捷佳创PD380A管式PECVD 保养作业指导书汇编.docx

1、捷佳创PD380A管式PECVD 保养作业指导书汇编捷佳创管式PECVD 保养作业指导书文件类别： 工作标准/生产设备管理文件初始编制者/日期： 叶石标/2011.03.27文件修订者/日期： 叶石标/2012.03.03文件审批记录：部门/职位姓名文件修改履历：版本号Rev更改内容/描述Description of Changes发布日期Release dateA/0文件新编1 目的与范围1.1本文件用以确保捷佳创管式PECVD处于良好的运行状态。1.2本文件适用于捷佳创管式PECVD，所有捷佳创管式PECVD 保养操作人员。2 规范性引用无3 职责3.1 设备部设备维护人员负责确保产品保质

2、保量的完成。同时确保人员的安全，设备的安全，产品的安全。3.2 生产部设备操作人员负责并执行点检及日常维护保养工作。发现问题及时报告，不得自己擅自拆解设备，以免造成更加严重的后果。4 术语和定义无5 管理内容与方法5.1注意事项5.1.1触摸屏面板不要被硬物碰撞。5.1.2急停按钮是当进、出舟过程中出现意外时，手动暂停步进电机转动用的，在正常工艺时，请注意保持该按钮不要按下。5.2保养内容5.2.1本设备保养分为季保和年保。具体保养内容如下表：项目保养内容季保年保1清洁石英管内碎片2电极杆检查3推拉舟、机械臂检查 4检查SIH4,N2，NH3压力5炉门处气管检查 炉门动作机构6蝶阀清理7炉管恒

3、温区温度校准8检查炉体炉丝、电极、热电偶9清洁水冷却器、功率和控制电子部件5.2.2保养时效 月保：每个月5天 季保：每3个月8天 年保：每年1个月5.2.3工作时间月保：8小时季保：12小时 年保：72小时5.2.4工作人员月保：2人（1位助理工程师，1位操作员）季保：2人（1位负责工程师，1位操作员） 年保：3人（2位负责工程师，1位操作员）5.3 PM操作规程设备PM操作员要严格按照操作规程来操作，避免操作失误而损坏设备。5.3.1清洁石英管内碎片5.3.1.1工具：碎片耙子，无尘纸5.3.1.2防护用品：PVC手套 高温手套5.3.1.3注意事项：a、在使用碎片耙子的时候要带高温手套，

4、防止被烫伤。b、清洁石英管内碎片时动作要轻缓，防止碰坏石英腔体。5.3.1.4作业步骤a、首先带好高温手套，打开炉门；b、将碎片耙子伸进腔体，对碎片进行清洁；c、清洁完毕之后，用无尘纸擦拭炉门密封圈；d、关上炉门，检漏；5.3.2电极叉检查：5.3.2.1工具：探照灯，内六角扳手，活动扳手，润滑油，无尘纸5.3.2.2防护用品：PVC手套 5.3.2.3注意事项：无5.3.2.4作业步骤 图1 电极叉及四氟套a、首先将一个空舟手动进舟到停止；b、打开探照灯从腔体后面的观察窗观察电极叉能否顺利叉入空舟电极，若偏差较大则需要调整电极叉位置；c、关闭AE电源开关，拆下电极后面的四氟套子以及射频线；d

5、、旋松电极叉螺母，对电极叉位置进行微调，直至电极叉能对准空舟电极；e、紧固电极叉螺母，手动操作放舟过程，使电极叉嵌入空舟电极；f、若电极叉变形严重，则更换电极叉；g、手动取舟，关上炉门检漏；h、装上射频线以及四氟套子，打开AE电源开关，观察AE电源设定功率是否为工艺要求功率；5.3.3推拉舟检查5.3.3.1工具：内六角扳手，活动扳手，探照灯，卷尺5.3.3.2防护用品：PVC手套5.3.3.3注意事项：无5.3.3.4作业步骤： 图2 推拉舟a、放一个空舟在桨上，用卷尺测量桨前后位置离底部平台高度是否一致，若不一致，可使用内六角扳手调整桨尾部螺母；b、手动进退舟，观察桨位置有无左右偏移。若偏

6、移，则使用内六角扳手调整桨尾部螺母；c、检查各螺母有无松动，若有，则紧固；d、轻压前后限位极限位开关，如果出现极限位报警，则极限位开关工作正常；若无报警，则检查极限位开关线路与信号及开关性能； 图3 下限位开关e、用无尘纸擦除导轨脏物，用润滑油润滑导轨并擦除多余润滑油；f、观察桨上下运动，左右运动时是否连续；若不连续，则润滑导轨或者更换滑块；5.3.4蝶阀清理5.3.4.1工具：内六角扳手，VCR垫片，无尘布，酒精5.3.4.2防护用品：PVC手套5.3.4.3注意事项：无5.3.4.4作业步骤：a、打开SiH4排空阀、MFC设为3L，打开清洗阀30s，关闭；b、关闭干泵，拆下蝶阀通讯线以及电

