ESD防静电控制程序.docx

1、ESD防静电控制程序深圳市电子有限公司ESD防静电控制程序文件编号： 1. 目的：本文指在规定电子(深圳)有限公司内部的ESD规范，为公司产品在设计、制造、贮存、包装等各个环节提供明确可靠的ESD技术支持，从整体上提高公司静电防护和控制水平，提高客户的满意度。2. 适用范围：本文适用于电子(深圳)有限公司及其分厂的防静电控制。本文中的各项要求适用于防静电敏感区域。当客户的产品有特殊要求时，采用客户要求。3. 职责:3.1.各部门经理负责本部门工作区域、生产制造过程中的静电防护措施的执行。3.2.测试部负责根据本程序要求实施防静电用具的进料检测和静电线、接地线、静电垫等防静电设 施测试和记录以及

2、所有相关记录的保存。3.3.ESD防静电委员会负责制定公司的防静电措施要求和标准及监督执行状况。4. 概要：本文主要从静电控制的五个方面(即人员、设备、物料、方法和环境)来论述ESD规范，贯穿了公司产品设计、制造、贮存、包装等各个环节防静电控制,穿插介绍了防静电设施的技术要求，检测方法和作业指导等内容。5. 目录：5.1. 静电敏感区域的界定。5.2. 静电敏感区域的工程环境防静电规范。5.3. 静电敏感区域的人员防静电规范。5.4. 静电敏感区域的防静电操作方法规范。5.5. 静电敏感区域的工装,设备,仪器以及防静电器材的防静电规范。5.6. 常用的检测方法 。5.7. 静电防护作业管理指导

3、。5.8. 附录A - ESD相关术语。5.9. 附录B -常用的防静电标志。5.10. 附录C-部分静电敏感器件的静电敏感电压。5.11. 附录D- 引用的标准及参考文献。5.12. 附录E-相关记录。5.13. 附录F-版本修订历史记录。6. 静电敏感区域的界定：6.1. 静电敏感区域确定：6.1.1. ESD敏感器件的生产区域-生产线等。6.1.2. ESD敏感器件的前加工区域-前加工房。6.1.3. ESD敏感器件的贮存区域-库房和在线库。6.1.4. ESD敏感器件的返修区域-返修区及返修工位。6.1.5. ESD敏感器件的老化区域-老化房。6.2. 公司的静电敏感器件：6.2.1.

4、 MOS器件、MOS管及MOS集成电路。6.2.2. FET器件、包括场效应管和集成电路。6.2.3. TTL器件、包括各种逻辑门数字集成电路。6.2.4. AMP放大器、比较器、调节器等模拟集成电路。6.2.5. X-ROM存储体器件和记忆体器件、包括PROM、EPROM、SRAM、DRAM、FLASH等集成电路。6.2.6. CPU微处理器及各种BGA器件。6.2.7. 各种二极管、三极管。6.2.8. 各种半导体开关元件。6.2.9. 各种厚膜和薄膜电阻。6.2.10. 钽电解电容。6.2.11. SAW声表面波器件。6.2.12. 石英、晶振体器件。6.2.13. 以上元器件组装的PC

5、BA板。6.3. 静电敏感区域的标识：6.3.1. 静电敏感区的区域界限应该用黄黑相间的斜条纹来标识,线条宽度为510CM这两种斜条 纹是专门用来标识静电敏感区的区域界限的,不可作为其它标识用。6.3.2. 从静电敏感区域的入口处开始, 在明显处还应贴上静电敏感区的警示标志,该标志应符合GJB1649的规定。如图A:6.3.3. 防静电容器(防静电周转箱,防静电元件盒等),元件架和运输车等器材上应有防静电标志,标志应置于明显且不易受到磨损的地方。如图B:6.3.4. 防静电标志经过防静电液处理的物品和场所也应有防静电标志。如图C: 6.3.5. 含有ESSD的图纸资料,应有ESSD标志。6.3

