电子车间防静电管理工作指引.docx

1、电子车间防静电管理工作指引电子车间防静电管理工作指引 电子车间防静电管理工作指引 04.001-2015c修订说明 编制/修订原因说明： 为管控电子车间静电问题，特制定电子车间防静电管理工作指引，用于指导顺德三分厂电子车间的防静电工作。 章节号 修订(内容)说明 修订人/时间 5.3.1.5 4.5.2.3 5.3.1 6.1 7.1.1新编完善 增加防静电服外观检验条款增加静电手环鳄鱼夹与地线连接特别要求 裤子）更新静电工衣（上衣/、静电帽的测试要求 /增加静电工衣静电帽的管理要求 更新防静电工衣、防静电帽的清洗要求李然/2015.01.04 李然/2015.03.03 李然/2015.04

2、.03 李然/2015.07.27 李然/2015.07.27 李然/2015.07.27 18 / 1 电子车间防静电管理工作指引 1 范围 本文件规定了电子车间防静电管理的工作要求，用于指导顺德三分厂电子车间的防静电工作，对电子产品制造工艺进行防静电保护，减少或消除静电放电对电子产品的损伤，提高产品质量和生产效率，通过建立有效的高质量管理稽核程序，保证各项防静电措施的有效实行。 同时规范了静电衣、静电鞋、静电帽、静电手套、静电袖套、车间地面、设备、工装夹具的定期检查进行规范，确保防护用品在满足防护要求条件下进行使用。 本文件使用与三分厂电子车间。 2 术语和定义 本文件采用下列定义： 2.

3、1 静电：物体表面过剩或不足的静止的电荷。 2.2 静电场：静电在其周围形成的电场。 2.3 静电放电：( )两个具有不同静电电位的物体，由于直接 接触或静电场感应引起两物体间的静电电荷的转移。静电电场的能量达到一定程度后，击穿其间介质而进行放电的现象就是静电放电。 2.4 静电敏感度：元器件所能承受的静电放电电压。 2.5 静电敏感器件：对静电放电敏感的器件。 2.6 接地:电气连接到能接受大量电荷的物体,如大地等。 2.7 中和：利用异性电荷使静电消失。 2.8 防静电工作区：( )配备各种防静电设备和器材，能限制静电电位，具有明确的区域界限和专门标记的适于从事静电防护操作的工作场地。 2

4、.9 根据防静电材料的导电性能，可分为静电绝缘、耗散、导电、屏蔽四种。 12； 静电绝缘材料：表面电阻率10511； 10 -10静电耗散材料：表面电阻率3510 -10静电导电材料：表面电阻率3 静电屏蔽材料：表面电阻率103 管理职责 3.1 参与部门 防静电物品管控工作是一项细致且长久持续的的工作，需要参与的部门有：工艺、生产、 现场品质、采购等部门。 3.2 部门职责 3.2.1 工艺 a、 主导防静电物品管控工作，建立规范并确保规范条款的落实。 b、 完善防静电物品管控工作。 18 / 2 电子车间防静电管理工作指引 c、 新员工防静电知识培训。 3.2.2 生产 a、 遵守规范要求

5、，定期更换超过使用期的防静电物品。 b、 按照清洗要求对防静电物品进行清洗。 3.2.3 a、 对新到货的防静电物品按照比例进行检验。 b、 新员工防静电知识培训。 3.2.4 现场品质：对生产正常使用的防静电物品按照比例抽检。 3.2.5 采购 a、 根据工艺要求的技术，寻找合适的资源（仪器、设备等），完善防静电物品管控工作。 b、 采购开报检单，通知进货检验。 4 管理内容 4.1 敏感分类 4.1.1 静电敏感等级的划分 器件的失效和一系列相互关联的效应有关。一些影响器件敏感程度的因素包括：电流、能量包络、电场强度、放电的上升时间、器件设计、制造技术和器件的封装类型等。能量型敏感器件的损

