镀膜培训教材12页word资料.docx

1、镀膜培训教材12页word资料1. 什么是镀膜玻璃？课本、报刊杂志中的成语、名言警句等俯首皆是,但学生写作文运用到文章中的甚少,即使运用也很难做到恰如其分。为什么?还是没有彻底“记死”的缘故。要解决这个问题,方法很简单,每天花3-5分钟左右的时间记一条成语、一则名言警句即可。可以写在后黑板的“积累专栏”上每日一换,可以在每天课前的3分钟让学生轮流讲解,也可让学生个人搜集,每天往笔记本上抄写,教师定期检查等等。这样,一年就可记300多条成语、300多则名言警句,日积月累,终究会成为一笔不小的财富。这些成语典故“贮藏”在学生脑中,自然会出口成章,写作时便会随心所欲地“提取”出来,使文章增色添辉。

2、答：应用物理或化学方法在玻璃表面沉积金属或金属化合物薄膜，使玻璃表面具有一定的反射太阳能的作用。这种沉积了薄膜的玻璃通常被称为镀膜玻璃。与当今“教师”一称最接近的“老师”概念，最早也要追溯至宋元时期。金代元好问示侄孙伯安诗云：“伯安入小学，颖悟非凡貌，属句有夙性，说字惊老师。”于是看，宋元时期小学教师被称为“老师”有案可稽。清代称主考官也为“老师”，而一般学堂里的先生则称为“教师”或“教习”。可见，“教师”一说是比较晚的事了。如今体会，“教师”的含义比之“老师”一说，具有资历和学识程度上较低一些的差别。辛亥革命后，教师与其他官员一样依法令任命，故又称“教师”为“教员”。 2镀膜玻璃有那几种生产

3、方法？工程玻璃镀膜线采用的是哪种生产方法？课本、报刊杂志中的成语、名言警句等俯首皆是,但学生写作文运用到文章中的甚少,即使运用也很难做到恰如其分。为什么?还是没有彻底“记死”的缘故。要解决这个问题,方法很简单,每天花3-5分钟左右的时间记一条成语、一则名言警句即可。可以写在后黑板的“积累专栏”上每日一换,可以在每天课前的3分钟让学生轮流讲解,也可让学生个人搜集,每天往笔记本上抄写,教师定期检查等等。这样,一年就可记300多条成语、300多则名言警句,日积月累,终究会成为一笔不小的财富。这些成语典故“贮藏”在学生脑中,自然会出口成章,写作时便会随心所欲地“提取”出来,使文章增色添辉。 答：蒸发沉

4、积、离子沉积、溅射沉积。此三种属于物理沉积。热分解气相沉积、等离子体气相沉积皆属于化学沉积。工程玻璃镀膜线采用的是溅射沉积法。3工程玻璃镀膜线生产的镀膜玻璃分为哪两大类？试将现有牌号按此两大类进行划分。答：工程玻璃镀膜线生产的镀膜玻璃分为阳光控制膜和低辐射膜（LOW-E）两大类。阳光控制膜有AC系列、SC系列、BD系列、TS系列等。低辐射膜有LE系列、CE系列、LER系列、LET系列、TE系列、RE系列等。4请举出标准锡基LOW-E玻璃的膜层结构，并说明低辐射膜的基本作用原理和各膜层的作用。答：GLASS/SnOx/Ag/NiCr/SnOx银是自然界中辐射率最低的物质，在玻璃上镀一层1030纳

5、米的金属银层，就可以使玻璃的辐射率从0.84降低至0.04-0.12,这是低辐射膜的基本作用原理玻璃经过这种工艺处理后，其辐射热损耗可以减少90%，将其制成低辐射中空玻璃以后，热阻可以比普通中空玻璃再提高一倍以上。SnOx在LOW-E中的作用有：a调节透反射及色，b.能比较好的结合GLASS、Ag层，提高结合强度。C.顶层SnOx起到保护和隔离空气的作用。NiCr起到在镀顶层SnOx时保护Ag层不被迅速氧化的作用。5何为第二面LOW-E和第三面LOW-E？分别有哪些系列？答：一片低辐射中空玻璃从室外到室内依次为第一到第四面，客户从室外向室内看。由于膜层总在中空玻璃腔体内，即总在第二面或第三面。