6、.6. 设备的外部端口标志应符合GJB1649中第5.8.3条要求。6.3.7. 整机包装标志应符合GJB1649中第5.10条要求。6.3.8. 交付文件标志应符合GJB1649中第5.9.1条要求。7. 静电敏感区域的工程环境防静电规范7.1. 防静电工程环境的设计原则：设计防静电工程环境时,为达到静电防护的要求应遵循以下原则:7.1.1. 抑制静电荷的积累和静电压的产生7.1.2. 安全、迅速、有效的消除已产生的静电荷7.1.3. 防静电工作区应按电子元器件静电敏感度确定防护所应达到的级别和程度。一般的要求静电防护区内静电电压绝对值应小于100V。7.1.4. 防静电区域应标明区域界限并

7、在明显处悬挂警示标志。7.1.5. 在防静电工作区内禁止使用易产生静电荷的电荷源。表一为常见的电荷源:表一类别 电荷源工作台表面油漆或浸漆表面、普通塑料帖面、普通乙烯及树脂表面地板塑料及普通地板革、抛光打蜡木地板、普通乙烯树脂工作鞋、帽、鞋普通涤纶、合成纤维及尼龙面料、塑料及普通胶第鞋操作工具及设备 普通塑料盒、架、瓶、盘用品及纸制品、普通泡沫及一般电动工具、压缩机、喷射设备、蒸发设备等7.2. 防静电工程环境的要求：7.2.1. 环境的温度和湿度要求：温度应在15至30之间,湿度应在45%至75%之间,环境内应配备温度计和湿度计,并按要求做好点检记录。如果环境内的空气过于干燥，应使用加湿器或

8、其它办法来满足湿度要求，但应以不对产品造成有害影响为前提。如果湿度高了应该开空调或抽湿机来使其满足要求。温度计和湿度计使用要求:7.2.1.1. 对温度、湿度做监测的石英温湿度仪,必须放置在水平稳定的平面上。7.2.1.2. 有温湿度测量仪的场所应由专人定期检查石英温、湿度自动仪测试状况,并记录该时间段的最高和最低值。7.2.1.3. 遇有休息、节假日等特殊情况,在上班后的第一时间内要检查石英温、湿度自动记录仪的记录情况。7.2.1.4. 发现温度、湿度有超标应立即采取有效措施予以改善,并确认超标情况是否有对产品或材料造成损坏,采取的改善措施应予以记录。7.2.1.5. 每月的温湿度仪记录的测

9、试结果由测试部归类保存。7.2.2. 地板的防静电要求:7.2.2.1. 为有效地使人体静电能通过地板尽快泄漏到大地，除操作人员穿用防静电服、防静电鞋外,其先决条件是地板必须具有一定的导电性能,即是防静电的。这种防静电地板能泄漏设备、工装上的静电,也能泄漏移动操作时不易使用腕带的人体静电。普通地板材料的电阻率都较高，难以泄放人体、工装、设备上的静电。表二为各种地板的泄漏电阻:(单位:)表二地坪材料名称泄漏电阻地坪材料名称泄漏电阻石104109沥青10111013混凝土1051010聚氯乙烯(贴面)10121015一般涂刷地面1091012导电性水磨石105107橡胶1091013导电性橡胶10

10、4108木、木胶合板10101013导电性聚氯乙烯10710117.2.2.2. 当采用地板下布线方式时,可铺设防静电活动地板。表面电阻及系统电阻均为1105 1109 。7.2.2.3. 当采用架空布线方式时,应采用静电耗散材料做为铺垫材料。铺设后地板上表面电阻及任一点与地之间的系统电阻值均为1105 1109 。7.2.2.4. 如果静电敏感区域内的地板是普通地板,则应在普通地板上铺设防静电地垫并要有效接地铺设后地垫上表面电阻及任一点与地之间的系统电阻值也为1105 1109 。7.2.2.5. 禁止直接使用木质地板或铺设毛、麻、化纤地毯及普通地板革。7.2.2.6. 允许使用经特殊处理过

