《精密超精密加工》知识总结及试题与答案复习必备资料.docx

1、精密超精密加工知识总结及试题与答案复习必备资料20120706复习要点1精密和超精密加工技术练习及复习精密和超精密加工代表了加工精度发展的不同阶段，通常，按加工精度划分，可将机械加工分为一般加工、精密加工、超精密加工三个阶段。什么叫精密加工？ 加工精度在0.11m，加工表面粗糙度在Ra0.020.1m之间的加工方法称为精密加工。什么叫超精密加工？ 加工精度高于0.1m，加工表面粗糙度小于Ra0.01m之间的加工方法称为超精密加工。第一章 精密和超精密加工技术及其发展展望影响精密与超精密加工的因素有哪些？ 加工机理、被加工材料、加工设备及其基础元部件、加工工具、检测与误差补偿、工作环境等。 我国

2、今后发展精密与超精密加工技术的重点研究内容包括什么？（1）超精密加工的加工机理；（2）超精密加工设备制造技术；（3）超精密加工刀具、磨具及刃磨技术；（4）精密测量技术及误差补偿技术；（5）超精密加工工作环境条件。举例说明超精密切削的应用范围有哪些？ 陀螺仪、激光反射镜、天文望远镜的反射镜、红外反射镜和红外透镜、雷达的波导管内腔、计算机磁盘、激光打印机的多面棱镜、录像机的磁头、复印机的硒鼓、菲尼尔透镜等由有色金属和非金属材料制成的零件。超精密切削速度是如何选择的？ 超精密切削实际速度的选择根据所使用的超精密机床的动特性和切削系统的动特性选取，即选择振动最小的转速。金刚石刀具的尺寸寿命甚高，高速切

3、削时刀具磨损亦甚慢，因此刀具是否磨损以加工表面质量是否下降超差为依据，切削速度并不受刀具寿命的制约。 第二章 超精密切削与金刚石刀具举例说明超精密切削的应用范围有哪些？ 陀螺仪、激光反射镜、天文望远镜的反射镜、红外反射镜和红外透镜、雷达的波导管内腔、计算机磁盘、激光打印机的多面棱镜、录像机的磁头、复印机的硒鼓、菲尼尔透镜等由有色金属和非金属材料制成的零件。超精密切削速度是如何选择的？ 超精密切削实际速度的选择根据所使用的超精密机床的动特性和切削系统的动特性选取，即选择振动最小的转速。金刚石刀具的尺寸寿命甚高，高速切削时刀具磨损亦甚慢，因此刀具是否磨损以加工表面质量是否下降超差为依据，切削速度并

4、不受刀具寿命的制约。 刃口锋锐度对加工表面粗糙度的影响？ 刃口锋锐度对加工表面有一定的影响，相同条件下（背吃刀量、进给量），更锋锐的刀具切出的表面粗糙度更小。刀刃锋锐度对切削变形和切削力的影响？ 刀刃锋锐度不同，切削力明显不同。刃口半径增大，切削力增大，即切削变形大。背吃刀量很小时，切削力显著增大。刀刃锋锐度对切削表面层的冷硬和组织位错的影响？ 刃口半径越小，加工表面变质层的冷硬度越小，位错密度越小，切削变形越小，表面质量越高。刀刃锋锐度对加工表面残留应力的影响？ 刃口半径越小，残留应力越低；背吃刀量越小，残留应力越小，但当背吃刀量减小到临界值时，背吃刀量减小，残留应力增大。超精密切削时极限最

5、小切削厚度是多少？ 1nm。金刚石刀具不同晶面的摩擦因素如何？ （100）晶面的摩擦系数最低，（110）最高；（100）晶面的摩擦系数差别最大；（111）晶面最小。金刚石刀具磨损和破损的特点是什么？超精密切削对刀具有什么要求？ 极高的硬度、极高的耐磨性和极高的弹性模量。刃口能磨得极其锋锐，刃口半径值极小，能实现超薄切削厚度。刀刃无缺陷，切削时刃形将复制在被加工表面上，从而得到超光滑的镜面。与工件材料的抗粘性好、化学亲和性小、摩擦系数低，以得到极好的加工表面完整性。金刚石属于什么晶系？不同面体金刚石主要有哪几个晶面和晶轴？ 金刚石刀具不同晶面的面网及面网密度是如何计算？其比例是多少？什么叫金刚石

