激光加工基本原理之欧阳术创编.docx

1、激光加工基本原理之欧阳术创编激光加工基来源根基理 （分享）时间：2021.02.02创作：欧阳术4.1.1激光加工的特点与分类4.1.1.1 激光加工的特点激光（LASER）是英语“Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation”的字头缩写，意思为“通过受激辐射实现光放年夜”。激光加工技术是利用激光束与物质相互作用的特性对资料进行切割、焊接、概略处理、打孔、增材加工及微加工等的一门加工技术。激光加工技术是涉及到光、机电、资料及检测等多门学科的一门综合技术，它的研究规模一般可分为激光加工系统和激光加工工艺。激光加工与其他加工技术相比

2、有其共同的特点和优势，它的主要特点有：1、非接触加工。激光属于无接触加工，切割不必刀具，切边无机械应力，也无刀具磨损和替换、拆装问题，为此可缩短加工时间；焊接无需电极和填充资料，再加上深熔焊接产生的纯化效应，使得焊缝杂质含量低、纯度高。聚焦激光束具有1061012W/cm2高功率密度，可以进行高速焊接和高速切割。利用光的无惯性，在高速焊接或切割中可急停和快速启动。2、对加工资料热影响区小。激光束照射到物体的概略是局部区域，虽然在加工部位的温度较高，产生的热量很年夜，但加工时的移动速度很快，其热影响的区域很小，对非照射的部位几乎没有影响。在实际热处理、切割、焊接过程中，加工工件基本没有变形。正是

3、激光加工的这一特点，它已被胜利地应用于局部热处理和显像管焊接中。3、加工灵活。激光束易于聚焦、发散和导向，可以很便利地获得不合的光斑尺寸和功率年夜小，以适应不合的加工要求。并且通过调节外光路系统修改光束的标的目的，与数控机床、机器人进行连接，构成各种加工系统，可对庞杂工件进行加工。激光加工不受电磁干扰，可以在年夜气环境中进行加工。4、可以进行微区加工。激光束不但可以聚焦，并且可以聚焦到波长级光斑，使用这样小的高能量光斑可以进行微区加工。5、可以透过透明介质对密封容器内的工件进行加工。6、加工高硬度、高脆性、高熔点的金属及非金属资料。4.1.1.2 激光加工的分类1、激光资料去除加工在生产中经常

4、使用的激光资料去除加工有激光打孔、激光切割、激光雕镂和激光刻蚀等技术。2、激光资料增长加工激光资料增长加工主要包含激光焊接、激光烧结和快速成形技术。3、激光资料改性激光资料改性主要有激光热处理、激光强化、激光涂覆、激光合金化和激光非晶化、微晶化等。4、激光微细加工激光的微细加工起源于半导体制造工艺，是指加工尺寸约在微米级规模的加工方法。纳米级微细加工方法也叫做超精细加工。目前激光的微细加工成为研究热点和成长标的目的。5、其他激光加工激光加工在其他领域中的应用有激光清洗、激光复合加工、激光抛光等。4.1.2激光产生的基来源根基理4.1.2.1 光的吸收和释放激光的光吸收和释放原理如表41所示。表

5、41 光的吸收、释放原理自发辐射处于高能级E2的一个原子自发地向E1跃迁，并发射一个能量为的光子，这一过程称为自发跃迁。由原子自发跃迁收回的光波称为自发辐射。受激吸收处于低能态E1的一个原子，在频率为的辐射场作用(激励)下，吸收一个能量为的光子并向E2能态跃迁，这一过程称为受激吸收跃迁，如图12所示。受激辐射受激吸收跃迁的反过程就是受激辐射跃迁。处于上能级E2的原子在频率为的辐射场作用下，跃迁至低能态E1并辐射一个能量为的光子。受激辐射跃迁收回的光波称为受激辐射，4.1.2.2激光产生的过程激光产生的过程是：在受激辐射跃迁的过程中，一个诱发光子可以使处在上能级的发光粒子产生一个与该光子状态完全

6、相同的光子，这两个光子又可以去诱发其它发光粒子，产生更多状态相同的光子。这样，在一个入射光子的作用下，可引起年夜量发光粒子产生受激辐射，并产生年夜量运动状态相同的光子。这种现象称受激辐射光放年夜。4.1.2.3典范激光器结构及功能 激光器通常由三部分组成，即激光工作物质、泵浦源及光学谐振腔，它们是产生激光的三个前提条件。具体原理见表42 表42 激光器组成激光工作物质包含激活粒子与基质。为了形成稳定的激光，首先必须要有能够形成粒子数反转的发光粒子激活粒子。它们可以是分子、原子或离子。这些激活粒子有些可以自力存在，有些则必须依附于某些资料中。为激活粒子提供寄存场合的资料称为基质，它们可以是固体或

