制绒工艺工程师作业指导书.docx

1、制绒工艺工程师作业指导书制绒工艺工程师作业指导书编制人： 审核人： 批准人： 1 目的为了规范制绒车间工艺工程师的操作，统一各车间的作业模式；提高工作效率；更准确、快速、全面的传递各车间发生的问题及异常；特制定本标准。2 范围本规范适用于制绒车间全体工艺工程师。3 定义无4 职责制绒车间全体工艺工程师对此项工作负责。5 基本作业流程 5.1工程师职责 5.1.1工作内容 5.1.1.1保证生产在规定的工艺参数下进行，定期对设备的各工艺参数进行复检。 5.1.1.2每隔两小时巡视制绒车间的人员操作状况，当发现制绒车间人员违规操作时，要对其进行指正并做好记录。 5.1.1.3收集inline数据，

2、并完成spc相关工作。 5.1.1.4对车间异常情况（黄斑片、减重、外观不良等）进行详细的记录并查找原 因进行处理；完成上班未完成的异常处理。 5.1.1.5完成各种实验，为生产设定较佳的工艺参数；配合后段工序完成实验和质量控制。 5.1.1.6接受后段工序的工艺反馈，并查找本车间有无异常情况，积极配合后段工序查找 异常原因。 5.1.1.7对制绒车间异常进行数据追踪。 5.1.1.8详细填写工艺交接记录、设备异常记录表，影响较大的异常必须写出异常报告。 5.1.2报告机制 5.1.2.1当遇到的异常状况超出工艺部独自执行范围时，联系相关部门（如设备部，动力 部等）解决。 5.1.2.2当遇到

3、异常状况影响较大时，可寻找其他工艺工程师帮忙，并及时通知主管工程 师。 5.1.3交接内容 5.1.3.1详细填写工艺交接记录，按5w1h原则，有异常未处理完时，一定要当面交 接清楚。 5.1.3.2交接内容A. 生产异常（减重、反射率CPK达标情况等）B. 设备异常C. 主管工程师分配任务的完成情况D. 实验的进展 5.2 机台的操作5.2.1多晶湿法制绒机开关机操作步骤A. 开机前的检查 检查水（DI水、冷却水、City water）、电、气、化学药品是否正常供应。B. 开机步骤1. 开总电源2. 开UPS（电脑会跟着UPS开启而启动）3. 用Operator用户名登陆Windows4.

4、点击图标Start winLC RTX启动软件PLC5. 开chiller(等待桌面PLC上run和on指示灯变成绿色)6. 点Start REVIS会自动启动server和client7. 输入相应的软件使用用户名和密码C. 关机步骤a) 关闭REVIS clientb) 关闭REVIS serverc) 点击图标shut down WinLC RTX关闭软件PLCd) 关掉WinLC窗口e) 关电脑f) 关cheillerg) 关设备总开关h) 长按UPS开关大约3秒关掉UPS5.3异常处理流程5.3.1多晶异常处理流程5.3.1.1原料片异常处理 通知质量部，由质量部确认后，封存。 5.

5、3.1.2制绒异常片处理a) 减薄量偏低：根据第一次刻蚀量来控制，保证总刻蚀量在工艺要求的控制范围 内为宜。b) 反射率异常：流程单处注明反射率异常情况（偏高/偏低），并通知K+P工程师；及时查找原因，通过调整补液等手段使反射率恢复正常。c) 外观异常：及时查找原因，通过调整补液等手段使反射率恢复正常。5.3.1.3水、电、气异常停止时在制品处理方法1. 所出硅片表面有滚轮印：如果硅片未经过制绒，可重新制绒后观察绒面，如无异常附实验单下传，如果仍有异常转处理，等异常片下传时集中下传；如果硅片经过制绒，则库存好等待异常片下传时集中下传。2. 抛光片转处理：整个面抛光的硅片库存好重新制绒，附试验单

6、下传；双面局部抛光的硅片做报废处理。若单片局部抛光则挑好面，减重合格附试验单下传，减薄不合格则重新制绒后附试验单下传。3. 黄斑片：重新清洗，黄斑去除后附实验单下传。4. 一半制绒一半未制绒：此类型的在制品直接报废。5.4机台停复机流程5.4.1多晶湿法制绒设备 5.4.1.1 多晶湿法制绒停机维护标准每次更换Etch bath时需对设备进行维护。5.4.1.2多晶湿法制绒停机维护方法排空各功能槽中的溶液，用水枪淋洗各5min含槽盖），修理异常部件，清理各位置的碎硅片，用无尘纸对辊轴、槽盖、玻璃窗进行擦拭， 矫正O-ring的位置和状态，清理循环泵和储液槽中的残留物，更换滤芯（1个月一次），擦

7、拭完 后再用水枪淋洗5min（包含槽盖），各清洗槽加满水清洗反复2次5.4.1.3多晶湿法制绒停机保护标准维护部分维护后没有碎硅片，玻璃窗、辊轴、槽盖无污渍残留，维护后的部件对正常工艺和生产无影响。所有槽（制绒槽、碱洗槽、清洗槽、酸槽、溢流槽）的开口位置都须用保鲜膜密封，以确保槽体内部不受污染。5.4.1.4制绒辅助用品的清洗与维护当班停产时所用花篮全部用保鲜膜封存，车间处于非满产状态时， 根据产量计算所用花篮数量，其余花篮全部用保鲜膜封存； 处于封存状态的花篮需要使用时，按花篮处理流程处理后才可使用。5.4.1.6制绒机复机流程 指导生产人员对工作区域内的卫生进行彻底清理；工艺人员检查各动力

8、供应是否正常，设备人员按开关机规范正常开机；开机后用DI水对各槽进行冲洗，并指导生产人员在采取安全防护的情况下对设备窗口等进行清洁。卫生打扫完毕后配液、调试、交付生产。5.5异常反馈流程注：1.首先检查本段各个异常点，将异常情况及时的反馈给后段工序。 2. 信息汇总反馈的同时需接受其它段的反馈，并根据反馈信息有针对性的查找原因。 3.实验结束后整理异常报告附：交叉实验：6. 安全规范（1）进入制绒车间员工须穿戴好个人工作服、工作帽、防静电工作鞋、口罩。（2）员工头发不得露于工作帽外，在车间员工口罩须戴过鼻梁。（3）开始工作前，员工须检查PVC手套的气密性，戴好白色作业手套、PVC手套。（4）员

9、工不得直接用手接触硅片表面。当员工装原始硅片及倒出制绒后硅片时，可用手拿取硅片两侧，而不得用手直接接触硅片表面。7.记录7.1记录清单工艺交接记录设备异常汇总表7.2记录保存记录由工艺部保管。8.附件8.1附件列表工艺交接记录设备异常汇总表多晶常见异常样片附表一：工艺交接记录附表二：设备异常汇总表日期机台编号故障发生时间故障修复时间异常现象根本原因解决措施责任人解决人是否需要追踪附表三：多晶常见异常样片图1 黄斑片照片图2 制绒后黑色网纹印过多和正常片对比阅文人员承诺书承诺人（以下署名者）在充分知晓并自愿接受工艺工程师作业指导书（A/0版）相关规定的前提下，承诺：严格按照本标准要求做业，接受相关人员监督。承诺人签名：