11、的水磨石地面,如事先敷设地线网、渗碳或在地面喷涂防静电剂等。7.2.3. 防静电地板的静电特性定期检查与维护保养:7.2.3.1. 检查对象：防静电地板。7.2.3.2. 检查频率：每半年一次,其中一次应在干燥季节测量。7.2.3.3. 检查指标：静电压,泄漏电阻和表面电阻率。7.2.3.4. 检查标准：0.10Kv ,5X104 109和1105/口 11010/口。7.2.3.5. 检查仪器：静电压表，万用表和兆欧表。7.2.3.6. 相对湿度低于30%时，应增加测量泄漏电阻的次数当电阻比较大时可撒少量的水。7.2.3.7. 当地板上附着有绝缘性的油膜、树脂、橡胶和脏污时，应根据情况定期清

12、除。7.2.3.8. 清扫防静电地板时不得使用绝缘性的地板腊。7.3. 静电敏感区域的防静电保护接地技术要求: 防静电系统必须有独立可靠的接地装置,主要技术要求如下:7.3.1. 接地线：也称为地线母线，防静电地线专供静电工程器具和人体泄漏静电荷使用，不得接在电源零线上，不得与防雷地线共用。7.3.2. 接地主干线的截面积应不小于100mm2，支干线的截面积应不小于10mm2 ，设备和工作台的接地线采用截面积应不小于2.5mm2 的敷朔导线，并以黄绿色为宜。7.3.3. 防静电设备的连接端子应确保接触可靠，易装拆，允许使用各种夹式连接器，如鳄鱼夹，插头座等。7.3.4. 接地电阻：指接地体与大

13、地之间的接触电阻，静电保护接地电阻应小于4。7.3.5. 地线的埋设： 埋设地线的原则是埋设地点的土壤电阻系数愈小愈好接地体与土壤的接触面积要大，接触密 度要高，接触要紧。7.3.5.1. 埋设地线的注意事项：7.3.5.1.1. 接地线与接地线接头必须焊接牢固，要有足够的机械强度，引线不要过长。7.3.5.1.2. 要采用耐腐蚀的接地体金属。7.3.5.1.3. 要保持接地体附近土质的质量，并不断采取措施防止接地电阻变大。7.3.5.1.4. 防静电地线要与工作地线分开埋设。7.3.5.1.5. 防静电地线必须是永久性的。7.3.5.2. 静电安全作业区地线的两种实用敷设方法:7.3.5.2

14、.1. 从专门埋设的地线接地体引出的接地线，单独敷设到生产线的防静电作业岗位单独敷设的接地导线通常使用3mm厚，约25mm宽的紫铜皮或用截面大约为46平方毫米(mm2)的铜芯软线单独引入。7.3.5.2.2. 采用三相五线制供电系统中的地线,引入电源零线的同时,方法单独引出大地地线作防静电接地线,工程上称为“一点引出电阻隔离”。电源主变电箱到大地的接地电阻应小于4。7.3.6. 接地线的定期检查：7.3.6.1. 检查对象：所有的接地线及接地端口。7.3.6.2. 检查仪器：万用表和接地电阻测试仪。7.3.6.3. 检查参数：泄漏电阻(接地电阻)。7.3.6.4. 检查频率：7.3.6.4.1

15、. 每条生产线的主接地线对通用接地点的接地性能和设备，工装及工作台等设施对生产线主接地线的接地性能应每周检查一次。7.3.6.4.2. ESD桌垫、ESD地垫、周转车、周转架和防静电环等设施的防静电连接线应每月检查一次。7.3.6.4.3. 每个通用接地点对地的接地性能每6个月检查一次。7.3.6.5. 检查标准：7.3.6.5.1. 每周检查的标准：小于4欧。7.3.6.5.2. 每月检查的标准：0.9106 1.1106 。7.3.6.5.3. 每6个月的检查标准：小于4欧。7.3.7. 接地线的定期维护：7.3.7.1. 对于检查不过关的接地线必须采取措施及时解决。7.3.7.2. 确保

16、接地线有效接地。7.3.7.3. 对于生锈的或接触不好的接地线要及时更换。7.3.7.4. 对于松动的接地线要重新连接。7.3.7.5. 按接地线相关规定进行维护。8. 静电敏感区域的人员防静电规范8.1. 各类人员的防静电知识培训要求及职责：有可能进入静电敏感区域的人员或有可能接触静电敏感器件的人员都应接受防静电知识培训,这既是对每位员工的基本要求，也是减少静电危害的根本方法和途径之一。8.1.1. 所有新员工在接受入厂培训时，必须接受ESD知识的培训。课程包括至少2小时的理论知识培训和简要讲解本规范内容。培训结束后，由人力资源部组织ESD的考试,合格者才能上岗。8.1.2. 所有在职工人和

