中国科学院新疆理化技术研究所 3doc.docx

1、中国科学院新疆理化技术研究所 3doc招标文件项目名称：实验室仪器设备采 购人：中国科学院新疆理化技术研究所二一二年四月第一章 投标邀请中国科学院新疆理化技术研究所拟采购“实验室仪器设备一批（见附表），现进行国内内部招标，现欢迎国内具备资质的供应商以密封标书的方式前来投标,具体要求详见附件.1.招标编号:01012采购方式：内部招标3。招标数量：“实验室仪器设备”一批（见附表）,具体要求详见附件。投标人可选择一台设备、或多台设备投标,但投标设备总额不能超过投标人注册资金的倍(投标人注册资金的认定：指201年12月31日前的注册资金)。附表:实验室仪器设备名称和数量设备序号仪器名称数量1磁控溅射

2、沉积系统1台2单面研磨机1台3氮气保护柜1台低温标定装置1套5全自动快速比表面积及孔隙分析仪1台高温真空气氛热压烧结炉套深能级瞬态谱仪台8湿法清洗台台9真空烧结炉台 资金性质:财政5. 投标人资质要求：.1 注册资金不小于50万元；52具有独立承担民事责任的能力；。3具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；5。4具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；.5具有良好的履约和售后服务能力,并配有较强的技术队伍，提供快速的售后服务；6投标截止时间：01年月18日上午时3分(北京时间),逾期收到的投标文件将被拒绝。7.评标时间：212年4月18日上午10时30分(北京时间)。8. 投标文件递交地点:中

3、国科学院新疆理化技术研究所财务资产处。9.投标人对本次招标活动事项提出疑问的，请在投标截止时间日之前， 以信函或传真的形式与中国科学院新疆理化所财务资产处联系。开标地点:中国科学院新疆理化技术研究所.11、招标方将根据招标服务与采购货物的特点组建包括行业专家在内的评标小组,采用函评方式，由其对投标文件进行审查、质疑、评估和比较。12、采购单位联系人：新疆理化所财务资产处 刘振华地址:新疆乌鲁木齐市北京南路4号附1号； 邮 编：831电话:；传 真：; 电子信箱:13、单位汇款信息：()单位全称:中国科学院新疆理化技术研究所（2）开户银行：新疆乌鲁木齐市建设银行科学城支行营业部（)银行账号:65

4、0016554第二章技术文件商务文件 A 技术文件一、设备技术要求与规格参数、设备序号1：磁控溅射沉积系统1.1 设备功能和总体要求：11可进行真空磁控溅射，利用磁控溅射法必须能够保证得到的工件材料的整体均一性和致密度高度一致。1。该磁控溅射沉积系统必须能够保证靶材在溅射真空室内可以同步或分步进行工件材料的磁控溅射沉积和氧化。气氛为惰性气体与纯氧的混合气氛.11.3 在溅射沉积过程和氧化过程中,必须保证仍然能够在基片上施加负偏压。.2设备主要技术规格:1系统的主要组成及技术指标:极限真空度:6.67x105 （经烘烤除气后）;系统真空检漏漏率：5.07 ；系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开

5、始抽气，0分钟可达到。6x104 ；停泵关机12小时后真空度：;.。1溅射真空室组件 1套圆筒型真空室尺寸45 x350，电动上掀盖结构，可内烘烤10150，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下: 00法兰接口：1个(观察窗口）; 63法兰接口：个(观察窗口)； 10法兰接口：个（进气管路、放气阀）; 10法兰接口：个(分子泵);10法兰接口：3个(磁控靶接口） 法兰接口:6个（电离规、旁抽口、陶封引线、3个备用）2法兰接口:个（基片挡板）；16法兰接口：1个（备用）;1法兰接口：个（规）;1.2

6、。12磁控溅射靶组件 套 靶材尺寸：60 （其中一个可以溅射磁性材料）; 永磁靶：射频溅射与直流溅射兼容，靶内有水冷； 电动控制挡板组件：1套； 靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染（非共溅时安装使用）；三个靶可共同折向上面的样品中心，靶与样品距离9011可调；当直接向上溅射时,靶与样品距离408可调，并有调位距离指示。2.3单基片水冷加热台组件 1套 基片尺寸:可放置0基片; 基片加热最高温度C1C，由热电偶闭环反馈控制; 取下加热炉可以换上水冷基片台;基片可连续回转，转速0转/分； 基片可以加负偏压20V；手动控制样品挡板组件:套；样品托:2个； 121.4窗口及法兰接口部件 1套0玻璃