6、伤是由于流过双极性结电阻、保护电阻等的过电流引起。电压敏感器件的损伤是由于电压超过了器件的击穿电压引起。为了比较不同器件的敏感度等级，逐渐发展了三种测试模型，分为人体模型（）、机器模型（）和带电器件模型（）,其中常见的模型为人体模型()。 4.1.2 静电敏感电压的分类 静电敏感器件的敏感等级分别按照、三种模式进行分类，一般来说，器件的静电敏感电压的高低在三种模式之间没有必要的联系。 没有特殊说明时，本规范主要以人体模式来描述器件静电敏感电压的相关问题。 静电敏感组件的等级按照其上所装的最敏感器件的敏感等级来确定。 最初器件的损伤主要采用了进行分析，随着电子技术和生产工艺的不断发展，和类型的静

7、电放电对器件的危害也越来越普遍，因此采用、模式进行分析的方法也逐渐发展。 4.1.3 模式的静电敏感等级分类 静电敏感器件等级普遍采用人体模式（人体带电与器件接触）进行划分，所有的静电敏感器件、组件按照人体模式静电放电损伤的阈值被划分为以下等级。 车间元器件 人体模式电压范围 机器模式电压范围 1800V 霍尔元件 200V 1600V 集成电路（插件芯片） 200V 18 / 3 电子车间防静电管理工作指引 4.2 区域的划分 防静电区域的划分应以该区域内是否可能出现静电敏感物品为准则，只要有可能出现静电敏感物品就应定义为防静电区，否则定义为非防静电区。 前电子车间的防静电区定义为电子产品生

8、产制造车间、电子材料仓库。 4.3 静电管理的要求 4.3.1 电子产品制造现场地面是防静电地板，防静电地板全部用铜片连接，在多次墙壁、梁柱位置设有与地板、地面、建筑结构形成的防静电网络。 4.3.2 要求静电线与地线分开，禁止两种地线连在一起。 4.3.3 生产用设备、仪器、焊枪等必须与设备静电网络接地连接，仓库中的电子货架必须接地。 4.3.4 周转车、精益管架必须接地。 4.3.5 安装防静电报警器，以确认静电环与地线的连接良好。 4.3.6 各工作台、物料架面必须铺上防静电垫且与接地线连接完好。 4.3.7 人体接触半导体、半成品、成品等必须佩戴良好的接地带。 4.3.8 所有进入电子

9、产品制造车间人员必须穿防静电工作鞋、防静电衣服,戴防静电工作帽。 4.3.9 半导体、半成品、成品在中转、盛装、包装、运输过程中的物品(如框架、吸塑盒、包装袋、镊子及周转工具等)必须具备防静电性。 4.3.10 设备接地与人员接地必须要分开接地，以免出现安全问题。 4.4 静电防护区 ()的基本环境要求 4.4.1 在进行环境设计时，为达到静电防护的基本要求应遵循以下原则。 4.4.1.1 抑制静电荷的积累和静电压的产生。 4.4.1.2 安全、迅速、有效地消除已产生的静电荷。 4.4.1.3 确定静电防护应达到的程度，一般要求内静电压的绝对值应小于100V。 4.4.1.4 必须具有如下的基

10、本环境要求 4.4.1.4.1 明确的区域界线和防静电警示标志。 4.4.1.4.2 防静电工作台。 4.4.1.4.3 防静电接地系统。 4.4.1.4.4 防静电的设备、工具和包装转运材料，在内禁止使用易产生静电荷的材料。 4.4.1.4.5 工作区门帘、窗帘、区域隔离帘等应是防静电材料制成，表面电阻小于109,禁止使用普通材料和化纤材料。 4.4.2 （静电防护区）温湿度控制 4.4.2.1 区域的温湿度控制要求：温度：2028，湿度：3070。 4.4.2.2 产品物料对环境有特殊要求时，应根据物料的特殊需求和实际条件采取相应的局部环境保证措18 / 4 电子车间防静电管理工作指引 施

11、。 4.4.2.3 区内应配置温湿度计，并在每班次上班前做一次记录。当相对湿度超出规定范围时，必须通知工艺人员协调维护，并采取相应的增湿或抽湿措施。 4.4.3 防静电标识 4.4.3.1 防静电工作区、防静电包装材料和转运工具、仪器设备的接地等都应具有防静电标识。防静电标识的作用是警示任何靠近防静电工作区的人员，区域内存在静电敏感器件的操作，警示任何接触静电敏感器件的操作人员，对该器件的操作必须进行静电防护。 4.4.3.2 可接受的防静电警示标识为黄底黑字的说明，警示标识所在位置及其大小应保证在1米范围以内都能够清晰可见。 4.4.3.3 防静电器材、工具和静电敏感物料都必须具有明显的防静