7、源线； c、拆掉慢抽阀波纹管，SiH4排空阀VCR连接。拆掉紧固蝶阀上方真空管的卡套以及蝶阀上的卡箍，取出蝶阀； 图4 拆除蝶阀d、取下蝶阀上的密封圈用酒精和无尘布擦拭； e、使用塑料刮擦蝶阀内部覆盖SiN的部位，使用酒精和无尘布擦拭掉掉落的灰尘； 图5 清理蝶阀f、清理完毕后按原来相反的顺序进行安装； g、开启干泵，检漏；5.3.5炉门处气管检查5.3.5.1工具：6mm气管，8mm气管，扎带，斜口钳，石棉5.3.5.2防护用品：PVC手套，高温手套5.3.5.3注意事项：无5.3.5.4作业步骤： 图6 炉门CDA气管a、检查炉门处气管有无受热膨胀情况，有无老化情况；b、首先用扎带扎住总进

8、气管，然后拔掉需要更换的气管进行更换；c、放开总进气管，按触摸屏相应开关进行操作试验，确认气管接头处无漏气且炉门动作正确；d、将气管进行整理排放，然后用扎带扎起来，用斜口钳剪掉多余扎带；e、用石棉包裹气管进行隔热，用扎带把石棉扎住；5.3.6检查SIH4,N2，NH3压力5.3.6.1工具：无5.3.6.2防护用品：PVC手套5.3.6.3注意事项：无5.3.6.4作业步骤：a、记录PECVD无工作时各表的设定压力值； 图7 进气压力表b、抽真空，记录上下两管同时工作时通MFC设定最大流量时是否会出现流量不足的情况，若有则调节压力值；c、使用N2清洗通完特气时腔体，抽真空；d、充N2破真空；5

9、.3.7炉管恒温区温度校准5.3.7.1工具：热电偶，卷尺，石棉，高温手套5.3.7.2防护用品：PVC手套，高温手套5.3.7.3注意事项：无5.3.7.4作业步骤： 图8 温控仪1 将炉温升到设定温度值并将检测热偶与单独一块温控表（检测表）连接。2 将热偶插进炉管中温度稳定一小时后就可以开始校准。3 首先开始粗校准（测量五点温度）：（1） 左点（炉口），查看检测温控表值与校准温控表值之间的差值，在校准表中调出PB值选项，进行校准。例如，检测表显示值860，校准表显示值（设定值）890，此时要把PB值减掉20，此时校准表显示值显示860，开始继续加热，如此反复调整知道测量值与显示值一致为止。

10、注：每次PB只更改后要稳定10分钟以上。（2） 左中点校准，查看检测温控表值与校准温控表值之间的差值，在校准表中调出PB值选项，进行准。（3） 中点校准，查看检测温控表值与校准温控表值之间的差值，在校准表中调出PB值选项，进行校准。（4） 右中点校准，查看检测温控表值与校准温控表值之间的差值，在校准表中调出PB值选项，进行准。（5） 右点校准，查看检测温控表值与校准温控表值之间的差值，在校准表中调出PB值选项，进行校准。注：每次PB只更改后要稳定10分钟以上。4 精校准，从炉口开始，每50mm校准一次，依次类推直到炉尾。方法如上述第三点。5.3.8检查炉体炉丝、电极与热电偶5.3.8.1工具：

11、万用表 内六角 嵌式电流表 活动扳手5.3.8.2防护用品：PVC手套 绝缘手套5.3.8.3注意事项：a、因操作在通电情况下，作业时需谨慎，防止被电击5.3.8.4作业步骤：图9 加热炉体a、首先对炉体炉丝进行检查，在设备内有6根线柱，正常情况下，任意两个用万用表测均为相通的，一般电阻均为10欧姆以下，如测试出两两之间电阻为无穷大，则可能为炉丝开路，需联系厂家进行维修。b、炉体电极检查，一般对炉体口，尾最外面两根电路用嵌式电流表测试，正常情况下，电流值一般在90A左右，炉体中间两个电路用嵌式电流表一起嵌入量测，电流值一般也在90A左右。如量测时偏差过大，此时可边用钳形电流表监测炉体加热电流边用小起子调节可控硅触发器上相应段的电位器，将加热电流控制在90A左右。c、在升温状态下，对热电偶进行检测；触摸屏上温度显示上升时，观察设备后端温度仪是否在上升，一般情况下，温度仪上显示温度会逐步上升；如温度仪上显示为0000,可能为热电偶开路，或者是连接热电偶与温度仪之间的信号线接触不良；热电偶正常状态下，电阻值为0欧姆。6 相关记录6.1捷佳创PD-380A管式PECVD季度保养检查表6.2捷佳创PD-380A管式PECVD年度保养检查表7 管理流程图无8 附件无