6、第二面LOW-E指中空玻璃室外片为膜片，客户从室外向室内看到的是室外片的玻璃面颜色，所以在生产时需要控制的是该膜片的玻璃面颜色，即Rg、ag*、bg*。第二面LOW-E有CE系列、LER系列、LET系列、TE系列、RE系列等。第三面LOW-E指中空玻璃室内片为膜片，客户从室外向室内看到的是室内片的膜面颜色，所以在生产时需要控制的是该膜片的膜面颜色，即Rf、af*、bf*。第三面LOW-E有LE系列。6镀膜生产对真空度有何要求？答：真空度在通入工艺气体用于烧靶前，真空镀膜室的压力通常在6*E-5mbar以下，通入工艺气体用于生产前，真空镀膜室的压力通常在4*E-5mbar以下。在通入工艺气体后，

7、进行烧靶、调试或生产时，真空镀膜室的压力控制在1*E-3到7*E-3mbar范围内。7控制工如何进行工艺参数控制？其目的是什么？答：镀膜工艺参数用菜单方式进行输入，控制工可根据实际情况参照镀膜工艺参数控制表对溅射功率、溅射电流、工艺气体输入值、辊道速度等进行调整。若辊道速度不在镀膜工艺参数控制范围内，控制工可根据实际辊道速度换算出溅射功率输入计算机，并根据实际情况对溅射功率、工艺气体输入值、辊道速度等进行调整，使样片的颜色符合镀膜玻璃颜色标准。8镀膜线有哪几种真空泵？它们各有何特点？根据其特点其开启顺序是怎样的？答：镀膜线有机械泵、罗茨泵、涡轮分子泵三种真空泵。机械泵的特点是能直接从1*E3开

8、始抽真空，抽速快但不能达到较高的真空度。罗茨泵需要有一定的前级真空度才能正常工作，抽速较快，能达到比较高的真空度。分子泵在三种泵里抽速最慢，但能达到的真空度最高，启动所需前级真空度也最高。根据三种泵的特点，其开启顺序依次为机械泵、罗茨泵、分子泵。其中机械泵作为罗茨泵的前级泵，罗茨泵作为分子泵的前级泵。9.请举出本线所使用的靶材种类答：Sn、SSt、Ti、Cr、Ag、NiCr、Si、Zn、TiOx。10为什么相隔一天的两次放样输入同样的工艺单却不能得到相同的结果，有哪些因素影响它？答：因为在两次放样的间隔内，设备的状态已经发生了变化。影响设备状态的因素有气压（真空度）、靶材的状态（包括使用功率、

9、处于何种工艺状态、表面的状况）、设备部件的运转情况（包括分子泵的状态、电源的稳定、圆靶转速是否正常），还有样片本身的颜色差异。控制工在放样调试期间要充分考虑到所有可能影响到样片颜色的因素，及时作出调整。11控制工在进行工艺单功率换算时，必须考虑到哪些问题？答：必须考虑到的问题有：1、速度和功率的比例关系。溅射速度越快功率越高，两者成正比关系。即P1/P2=V1/V2。2、电源控制柜和阴极的不同其在同一状态下的溅射速率的差异。3、氧气的多少会造成L.S值的变化，并直接影响膜层的厚度。在改变功率后氧气的比例也会随之变化，所以要掌控L.S值的变化，保证正确的膜层厚度。4、真空度的高低会影响到同样功率

10、下实际的膜层厚度，所以两张工艺单真空度的差异必须考虑在内。5、靶材新旧的差异。这一点几种通常在金属态下溅射的材料如Ag、NiCr、Ti体现较明显，新靶材在相同功率下会镀得稍厚一些。在分配功率是要考虑到靶材的最高和最低功率极限，合理分配。6、挡板开口大小对溅射厚度有非常大的影响，呈反比关系。但必须注意不能简单的把两种挡板的开口大小比例视为功率的比例关系，因为靶材的溅射面积并不是非常均匀的，通常靶材正下方会镀得厚一点，两侧稍薄。12简述放样的步骤，以标准锡基LOW-E为例。答：1、根据所要生产牌号工艺单结合实际要求和设备当前状况进行换算调整。2更改辊道速度，输入工艺气体。3、气压稳定后，开启阴极电

