无尘室管理规定样本.docx

1、无尘室管理规定样本目录 1.0 无尘车间管理目 2.0 无尘车间管理原则 3.0 合用范畴 4.0 术语 5.0 管理程序 51无尘室施工管理制度 52无尘室干净度定期检测制度/测量原则 53无尘室人员管理制度 54无尘室干净服管理制度 55无尘室物流/干净室内设备及工器具管理制度 56无尘室清洁、清扫和灭菌管理 57无尘室干净室安全管理 6.0 版本更改记录 10无尘车间管理目 半导体产品生产过程对车间有明确干净规定，为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产，必要对干净室环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。 20无尘车间管理原则 2.1 进入干净室管理，涉及对干净室工作人员进入、

2、物料进入、各类设备搬入以及有关设备、管线维护管理，应做到不得将微粒、微生物带入干净室。 2.2 操作管理技术，对干净室内人员用干净工作服制作、穿着和清洗；操作人员移动和动作；室内设备及装修材料选取和清扫、灭茵等，尽量地减少、防止干净室内尘粒、微生物产生、滞留、繁殖等。 2.3 严格各类设备、设施维护管理，制定相应操作规程，保证各类设备、设施按规定正常运转，涉及净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以保证产品生产工艺规定和空气干净度级别。 2.4 清扫、灭菌管理，对干净室内各类设备、设施清扫、灭茵以及办法、周期和检查作明确规定，防止、捎除干净室内尘粒、微生物产生、滞留

3、、繁殖。 2.5 干净室环境控制内容涉及：空气净化、干净建筑、与产品直接接触水或气体或化学品和生产设备、工器具等污染物控制以及微振动、噪声、静电控制、防止等。 30合用范畴 半导体公司所有干净生产区及干净辅助间(涉及人员净化用室、物料净化用室和有关生活用室等)、车间内管理区(涉及某些办公、值班、管理和体息室等)和将来新建、改建、扩建干净厂房及其辅助用房。 40术语 干净生产区是干净厂房重要某些，对干净级别有明确规定区域。 干净辅助间是干净厂房不可缺少必备房间。干净辅助间对干净厂房平面关系密切，对干净厂房建造带来影响和投产后能否满足产品生产需要以及能否可靠地防止生产过程污染或交叉污染至关重要。

4、管理区是干净厂房内产品生产过程生产管理、技术管理用房和必要操作人员休息、福运用房。 设备区即净化空调系统、公用动力系统等用房，是干净厂房重要构成某些。 50管理程序 51无尘车间干净室施工管理制度 511背景 5111半导体制造业必要在干净环境中进行，在施工中必要遵循行业规则和程序。本文献列出了这些规则和程序概要。为了保证项目成功，现场每一位人员都必要遵守。 5112图纸上对于施工干净建设草案将被强制执行。这涉及除了原料和成品仓库以外所有主厂房内地方。 5113干净室施工管理制度当前重要针对一期主厂房内局部改造和扩建，后期所有干净室施工项目仍按照本制度规定原则进行管理。 512责任与义务 51

5、21所有承包商有责任保证她们工人都理解这些规则和程序，并且在她们疏于遵从或违背时予以培训和训练。被分派到干净建设区域每位工人有责任和义务理解并遵守干净建设规则和程序。 5122承包商负责执行干净室草案。她将每天对干净建设区域进行检查，并填写检查清单。承包商负责提供干净室所需物品，例如：鞋套，毛巾，垫子和工装。她也负责提供每日执行干净规则和程序人员和设备。 5123承包商建造区域入口并对其进行管理。她提供清洗晾晒每个入口处鞋、外套和衣服清洗店。她将对在干净区域工作人员进行培训，并维护被容许在此区域工作人员身份认定和管理。 5124开始阶段，承包商应在每个入口处安排人员（除非半导体公司在该入口处安

6、排有人员）以保证本规则和程序执行。 5125重复违背规则和程序人员将被开除。没有贯彻执行本规则和程序供应商将被除名。 513草案细则 干净室草案分为三某些，每一某些相应施工一种过程。施工接近竣工阶段，不容许从外面或干净区域施工场地带入脏物。 5131第一某些 第一某些重要针对直到重要施工完毕后。涉及屋顶，覆层，门和窗户。所有工人必要从图纸上标明通道进出施工现场。每个入口将会有清洗店。所有工人进入必要保持鞋子干净。不容许穿奇特服装，工人衣服应当保持恰当干净。现场安全规则必要时刻遵守。 所有设备和材料必要从一种入口进入施工现场，并且保持干净，不容许有碎片掉下。 施工现场内不容许吃东西，吸烟，喝酒。