12、电标识，防静电接地系统应有明显的接地标识说明。 4.5 人体防静电要求 人体运动和操作过程是产生静电的主要根源，任何进入防静电区域（警示胶带）或接触敏感器件的人员，必须严格遵守防静电规范，贯彻执行静电防护措施。 4.5.1 人体防静电要求 4.5.1.1 接受防静电知识培训和教育是对每个员工的基本要求，是减少静电危害的根本方法和途径之一，区域内的员工必须经过培训并考核合格后方可上岗。 4.5.1.2 任何人进入内需穿戴防静电工衣、工鞋、工帽并通过人体综合电阻测试。 4.5.1.3 工作服外严禁佩戴除工卡和笔之外的金属器件和塑胶制品，员工不得把个人物品如衣物、食品、香烟、各类塑料和纸类制品带入区

13、域内。 4.5.1.4 更换工作服应在指定地点进行，不允许在生产现场穿、脱工作服。 4.5.1.5 防静电工作服、鞋应勤洗、勤换，建议至少每两周换洗一次，工衣、工帽、工鞋不应有破损、污秽现象。 4.5.1.6 进入防静电区域的所有作业人员、接触产品的其它人员。每天上班前应使用接地带测试仪对接地带进行测试，并做好测试记录；每天上班前应使用人体综合电阻测试仪对工鞋进行测试，并做好记录。 4.5.1.7 接地带测试、人体综合电阻测试不通过者不得进入防静电工作区，不得接触敏感器件及组件。接地带不通过者可通过更换重新测试，人体综合电阻测试不通过者首先要确保工鞋没有问题，然后更换静电鞋重测直至。 4.5.

14、1.8 外来参观人员原则上只沿通道走，不得接触产品，若接触产品要通过接地带测试。 4.5.2 静电手环的佩戴要求 4.5.2.1 佩戴接地带时,金属片必须直接紧贴皮肤,夹子夹住接地线。 4.5.2.2 每班上班前都必须用接地带测仪器检测所有所佩戴的接地带是否戴好或损坏。 18 / 5 电子车间防静电管理工作指引 4.5.2.3 为确保静电手环的与接地线连接良好，静电手环的鳄鱼夹要与地线焊接在一起，离岗时静电腕带留在岗位上。 4.6 防静电工作台 4.6.1 防静电工作台表面应有静电耗散型材料制成。防静电表面应耐磨、耐化学腐蚀、耐热并可靠接地（软接地，串接1M电阻）。 4.6.2 防静电台垫必须

15、满足下列要求 4.6.2.1 防静电台垫的尺寸应不小于工作台的尺寸。 4.6.2.2 防静电台垫必须防静电面朝上（绿色、或灰色），导电面朝下（黑色）。 4.6.2.3 防静电工作台垫必须串联一个1M阻值的电阻后接到防静电接地线上。 4.6.2.4 每个工作台只需接一条防静电地线，各个工作台的连接线不能串接，应以并联方式与接地母线连接。 4.6.2.5 压接防静电台垫的静电接地线连接端子时，应从台垫的正面压下，使其贯穿台垫并压紧，以保证接触良好。 4.6.2.6 防静电台垫上任意两点之间的表面电阻为110611012。 4.6.2.7 当防静电台垫上有绝缘性油膜、树脂和其它污物时，应及时使用中性

16、清洗剂或防静电剂进行清洁。 4.6.2.8 每月初对生产线工作台上的防静电垫进行检查,将结果记录在防静电台垫定期检查记录表中。 4.7 设备、仪器、工装、工具 4.7.1 防静电工作区内的各种设备、仪器、工装、工具都应采取静电防护措施。 4.7.2 为保证放静电效果、消除对人体及敏感器件的危害，应采取下列措施。 4.7.2.1 使用高压电源具有金属外壳的的设备、仪器、工装、工具，必须选用三芯电源插座，并确保其可靠连接到电源地线上。插头插入插座时，其接地端要首先接地；插头拔出插座时，其接地端要最后断开。 4.7.2.2 防静电工作区的各种仪器、设备、工具、工装的防静电接地，由设备技术员定期检测、