17、ESD委员、PE部、测试部、生产部的职员和相关人员必须每年接受不少于2小时的ESD知识再培训。培训内容包括介绍ESD的新技术，新规范等。8.1.3. 在静电敏感区域内工作的生产人员及与静电敏感器件有直接或间接接触(包括静电感应)的作业人员,必须接受ESD基本知识和防静电工艺规程操作要求的培训,作为上岗考核的必考内容之一。考核不合格者不得安排在有防静电要求的岗位工作。8.1.4. 工艺人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训,掌握电子工业产品的防静电工艺技术,在生产过程中指导生产作业人员落实防静电措施,并对他们进行静电防护日常教育。8.1.5. 品质控制管理人员必须接受并通过ESD较为专业知识培

18、训,熟悉各类ESSD的静电敏感性能及其防护知识,监督防静电工艺规程的贯彻执行,评估防静电工程实施效果。8.1.6. 采购部和市场部人员必须接受ESD基本知识培训,熟悉ESSD的品种、型号、标志方法和静电防护常识,严格遵守物料或产品在采购和运输过程中静电防护的规范。8.1.7. 仓储,转运人员必须接受ESD基本知识培训,懂得在储存和转运过程中防护ESSD静电器件及相关的存放操作要求。8.1.8. 检验和试验人员(包括外购件入厂检验试验和产品检验人员)必须接受较为ESD专业知识培训,熟练掌握ESSD的检测知识和防静电器件的检测方法,严格按设计技术文件要求和工艺规程进行检验和试验。8.1.9. 设备

19、部负责防静电接地和布生产线的人员,应接受较为专业的ESD知识培训,熟悉防静电接地系统要求,掌握地桩、地线、及其它防静电设施的敷设或安装。8.1.10. 生产管理人员应了解ESD基本知识,严格按静电敏感器件的设计文件要求和工艺规程组织生产,并开展对生产员工的静电防护日常教育。8.1.11. 计量部门也应了解ESD基本知识,尤其是关于防静电仪器的校验知识,要定期调校防静电检测器材,保证其安全、有效。8.2. 人体静电防护系统：8.2.1. 防静电工作服：8.2.1.1. 防静电工作服是指为防止静电荷积累,用防静电织物作为面料而制成的工作服,样式有连体式、分体式等。防静电工作服主要用来泄放人体高绝缘

20、性能的服装所产生的静电或减少人体静电产生。8.2.1.2. 防静电工作服的主要技术指标如下表所示:技术指标A级B级实验方法带电量0.6C/件0.6 C/件按GB12014-89附录A耐洗涤时间33.0h16.5h按GB12014-89附录B所选用面料的主要性能参数如下所示:等级指标项目ABCD表面电荷密度(C/)1.03.05.07.0表面电阻()1051071091011静电半衰期(S)0.10.51.64.0摩擦静电压(V)1002504006008.2.1.3. 防静电服使用要求:8.2.1.4. 应根据所制造或操作的ESSD的静电敏感度的不同,选用不同等级的防静电布料和防静电工作服。8

21、.2.1.5. 进入防静电区域的人员必须按规定穿防静电大褂衣,夹克衣或防静电连体服,严禁穿一般合成纤维工作服。8.2.1.6. 大褂衣和夹克衣可在普通防静电工作区域使用。对于防静电要求特别高的场所，如无尘室高精密电子产品装联车间或实验室，作业人员必须穿连体衣，同时还需戴上口罩、手套。8.2.1.7. 防静电衣必须在更衣室更换,不允许在ESD区域穿或脱防静电衣。8.2.1.8. 禁止在防静电衣上附加或佩带与工作无关的金属物品或装饰品。8.2.1.9. 不能把非防静电衣的衣领翻出盖住防静电衣的衣领防静电衣的拉链拉满后,须将上下两颗扣子均扣好非防静电衣的长度不能长过静电衣不准将防静电衣的袖子挽起不准

