InTex设备操作指导书.docx

1、InTex设备操作指导书文件名称：InTex设备操作指导书 文件页数：11In Tex设备操作指导书文件名称：In Tex设备操作指导书文件页数：111准备工作.1.1检查各工作槽的排风纯水自来水压缩空气等动力源正常。2设备点检.2.1根据酸制绒刻蚀机 日点检表对设备进行点检，部分点检项目要在开机后上料前 进行检查确认。2.2重要点检项目2.2.1检查设备的压缩空气的压力达到要求。对于RENA INTEX机器的Air Knifes的操作压力要求至少4bar的气压，如果Air Knifes不使用，压力必须是6bar。2.2.2检查设备的滚轮运行良好，无异常现象。2.2.3检查设备管道无漏液的现象

2、。2.2.4检查DRY的管道没有堵塞。3设备操作.3.1开机程序3.1.1打开自来水，纯水，冷却水和压缩空气阀门。3.1.2打开设备灯，位于灰色的电气箱旁。3.1.3打开设备前面的的显示器.3.1.4开始登陆程式，Logi n位于窗口的右上角，点击即可.文件名称：InTex设备操作指导书Main scree n:Log in/logoff3.1.5填写上面的帐号和下面的密码，按 login.注意到:选择Mode manual在图标里的全部操作的单位被显示“ man”蓝色的颜色，此外注意当整个溶液在 Tank内etchbath 显示为 not ready.3.1.6按按钮“ Mode Auto”

3、在屏幕的右边切换为自动模式，在图表里的全部操作的单位的 地方“ Off”的颜色变为“ Auto”绿色.3.1.7机器将自动开始添加etch bath从tank里，图标显示为“ filling chemiac”的 颜色为黄色。等待直到 etch bath添加和图标值为“ full chemica”和ready的 颜色全部为绿色。3.2关机程序3.2.1按“ stop”按钮，位于屏幕的下面。3.2.2把etch bath的化学品排到设备的tank里面，因此转向手动模式(button “mode man)，然后按按钮” drian bath “ 在选单” man ual etch bat“.3.2.

4、3等待etch bath直到排水完成，图标显示” empty “，颜色为黄色文件名称：InTex设备操作指导书324按下屏幕右上角的” mode man ual使的设备状态为待命模式。 文件页数：11325检查门的位置，正确的调整好它们的位置。3.2.6按按钮” mode manual“位于屏幕的右上方，这时门将被封闭，如果此时门没有被关好,需调整好门的位置，关闭机器上面的显示器电源。3.2.7关掉设备的灯，位于灰色的电气柜旁边，不需要关闭主电源开关。3.3更换溶液及清洗槽的步骤3.3.1刻蚀槽Manu alEtch bath3.3.1.1选菜单 Manual etch bath.3.3.1.

5、2mode man选择手动模式，然后按下” system draining“刻蚀槽和tank的化学文件名称：InTex设备操作指导书品将被排掉，等待化学品排放过程结束，图标显示 Empty文件页数此时等待下一道程序331.3刻蚀槽以及tank冲洗，按下” system rinsing“冲洗（荧幕的左边）.刻蚀槽以及tank将被充满水开始循环，这个过程可以设定冲洗的次数（参数第二参数，第三档位，位于荧幕的下边。之后将水排掉，刻蚀槽和 tank将是空的。Parameterparameter 2:rins time etch bath3.3.2ALKali ne bath3.3.2.1 选菜单” m

6、annal alkaline“.3.322按下” mode man“选择手动模式。3.3.2.3按下” drainning “Alkaline bath的化学品将被排掉，等待直到图标显示为empty 颜色为黄色文件名称：InTex设备操作指导书文件页数：113.324 Alkaline bath冲洗，按下” rinsing “冲洗此时将按设定的清洗次数进行冲洗Parameter parameter 3:R in stime alkali ne bath3.325之后将水排掉，保持tank空。3.3.3Acidic bathacidic bath的清洗和alkaline bath的清洗一样，步骤

7、同上文件名称：InTex设备操作指导书文件页数：11Manu alAcidic:Drai ning and Ri nsing3.3.4更换HF/HNO3化学品3.341机器的状态是，化学品仍然在 bath和tank中。更换菜单 manualetch bath.3.3.4.2按mode man选择手空模式。3.3.4.3按 ” change bath“更换 HF/HNO33.344 Bath和Tank将会排干所有的化学品，之后 Bath和a文将会充满水Te并且备操作指导书文件页数：11设定的冲洗次数（参数 第二参数，第三档，荧幕的下边，参照下图。）然后水将被排掉。 化学品开始添加，首先是 Di