7、液体。泵浦源泵浦源的作用是对激光工作物质进行激励，产生粒子数反转。不合的激光工作物质往往采取不合的泵浦源。光学谐振腔光学谐振腔的作用主要有以下两个方面。产生和维持激光振荡、改良输出激光的质量。谐振腔由放置在激光工作物质两边的两个反射镜组成，其中之一是全反射镜，另一个作为输出镜用，是部分反射、部分透射的半反射镜。14.1.3激光器系统激光器按工作物质的不合可以分为：固体，气体，液体，光纤及半导体激光器等。另外，根据激光输出方法的不合又可分为连续激光器和脉冲激光器，其中脉冲激光的峰值功率可以很是年夜。用于工业资料加工的主要有固体激光器、CO2激光器等几种激光器。在此，对几种主要激光器进行介绍。4.

8、1.3.1固体激光器固体激光器以其共同的优越性在资料加工中获得广泛的应用，固体激光器的优点是：1）输出光波波长较短。红宝石激光器输出波长为694.3nm；Nd：YAG及钕玻璃激光器的输出波长为1.06 m，比CO2激光器低一个数量级。并且固体激光器的输出波长多在可见光区段或近红外光区段，很容易用某些晶体倍频，获得可见光甚至紫外光波段光波。对年夜大都资料，激光波长越短，吸收系数越年夜，在加工工件时，固体激光器所需的平均功率比用CO2激光器的要小。2）固体激光器输出较易使用普通光学元件传递。对波长为1.06 m的近红外光，还可用光纤维传输，具有便利灵活的特点。3）结构紧凑、牢固耐用、使用维护比较便

9、利，价格也比气体激光器低。固体激光器的这些优越性使得其在激光打孔、焊接、概略工程和半导体加工技术中获得广泛应用。固体激光器的基本结构如图41所示，它主要由激光工作物质、泵浦光源、聚光腔、光学谐振腔等部分组成。图41 固体激光器基本结构示意图1固体激光器的工作物质 用于资料热加工的固体激光器的工作物质主要有：红宝石，Nd：YAG和钕玻璃。使用这三种激光物质的激光器的性能特点见表43。表43 固体激光器特点比较固体激光器特点红宝石激光器属于三能级系统，机械强度年夜，能接受高功率密度，亚稳态寿命长，可获得年夜能量输出，尤其是年夜能量单模输出。但其阈值较高，输出性能受温度变更明显，不宜作连续及高重复率

10、运行，只能做低重复率脉冲器件。YAG激光器属于四能级系统，荧光量子效率高，阈值低，并且具有良好的热稳定性能、热导率高、硬度年夜、化学性质稳定等特点，是这三种固体激光器中唯一能够连续运转的激光器，已经广泛应用于资料加工。钕玻璃激光器属四能级系统，具有较宽的荧光谱线，荧光寿命长，易积累粒子数反转而获得年夜能量输出，容易加工。但其热导率较低，故只能在脉冲状态下工作。目前Nd：YAG是实用化固体激光器件中主要使用的激光工作物质。很多工业加工设备的激光器系统都是采取Nd：YAG激光器。表44为使用这三种工作物质的固体激光器的主要工作参数。表44 三种固体激光器的经常使用参数类型波长/mm工作方法激光功率

11、或脉冲能量脉冲宽度/ns发散角/mrad效率/%红宝石0.6943脉冲1001000J/脉冲(TEMmn)1J/脉冲(TEM00)108109W102J/脉冲1101321095101YAG1.06连续脉冲Q开关2100W(TEMmn)20W(TEM00)1500J/脉冲5J/脉冲(TEM00)5103J(TEM00)1103J108109W(37350)103J8105J(TEM00)10W(TEM00)0.120(320)105(0.11)10510510200.2252030.15201100.113钕玻璃1.06脉冲Q开关锁模500J51010W(100J/脉冲)1.71013W0.5