7、窗口：1块；63玻璃窗口：块；35陶瓷封接引线法兰:个（照明及内烘烤引线)；盲法兰6:个；35：个.1.工作气路 1套 200、质量流量控制器、充气阀1、进气截止阀、混气室、管路、接头等:共2路充气阀，管路、接头等:1路(解除真空冲氮气)；2抽气机组及阀门、管道 1套 复合分子泵及变频控制电源：1台（抽速600升/秒）; 直联机械泵：台(抽速8升/秒); 4电磁压差阀：1台; 分子泵与机械泵软联接金属软管:1套 ;机械泵与真空室之间的旁抽管路、40电磁隔断阀及角阀5:套 ； 15闸板阀:1台（用于分子泵与真空室隔离）;.2.1安装机台架组件 1套优质方钢型材焊接成，快卸围板表面喷塑处理；机台表

8、面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮,可固定，可移动;1.。8真空测量及电控系统 1套电源机柜:2台(含供电电源，有断电保护功能）;控制电源:台(为机械泵、电磁阀、升降电机等提供电源）；水流报警系统:套(对分子泵、磁控靶有断水报警切断相应电源功能）；样品加热控温电源:1套(可实现程序控温)； 电机控制电源:1套; 靶挡板电源：3套;加热烘烤及照明电源:套；宽量程数显真空计：套; 测量范围:x10510x15。 0、100质量流量显示器：套；分子泵控制电源:1套； 50W射频电源：套; 500W直流电源:2套； -20直流偏压电源：1套；1。配件 1套不锈钢管：m;电动升降装置：1套;.10备件 1套

9、无氧铜密封垫圈及管路16：3个；5：3个； 10：2个;150:2个;卡套：4套； 型氟橡胶密封圈:450（内)8.：1个；04（内）:个；67（内）4：1个;J型密封胶圈:D50:3个；D55：3个;：3个照明灯：2个；烘烤灯：2个 样品加热丝:1套; 98玻璃：块;0玻璃:2块; 小型不锈钢标件：M3、M4各3个; 电器相关的保险丝:各1个。121。11计算机控制系统 1套由硬件卡、软件组成（计算机由厂家提供)；控制的内容主要有靶挡板、样品自转、六工位样品挡板、样品控温等;1.2.。12六工位基片加热公转台组件 套拆下单基片水冷加热台可以换上该转台基片尺寸：可放置0基片；同时可以安放片；六

10、个工位中，其中一个工位安装加热炉，其余工位为水冷却基片台;基片加热最高温度0C1,由热电偶闭环反馈控制;基片转盘只能030回转;当拆掉加热炉电极和热电偶后，可连续回转；基片转盘由电机驱动,可计算机控制公转工位及镀膜过程;基片可以加负偏压0；电动控制基片25挡板组件：1套；1。2。13配备循环冷却水系统及其他辅助系统。1. 其他要求1。3.1 技术服务及质量保证:按900质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输；提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书；1.3. 相关的技术资料及信息：技术资料:提供系统及各部件完整的设备说明书、软硬件使用、维护手册、设备出厂报告和合格检验证明

11、、装箱单。制造商信息：提供构成系统所有部件的产地和制造商信息.安装要求：供货方人员负责设备的安装调试的试运行。1。3 业绩表现:近5年内同型设备在国内装机2套以上。提供在国内科研院、所和大学用户名单、装机时间和联系方式。、设备序号2：单面研磨机2.1设备功能和总体要求可对硅、锗、玻璃、陶瓷等片状器件、其他圆盘类零件进行单面研磨。2 设备主要技术规格：产品直径：1120最小研磨厚度：30 研磨平整度:1 研磨平行度： 2.3 其他要求2。.1 设备耗材及特殊附件： 提供包括研磨盘、研磨液搅拌供应系统、研磨盘内部冷却循环 系统和研磨盘修整环等附件。2.32 资料及信息:（) 技术资料：提供设备完整

12、的设备说明书、维护手册.（2） 制造商信息：提供构成设备所有部件的产地和制造商信息。(3) 安装要求：卖方人员负责设备的安装调试的试运行。2。.3 业绩表现：提供近年内同型设备在国内主要用户名单、装机时间和联系方式。3、设备序号：氮气保护柜3。设备功能和总体要求用于存储微电子器件和电路,以避免受大气中的氧气、水汽、尘埃及其它微量腐蚀性有害气体的影响。2技术参数3。2. 控湿范围： 60可相对湿度间调整 32.温湿度显示：可数字显示温湿度,显示排湿吸湿状态， 3。23吸覆功能： 除湿主机内附可吸水气及硫化物、醇类等有毒气体 3.2。4断电状况: 持续停电2小时,仍可运用化学吸湿补位功能继续吸湿.