11、源。4、调整L.S值，观察各靶状态，稳定后放入样片，并记录其过程数据。5、样片出真空室后，观查OPTOPLEX/C数据，样片作11点取样，在HUNTERLAB测色仪上测出实际颜色并纪录6、根据测得的颜色数据进行膜层厚度和均匀性的调整后，放入样片7、样片合格后，按要求填写工艺单并打印数据，阳光控制膜牌号须作研磨。13氧化锡溅射时如果通入氧气过多有什么害处？答：1、氧气过量会在靶材表面形成过多的氧化物，引起打弧和落渣，分别造成玻璃色差和针孔色斑。2、大量的氧气会造成溅射效率低下。3、氧气过多会造成颜色调整不敏感4、氧气过量会在阴极周围溅射上大量溅射物，到达一定厚度后会落下影响产品表面质量，造成清室

12、周期缩短。14烧靶的目的是什么？如何实施？答：靶材长时间暴露在大气状态下，其表面会吸附大量水汽和灰尘杂质，通过烧靶溅射的方法可以有效的将其去除。在生成化合物的工艺生产中，会在靶材溅射跑道区域逐渐生成一层氧化物或氮化物，造成打弧和落渣。尤其是氧化锡在工作时通入氧气过多，该现象更加严重。此时可关闭其他气体，只通入大量氩气，并且提升到一个比较高的功率，将靶材表面的化合物或水汽灰尘杂质溅射掉，这就是烧靶的目的。生产时状态为金属态的靶材在烧靶后可直接开始放样生产，生产时状态为氧化态或氮化态的靶材在烧靶后必须按照工艺进行稳靶工作后方可进行生产。例如SStOx转化为SStNx必须先将SStOx烧靶成金属SS

13、t，然后再通入氮气生成SStNx。反之亦然。15请画出氧化锡的转变点曲线图，就此图简述氧化锡从氧化态到金属态的变化规律，并说明如何在没有L.S探头的靶位上找出氧化锡的转变点。答：由图可见：在功率不变的情况下当氧气含量在转变点右方时，锡靶在氧化态下工作，随着氧气量的增加电压逐渐上升。在同样功率的情况下当氧气含量在转变点左方时，锡靶在金属态下工作，随着氧气量的减少电压急剧上升。在没有L.S探头的靶位上找出氧化锡的转变点时，首先确定功率，根据此功率估计其大约的氧气量并适当放余量后输入。观察其电压值应在350500左右，此时锡靶应处在氧化态。然后逐步适量减少氧气量，此时电压应随着氧气量的减少逐步降低。

14、在氧气量减少到一定量时，电压的下降会变得不明显。此时继续减少氧气，电压会突然急剧上升至600以上，即从氧化态“跳态”到金属态。而刚才电压变化不明显的区域便是锡靶在该功率的转变点，理想的工作点应该在转变点右方20sccm氧气的区域。需要注意的是：1、转变点的位置是随着功率的变化而变化的，功率和氧气量有一定对应关系，如功率上升，要相应的增加氧气量保持工作点的位置。2、如果从转变点减少20sccm氧气后跳态，此时简单的增加20sccm氧气是无法回到原转变点的状态的，必须加上更多的氧气使其回到转变点右侧，再重新减少氧气靠近转变点。3、在生产时不应过分靠近转变点，因为产品的版宽变化会造成室内气压随之波动

15、，非常容易跳态。16.如何开启3 Chamber mode?答：开启3 Chamber mode的步骤为：1、清空真空室内所有玻璃。2、将钥匙开关开到Manual mode。3、打开Entr/Buf1和Buf2/Exit的门阀。4、输入密码“Engin”两次解开系统锁定。5、点击激活3 Chamber mode按钮6、将钥匙开关开到Automatic mode。7、点击Automatic Prepare.。8、待频幕右上角出现“Automatic is ready”时，点击激活Automatic Start开始生产。17镀膜线目前有几个气体分隔区？如何分布？气体分隔区有什么作用？答：镀膜线目前