22、将手表、手饰等与工作无关的装饰物品露出防静电衣外。8.2.1.10. 防静电大褂衣和夹克衣,应保持清洁,工作服的洗涤应尽量采用简易方法进行,要避免受到较强的机械和化学操作的洗涤。8.2.1.11. 防静电工作服应在首次穿用前作防静电性能检测,只有测试合格方可投入使用，穿用一定时期后应对其防静电性能进行复测,防静电大褂衣和夹克衣每半年应做一次防静电特性复测,对于检测不过关的防静电大褂衣和夹克衣应停止使用,更换新的。8.2.1.12. 仓库在收到新的防静电衣时，通知测试部ESD工程师对防静电服的静电电压进行检测。检测数量为抽样来料的5若抽样数低于2件，则抽取2件。检测方法为：用防静电服的塑料包装袋

23、快速连续磨擦防静电衣的同一部位45秒，然后用静电场表测试被磨擦部位的静电电压，数值小于等于0.1kv为合格，否则为不合格。如果该批防静电衣有一件测试不合格，则拒收。除上述方法外，被抽测的静电衣还应被洗4小时后再做以上测试。如果静电衣的表面电阻率仍在106-109 ohm之间且经磨擦后的静电电压仍小于等于0.1 Kv，则为合格，否则为不合格。8.2.1.13. 防静电服的检测：8.2.1.14. 我们公司目前使用的防静电夹克衣和防静电大褂衣，主要是测试它的摩擦电压和表面电阻率这两个指标。8.2.1.15. 检测指标：表面电阻率和摩擦静电压。8.2.1.16. 检测标准：1*106至1*109/口

24、0.1 Kv。8.2.1.17. 检测仪器：兆欧表和静电电压表。8.2.2. 防静电帽：8.2.2.1. 防静电帽的相关规定请参照防静电服。防静电帽应正确佩戴，帽沿朝前头发不能露出防静电帽外后脑部分的短细的头发不能超过防静电衣领外。8.2.3. 防静电工作鞋：8.2.3.1. 在生产半导体和集成电路的洁净室和超洁净室,以及高精密电子产品的装配间等对防静电要求较高的场合,作业人员必须穿防静电鞋,经过测试合格后,方可进入静电敏感区域工作。测试步骤如下:8.2.3.1.1. 将转换开关拔到左边“FOOT WEAR”档,双脚站在白色不锈钢脚板区域,如下图一。按住“PRESS TO TEST”键,此时,

25、左边(LEFT)指示即为左脚穿上鞋后的对地电阻,右边(RIGHT)指示为右脚穿上鞋后的对地电阻,如下图二。如绿灯亮则表示电阻合格。图二 8.2.3.2. 防静电工作鞋每半年应做一次防静电特性检测,对于检测不过关的防静电工作鞋应停止使用,更换新的。8.2.3.3. 检测指标：体积电阻率和摩擦静电压。8.2.3.4. 检测标准：0.5*1051*108 和0.10kv。8.2.3.5. 检测仪器：体积电阻率兆欧表 ,摩擦静电压静电电压表。8.2.3.6. 防静电鞋的使用要求：8.2.3.6.1. 为使人体有效接地、防止人体和鞋本身带电，并保证操作者因意外接触高电压时不致受到伤害，除应将车间地面做成

26、防静电地面以外，操作者还应穿用防静电鞋，而且防静电鞋必须与防静电衣配套使用，同时防静电鞋底应具有使人体与大地构成回路的材料和结构。8.2.3.6.2. 穿防静电鞋时不得穿袜子，不得另加鞋垫，特别是绝缘性鞋垫不得在鞋底粘贴绝缘胶片或其它涂料。8.2.4. 防静电手套或指套：8.2.4.1. 在对静电敏感的工位，如MOS管等敏感器件的装配工位，操作员工应戴上防静电手套或指套，防静电手套或指套兼具防腐蚀的功能。8.2.4.2. 在不便使用有绳防静电腕带的岗位，如流动操作岗位，须使用防静电手套。8.2.4.3. 定期更换破，旧和脏的防静电手套和指套。8.2.4.4. 防静电手套或指套的防静电特性检查请