13、2。 电源：20V0/603.2。6外尺寸（): W20 X D700 X 8003。2层 板 数： 64、设备序号4:低温标定装置4.1设备功能和总体要求低温标定装置主要应用于低温热敏电阻器73K低温段的阻值测试。 设备主要技术指标测温温度范围:717K测温精度:0。054. 其他要求4.3。1系统集成提供低温标定装置工作所需的附件,以保证系统能够正常运行。43。2资料及信息（1)技术资料提供系统完整的设备说明书、软硬件使用、维护手册等。(2）安装要求供货方人员负责设备的安装调试的试运行.4。3。 业绩表现提供近年来国内用户名单情况。5、设备序号5:全自动快速比表面积及孔隙分析仪5.1 设备

14、功能和总体要求全自动快速比表面积及孔隙分析仪用于全面测定具有微孔的热敏材料的特性,确定并给出所有材料的表面积和技术指标部分所列的有关参数。5. 设备主要技术规格:2。1此仪器必须配备有等温夹，以确保分析的准确性,控制液面变化0。1，等温夹必须适合各种冷浴,包括液氮，液氩，冰水等，不能使用液位传感器。.2此仪器必须为一体机，不可以为分体机。配有一个分析站和两个脱气站,且脱气站和分析站各配有独立的真空系统（为确保精度,脱气站和分析站不可共用真空系统）。其中脱气站为一个双级机械泵，并且脱气站控制为计算机控制。分析站配有一个双级机械泵和一个分子涡沦泵。5。脱气站和分析站均为全自动操作,面板无任何按键。

15、52。 分析范围：比表面积： 000052无上限孔径分析范围： 550 微孔区段的分辨率为0. 孔体积最小检测: .1 5.2。真空系统：两个双级机械泵 （脱气站和分析站各一个) 和一个分子涡轮泵用于分析站,仪器分析站,真空可达1.5.6 液氮系统: 杜瓦瓶为3升，72小时无须人员介入，确保微孔分析过程能在无需添加液氮的情况下进行。2.仪器应配置9个进气口：以便使进行不同的气体分析时无需更换气路。5。2。8仪器必须配备双冷阱,既脱气站为一套独立的冷阱管,分析站为一套独立的冷阱管,不可合用冷阱管，配备大容量冷阱杜瓦.。仪器操作软件为 “，支持最新的 位操作系统.在线显示仪器状态，允许转换手动控制

16、;可进行数据输出 （或, 等软件直接编辑），可进行外来数据的合并比较。52.0必须提供标准样品，必须附上详细的标准样品验收标准，微孔的验收标样误差范围必须小于0.2A。52.11控制液面变化0。.。2.12数据处理模型1 比表面积:单点，多点，斜率,截取，常数 C” ,相关系数。表面积：多点，斜率，截取，相关系数。2 孔径分布:体积，面积，吸附,脱附,累积，推导（线性化和取对数),插值。3 微孔面积：斜率，截取,相关系数,平均孔径，微孔体积,平均吸附能。4总孔体积：由用户选取可选的 ;平均孔径：半径，直径。5 统计壁厚(曲线): ,或碳黑模型6 法:微孔表面积，中孔表面积,微孔体积,相关系数.