17、维护，每班开工前，由员工目检接地的可靠性。 4.7.2.3 工装、设备上接触敏感器件和靠近敏感器件的运动摩擦部件必须采用防静电材料或导体材料（导体材料需钝化处理）制成，并保证这些部件具有可靠的接地通路，这些部件禁止使用非防静电材料，设备上的导体部件必须采取硬接地。 4.7.3 工具、辅材的应用注意事项 4.7.3.1 区域内使用的工具都应具有防静电功能。 4.7.3.2 防静烙铁焊台必须有硬接地通路，焊台的硬接地电阻要求小于1，由于烙铁头长期使用会氧化，日常检查测试时的电阻小于20可接受。 18 / 6 电子车间防静电管理工作指引 4.7.3.3 防静电焊枪、吸锡枪等电动、气动手工工具在使用前

18、必须首先接地。 4.7.3.4 清洁基板的毛刷必须为防静电毛刷，禁止使用普通塑料毛刷（如牙刷）。 4.7.3.5 工具上接触静电敏感器件的部分应避免使用导体或绝缘材料，应为静电耗散材料。 4.8 防静电包装材料 4.8.1 静电敏感器件、组件、成品在生产制造、存放和运输中所使用的包装材料必须是防静电的，其防静电性能指标应满足： 表面电阻：1104? 11011? 体电阻： 1104? 11011? 摩擦电压：100V,或在2秒内下降到100V以下 屏蔽袋的屏蔽泄漏电压：小于100V 4.8.2 用于防护的包装袋、包装盒、隔板应在明显的位置标有厂商名称、生产日期和防护标识，防静电海绵、气珠袋类可

19、无此标识。 4.8.3 防静电塑料袋、泡沫、海绵、气珠袋等的材料颜色应采用防静电通用的警示颜色,即粉红色。 4.8.4 用于包装敏感器件、基板、产品的防静电包装材料在温度为255、湿度为155的环境下，应满足防静电性能指标要求，并且该材料进入公司后，防静电性能指标要至少保持1年。 4.8.5 用于防护的包材不能靠表面喷涂、浸泡防静电液来实现防静电功能，而要通过材料本身具有的物理特性或塑料材料通过掺杂导电材料的制作方式来实现该功能。 4.8.6 防静电包材的防静电性能指标要均匀。 4.8.7 用于防护的包材不能有异味，不能对器件有腐蚀作用。 4.9 周转工具 4.9.1 用于内、间的防静电周转工

20、具其性能指标必须满足： 39 ? 110?10表面电阻：193 ?10? 1101体电阻： 100V摩擦电压：100V,或在2秒内下降到以下 4.9.2 常用的周转工具有：防静电周转车、防静电周转盒、L架，一般为黑色或深色。 防静电周转工具要贴有醒目的防静电标识。4.9.3 保持容器和周转箱的清洁和整齐，作业人员对生产使用的防静电容器、4.9.4 防静电周转箱应定期清洁，表面不得有灰尘或其它明显可见的脏物。组长每月组织对防静电桌垫、工具和容器等用酒精进行清洗， 保持物件的清洁和整齐。 防静电敏感器件的存储4.10 4.10.1 存储环境：防静电敏感器件的一般存储条件为 ，湿度：温度：20283

21、07018 / 7 电子车间防静电管理工作指引 4.10.2 存储环境：当存储区域的温湿度不能满足要求时，可通过使用空调、增湿机、抽湿机来调节，直至满足要求为止。 4.10.3 对环境有特殊要求的器件或物品（如潮湿敏感器件），请参照相应的作业指导书来设定环境温湿度。 4.10.4 静电敏感器件存储区域不得有强电场、强磁场、强辐射场存在。 4.10.5 存储器具要求 4.10.5.1 存储静电敏感器件及组件必须采用防静电的包装材料或器具，并保证存储的封闭性。 4.10.5.2 可用于直接存储静电敏感器件及组件的器具有：防静电屏蔽袋、管、防静电托盘、卷盘卷带、吸塑盒、防静电周转箱、基板周转车等。