12、1010101100.20.322.固体激光器的泵浦系统 泵浦系统包含泵浦光源和聚光腔。在固体激光器中，激光物质内的粒子数反转是通过光泵的抽运实现的。电源的电能首先转变成泵浦光源的光能，然后再转酿成固体激光器工作物质的储能。目前泵浦光源最经常使用的是惰性气体放电灯和激光二极管2。惰性气体放电灯泵浦系统是惯例固体激光器最为广泛使用的泵浦光源，主要分为用于脉冲工作方法的氙（Xe）灯和用于连续工作方法的氪（Kr）灯，随着二极管激光器（LD）技术和制造工艺的成熟，采取激光二极管做为泵浦源，正成为固体激光器泵浦系统的重要成长标的目的。（1）脉冲氙闪光灯泵浦系统。脉冲氙灯是一种亮度较高的非相干辐射源，用于

13、脉冲工作的Nd：YAG和钕玻璃激光器的泵浦。脉冲氙灯的放电过程是随时间急剧变更的过程，它的灯电阻、端电压和电流都随时间变更。表45列出了脉冲氙灯的主要尺寸规格。表45STX系列激光氙灯型号内径1(mm）弧长L2(mm)总长OVL(mm)外径2(mm)电极xL4(mm)STX5x75x14047514053x5STX7x70x15057015074x5STX7x100x210510021074x8STX7x100x186510018674x8STX8x90x22069022085x8STX8x100x230610023085x8STX8x100x250610025085x8STX8x100x28

14、8610028885x10STX8x120x240612024085x8STX8x120x260612026085x8STX8x140x280614028085x8STX8x150x297615029785x10STX9x130x264713026496x8STX9x280x390728039096x8STX10x45x125845125106.5x5脉冲固体激光器电源系统的主回路原理图见图42，电源电路包含充电电路、储能网络、放电电路、触发及预燃电路、控制电路等。电路的工作原理是；当触发电路给氙灯提供一个高压触发脉冲时，灯内的气体被击穿，进入低阻状态，储能元件中的电能通过灯放电，采取预燃技术

15、，灯触发后，预燃电路提供小电流维持灯的导通状态，脉冲放电靠放电回路中串入放电开关控制，充电电路在储能网络不放电时工作为储能网络充电，控制回路协调以上各电路正常工作。目前国内生产脉冲氙灯的电源的厂家很多，表46为武汉新特光电技术有限公司的脉冲激光电源的参数表。表46 STLDP系列脉冲激光电源型号STLDP1STLDP2STLDP3STLDP4最年夜输出电功率(kW)5544输出电流规模 (A)100600100600100600100600脉冲宽度 (ms)0.1100.1200.1100.120脉冲重复率(Hz)0.11000.12000.11000.1200电源输入380VAC380VAC

16、380VAC380VAC外形尺寸 (mm)480x202x600（2）连续氪弧光灯泵浦系统。氪比氙的线状光谱能更好地与Nd：YAG的吸收谱相匹配，因此，氪弧灯是连续工作高功率激光器经常使用的泵浦光源。氪弧灯属于管壁稳定型年夜电流弧光放电灯，放电起始采取高压脉冲燃烧，扑灭后属于稳定气体放电。表47为部分氪灯的尺寸参数。表47STK 系列激光氪灯型号内径1(mm)弧长L2(mm)总长OVL(mm)外径2(mm)电极xL4(mm)STK6.5x100x2504.51002506.54x8STK6.5x125x2704.51252706.54x10STK7x100x210510021074x8STK7

17、x100x250510025074x8STK7x125x270512527074x10STK8x95x21469521485x7STK8x100x235610023585x8STK8x100x250610025085x10STK8x100x256610025685x8STK8x100x270610027085x10STK8x100x288610028885x10STK8x120x260612026085x8STK8x120x264612026485x10STK8x125x270612527085x10STK8x125x280612528085x10STK8x150x288615028885x8

18、STK8x150x290615029085x8STK8x100x210610021085x8氪灯泵浦系统工作在低电压、年夜电流状态，对供电系统的要求是：电源与灯的伏安特性要匹配，氪灯的输出功率由电流强度决定，灯在稳定工作中的静态电阻很小，灯电压的微小变更城市引起等电流的年夜幅变更，因此要求电源有稳流办法，应为电流源，泵浦系统要求一定的电流调节规模，当电流调至最小值(休眠电流)时能坚持弧光放电的稳定性，对电流脉动要求在小于0.52%的规模内。电源系统框图见图43。目前的连续氪灯电源的主电路多为低电压年夜电流连续供电，采取开关电源形式，如BUCK变换器，并有触发电路及帮助高压。表48列出国内厂家的

