘箱内拉管时，都必须配戴线手套，以防烫伤。8.1.2 封口8.1.2.1封口操作工在操作玻璃车床时必须配戴手套和劳保眼镜。8.1.2.2留长发的女工在工作时必须将头发盘起戴帽子。8.1.2.3穿长袖工作服的操作工操作玻璃车床时须将袖口扣紧。8.1.3 排气排气操作工在进行接管或封离操作时必须配戴手套和劳保眼镜。8.1.4退火、烤消 退火和烤消操作工在工作时必须配戴棉线手套。 8.2 安全要求8.2.1常规安全要求8.2.1.1车间员工应熟悉消防安全知识及安全用电常识，熟练掌握本工序的工艺操作规程和相关的规章制度，并能够使用灭火器。8.2.1.2设备

30、维修工在维修真空设备时所使用的汽油和酒精，应在维修结束时立即移出现场送到指定地点存放，并且维修现场必须远离火源。8.2.2工序安全要求8.2.2.1清洗 清洗机的旋转电机应做好防水措施，电机电源线绝缘套不得出现破损。烘箱的机体和外壳必须保持良好的接地，烘干操作工在操作控制箱时应将手擦干。8.2.2.2镀膜 在启动镀膜机前，应对镀膜机的接地情况和扩散泵加热电炉电源线的状况进行严格的检查，在确认镀膜机的接地良好且电源线保护完好的情况下方可开机操作；除电工外，其他人严禁对电控柜内部和电源柜进行操作。8.2.2.3封口玻璃车床在使用前应检查夹具能否将玻璃管夹牢，检查氧气、液化气阀门有无泄漏。8.2.2.4排气排气操作工在开启排气台前应检查设备的接地情况，确认接地良好后方可开机；接管和封离时，应将两层保险架打开；在保温箱提升或落下的过程中，操作工不得离开电控柜。8.2.2.5退火在启动退火炉前应确认设备接地情况良好，检查加热棒是否移位；检查退火炉托架固定是否牢固，是否能够承受集热管的重量。8.2.2.6烤消烤消炉在开