OPTORUN镀膜机离子源的维护保养说明.docx

1、OPTORUN镀膜机离子源的维护保养说明OPTORUN离子源的维护保养说明1离子源的维护和Grid的分解和组装方法长时间运转後，石英杯内会被镀上一层的导电性膜，因此会引起输出功率下降，此时请进行打砂处理或使用洗净液（请使用不影响SiO2的洗净液）等除去膜层。石英杯的清扫周期通常是50100小时。（根据使用状况更改维护的周期）。注意：请注意石英杯很容易损坏。在对石英杯进行打砂时，请使用粒度100的Al粒子，并保持0.10.2M的低压力，离石英杯30cm以上进行打砂作业。11绝缘子的清洁长时间使用后，GridAssy部分的绝缘子会被镀上一层的导电性膜，此会引起Grid的短路，不能正常发挥作用。并会

2、出现ACC电流值过大或Beam电流上不去的现象，此时需清洁或交换绝缘子。由于绝缘子的清洁难度很大，建议您交换新品。注意：确认各Grid间，2000Vdc时须20M以上。1 2 维护和交换时期各Grid间绝缘子的状态呈恶化趋势时，用打砂纸清洁其外表部。Grid维护周期为每50100小时确认其外观?绝缘，如有异常请及时清扫或交换。如厚度有磨损，其磨损厚度为-0.02mm时，请交换新品。（例如：t=1.0mm的绝缘子当变为t=0.98mm时，请交换新品。）注意：请注意绝缘子很容易碎裂。12Grid的清洁长时间使用后，各Grid的被镀上一层的导电性膜，特别是DecelGrid膜层很容易被剥离，请在不对

3、着Grid的情况下用吸尘器除去的剥落的膜。ACCGrid和SCRGrid请用测试仪点检，表面被绝缘时请及时清洗。注意：Grid的分解和组装方法请参考添附资料。1)浓度25%的洗净液（BR-55）里浸泡510小时。（作为代替品25%的NaOH水溶液也可使用，但是洗净效果略差。）或者使用超声波洗净机，能得到同样的洗净效果。注意：BR-55和NaOH为危险物品，使用时请小心。用超声波洗净机时请注意Grid由于振动所引起的破损。2)边用热水清洗边用清洁布擦洗Grid表面，约洗10分钟以上，NaOH和赃物等将被洗净。3)用干燥机干燥。4)利用Grid固定夹具（参考照片1，2），并使用#300的砂纸摩擦G

4、rid表面直到表面的赃物和变色消失为止。注意：不要使Grid变形。照片Grid固定夹具(凸侧)照片2Grid固定夹具(凹侧)5)再用热水清洗并用清洁布擦洗Grid表面，约洗20分钟以上，洗净附着的NaOH和赃物等。6)用AirGun吹散Grid上的水分。注意：使用AirGun时注意使用不含油的清洁空气。压力在0.050.1Mpa之间以防Grid变形。7)用干燥机干燥后，维护清洗结束。注意：作业中须谨慎，以防止Grid的变形和破损。本清洗仅对酸化膜(SiO2、Ta2O5)有效，因使用状态不同，也会出现洗不净的场合。2中和器的维护方法（1）放电室（陶瓷放电室、陶瓷盘）的清扫长时间运转后，放电室内会

5、被镀上导电性膜，因此会引起放射电流下降需较高RF输出,此时用打砂的方式去除膜层。但要注意不要损伤陶瓷放电室和陶瓷盘的接触面，以免漏气。打砂时请注意用胶带等进行保护。注意：有关分解，组装请参考添附资料。请注意不要破坏放电室上绕着的线圈的形状，转动放电室然后再取下。（2）RFN收集器(Collector)的清扫长时间运转后，collector表面被氧化或形成其它绝缘膜，因此会引起发射电流下降,并且启动困难，此时用打砂的方式去除膜层。注意：不要使收集器(Collector)变形。组装时要尽量减少陶瓷放电室和collector之间的缝隙。（3）Keeper和中和器主体的清扫长时间运转后，keeper表

6、面形成绝缘膜，因此会使动作不安定。请使用测试仪确认附资料1离子源Grid的分解和组装方法 请参照添附图纸进行作业。分解拆下GridMountAssy.GridMount Assy.作业内容注意点从离子源主体上拆下GridMountAssy.分解拆下QuartzChamberQuartzChamberMountRing作业内容注意点先拆下六角螺钉，然后拆下石英杯QuartzChamber和MountRing。请注意石英杯很容易碎裂。分解拆下GridAssy.1六角螺母（M4）六角螺钉GridMountPlate（M5L8个）六角螺钉（M4L6）作业内容注意点拆下六角螺钉和六角螺母后再将GridM