6、晶体的解理现象？哪个晶面最容易解理？为什么？ 解理现象是某些晶体特有的现象，晶体受到定向的机械力作用时，沿平行于某个平面平整的劈开的现象（111）面的宽的面间距（0.154nm）是金刚石晶体中所有晶面间距中的最大的一个，并且其中的连接共价键数最少，只需击破一个价键就可使其劈开。金刚石的解理现象即沿解理面（111）平整的劈开两半，且金刚石的破碎和磨损都和解理现象直接有关。金刚石刀具各晶面的耐磨性如何？好磨和难磨方向又是如何？与摩擦因素有何关系？金刚石刀具的磨损，主要属于机械磨损，本质是微观解理的积累；金刚石晶体的破损机理，主要产生于（111）晶面的解理。当垂直于该晶面的拉力超过某特定值时，两相邻

7、的晶面分离，产生解理劈开。刀刃处的解理破损是磨损和破损的主要形式，所以刀刃的微观强度是刀具设计选择晶面的主要依据。 金刚石各晶面的微观破损强度关系是？ （110）面破损的机率最大，（100）面破损机率最小。金刚石晶体的定向主要有哪几种方法？ 人工目测定向、X射线定向、激光定向。简单讲述激光定向的原理过程？衡量金刚石刀具的标准是什么？ 能否加工出高质量的超光滑表面（Ra0.0050.02m）；能否有较长的切削时间保持刀刃锋锐（切削长度数百千米）。试比较直线修光刃和圆弧修光刃的优缺点？ 单晶金刚石刀具的前面应该选择哪个晶面？ （100）晶面。金刚石刀具小刀头的固定方法哪几种？ 机械夹固；粉末冶金法

8、固定；粘结或钎焊固定影响金刚石刀具精研的因素有哪些？什么叫精密和超精密磨料加工？所谓精密和超精密磨料加工，就是利用细粒度的磨粒和微粉对黑色金属、硬脆材料等进行加工，以得到高加工精度和低表面粗糙度值。固结磨料加工主要有哪几种？精密和超精密砂轮磨削、精密和超精密砂带磨削等。精密和超精密砂轮磨料主要有那几种？普通磨料：包括碳化物系，如碳化硼、碳化硅；刚玉系。超硬磨料系：包括金刚石，如天然金刚石和人造金刚石；立方氮化硼。第三章 精密磨削和超精密磨削固结磨料和游离磨料超硬磨粒有什么优越性？磨具在形状和尺寸上易于保持，使用寿命高，磨削精度高；磨料本身磨损少，可较长时间保持切削性，修整次数少，易于保持精度；

9、磨削时，一般工件温度较低，可减小内应力、裂纹和烧伤等缺陷；能加工各种高硬的难加工材料，可磨削陶瓷、光学玻璃、宝石、硬质合金以及高硬度合金钢、耐热钢、不锈钢等。超硬磨具中磨料的含量用 表示，它是指磨料层中每1cm3体积中所含超硬磨粒的重量。精密磨削的加工精度和表面粗糙度范围是什么？主要用途？加工精度为10.1m、表面粗糙度达到Ra0.20.025m。多用于机床主轴、轴承、滚动导轨、量规等精密加工。精密磨削时砂轮的选择以什么为原则？以易产生和保持微刃及其等高性为原则。超硬磨粒砂轮磨削的特点是什么？可用来加工各种高硬度、高脆性金属材料和非金属材料；磨削能力强，耐磨性好，耐用度高，易于控制加工尺寸及实

10、现加工自动化；磨削力小，磨削温度低，加工表面质量好，无烧伤、裂纹和组织变化；磨削效率高；加工成本低。超硬磨料砂轮修整的方法主要有哪些？简述其原理及优缺点。包括：车削法、磨削法、软钢磨削整修法、金刚石滚轮修整法、滚压轧制法、喷射法、电加工法、超声波振动修整法等。原理及优缺点略。极压性是指磨削液与金属表面起作用，形成一层牢固的润滑膜，在磨削区域的高压下有良好的润滑和抗粘着性能。超精密磨削的加工精度和表面粗糙度是什么范围？其特点什么？超精密磨削的加工精度达到或高于0.1m，表面粗糙度低于0.025m，是一种亚微米级的加工方法。超精密磨削的特点可归纳为：1）超精密磨床是超精密磨削的关键；2）超精密磨削