7、 每班结束时，必要清走所有垃圾和废旧物品。总之，整个施工现场每天必要保持干净。 5132第二某些 第二某些重要针对直到gridlineB西边干净区域内墙完毕。此时，只容许承包商雇佣工人在干净区域。其她供应商如果要进入干净区域，必要提前向承包商提出申请，得到容许后方可进入。工人、设备和材料入口是通过威世半导体(西安)有限公司管理人员批准。 gridlines1和2之间通向成品仓库外门。 gridlines15和16之间通向原料仓库外门。 其他入口必要通过干净工程承包商书面批准。两个入口旁边将会为很也许导致污染材料准备或拆包预留区域。进如干净区域之前，材料和设备不容许有脏物或由掉下，并且应当用干净

8、干布擦拭干净。 任何也许会导致污染活动必要必要提前通过干净工程承包商批准。这涉及砂纸打磨，碾，开凿，演习，焊接，切割和任何用水或喷淋工作。承包商要用任何也许办法防止污染。 装好地板必要用PVC板包装保护。 第一某些提到必要衣服、鞋套也是必要。 第二某些草案执行期间，干净区域必要每天吸尘。 5133第三某些 第三某些重要针对直到生产车间所有建成。气体鼓风机将持续运营以维护房间压力规定。 进入工人穿鞋套和工作服。 所有进入干净区域材料，工具和设备要用IPA和水混合物擦拭。 在第三某些草案执行期间，干净区域每天要用有过滤装置洗尘设备吸尘。 514干净安装 必要采用干净办法保持安装干净。 各类部件如节

9、气闸，扩散体在进入施工现场时应干净并且拆掉包装。内部表面应当用IPA和水混合物擦拭。 干净安装过程中，必要密切关注所采用干净办法可靠限度，对于隔离围护设施一定要作到及时发现、及时纠正。 515最后干净 干净区域所有安装完毕后，要进行最后干净。干净要用IPA和水混合物擦拭。先干净天花板，然后是墙壁，墙壁应从上到下，最后是地面。 最后干净完毕后，gridlineB东边通过区域将是唯一进入干净室通道。此前原料成品仓库入口将被保护。 最后干净完毕后，任何进入人都必要通过威世半导体(西安)有限公司现场经理批准。 5.1.6 设备、物品进入干净室规定 52无尘车间干净度定期检测制度/测量原则 5.2.1

10、为了保证干净室干净度满足工艺规定，必要定期对干净室内干净度进行检测。 5.2.2 检测测试设备：激光粒子记数器 5.2.3 检测周期：每周一上午、下午对各干净区域进行一次检测 5.2.4 检测条件：静态干净度测试 5.2.5 数据收集整顿：将每次检测成果输入监控室电脑中储存，并在每个季度末（或下季度初）给各部门发该季度干净度记录图表电子档通报给各部门。 5.2.6 各干净区域干净级别原则：按照半导体公司能源管理原则规定执行。 区域、系统名称 干净级别原则 相称于ISO级别 等效于GB级别 K-1系统划片区域 静态1万级 K-1系统改造前为静态10万级 CLASS7 CLASS8 CLASS7

11、CLASS8 K-2系统包封区域 静态30万级 CLASS83 CLASS83 K-3系统搪锡区域 静态30万级 CLASS83 CLASS83 K-4系统测试区域 静态30万级 CLASS83 CLASS83 K-8系统电镀区域 静态30万级 CLASS83 CLASS83 既有其她空调系统 舒服性空调系统，无干净规定 NotApplicable NotApplicable 5.2.7 干净室用净化空调系统及设备维护管理与相应操作规程、维修制度等（涉及净化空调系统和干净室有关公用动力系统设备、管线等管理维护，如，空气过滤器、空调机、局部净化设备、冷冻机及水泵、纯水设备、配电设备、安全报警设施