16、已划分的气体分隔区有8个。分布如下；IT11/IT12、IT14、IT21/IT22、IT24/IT25/IT31/IT32/IT33、IT35、IT42/IT43/IT44/IT45、IT52、IT54。其中IT24/IT25/IT31/IT32/IT33和IT42/IT43/IT44/IT45两个分隔区只要将相邻三个靶中间的阴极关闭，有可以形成两个新的气体分隔区。镀膜线的各种牌号中经常会用到氧化物/金属/氮化物叠加的结构，而这三种物质的生产工艺是会相互影响的。所以这三种状态必须在不同的气体分隔区进行溅射。气体分隔区之间由于有分子泵起分隔作用，所以工艺气体不会互串，得以保证各状态的稳定和单一

17、性。18为什么在使用圆靶时必须使用设定的升降程序？答：因为圆靶普遍使用陶瓷材料，其热传导的速度较慢，而电具有热效应，功率的上升会产生大量的热量。使用设定的升降程序能使其能按照较有效率的速度升功率并均匀的将热量传导到靶材的各部位。如果用手动升功率而速度又太快的话，会造成靶材内外温度不均匀，热膨胀大小不一会造成靶材表面开裂。降功率时由于冷却太快，靶材快速收缩也会造成开裂现象。19Cycle time的作用是什么？如何把这个问题和上片和控制两个岗位联系起来？答：Cycle time的作用是保证Exit Chamber有充足的抽气时间，防止由于玻璃堵塞造成的跳靶。如果在没有Cycle time的情况下

18、，假设生产速度为2.5m/min,此时溅射区内满室，每车玻璃的长度为2.5m。即Tr.2每一分钟出一车玻璃，同样Tr.1也每一分钟进一车玻璃，而Exit Chamber的放气开门出玻璃关门抽气的一个循环时间约为1分钟之内，也就是说此时生产能正常进行。但如果每车玻璃的长度为1.5m，即Tr.2每0.6分钟出一车玻璃，同样Tr.1也每0.6分钟进一车玻璃,则Exit Chambe的循环时间明显跟不上玻璃出Tr.2的速度，两车之后会由于玻璃堵塞而跳靶。Cycle time在设定在60s的情况下强行规定了两车玻璃进Tr.1的间隔不小于60s，如每车长度长于生产速度则按实际时间计算。这样就保证Exit

19、Chamber有充足的抽气时间，防止由于玻璃堵塞造成的跳靶。Cycle time的设置避免了每车玻璃过短造成跳靶这一问题，但同时也给上片和控制两个岗位提出了新要求：例：如果每车玻璃的长度为1.5m，生产速度为2.5m/min，Cycle time在设定在60s，系统默认每车间距为150 mm。此时连续生产，由于Cycle time在设定在60s的情况下强行规定了两车玻璃进Tr.1的间隔不小于60s，所以此时每两车玻璃之间的实际间距为1m+0.15m=1.15m.但对于Low-E牌号而言，这种过大的间距不仅会造成前后均匀性不良，而且严重影响其整体颜色。所以在实际生产时应尽量避免这种上片方式。上片

20、工在条件许可的情况下，每车玻璃的长度不应小于生产速度，如实在无法避免，应及时通知控制工在工艺上作微调。20每车玻璃的装载率和上片方式的不同对颜色有何影响？答：由于大部分Low-E牌号对气压的变化极其敏感，所以上片保证每车玻璃的装载率和摆放位置的相对固定相对固定就显得十分重要。气压的变化影响到产品的整体颜色和均匀性，大版面产品和小版面产品的颜色在同一工艺条件下会有非常明显的变化，因此相近版面尺寸产品在相同摆放位置的情况下进行连续生产的颜色较稳定，而尺寸规格相差较大摆放位置不一的情况下颜色也极不稳定。所以在生产前控制有必要要求上片对原片规格进行整合，寻找出较理想的搭配方式。并且在生产中相近版面产品