11、是一种超微量去除加工；3）超精密磨削是一个高精度、高稳定性的系统工程。看图简述超精密磨削机理及其加工过程。（答案略）超硬微粉砂轮磨削的特点及其应用？1）粒度很细，可同时获得极小的表面粗糙度和很高的几何尺寸和形状精度。2）是一种固结磨粒的微量去除加工方法，加工效率高。3）容屑空间很小，磨削容易堵塞，需要进行在线修整。4）磨削机床应有微进给装置，设备价格高。用于加工各种非金属材料和有色金属及其合金材料零件的各种表面加工。树脂-金属复合结合剂金刚石微粉砂轮的结构和特点是什么？砂带磨削方式从总体上可以分为：闭式砂带磨削和开式砂带磨削两大类。按砂带与工件接触形式可分为：接触轮式、支承板（轮）式、自由浮动

12、接触式和自由接触式。按照加工表面类型可分为：外圆、内圆、平面、成形表面等磨削方式。什么叫磨削比？切除工件重量与磨料磨损重量之比。闭式砂带头架的主要组成包括？接触轮（或支撑板）、主动轮、张紧轮、张紧机构、调偏机构、电动机、基座。开式砂带头架的主要组成包括？卷带轮、接触轮、砂带轮、电动机、基座。接触轮外缘表面形状和外缘截面形状有那些？外缘表面形状：平滑形、标准齿形、宽齿形、交叉齿形4种；外缘截面形状：平滑形、齿形和填充形3种。砂带磨削用量选择是什么？精密主轴部件有什么要求？能高速旋转；高回转精度、高刚度、高稳定性、寿命长；主轴本身及其驱动系统振动极小；发热少，且热平衡性能好；维护保养方便。轴承主要

13、有那几种？滚动轴承；液体静压轴承；空气静压轴承。什么叫回转精度？在主轴空载手动或机动低速旋转情况下，在主轴前端安装工件或刀具的基面上所测得的径向跳动、端面跳动和轴向窜动的大小。第四章 精密和超精密加工的机床设备精密主轴部件止推轴承和径向轴承有什么区别？止推轴承受力与轴的中心线平行；径向轴承的受力与轴的中心线垂直。看图简述液体静压轴承的工作原理？液体静压轴承的优缺点？优点：回转精度高、转动平稳、承载能力高。主要用于大型超精密加工机床。缺点：高速下，油温升高造成热变形，影响主轴精度；回油时，将空气带入油源，降低轴承刚度和动态特性。空气静压轴承的优缺点？ 优点：回转精度高、转速高，可达100,000

14、r/min；转动平稳，几乎没有振动，因为完全空气润滑；不发热，即使在高速下，温升很小，变形小；摩擦阻力小、寿命长，因为几乎没有摩擦；因为不使用油，不存在密封和泄露问题；可靠性高，维护保养方便。 缺点：刚度低，承载能力不如液体静压轴承高，主要用于中、小型超精密加工机床。空气静压轴承主轴结构主要有哪几种典型的结构？圆柱径向轴承和端面止推空气静压轴承主轴、双半球空气轴承主轴、前部用球形后部用圆柱径向空气轴承主轴、立式空气轴承主轴、大平面铣床主轴轴承。超精密机床主轴和轴承的材料选取原则是：不易磨损，不易生锈腐蚀，热膨胀系数小，且主轴和轴套的热膨胀系数要接近，材料的稳定性好。超精密机床的总体布局有哪几种

15、？ 1、十字形滑板工作台布局；2、T形布局；3、R-布局；4、偏心圆转角布局；5、立式结构布局。超精密机床导轨的基本要求是什么？1、导向精度高，包括导轨在水平面内和垂直面内的直线度、导轨的平行度、导轨间的垂直度均要高；2、足够的刚度；3、精度保持性（耐磨性）好；4、运动的灵敏度高。精密与超精密机床伺服系统的基本要求有哪些？怎样减少机床内部的振动？怎样减少外界振动对机床的影响？三个措施。1、超精密机床应尽量远离振源；超精密机床采用单独地基，隔振沟、隔振墙等；使用空气隔振垫。减少机床热变形的措施？尽量减少机床中的热源；采用热膨胀系数小的材料制造机床部件；结构合理化使在同样的温度变化条件下，机床的热

16、变形最小；使机床长期处在热平衡状态，使热变形量成为恒定；使用大量恒温液体浇淋，形成机床附近局部地区小环境的精密恒温。直线度的测量主要有那几种方法？干涉法；跨步仪法；光轴法；激光准直仪法；双频激光准直仪法。平面度的测量主要有哪些方法？干涉法；水平面法。对于垂直度的检测，简述如何用圆柱形直角尺和L形直角尺进行互检测出角度误差？举例说明两个多齿分度盘互检标定的原理过程。什么叫圆度误差？圆度误差是指包容同一正截面实际轮廓且半径差最小的两同心圆间的距离。自动定心、操作简单、使用寿命圆度误差的傅氏级数表达式及每一项的物理意义？圆度误差的评定方法包括哪几种？1）最小外接圆法；2）最大内接圆法；3）最小包容区