22、4.10.6 存储操作要求 4.10.6.1 静电敏感器件及其组件不得直接放于货架或不具有防静电功能的周转箱内或周转车上，应通过防静电屏蔽袋或防静电周转箱等存放。 4.10.6.2 静电敏感的基板及组件主要采用屏蔽袋、吸塑盒、防静电周转箱、基板周转车等存放，当采用防静电周转箱（盒）、基板周转车较长时间存放单板时，应采用防静电屏蔽袋罩住周转车、采用屏蔽袋或周转箱盖板盖住箱口，以保证其防静电效果并除尘。 4.10.6.3 静电敏感器件尽量保持原包装状态，严禁随意拆封。 4.10.6.4 用于静电敏感器件的散装清点、分料、发料的工作台必须铺设防静电台垫、并可靠接地，人员作业时必须带手套、指套或防静电

23、腕带。 4.11 接地 4.11.1 接地是静电释放的关键措施，区必须有可靠的防静电接地系统，以保证工作中产生的电荷安全有效的释放，避免静电积累。 4.11.2 防静电接地必须有一个安全可靠的防静电接地母线（防静电地线），所有人体、设备、工作台、台垫、工具等以并联方式接入防静电母线。 4.11.3 防静电地线的设置 4.11.3.1 防静电地线专供防静电工程器具和人体释放静电荷使用，它不得连接在电源零线上，也不得与防雷地线共用。方法为：从专门埋设的地线接地体引出的接地线，单独铺设到生产线的防静电作业岗位，单独铺设的接地导线通常使用3厚、约25宽的紫铜皮或用截面大约为462的铜芯软线单独引入。

24、4.11.3.2 埋设地线的原则是埋设地点的土壤电阻系数越小越好，接地体与土壤的接触面积要大，接触密度要高，接触要紧。埋设地线时需注意：接地线与接地体接头要焊接牢固，要有足够的机械强度，引线不要过长；要采用耐腐蚀的接地体金属。 4.11.3.3 电气保护地线应该按照动力配电安全管理制度定期进行检验维护，每半年至少检测一次地线配置系统电阻值，要求室内电气保护地线到大地的接地电阻小于4。 18 / 8 电子车间防静电管理工作指引 4.11.4 内接地方法 4.11.4.1 区域内的所有设备、仪器、工具必须可靠接地；人体接地带、防静电台垫、防静电地板需要串接1M电阻后连接到地线配置系统上。 4.11

25、.4.2 防静电设施的接地，需要使用横截面面积不小于22的多股铜芯软线或电缆作为接地线，要求接地线采用黄绿色线，接地点应该采用螺钉、焊接、双线交绕的紧固连接方式， 保证连结点连接可靠、接触电阻小。 4.11.4.3 用万用表测试电源相线与配电房输出的地线之间电压为100V10,则判定地线相通。 4.11.4.4 用接地电阻表检查接地线与配电房输出地线电阻值小于5为。 4.11.4.5 每半年检查一次接地线情况，将结果记录在地线定期检查表上。 5 检验要求 5.1 整体点检要求 5.1.1 检验范围：电子车间防静电物品、设备、工装、地面。 5.1.2 测试环境：常温常湿。 5.1.3 新品检验作

26、为进厂检验项目，采购开报检单，通知进货检验，按照抽检标准对新购静电防护用品进行检验。 5.1.4 现场品质人员对正常使用的静电防护用品随机抽取检验。 5.1.5 到货的静电衣发现的不合格品退货，抽查中发现的不合格静电物品报废处理。 5.1.6 清洗后进行全检，车间、品质部共同负责全检，并记录测试结果。 5.2 物品点检清单 名称 检查项目 负责部门 、巡检 1 对地电阻静电工衣 、巡检对地电阻 静电帽（新） 2 车间 静电鞋 3 表面阻抗车间4 表面阻抗 静电手环 、巡检 静电手套 5 表面阻抗 、巡检静电指套 6 表面阻抗班组 电烙铁7 接地电阻巡检 包装箱子 8 表面阻抗巡检9 波峰焊夹具