21、尽量放在一起生产，并保持相对固定的摆放位置。大小规格变化时要提前通知控制工在工艺上作微调。21调试规律发生变化是怎么回事？答：一个牌号的调试规律是基于该牌号各层厚度均处在特定区间内，有其局限性。而其中一层的厚度超出特定区间，不仅该层的调试规律发生变化，而且其余各层的调试规律也会产生变化。设备状态的变化从根本上造成原工艺条件下镀的膜层厚度产生偏差，如果该偏差足以影响超出该层的厚度区间，那么原调试规律便不成立。有时控制工对调试操作的不了解造成操作失误也会产生误操作，产生相反结果，如L .S值的控制。 当控制工发现调试规律发生变化，首先应检查各膜层厚度有没有超出范围，可以参考过程数据并对比两次调试设

22、备状态发生了哪些变化，以作出相应修改，并且复核操作过程，有无误操作。调试规律在厚度正确的情况下是适用的，但决不能教条主义。死抄工艺单死搬调试规律的作法是不可取的，容易陷在死胡同里出不来。控制工要善于分析，善于判断，而这取决于平时的经验累积。22请写出生产Ag/NiCr/SnOx/SStOx/SStNx/TiNx/TiOx圆靶/Si3N4/的气体比例关系，及Tuning gas的气体种类，并说明各种气体起什么作用。答：气体种类gas1gas2gas3Tuning gas溅射物种类Ag溅射气体gas1NiCr溅射气体gas1SnOx溅射气体反应气体稳定气体gas2SStOx 溅射气体/反应气体ga

23、s2SStNx 溅射气体/反应气体gas3TiNx溅射气体/反应气体gas3TiOx圆靶溅射气体补充气体gas1Si3N4溅射气体反应气体gas323为什么在调整Tuning gas的时候，在Tuning gas上增减的气体要在Main gas上做相应增减？答：在Main gas上做气体的相应增减是为了保证膜层厚度不变，同时这样调整可以做到调整其中一点的气体值而改变其它区域的膜层厚度，使调整更灵活。24作为Ag的保护层，NiCr和Ti如果镀的太薄会有什么后果？答：NiCr和Ti起到在镀顶层SnOx时保护Ag层不被迅速氧化的作用，如果镀的太薄，Ag层在镀顶层SnOx时容易被氧化，造成成品整版氧化

24、色差。25为什么每次放样合格的样片全套颜色无法和上一次一模一样？答：通常我们说的全套颜色是指透射颜色、膜面反射颜色和玻璃面反射颜色。要通时满足三套颜色的标准从理论上是可以实现的，那就是把所有的膜层的厚度都调到和定标准的那次样片一模一样。但是实际上操作起来十分困难，因为设备的状态在不停的变化，我们只能根据产品的实际使用抓住主要的一套颜色标准，并在放样时尽量向其它两套颜色标准靠拢。在生产中产生即使过程数据和上一次完全一样，但Hunterlab测色仪上测出的膜/玻璃面颜色却不合格的情况也是因为Optoplex/p测得的颜色是透射颜色，透射颜色合格不代表膜/玻璃面颜色也合格。26为什么我们在生产时原片

25、为8mmF绿片，在放样时却使用的是6mm白片？答；因为镀膜线的通常颜色标准都是以6mm白片空气面为基片制定的，放样时只要6mm白片空气面颜色符合标准便可以开始生产。但是控制工必须按照以前工艺单上相同产品原片的手提数据对照进行监控，并且同样要根据版面大小和厚度进行工艺微调。27镀空气面和镀锡液面有什么不同？答：镀空气面和镀锡液面会造成颜色的偏差。因为原片本身两面就存在颜色偏差，这一点在色片上尤其明显。某些牌号镀膜后两面的颜色偏差非常大，有时候因为生产原片的空气面由于霉变、水迹印等原因无法使用而只能镀锡液面时，可以参照已有数据在放样时略加调整，并且必须作相关记录，生产时进行颜色对照，及时调整。在放