17、微孔孔径分布： ， ，, , 密度函数理论等种模型方：提供表面能分布必须提供吸附速率图形：包括吸附量/时间，吸附速率与/时间等必须提供 软件处理系统一套。5.3 其他要求（） 技术资料:1.控制软件一套(V3。0版本以上）2 专用数据处理软件系统一套(2） 制造商信息:提供构成系统所有部件的产地和制造商信息。（3) 安装要求：供货方人员负责设备的安装调试的试运行。6、设备序号6：高温真空气氛热压烧结炉。设备功能和总体要求6。1 热压炉主要用于热敏陶瓷成型体的加热、加压烧结。6。2热压烧结炉可实现自动加热、加压、保压、抽真空及自动降温控制。6。1。3 热压烧结炉配置有安全保护系统,可确保烧结炉的

18、安全运行。6.2 设备主要技术指标6。 可以提升到最大的操作温度为10，可以在真空,惰性气体和氮气下操作。6. 负载:5吨。.3加热尺寸:达到直径5高10。24 加热元件：钼。3.2。 温度:500 100。3。2。气压:在 1600为 2 ,真空为02 托()。6 其他要求63。1 系统集成(1)炉子组装：炉子和前门都是双夹套,04不锈钢。（)加热区:加热区的缝隙的设计允许完全到达内部，当前门开着时，前门可打开，以放置或取走模子和冲击配件。(3)温度控制: 一个标准的可编程的温度控制器和分开的限温器。需有数据记录装置。(4）液压系统:液压系统包含一个底部分置式油缸,手动阀控制,独立泵/容器。

19、线上安装的压力表来测试压力。(5）惰性气体/氮气系统:有惰性气体或者氮气保护下操作.（6)压力传感器 :配备可编程压力控制器。 6。.资料及信息(1) 技术资料提供系统完整的设备说明书、软硬件使用、维护手册等。(2） 安装要求供货方人员负责设备的安装调试的试运行。63 业绩表现提供近年来国内用户名单情况.7、设备序号：深能级瞬态谱仪71 设备功能和总体要求检测热敏电阻半导体材料中微量杂质、缺陷的深能级及界面态7。 设备主要技术规格：1、温度范围:20 2、温度稳定性：0.1 3、温度精度:1K 14、测试电容：-100 5、电容灵敏度:2*056、相角稳定性:0.0017、检测灵敏度：73 其

20、他要求(1) 技术资料：提供系统完整的设备说明书、软硬件使用、维护手册等。(2) 制造商信息:提供构成系统所有部件的产地和制造商信息.（3) 安装要求:供货方人员负责设备的安装调试的试运行。、设备序号8:湿法清洗台.1设备功能和总体要求设备用于炉管及硅片的清洗，通过控制相应的电机、氮气鼓泡、石英管滚动、高压喷射、溢流漂洗、以彻底清除炉管及硅片上的油污、颗粒、杂质。8技术参数。2。1清洗形式:卧式8。2.被清洗工件外形尺寸：长度 : 70 直径 ： 28。2.设备外形尺寸： 长宽高0006008。2。配备排风系统8.25电源：201，50 .2清洗工艺：满足王水、清洗要求.清洗槽内配备储酸槽9、

21、设备序号9:真空烧结炉9。设备功能和总体要求用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结及常规烧结。9术参数使用温度：01200（真空状态下最高使用温度10）控温方式:程序控温控制精度:2(001000)恒温区长度： 00炉体升温速率：15.开机重复性:2冷态极限真空度：503。石英真空室内径：5 石英真空室长度：1400环境温度：1045供电电源：38V0%三相四线二、验收与保修1、仪器安装、验收:由仪器制造厂技术人员到现场安装仪器并在用户实验室人员在场的情况下完成仪器设备性能的证明文件。只有在仪器完全正常运转和用户实验室人员确认后，仪器的安装工作才能认为已全部完成。设备到货后,

22、供应商应在20天内完成安装调试。、保修期1年。保修期自仪器验收合格双方签字之日起计算，终身维护。、设备验收时供货厂商应提供仪器设备的安装、操作手册，提供仪器设备的维修保养手册，提供仪器设备的工作软件说明书。 三、技术服务1、供货厂商提供免费安装和现场培训,直到用户能够独立使用为止.、受训人员培训后应能掌握仪器的基本原理、结构，达到独立操作的能力，并能够对仪器进行日常维护。 四、售后服务1、卖方提供快速响应的维修服务体系,并提供应用、技术支持,对用户的服务要求应在4小时内响应;需要在现场解决问题的，应在2到4个工作日内到达仪器现场;一般应在4小时内解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在一周内