17、域圆法；4）最小二乘方圆法。圆度仪主要有哪两种结构形式？一种是测量头随主轴旋转，被测件固定在工作台面上不动；一种是测量头固定不动，被测件随旋转工作台转动二进行测量。影响圆度仪测量精度的因素有哪些？主轴回转误差：一般为0.05m，部分达到0.025m； 工件轴线和主轴轴线偏心引起的误差； 工件轴线对主轴轴线倾斜引起的误差； 测量头形状和测头半径变化引起的误差； 测量力的影响； 测量头偏立引起的误差。详细论述三点法误差分离原理测精密主轴回转误差过程？看图简述单频激光测量原理？看图简述双频激光测量原理？看图简述激光测小角度原理？简述激光测量表面粗糙度和表面形貌的方法及原理？复习要点21.精密和超精密

18、加工目前包括三个领域：超精密切削，精密和超精密磨削研磨，精密特种加工。2.金刚石刀具有两个比较重要的问题：一是晶面的选择，再就是金刚石刀具的研磨质量-切削刃钝圆半径rn 。3.最近出现的隧道扫描显微镜的分辨率为0.01nm，是目前世界上精度最高的测量仪，可用于测量金属和半导体零件表面的原子分布的形貌。最新的研究证实，在扫描隧道显微镜下可移动原子，实现精密工程的最终目标-原子级精密加工。4.用金刚石刀具进行超精密切削，用于加工铝合金、无氧铜、黄铜、非电解镍等有色金属和某些非金属材料。5.超精密切削时，切削速度并不受刀具寿命的制约，这点和普通的切削规律不同的。6.超精密切削实际是根据所使用的超精密

19、机床的动特性和切削系统的动特性选取，即选择振动最小的转速。7.超精切削时，积屑瘤高时切削力大，积屑瘤小时切削力小，和普通切削切钢时的规律正好相反。8.超精密切削时，加工表面粗超度是直接和积屑瘤的高度有关，即积屑瘤高度大，表面粗糙度大；积屑瘤小时加工表面粗糙度艺小。9.使用切削液后，已消除了积屑瘤对加工表面粗糙度的影响，这是切削速度已和加工表面粗糙的无关，这种情况和普通切削时切刚的规律不同。10.超精密切削加工表面层的残留应力，也是表面质量的重要标志。它不仅影响材料的疲劳强度和耐磨性，而且影响加工零件的长期尺寸稳定性。11.超精密切削实际能达到的最小切削厚度和金刚石刀具的锋锐度、使用的超精密机床

20、的性能状态、切削时的环境条件等都直接有关。12.实验结果是在两把刀都比较锋锐的情况下获得的。可以看到No1车刀（前后为（100）晶面）和No2车刀（为（110）晶面）的加工表面粗糙度相差不多。13.用（100）晶面的No1车刀切出的表面层残余应力小于用（110）晶面的No2车刀所切出的，特别是切向残余应力。14.（简答）从金刚石的物理性能看，它有甚高的硬度、较高的热导率、和有色金属间摩擦因数低、开始氧化的温度较高，这些都是超精密切削刀具所要求的。此外单晶金刚石可以研磨达到极锋利的切削刃（rn可以小到0.050.01m），没有其他任何材料可以磨到这样锋锐，并且能长期切削而磨损很小，因此金刚石成为

21、理想的、不能代替的超精密切削的刀具材料。15.（100）面网的最小单元为正方形。16.（两题）解理现象是某些（如金刚石）晶体特有的现象，晶体受到定向的机械力作用时，可以沿平行于某个平面（111）晶面）平整地劈开的现象，称为（金刚石晶体的解理现象）解理现象。17.在高磨削率方向上，（110）晶面的磨削率最高，最容易磨；（100）晶面的磨削率次之，（111）晶面磨削率最低，最不容易磨。18.金刚石的3个主要晶面磨削（研磨）方向不同时，磨削率相差甚大。现在习惯上把高，磨削率方向称为 “好磨方向”，把低磨削率方向称为“难磨方向”。19.研磨金刚石晶体时，（110）晶面摩擦因数最大，（100）晶面次之，