7、ountPlate拆下。分解拆下GridAssy.2GridRetainerPlate六角螺钉（M4L6）作业内容注意点拆下六角螺钉後，再拆下GridAssy.和GridRetainerPlate.分解Grid的分解六角螺母（M4）六角螺母（M3）和六角螺钉（M3L5）作业内容注意点拧松GridAssy.的六角螺母后，分解Grid。拆下ACCGrid的ACCConnector。请注意Grid很容易变形。分解Grid的说明GRID校正孔校正孔GridNo.S:ScreenGridA:AccGridD:DecelGrid（为制造番号）只有1个地方方向不同个所向违。作业内容注意点Grid如上所示注有

8、标记。组装时请注意。组装Grid的组装1六角螺钉（M4L20）Insulator2作业内容注意点将Grid组装夹具水平放置，装上六角螺钉和Insulator2。组装2Grid的组装2DecelConnector作业内容注意点DecelConnector如图放置。对准Grid组装夹具和DecelConnector的孔。组装3Grid的组装3对准孔的方向不同DecelGrid作业内容注意点DecelGrid的凸面向下，对准孔的位置。（発散GRID的场合）収束Grid的凸面向上放置。组装4Grid的组装4ShieldInsulatorGridInsulator1(t=1.0)作业内容注意点Shiel

9、dInsulator和GridInsulator1如图放置。请注意GridInsulator的厚度有两种（t1.0、1.2）。组装5Grid的组装5六角螺钉（M3L5）和六角螺母（M3）AccConnectorAccGrid（根据组装夹具的孔决定方向）作业内容注意点将AccGrid如图安装，注意对准孔的位置。（根据组装夹具的孔决定AccConnector的方向，然后再安装。组装夹具的孔和AccConnector孔要对准。组装6Grid的组装6ShieldInsulatorGridInsulator2(t=1.2)作业内容注意点将ShieldInsulator和GridInsulator2如图放

10、置。注意GridInsulator的厚度有2种（t=1.0,1.2）组装7Grid的组装7对准孔ScreenConnector对准孔ScreenGrid作业内容注意点如图所示，根据4个对准孔放置ScreenGrid。组装8Grid的组装8六角螺母（M4）平型垫圈（4）和波形垫圈（4）Insulator1作业内容注意点Insulator1，平型垫圈（4）和波形垫圈（4）如图放置、暂时用六角螺母固定。组装9Grid的组装9对准钉作业内容注意点将对准钉插入Grid的对准孔。若对准钉不能向下插入，说明Grid安装错误，请再度确认。对准钉穿过后，旋转对准钉，确认各对准钉并不是强行才能旋转。组装10Gri

11、d的组装1018456327作业内容注意点如图所示拧上六角螺母，完成之后拔去对准钉拆下组装夹具。确认各Grid之间的ShieldInsulator和GridInsulator没有重叠。组装11GridRetainerPlate的安装GRIDASSY六角螺钉（M4L6）ScreenConnector平型垫圈（4）GridRetainerPlate作业内容注意点如图所示将ScreenConnector和GridAssy.,GridRetainerPlate组合。组装12GridMountPlate的安装AccTouchFlakeAccConnectorDecelConnectorGridMount

12、 Plate波型垫圈（12）作业内容注意点如图所示将AccConnector和DecelConnector组合後，将GridAssy.装在GridMountPlate上，然后装上AccTouchFlake和绝缘子。确认波型垫圈（12）是否装上。组装13QuartzChamber的组装QuartzChamberMount Ring作业内容注意点组装QuartzChamber和MountRing。组装14导通?绝缘测试DecelGridAccGrid:绝缘AccGridScreenGrid:绝缘ScreenGridDecelGrid:绝缘DecelGridGridMountPlate:绝缘Scre

13、enGridGridRetainerPlate:绝缘AccTouchFlakeAccGrid:导通作业内容注意点组装完成后，使用测试仪进行导通?绝缘测试。上记测试，如有异常时，请再次确认。添附资料2中和器分解?组装方法请参照添附图纸进行分解?组装作业。分解1Keeper的分解KeeperNut(2pcs)Keeper作业内容注意点拆下KeeperNut和Keeper。分解2拆下Shroud六角螺钉（M3L5）、平型垫圈各个作业内容注意点先拆下六角螺钉（M3L5），然后再分解MountFlange和InsulatorPlate。分解InsulatorPlate的分解和清洗六角螺钉（M3L84个）