23、解决或提出明确解决方案，否则卖方应赔偿用户的相应损失。2、仪器须保证有5年以上的零配件供应.3、提供设备所需软件的终身免费升级服务。4、提供质保期满后维修收费情况。 商务文件1、报价要求应提供所有部件的清单报价。、交货地点中国科学院新疆理化技术研究所、交货时间国产设备合同生效后2个月内，进口设备合同生效后3个月内。4、付款方式:进口设备:待外贸合同签定后十五日内开具合同总价款的00%不可撤销的即期跟单信用证，其中,90见单据即期支付,剩余的1 %凭甲方签署的质量验收报告支付。国产设备：预付50,安装调试合格后支付40%，保修期满无任何质量问题支付10。第三章投标说明A投标文件的编写1. 要求投

24、标人应详细阅读招标文件中的条款格式表示条件和规范等所有内容,按招标书的要求提供投标书，并保证所提供的全部材料的真实性，以使其投标对招标书作出实质性响应否则,其投标可能被拒绝投标人可选择一台设备、或多台设备投标,但投标设备总额不能超过投标人注册资金的倍（投标人注册资金的认定:指21年1月3日前的注册资金)。2。 投标文件语言和度量单位 投标文件及投标人和招标方就招标投标交换的文件和往来信件，须以中文书写，中外文缩略语的，须在第一次使用时对其含意进行说明。22 除在招标书的技术规格中另有规定外，计量单位应使用公制投标文件的组成3投标人准备的投标文件应包括下列部分:其中（)-（6）为投标时资格审查必

25、备条件，如果缺项则为废标。3。1资格审查文件(1)投标人企业营业执照复印件（须经年审合格)或外企在中国境内注册登记证(复印件）；（2)投标人法人授权委托书原件(见附件2）及被授权代表身份证明复印件；(3）产品代理证明（仅对代理商)（4)贸易公司的资格声明（投标人作为代理投标时需提供）;（5）投标人开户银行出具的资信证明或最近的银行对账单；（）开标一览表(见附件）及投标保证金;.1。2 投标书顺序和格式(） 投标函（见附件）（2)投标企业技术经济及综合实力描述；(3） 投标产品结构性能技术参数详述；应详细给出系统各组成部件的功能描述，并列明其技术参数.（4） 投标产品检测报告；(5) 执行的制造

26、验收标准；（6） 技术规格及报价明细（包括分项报价表）;（7）备品备件清单及报价（备件特种工具的货源和现行价格及维保计划); 易损件清单及报价。(8） 规格功能合同条款偏离表.本招标文件的技术参数和规格条款,是投标人必须达到的基本要求，技术参数和规格条款出现重大偏离的，其报价将被拒绝；投标人也可提供优于技术参数及要求的设备。(） 投标人近三年的主要业绩，提供投标产品的国内科研院所、大学用户名单、装机时间和联系方式.（1） 有关产品样本及资料（制造商出具的产品中文说明书彩页照片）；(） 售后服务保证及承诺；3.2 如果投标人提供的服务及货物不是投标人自己生产或拥有的,则必须得到技术拥有者或货物制

27、造商向招标方提供该种货物/服务的正式授权及价格授权，其价格授权必须包括货物安装技术支持售后服务培训及其它必需服务的报价.4。 产品合格证明文件4. 作为投标文件的一部分投标人必须提供所供应产品(服务)是合格的证明文件。2 产品（服务）证明文件可以是检测报告说明书图样和资料，并须提供：（1）有关制造情况和近三年供应同类产品(服务）的用户名单，以及产品质量保证书生产许可证复印件.（2)产品的主要技术数据和性能的详细描述（）产品的安装和验收标准.（）产品拆装和维修时所需的特殊工具.投标报价5.1所有报价均报或乌鲁木齐价（适用空运）即成本运保费付至乌鲁木齐报价必须包括制造和装配货物使其达到使用要求所需要的材料部件工具及货物本身已支付或将支付的产品税销售税和其他税费等。5.2所有的单价和总价格均按招标书中价格表的格式填写，进口品牌美元报价(免税价)，国产品牌以人民币报价.5.3投标人的价格必须在开标后(至少）0天内固定不变。5.4不接受任何变通或有任何选择性的报价,报价必须唯一确定严格.当在单位和总价格之间出现任何差异时，以单价为准。5.5投标人必须保证投标报价不超过卖方的国内正常价格，并且不高于其它类似买者任何违反该项保证的行为,招标方将终止合同或要求归还已付的超出部分.56 报价明细表应包括货物各组成部分的分项报价，技术规格