26、样及生产时如没有特别要求，所有原片必须镀空气面。28生产时怎样利用Optoplex/c、Optoplex/p、Colorquest XE、MiniScan XE这四台仪器控制检验颜色？请简述。答：首先来分析Optoplex/c、Optoplex/p、Colorquest XE、MiniScan XE这四台仪器的特点和适用范围：a. Optoplex/p作为在线颜色过程监测系统，分部在各个气体分割区之后，主要显示玻璃镀完该层后的透射值和透射颜色。不仅可以较方便的观察每一层的厚度，而且在生产时可以通过镀完各膜层的透射值的监控推断出对应的靶是否工作正常。b. Optoplex/c是一套安装在出口室后

27、端的综合颜色检测系统。它的特点是能同时检测产品的全套数据，并给出各数值的均匀性曲线。这套系统有助于控制工观测每车产品的基本颜色指标和均匀性，并可以通过比较前后颜色曲线来有效的控制整批产品的范围。这套系统数据全面、显示直观，是生产时重要的监测工具。c. Colorquest XE色谱仪作为镀膜线制定颜色标准的重要仪器，其准确性、全面性、稳定性及抗干扰性都是这四部仪器中最好的，因此它是所有产品颜色的基准。但它的缺点就是对测试环境要求较高，不易移动，所以不能对整批产品进行全检，对大规格的产品进行测试也较困难。d. MiniScan XE手提式色谱仪的优缺点非常明显：有灵活机动，适应能力强，易携带的优

28、点，又有易受外界干扰，对操作员要求较高，数据波动较大的缺点。主要用来在生产现场对产品进行抽检。在平时生产中，样片在Colorquest XE色谱仪上检测合格后开始生产，主要通过Optoplex/c对每一车玻璃进行全检；每20分钟用MiniScan XE对产品进行抽检；连续生产四小时抽样片取11点在Colorquest XE色谱仪检测。如有个别膜层不稳定可在Optoplex/p上进行监控。在以上的过程中必须注意：1、由于设备部件老化、更换、环境的影响，Optoplex/p、Optoplex/c、MiniScan XE相对于上次同状态生产均会有不同程度的系统偏差，控制时必须考虑在内。如无法正确估计

29、则以6mm样片在Colorquest XE色谱仪上测得的数据为基准。2、Optoplex/p、Optoplex/c、MiniScan XE和Colorquest XE四台仪器相互之间存在系统误差，控制工可根据计算的方法得出偏差值，偏差值计算以Colorquest XE色谱仪数据为基准。3、MiniScan XE由于其有易受外界干扰，对操作员要求较高，数据波动较大的缺点，所以在检测时要重复多测几次，得出其颜色范围，并计算其系统误差偏差值，得出实际颜色范围。29现有YBD0164调试规律如下：SStOx T TiOx T目前样片的T值从B1B5依次为61、61.5、62、62.5、63。SStOx

30、的边部气体为50、70、100、70、50。 P=16.5kw TiOx的边部气体为0、0、0、0、10 P=53kw请同时调整该两层参数使T值合格。30填表：膜层结构牌号YACGlass/SStNx/SnO2YBD-78Glass/TiOxYBD-64Glass/SStOx/TiOxYSCGlass/SStNx/TiOxYSDGlass/Si3N4/CrNx/Si3N4YSSGlass/SSt/TiNxYNEGlass/SnO2/ZnOx/Ag/NiCr/SnO2YTEGlass/SnO2/Ag/NiCr/SnO2/TiNxYCE/YLEGlass/SnO2/Ag/NiCr/SnO2LER/

31、LETGlass/SnO2/Ag/Ti/SnO2/Si3N4YME-85Glass/TiOx/ZnOx/Ag/NiCr/Si3N4YREGlass/SnO2/Ag/NiCr/SnO2/Si3N4YDEGlass/SnO2/ZnOx/Ag/NiCr/SnO2/ZnOx/Ag/Ti/Si3N431应会题：A 清室放气/手动抽气的操作。B 烧靶、稳靶的操作。C 工艺单功率、速度换算（包括Twinmag/圆靶、挡板开口大小换算）。D Colorquest XE色谱仪和MiniScan XE手提式色谱仪的校正及使用。E 研磨仪的使用。F 3 Chamber mode和Operation at atmosphere的切换。G Service模式下倒玻璃的操作。（需两人配合）。