19、连续泵浦氪灯电源。图43 连续固体激光器电源系统表48国产连续泵浦电源型号STCW22ASTCW32ASTCW24ASTCW22BSTCW32B最年夜输出电流25A30A20A25A30A最高输出电压200V200V400V200V200V输出电流波纹0.4%0.4%0.4%0.4%0.4%控制精度0.4%0.4%0.4%0.4%0.4%休眠电流7A7A7A7A7A开关工作频率20KHZ20KHZ20KHZ20KHZ20KHZ允许交流电压摆荡15%15%15%15%15%允许工作环境温度050050050050050工作环境湿度规模90%90%90%90%90%对交流电源要求380V，6KVA

20、380V，9KVA380V，11KVA220V，6KVA220V，9KVA（3）激光二极管泵浦系统。随着激光二极管（LD）技术及制造工艺的逐步成熟，激光二极管泵浦固体激光器（DPSSL）的研制成为新的成长标的目的。激光二极管的输出可以与固体激光器介质的吸收带相一致，激励效率年夜为提高，热效应显著降低。激光二极管还具有结构紧凑、寿命长的优点。连续工作的激光二极管寿命超出104h、脉冲工作在109次以上，而惰性气体泵浦灯只有200h和107次。采取激光二极管泵浦的激光器体积小、重量轻、效率高、易于维护。以后，随着激光二极管的市场的需求量的继续增加和年夜规模自动化生产线的建立，二极管的价格逐步下降，

21、激光二极管泵浦固体激光器将获得广泛应用。在设计二极管泵浦系统时，应按应用目的选择二极管参数，如波长、工作方法、输出功率，以及二极管的构型。目前，用作泵浦源的二极管的发射波长已从770990nm向红外9001000nm和可见光630680nm扩展，多种固体激光工作物质都可以用二极管泵浦。通常有长为100m或200m小的二极管线阵、1cm长的阵列条和二维面阵，或称叠层组件可供选择。短的二极管阵列特别适于端面泵浦，阵列条经常使用于正面泵浦板条或棒状固体激光器。对高功率固体激光器，必须将1cm的阵列条叠成模块，以减小电子学驱动器、冷却系统和机械结构的庞杂性。目前很多激光器公司生产出LD泵浦固体激光器系

22、统，如Rofin公司的DP系列固体激光器，采取半导体泵浦系统，主要应用于资料的切割与焊接，泵浦半导体激光器的寿命超出10000小时。主要型号如表49：表:49 DP系列固体激光器DP 010 HXDP 015 HXDP 020 HXDP 030 HXDP 040 HX泵浦源激光二极管激光二极管激光二极管激光二极管激光二极管输出功率1001000W1501500W2002000W3003000W4004000W光束参数乘积12mm*mrad12mm*mrad25mm*mrad25mm*mrad25mm*mrad（4）固体激光器的聚光腔对使用惰性气体放电灯泵浦的固体激光器，泵浦光在空间4立体角内发

23、射，需要使用聚光腔来提高泵浦光的转换效率和提高泵浦光辐射的均匀性。在激光二极管泵浦的情况下，为进一步提高光光转换效率，有时也需要聚光腔。经常使用的聚光腔有以下几种类型。1）椭圆柱聚光腔。椭圆柱聚光腔是最经常使用的一种类型，图44为几种典范结构。图44 椭圆柱聚光腔2）紧耦合非聚焦聚光腔。这种结构很是简单可获得与椭圆柱聚光腔一样的效率，但泵浦光均匀性较差。几种结构见图45。图45紧耦合非聚焦聚光腔3）漫反射聚光腔，如图46所示。用螺旋灯泵浦时，通常在螺旋灯外包一个陶瓷漫反射器，见图44（a），在螺旋形和同轴闪光灯泵浦系统中，泵浦光传输效率由灯内径和棒直径之比决定。最简单的漫反射聚光腔是一个陶瓷圆

24、柱体，棒和灯紧包在圆柱体之内。图46 漫反射聚光腔4）旋转对称聚光腔。能够获得高的光传输效率和很好的均匀辐射效果，在球面反射体聚光腔中，灯和棒沿聚光腔直径标的目的相邻排列；在椭球体聚光腔中，灯和棒沿长轴放置于焦点和椭圆面间。这类聚光腔的主要缺点是结构庞杂、制造本钱高，在实际中很少采取。聚光腔的设计和选择应考虑以下几点：1）激光棒的几何形状、尺寸和泵浦源的形式，根据所用激光棒的年夜小，单灯或多灯泵浦而选用不合的聚光腔型。对二极管泵浦，还应按泵浦功率的泵浦耦合方法等决定是否用聚光腔或使用单面全反射器等。2）性能参数：对光传输效率和泵浦光散布均匀性等性能参数应综合考虑。3）系统考虑：冷却要求、聚光腔