27、 表面阻抗18 / 9 电子车间防静电管理工作指引 10 L架 表面阻抗 巡检 巡检11 表面阻抗 工作台台面 对地电阻巡检 12 流水线 表面阻抗 对地电阻巡检13 周转车 对地电阻巡检14 对地电阻 物料架子 巡检15 对地电阻 防静电椅 巡检16 接地电阻 生产设备 表面静电压巡检车间地面17 接地电阻 表面静电压 5.3 检查要求 裤子）5.3.1 静电工衣（上衣/、静电帽 5.3.1.1 测试仪器：接地数显电阻表126 合格标准：对地电阻要求范围：欧姆。10105.3.1.2 5.3.1.3 测试方式：按、a 将数显接地电阻表接地鳄鱼嘴连接到地线，电阻表的两个金属片与工衣接触，长按测

28、试仪器的 键，待显示稳定后读数个点，分别为：上衣左袖、上衣正面左边、上衣正面右边、6个点，上衣测试一套静电工衣测试、b 12个点：裤子正面左边、裤子正面右边、裤子上衣右袖、上衣反面左边、上衣反面右边；裤子测试4 2个点：帽子外面一点，帽子里面一点。反面左边、裤子反面右边；帽子测试 18 / 10 电子车间防静电管理工作指引 、c 测试后记录实测数据，品质人员确认合格后方可使用。静电工检验频率：新购静电工衣，按照抽检标准进行检验；正常使用的静电工衣做抽样检验，5.3.1.4 20件，抽检不合格的静电工衣要求水洗，去掉表面的脏污、异物直至合格为止。每周抽样检验 /静电帽干净整洁，表面无脏污、异物，

29、衣服及帽子上没有毛絮。外观检验合格标准： 静电衣5.3.1.5 静电手环静电鞋5.3.2 / 测试仪器：人体静电测试仪器。5.3.2.1 合格标准：绿灯亮表示测试合格。5.3.2.2 5.3.2.3 测试方式 5.3.2.3.1 穿上静电鞋，站立于电极板上。 秒。绿灯表示通过。，按住测试按键5.3.2.3.2 将测试按键打至“工鞋”2-3 佩戴静电手环于手腕上，静电手环另一侧插入测试孔中。5.3.2.3.3 2-3秒，绿灯亮表示测试通过。测试按键打至“手腕带”5.3.2.3.4 ，按住测试按键4 步骤3 2 1 步骤步骤步骤18 / 11 电子车间防静电管理工作指引 5.3.2.4 注意事项

30、5.3.2.4.1 注意测试操作时手不要触摸到其它金属类部位。 5.3.2.4.2 如果蜂鸣器报警，应检查静电环本身或接口连接是否正常。 电池欠压指示灯亮时应更换电池，更换电池时要注意不能装反电池极性。5.3.2.4.3 若静电鞋与脚电极板之间因尘土或潮湿等原因引起报警，可用无水乙醇清洗并烘干即恢复正5.3.2.4.4 常。测试频率：每天上午、下午上班前、每次进入电子车间时进行测试，若静电环、静电鞋出现5.3.2.4.5 。异常应立即更换，将测试结果填写到静电测试表 /5.3.3 防静手套指套 3143）。5.3.3.1 测试仪器：数显接地电阻表（型号： 126 5.3.3.2 合格标准：阻抗

31、值要求范围：1010欧姆。指套，把表面电阻测试仪的两极按在防静电手套（手指套）上，长按/5.3.3.3 测试方式：戴上防静手套 测试仪器的键，测试后记录数据。指套，按照抽检标准进行检验；正常使用的静电衣做抽样检验，每周/测试频率：新购防静手套5.3.3.4 20抽样检验件。 5.3.4 包装箱子 。31435.3.4.1 测试仪器：数显接地电阻表（型号：） 18 / 12 电子车间防静电管理工作指引 612 1010欧姆。5.3.4.2 合格标准：表面阻抗值要求范围：测试方法：将包装箱子表面清理干净，将测试仪器按在箱子表面，长按测试仪器的键，待数据5.3.4.3 稳定后记录数据，一个箱子测试5