27、参照防静电服的部分检查方法。8.2.5. 防静电腕带：8.2.5.1. 防静电腕带是通过腕带与皮肤的直接接触和静电线接地的方式，将人体皮肤表面静电泄放掉装置，由松紧圈和接地组件构成。松紧圈的要求是体积电阻率100cm 接地组件必须串接一定数值的电阻，以确保操作者意外触及高电压时不致发生人身伤害。该电阻的选择原则是，一方面应保证操作者在触及线电压时流过人体的电流不大于5mA，另一方面又要保证人体所带的静电能通过该电阻很快泄放,使皮肤上的静电压小于100V，一般该电阻阻值取为106。8.2.5.2. 因无绳防静电腕带的性能对环境湿度依赖性太强，禁止使用无绳腕带建议使用在线报警防静电腕带，因为它可以

28、实时监控防静电腕带与人体皮肤是否实时导通，从而保证人体皮肤静电能及时释放掉。8.2.5.3. 每班开工前，每位员工都应自检防静电环是否正常，并作好记录，只有测试合格，才可以进入静电敏感区域工作，测试步骤如下:8.2.5.3.1. 各分厂将静电环测试仪放在厂房入口处，员工每天上班进入车间时自行测试及做记录，各分厂指定责任人监督、检查测试结果并在测试表的检查人项目栏签名确认。品质部QA检查员的静电环测试及记录在相应分厂完成，仓库及IQC员工的静电环测试及记录在仓库完成。8.2.5.3.2. 员工进入车间前应首先佩戴好静电环，然后将静电环上的锷鱼夹夹住静电测试仪的测试端，用手按下测试仪上的PUSH

29、ON开关,如静电环正常，则OK指示灯亮(中间的LED亮) 如静电环阻值太低，则LO指示灯亮(左边的LED亮)，如静电环阻值太高，则HI指示灯亮(右边的LED亮)。测试合格者，由佩戴者在静电环测试记录表上当日的编号处画“”反 之，画“”。严禁在测试时，将静电环拿在手上进行测试。各部门的责任人应维持测试秩序并监督每位员工的测试过程。8.2.5.3.3. 如有测试不良的静电环，值班责任人必须对此静电环重新确认如经过确认后再合格的可正常使用，仍不合格的必须收回更换。记录表上有不合格的记录必须有改善行为。测试记录由测试部保存。8.2.5.3.4. 各线领班和生产主任应确保本线员工在需要的岗位都正确佩戴好

30、静电环，不能松脱，更不能戴在袜子或袖子上。测试部负责静电工作的技工每天对在线员工静电环实际佩戴状况抽测一次，抽查人数为每条生产线总人数的10，抽测结果记入静电环抽查记录中。8.2.5.4. 进入静电敏感区域应将防静电环连接好，与皮肤完全接触，保证防静电环正常有效的工作。8.2.5.5. 防静电线的有效长度是2.5米，在使用防静电环的过程中，不可过度拉扯而超过它的有效长度，不可折断防静电线，不可冲洗防静电环，拔插时不可通过拉防静电线来完成，不可在防静电环金属片上加水等，要注意正确使用和妥善保护好防静电环。8.2.5.6. 先戴好防静电环，再拿静电敏感器件ESSD,先放下静电敏感器件ESSD，再拔防静电环。在实际工作中要注意此顺序，要养成这种习惯。8.2.5.7. 防静电环的防静电连接线的检查请参照7.3.6规定。8.3. 临时或外来人员的防静电管理：8.3.1. 临时(外来)人员,包括参观人员、非本车间联系工作人员、临时施工人员(包括电工、修理工、装饰工等),进入防静电区域时,必须遵守防静电区域和生产过程的各项防静电要求。8.3.2. 临时(外来)人员在参观或作业过程中,不得靠近操作静电敏感器件的工作人员,也不得靠近或徒手接触含有静电敏感器件的在制品或成品。8.3.3. 临时施工作业在正常生产时间内要避免瞬时高压、瞬时放电