22、（111）晶面最小。20.根据最新的研究，金刚石刀具的磨损，主要属机械磨损，其磨损本质是微观解理的积累。21.（填空，选择，判断，简答（如何根据金刚石微观破损选前后面）对金刚石刀具来说，切削刃处的解理破损是磨损和破损的主要形式，故切削刃的微观强度是刀具设计选择晶面的主要依据。金刚石刀具选择前面和后面的最佳晶面，应该把不易产生解理破损作为重要的考虑因素。当作用应力相同时，（110）面产生破损的机率最大，（111）面次之（100）面产生破损的机率最小。即在外力作用下，（110）面最易破损，（111）面次之，（100）面最不易破损。从增加切削刃的微观强度考虑，应选用微观强度最高的（100）晶面作为金

23、刚石刀具的前面和后面。22.（110）晶面的激光衍射光像呈二叶形，（111）晶面的激光衍射光像呈三叶形，（100）晶面的晶界微观凹坑为正方形，计算机模拟仿真得到的衍射光像亦呈四叶形。23.金刚石刀具一般不采用主切削刃和副切削刃相交为一点的尖锐的刀尖。24.由于金刚石的脆性，在保证获得较小的加工表面粗糙度前提下，为增加切削刃的强度，应采用较大的刀具楔角，故刀具的前角和后角都取得较小。25.（问答：如何来选择金刚石刀具的前后晶面）（100）晶面的耐磨性明显高于（110）晶面，用（100）晶面作为前、后面要比用（110）晶面时刀具有更长的寿命。（100）晶面的微观破损强度要高于（110）晶面，同时（

24、100）晶面受载荷时的破损机率要比（110）晶面低很多，因此用（100）晶面做前、后面时切削刃有较高的微观强度，产生微观崩刃的机率要小得多。（100）晶面和有色金属之间的摩擦因数要低于（110）晶面的摩擦因数。因此用（100）晶面做前、后面时，可以使切削变形减小，使加工表面的变形和残留应力减小，有利于提高加工表面质量。选用（111）晶面作为前面或后面者极少，这可能是由于（111）晶面硬度太高，而微观破损强度不高，研磨加工困难，很难研磨加工出精钢石刀具要求的锋锐的切削刃的原因。研磨加工精钢石刀具时，（100）晶面的研磨效率低于（110）晶面，因此制造刀具的工时要长一些，这是选用（110）晶面的优

25、点。但刀具晶面的选择，主要应该考虑的是刀具的使用性能，而不能只考虑刀具制造效率的高低，因此应该选用（100）晶面做刀具的前、后面。26.现在生产中研磨金刚石刀具时，粗研和精研都在同一块研磨盘上进行，即将研磨盘分为若干同心圆带，在大圆周处加粗就分手微粉用于粗研，在小圆周处加细金刚石微粉，用于精研。27.精密砂轮磨削是利用精细修整的粒度为60#80#的砂轮经行磨削，其加工精度可达Ra0.025m。超精密砂轮磨削是利用经过仔细修整的粒度为W40W5的砂轮进行磨削，可以获得加工精度为0.1m，表面粗糙度为Ra0.0250.008m的加工表面，其中超硬微粉砂轮超精密磨削已应用比较普通。28.超硬磨料在当

26、前是指金刚石（包括人造金刚石）和立方氮化硼以及它们为主要成分的复合材料。29.金刚石一般不适宜磨削钢铁材料，亦不适宜切磨黑色金属。30.高精度、小表面粗糙度值的精密磨削和超精密磨削选用细粒度，低质量浓度、甚至低于25%，这主要考虑砂轮堵塞发热问题。31.涂覆磨具是将磨料用粘接剂均匀得涂覆在纸布或其他复合材料基底上的磨具，又称涂敷磨具。32.精密和超精密加工中所用的涂敷磨具多用涂敷发制作。33.（简答：精密磨削机理）精密磨削主要是靠砂轮的精细修整，使磨粒具有微刃性和等高性，磨削后，被加工表面留下大量极微细的磨削痕迹，残留高度极小，加上无火花磨削阶段的作用，获得高精度和小表面粗糙度表面。因此精密磨