12、等）执行威世半导体(西安)有限公司厂务部有关SOP文献。 5.2.8 参照文献 FSD-SOP-01供电操作指引书及规范制度 FSD-SOP-4-1AHU系统操作指引书 FSD-SOP-4-2洗气塔操作指引书 FSD-SOP-4-3锅炉操作指引书 FSD-SOP-4-4制冷机操作指引书 FSD-SOP-06厂务部安全操作规程 FSD-SOP-07设备维护保养流程 FSD-SOP-08消防系统操作指引书 FSD-SOP-12厂务部运营管理制度 FSD-SOP-13市政动力能源中断紧急应变筹划 FSD-SOP-20厂务核心机组应急切换操作指引书 ATD1210C能源管理原则 JVP1301C公共设

13、施管理规定 53干净室人员管理制度 531干净室人员管理涉及：制定专职管理人员职责、干净室人员准入制度、人员培训教诲规定、进入干净室人员“人净程序”管理和退出管理制度等。 532人员净化与进入 5.3.2.1 在干净厂房内众多污染源中，人是重要污染源之一，特别是工作人员在干净环境中活动，会明显地增长干净环境污染限度。 5.3.2.2 对于高档别干净区域，应严格控制进入人员数量，并规范进行二次更衣。 5.3.2.3 要获得生产环境所需要空气干净度级别或延长空气过滤器使用寿命，对进入干净室人员、物料进行净化十分必要。 5.3.2.4 为保持干净室空气干净度，应尽量减少进入干净室人员带入污染物。所有

14、进人干净室人员必要严格地按规定程序进行人身净化。 5.3.2.5 个人衣服物品所有放到指定柜子里，去掉化妆，换上指定服装，按空气干净度级别相应脱衣顺序脱衣，放在规定衣柜内。 5.3.2.6 进入脱衣室，在更衣凳前将皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脱下放在鞋柜内，禁止不脱鞋直接跨越更衣凳而进入更衣室。 5.3.2.7 若公司后期发展需要更高干净级别规定干净区域（指高于ISOClass7级别）进入前，需要设立盟洗室用洗手器洗手（先用干净洗涤剂洗涤，再用干净水冲洗。洗涤后用自动烘手器烘干）。 5.3.2.8 凡是交叉污染媒介，要经常洗涤。不要用手触及高净化产品和高净化包装材料等。要按规定戴手套和指套。 533干

15、净室工作人员须知 5.3.3.1 进入干净室人员应严格执行人身净化制度、路线和程序，任何人不得随意更改。在干净室内必要按规定着衣、戴帽、换鞋。 5.3.3.2 进入干净级别1万级以及高于万级干净区域，必要至少通过二次更衣。可先从一次更衣室进入，进行更鞋、脱外衣、换干净服、戴口罩、帽子（或干净头套）后，通过走廊进入二次更衣室，进行二次更衣、更鞋、戴防静电腕带、戴口罩、戴帽子，确认更换完毕后，进入风淋室进行风淋后，才干进入万级以及高于万级干净区域。 5.3.3.3 禁止不通过风淋而直接走旁通门进入干净室。旁通门只容许人员出到干净间外以及发生紧急状况时进出。 5.3.3.3.1风淋室使用须知 A.

16、风淋室是工作人员进入净化区域迈进行人身净化专用设备，它能将人体表面吸附着尘埃用高速气流吹去，使工作人员不带污染源进入净化区域，并能使净化区域与非净化区域起到气闸作用。 B. 风淋室设定和状态：风淋室在投入使用前必要完毕调试和设定，使之保持自动风淋状态。 C. 风淋室使用 使用者无需按任何键即可开门进入风淋室内，人数每次限定三人,把门关好即可自动风淋,风淋时旋转身体360度,等待风机停止工作后来蜂鸣响，内门开锁，顾客出风淋室。 按“照明开”键即可打开室内照明灯。 风淋室微电脑对所做设定有记忆功能,关闭风淋室电源再次打开电源时风淋室处在上次操作最后设定状态。 禁止一线使用者对设备数值设定进行更改，