8、water再是化学品。3.3.4.5 Etch bath价将自动添加直到要求的液位，二次循环开始。3.3.4.6等待温度达到设定的温度，etch bath的指示灯将转换位绿色Reday “和Fullchemical3.3.4.7切换设备的模式到自动模式。文件名称：InTex设备操作指导书 文件页数：11Manual Etch bath :cha nging the bath335冲洗bath 1和2335.1 选择菜单 ” manualrinse“或者” amnualrinse2“.335.2通过按钮转化使得设备处于” mode man “.3.3.5.3填充 Bath 按键” fill DI

9、 “.3.3.5.4二次循环开始，等待bath的水位达到中间的感应器和图标显示” full DI “（绿色）3.3.5.5通过按钮转换开关，使得设备处于自动模式 mode auto3.3.6开始最初的etch bath3.3.6.1机器在自动模式下，酸和碱的冲洗已经运转， HF/HNO3ETCH BATH是空的，溶液位于tank内，etch bath显示empty和not ready两个都位黄色）。3.3.6.2 选择” manual etch bat“.文件名称：In Tex设备操作指导书文件页数：11Manual etch bath :filling the bath3.363通过按钮转换

10、开关成手动模式” mode man “.3.364 填充 bath 按钮转换” fill bath “.3.3.6.5等bath充满后，图标将转换成” full chem “和” ready “.3.366通过按扭转换开关，使得设备转到自动模式” mode auto3.3.7选择设备的主界面，准备开始运行。如下图所示。3.3.7.1按按钮” start “位于屏幕的下边。文件名称：InTex设备操作指导书 文件页数：11Mai n scree n :starti ng process4安全环保.4.1溶液沾到皮肤上立即用水清洗，沾到眼睛里应到医院就诊。4.2使用化学品时，应明确材料的 MSDS

11、,按说明要求操作，操作时穿戴好防护用品4.3维修人员需要进入设备，应首先将状态牌翻至“维修”状态并有效告知同机作业员出师表两汉：诸葛亮先帝创业未半而中道崩殂，今天下三分，益州疲弊，此诚危急存亡之秋也。然侍卫之臣不懈于内，忠志 之士忘身于外者，盖追先帝之殊遇，欲报之于陛下也。诚宜开张圣听，以光先帝遗德，恢弘志士之气，不宜 妄自菲薄，弓I喻失义，以塞忠谏之路也。宫中府中，俱为一体；陟罚臧否，不宜异同。若有作奸犯科及为忠善者，宜付有司论其刑赏，以昭陛下 平明之理；不宜偏私，使内外异法也。侍中、侍郎郭攸之、费祎、董允等，此皆良实，志虑忠纯，是以先帝简拔以遗陛下：愚以为宫中之事， 事无大小，悉以咨之，然

12、后施行，必能裨补阙漏，有所广益。将军向宠，性行淑均，晓畅军事，试用于昔日，先帝称之曰 能”，是以众议举宠为督：愚以为营中之事,悉以咨之，必能使行阵和睦，优劣得所。亲贤臣，远小人，此先汉所以兴隆也；亲小人，远贤臣，此后汉所以倾颓也。先帝在时，每与臣论此事， 未尝不叹息痛恨于桓、灵也。侍中、尚书、长史、参军，此悉贞良死节之臣，愿陛下亲之、信之，则汉室之 隆，可计日而待也 。臣本布衣，躬耕于南阳，苟全性命于乱世，不求闻达于诸侯。先帝不以臣卑鄙，猥自枉屈，三顾臣于草 庐之中，咨臣以当世之事，由是感激，遂许先帝以驱驰。后值倾覆，受任于败军之际，奉命于危难之间，尔 来二十有一年矣。先帝知臣谨慎，故临崩寄臣以大事也。受命以来，夙夜忧叹，恐托付不效，以伤先帝之明；故五月渡泸， 深入不毛。今南方已定，兵甲已足，当奖率三军，北定中原，庶竭驽钝，攘除奸凶，兴复汉室，还于旧都。 此臣所以报先帝而忠陛下之职分也。至于斟酌损益，进尽忠言，则攸之、祎、允之任也。愿陛下托臣以讨贼兴复之效，不效，则治臣之罪，以告先帝之灵。若无兴德之言，则责攸之、祎、允等 之慢，以彰其咎；陛下亦宜自谋，以咨诹善道，察纳雅言，深追先帝遗诏。臣不胜受恩感激。今当远离，临表涕零，不知所言。