25、的尺寸、重量及制造本钱，都是影响总体设计的重要因素。3、固体激光器的谐振腔光学谐振腔是固体激光器的总共要组成部分，它由全反射镜和部分反射镜组成，受激辐射光通过反响在谐振腔中不竭振荡放年夜，并由部分反射镜输出。最经常使用的固体激光器的谐振腔是由相向放置的两球面镜或平面镜组成，不合类型的腔型结构，对激光输出的功率、模式、光束发散角等都有直接的影响。 图47表达了经常使用的几种谐振腔结构。（a）为平行平面光学腔，该腔的两面反射镜如果不是严格平行，光在镜面间经几次反射后，就会从镜子边沿漏出，该结构不适于实用化的激光器。（b）是共焦式光学谐振腔，两面凹面镜放置在稍偏离镜子曲率半径位置上，使焦点共用，该谐

26、振腔的光轴调整比较容易，但激光介质的利用规模受到限制。（c）是用两面年夜曲率半径的凹面镜构成的光学谐振腔，曲率半径比光腔腔长长的多。（d）半球式光腔，经常使用作固体激光器的谐振腔。4、激光器调Q技术为了压缩脉冲宽度，提高峰值功率，在脉冲激光器中要使用Q开关技术（调Q），Q开关是一种在激光谐振腔内，通过快速切断和导通激光光路，来调制激光频率的装置，以声光调Q为例，示意图见图48。调Q技术自从1962年呈现以来，成长极为迅速，采取这种技术可以获得峰值功率在兆瓦级以上，脉宽为纳秒级的激光脉冲。 图48 调Q激光器示意图调Q技术是一种基于激光谐振腔的品质因数，Q值愈高，激光振荡愈容易，Q值愈低，激光振

27、荡愈难的原理技术，即在光泵浦开始时，使谐振腔内的损耗增年夜，降低腔内Q值，以让尽量多的低能态粒子抽运到高能态去，达到粒子数反转。由于Q值低，故不会产生激光振荡。当激光上能级粒子数达到最年夜值(饱和值)时，设法突然使腔的损耗变小，Q值突增，这时激光振荡迅速建立。如果处于激光上能级的粒子像雪崩一样地跃迁到激光下能级，使之在极短时间内达到反转，粒子数年夜量被消耗，则在输出端可获得一个极强的激光巨脉冲输出，其脉冲宽度通常在106109s数量级，脉冲峰值功率可达108109W以上。目前在激光加工中采取的有电光调Q、声光调Q、染料调Q、机械调Q等。但采取最多的是电光调Q和声光凋Q两种。电光调Q是利用在晶体

28、上加电场，使晶体的折射率产生变更的“电光效应”原理来实现调Q的。电光调Q开关具有反响时间短、结构简单、使用寿命长、重复性好等优点。对Nd:YAG激光器进行电光调Q，可获得脉冲宽度小于10ns、106W以上的脉冲峰值功率。声光调Q是激光通过声光介质中的超声场时，产生布拉格衍射，使光束偏离谐振腔，招致腔内损耗增年夜，Q值下降。当撤出超声场时，Q值即刻猛增，此时可获得巨脉冲输出。声光调Q在激光加工中获得了广泛应用(包含激光打标、焊接和微凋等)。4.1.3.2气体激光器以单一气体、混合气体或蒸气作为激光工作物质的激光器称为气体激光器，气体激光器又分为原子激光器、分子激光器和离子激光器三年夜类。其激励方

29、法除放电激励、电子束激励外，还有化学反响激励、热激励等。气体激光器的主要优点是：1）工作物质均匀一致，包管了激光束的优良光束质量，激光束的相干性、单色性都优于固体、半导体激光器。2）与其他介质相比，谱线规模宽，散布在100nm的真空紫外到10m的长波长远红外波段的规模。3）输出激光功率功率年夜，既能连续又能脉冲工作，效率高。如CO2激光器的电光转换效率可达25%。1、高功率CO2激光器自从1964年研制胜利第一台CO2激光器以来，由于CO2在电光转换效率和输出功率等方面具有的明显优势，这种激光器获得了迅猛成长。目前，无论是激光器的使用数量和市场销售量，CO2激光器都是最重要的工业激光器之一。CO2激光器的输出功率和能量相昔时夜，并且可连续波工作和脉冲工作。连续波输出功率已达到数