27、削机理可归纳为以下几点：微刃的微切削作用微刃的等高切削作用微刃的滑挤、摩擦、抛光作用。34.在磨削钢件及铸钢件时，采用刚玉磨料较好。35.一般精密磨削时的砂轮修整，修整器应安装在低于砂轮中心0.5.1.5秘密处并向上倾斜1015。36.（简答，判断：超硬磨料砂轮磨削的共同特点）可用来加工各种高硬度、高脆性金属材料和非金属材料，如陶瓷、玻璃、半导体材料、宝石、铜铝等有色金属及其合金、耐热合金等。磨削能力强，耐磨性好，寿命高，易于控制加工尺寸及实现加工制动化。磨削力小，磨削温度低，加工表面质量好无烧伤、裂纹和组织变化。磨削效率高。在加工硬质合金及非金属硬脆材料时，金刚石砂轮的金属切除率优于立方氮化

28、硼砂轮，但在加工耐热钢钛合金模具钢等时，立方氮化硼砂轮远高于金刚石砂轮。加工成本低。37.修整通常包括整形和修锐的总称。整形是使砂轮达到一定精度要求的几何形状；修锐是去除磨粒间的结合剂，使磨粒突出结合剂一定高度（一般是磨粒尺寸的1/3左右），形成足够的切削刃和容屑空间。普通砂轮的整形和修锐一般是合为一步进行的，而超硬磨料砂轮的整形和修锐一般是分为先后两步进行。38.用普通磨料砂轮或砂块与超硬磨料砂轮对磨进行修整的磨削法是目前最为广泛采用的修整方法。39.金刚石砂轮磨削时常用油性液和水溶性液为磨削液，视具体情况而定，如磨削硬质合金时普遍采用煤油，但不宜使用乳化液；树脂结合剂砂轮不宜使用苏打水。4

29、0.立体氮化硼砂轮磨削时采用油性液为磨削液，一般不用水溶性液。41.对于陶瓷、玻璃等硬脆材料，超精密磨削显然是一种重要的理想的加工方法。42.镜面磨削一般是指加工表面粗糙度达到Ra0.02Ra0.01m，表面光泽如镜的磨削方法。43.超精密磨削时有微切削作用、塑性流动和弹性破坏作用，同时还有滑擦作用。44.（简答：微粉砂轮超精密磨削的特点）1）由于磨料是微粉等级的，粒度很细，在超精密磨床上磨削可以同时获得极小的表面粗糙度和很高的几何尺寸和形状精度。2）它是一种固结磨料的微量去除加工方法，加工效率高。3）由于磨料粒度很细，容屑空间很小，磨料容易堵塞，需要进行在线修整，才能保证磨削的正常进行和加工

30、质量4）磨削要在超精密磨床上进行，机床上应有微进给装置，设备价格高。45.开式砂带磨削，磨削质量高，磨削效果好，但效率不如闭式砂轮磨削，多用于精密和超精密磨削中。46.从加工机理看，砂带磨削兼有磨削、研磨和抛光的综合作用，是一种复合加工。47.砂带磨床上的关键部件是砂带头架。48.在砂带磨削头架中，最重要而关键的零件时接触轮。49.精密主轴部件是超精密机床保证加工精度的核心。主轴要求达到极高的回转精度，转动平稳，无振动，其关键在于所用的机密轴承。50.（简答:液体静压轴承和空气静压轴承的优缺点）液体静压轴承 优：回转精度很高（0.1m），转动平稳，无振动，缺：1）液体静压轴承的油温升高。2）静

31、压油回油时将空气带入油源，形成微小气泡悬浮在油中，不易排出。空气静压轴承 优：有很高的回转精度，在高速转动时油温甚小，因此造成的热变形误差很小.缺)刚度低，只能承受较小的载荷。51.当工件直径较大并且较重是，超精密机床多采用立式结构布局。52.床身和导轨的材料1）优质耐磨铸铁2）花岗岩3)人造花岗岩。53.花岗岩现在已是制造三坐标测量机和超精密机床的床身和导轨的热门材料，这是因为花岗岩比铸铁长期尺寸稳定性好，热膨胀系数低，对振动的衰减能力强，硬度高、耐磨并不会生锈。54.精密和超精密机床现在常采用的导轨有：滚动导轨、液体静压导轨、气浮导轨、空气静压导轨。55.电致伸缩传感器在不同电压时的伸长量的关系曲线，可看到在加上直线电压时，无论是正电压或负电压，传感器的伸长量是相同的。56.压电伸缩传感器的电压伸长量关系曲线，可看到正电压时伸长，负电压时缩短。57.（简答：减小机床热变形的措施）1）尽量减少机床中的热源2）采用热膨胀系数小的材料制造机床部件。3）结构合理化使在同样的温度变化条件下，机床的热变形最小4）使机床长期处在热平衡状态，使热变形成为恒定5）使用大量恒温液体浇淋，形成机床附