17、数据更改必要由专业管理人员进行。 禁止使用者野蛮对风淋室门（红外电控锁）强行推拉而损坏设备。 风淋设备若因使用不当而损坏，使用部门应据实反映损坏因素，并及时报修。 一线员工在使用过程中发现状态异常，应及时告知主管部门进行解决；并停止使用风淋室。 D. 风淋室正常/异常状态界定： 1. 风淋室正常初始化自检：打开电源操作面板LED数码显示时间点亮，同步电脑控制器做一次检测，二门与否关闭，有门开着则等待关门，如果二门都关闭则自动进入正常工作状态。 2. 正常工作状态 如果系统处在不工作状态：按电源开核心使系统处在工作状态，LED被点亮。 按照明开/关则风淋室灯被点亮或熄灭，人员可依照需要循环选取。

18、 系统处在正常等待工作状态时，风淋室两扇门处在关闭未锁状态。 3. 异常状态：喷嘴浮现薄弱风速、门不能正常关闭或启动、电源操作面板无显示。 5.3.3.3.2进出风淋室流程机理： 进入：当外门(红外电控锁)被打开时，内门（红外电控锁）自动闭锁。如果顾客进入风淋室，通过红外探头，风机将自动工作一定期间，此时内外门均闭锁，风机停止工作后来蜂鸣响，内门开锁，顾客出风淋室。开门、关门整个过程结束。 退出：当内门被打开时外门自动闭锁，顾客关门后，则内外门均开锁，顾客可以从任意门出风淋室。开门、关门，整个过程结束。 5.3.3.4 作业人员在干净室内工作时，动作要轻。严格执行操作规程，不容许跑跳、打闹及喊

19、叫，不作不必要动作，不作易发尘和大幅度动作。 5.3.3.5 作业人员在干净室内工作时，尽量避免人员汇集现象。若个别工位无特殊协作需求，其她工位员工禁止汇集、围观与自己工位工作不相干其她工位正常工作事件。 5.3.3.6 为不干扰气流，在作业区上游侧不应放物品，生产操作普通应在干净工作台或气流上游进行。 5.3.3.7 不容许将与生产无关和容易产尘物品带入干净室，禁止在干净室内吸烟、饮食和进行非生产性活动。 5.3.3.8 患有如下几种疾病员工是不适当进入干净室：呼吸系统疾病（如严重感冒咳嗽等，患者除了会传播病菌、病毒外，还会因咳嗽而产生大量污浊颗粒混入干净空气中）、皮肤疾病（如明显脱皮、掉皮

20、屑皮炎等）；针对上述情形若采用了可靠额外人净办法时是可以进入干净室。 534干净室人员退出时应注意事项 5.3.4.1 为了防止再次进入和来回作业对干净室导致交叉污染按规定顺序退出干净室。 5.3.4.2 干净室人员在作业半途和作业完毕在退出到更衣区之前不得脱掉干净工作服，进入更衣室先脱干净室用鞋，放在规定场合。 5.3.4.3 必要时脱鞋前洗手，脱鞋后再摘掉帽子，放在规定处。 5.3.4.4 脱干净工作服时不要触及地板、桌子和其她物品，对于干净服普通由下至上脱（由下至上是指先脱鞋、再脱衣、再去除帽子和口罩），用衣架挂在规定处所。 5.3.4.5 脱去干净工作服后来，若需再进干净室时，仍需按进

21、入干净室顺序进行人净。 5.3.4.6 退出10K及其如下级别干净室时不需要通过空气吹淋。直接走旁通门退出10K干净室是容许。 5.3.4.7 不能穿干净工作服上厕所及进入动力设备间、仓库等非干净区域。54干净服管理制度 干净服管理涉及：干净服采购和制作(含材料选取)、干净服使用管理、干净服清洗规定等。 541干净服采购和制作 5.4.1.1干净服必要选用由专业厂家制作合格产品。 5.4.1.2干净服必要满足工艺对干净/防静电等所有规定。 542干净工作服使用管理基本原则 5.4.2.1人员进入干净室一方面由个人干净工作服专用柜或收纳处取出干净工作服，若干净工作服尚未开封，需仔细切开包装拿出服