14、作业内容注意点先拆下六角螺钉，然后再分解MountFlange和InsulatorPlate。如InsulatorPlate附有赃物，请用打砂纸去除。InsulatorPlate很容易碎裂。分解4Collector的分解和清洁螺母（M4）Collector作业内容注意点拆下六角螺母後，分解Collector。如Collector附有赃物，请用打砂纸去除。Collector很容易变形。分解5DischargeChamber分解和清洗DischargeChamber作业内容注意点如DischargeChamber附有赃物，请用打砂纸去除。DischargeChamber很容易碎裂。组装1确认内部端

15、子KeeperRFGNDRFCollector作业内容注意点确认内部的端子部（Keeper,RFGND,RF,Collector），各螺钉，各螺母是否有松弛。组装2Collector,DischargeChamber的安装CollectorDischargeChamberCoil螺母（M4）作业内容注意点用螺母（M4）固定Collector,DischargeChamber。Coil容易变形。组装3InsulatorPlate的组装Mount FlangeInsulatorPlate注意平整度作业内容注意点用六角螺钉（ML）组装MountFlange和InsulatorPlate*Insula

16、torPlate无前后之分，可任意选择安装方向。InsulatorPlate容易碎裂，注意不要用力过度或拧得太紧。组装4Shroud的安装Shroud六角螺钉（M3L5）、平型垫圈各个作业内容注意点安装Shroud。组装5KeeperPlate的安装KeeperNutKeeper作业内容注意点安装KeeperPlate。组装6导通和绝缘测试KeeperLeadRFLeadRFLeadKeeperLead:绝缘KeeperLeadCollectorLead:绝缘Keeper中和器主体：绝缘CollectorLeadRFLead:绝缘KeeperLeadKeeperPlate：导通RFLead中和

17、器主体：导通CollectorLead作业内容注意点组装完成后，使用测试仪做导通和绝缘测试。测试中如有异常，请再度确认。添附资料3故障处理No.项目原因处理方法即使Source按钮，也不能启动。被设定成Interlock。确认真空度的InterlockCable的连接情况。Source按钮On之后，RFNPower不能切换成0W。RF电源AX-300的表示呈Analog或Manual，（若显示RS232应属正常）。重新打开控制器的电源。Source按钮On之后，RFNPower不能从0W上升到100W。(即持续为0W)RF电源AX-300的Alarm点灯。按Reset按钮後解除Alarm。中和

18、器不能启动。中和器的罩子没有拆下。拆下中和器的罩子。GasLine没有被打开。打开GasLine。气体流量低（不满5SCCM）。提高气体流量（大约78SCCM）。反射大。调整射频电源(MatchingBox)。确认RFCoil是否短路。Keeper被弄脏。清洗Keeper。Collector被弄脏。清洗Collector。Lead线的导通?绝缘不良。用测试仪确认导通?絶縁。电源的保险丝被切断。更换保险丝。控制器上有中和器正启动着，实际上其并没有放电。Collector短路。用测试仪确认後，分解修理。RFPower的反射大，无法匹配。离子源罩子没有取下。取下离子源罩子。射频电源(Matching

19、Box)的电源OFF。打开射频电源(MatchingBox)的电源。RFCoil和GND之间短路。用测试仪确认後，修理。RFFeedthrough和GND之间短路。用测试仪确认後，修理。No.项目原因处理方法离子源不能启动。GasLine没有打开。打开GasLine。Gas流量低（O2：40SCCM未満）增大Gas流量（O2：5060SCCM左右）（Ar：20SCCM未満）（Ar：2530SCCM左右）Pulse设定电压过低（500V程度）增大Pulse设定电压（1000V左右）AccGrid和ScreenGrid之间短路。用测试仪确认并修理。QuartzChamber污染。清洗QuartzC

20、hamber。中和器的Emission和Power过低。调整设定Emission：800mA、Power：50W左右电源的保险丝断了。更换保险丝。即使按了Beam按钮，指示灯也不亮。离子源没有进入准备状态。等进入准备状态後再按按钮。Beam按钮On後，Acc电流值显示0。Acc的电极部份无接触。用测试仪确认并修理。1BeamOn後，Beam仍停止（显示E010）。Grid污染。清洗Grid。QuartzChamber污染。清洗QuartzChamber。Grid间的绝缘子污染。更换绝缘子。1BeamOn後，中和器仍停止（显示E011）。Keeper污染。清洗Keeper。Collector污染。清洗Collector。固定Collector的螺母有松懈。拧紧螺母。GasLine的接头松懈。拧紧街头。1Acc电流值过高。Grid的组装不良。重新组装Grid。GridInsulator的组装有错误（厚度）。重新组装Grid。1Grid清洗後，BeamON时Grid表面异常放电。Grid清洗不充分。暖机不够。低电压，RFPower的环境下，让其短时间热运转。重新清洗。表面绝缘状态。用砂纸去除膜层。请每batch镀膜结束后都清洗。