22、装，不沾带包装料碎屑。 5.4.2.2穿衣时，不要使衣服触及地板、桌子、椅子等物品，不要沾污袖子和裤腿下摆，姿势要保持直立，按从上至下顺序穿衣戴帽穿衣（分体干净服先上衣后裤子）穿鞋，必要时须设立专用穿衣台。 5.4.2.3戴兜帽和帽子时要把头发所有遮住，头部紧紧地包在兜帽内。 5.4.2.4若不穿干净鞋而采用代用鞋套暂时办法，穿鞋套时要把裤腿下摆紧紧地裹在鞋套内。 5.4.2.5在不违背洁服使用管理基本原则前提下，生产线可细化出实用和可操作性强详细规定。 543干净服清洗规定 5.4.3.1干净服清洗若采用外协形式，清洗公司应选用经考察合格专业清洗公司。 5.4.3.2干净服清洗液不得对干净服

23、性能有影响；干净服面料清洗后不容许有脱丝、掉渣。 5.4.3.3清洗后衣物防静电织物性能不应被破坏，若被破坏，应及时报废或降级使用，降级使用应有明显标记且禁止在有防静电规定区域内使用。 5.4.3.4清洗完毕干净服应进行可靠包装后运送及存储，避免与外界交叉污染。 55干净室物流/干净室内设备及工器具管理制度 551物流管理涉及：进入干净室物料准入制度，物料清理和清扫规定、废弃物管理制度等。 5.5.1.1为防止污染物带入干净室(区)，所有送入干净室(区)各种物料、原辅料、设备、工器具包装材料等均需按规定进行外包装清理、吹净，有效地清除外表面微粒。 5.5.1.2在干净厂房内依照空气干净度级别、

24、产品生产规定设立必要物料净化设施，涉及外包装清理室，气闸室或传递窗(柜)等。 5.5.1.3物料在外包装清理室拆除外包装、装入干净容器内或当外包装不能拆除时，对其擦拭清除尘土或采用其她清除污染物方式对设备、容器工具进行清洁解决，并使清理先后物料以一定标志予以区别。 5.5.1.4干净区域专用周转小车、周转盒必要有清晰标志，与非干净周转小车有明显区别标记，禁止混用。 5.5.1.5对清理外包装后物料应通过气闸室或传递窗(柜)才干进入干净室(区)，气闸室或传递窗(柜)作用与人员净化用气闸室相似，用于保持干净室空气干净度和干净室内必要压力。 5.5.1.6传递窗(柜)应满足如下规定。两侧门上设窗，能

25、看见内部和两侧；保证两侧门不能同步启动（可通过两侧门上设连锁装置或通过严格管理来实现）；传递窗内尺寸可适应搬运物料大小及重量，气密性好并有必要强度；依照用途不同可设立室内灯、杀菌设施。 552干净室内设备及工器具管理涉及：设备及工器具搬入管理，清扫和清洁规定，设备及工器具退出管理等。 5.5.2.1工艺设备进入干净区域前，应事先明确运送路线，清除设备运送通道上障碍物，涉及对活动干净围护板拆卸，并作好隔离防护办法，尽量避免破坏干净区域环境；若设备搬入也许对生产导致污染，应提前安排局部停产配合设备搬入。 5.5.2.2隔离防护设施必要保证严密可靠，可以有效控制污染物扩散，并注意监控其完好状态，若有

26、破损，及时修补使严密完好。 5.5.2.3设备进入干净区域前，必要先在缓冲区（或缓冲地带）进行彻底清洁和擦拭。 5.5.2.4在进行设备、材料搬运过程中，要严格进行干净控制，设备进车间前注旨在干净缓冲区（或暂时缓冲走廊）有关清洁工作。特别注意不得穿干净服经设备、材料通道门到户外，如此通过交叉污染过衣服、鞋套、帽子再次无任何办法又进入干净室，会导致干净室交叉污染。 5.5.2.5在设备、材料搬运期间应尽量避免让步接受也许浮现环境扰动，对人员、设备、材料净化管制应严格进行控制。一定要严格控制污染物扩散，特别是交叉污染现象，否则会有高效过滤器（HEPA）污染损失，以及额外干净清理费用。 5.5.2.

27、6如下图所示，在干净室批准入口处设立干净缓冲/管制间，任何进入干净室内物品必要通过缓冲间。 5.5.2.7物品进入干净室流程。 室外预清洁传入缓冲区缓冲区内最后清洁传入干净室内 一方面，室外、缓冲间（或暂时缓冲走廊）、干净室内各有一支搬运组（共三组）候命，这三组人员依照各自环境身着不同服装：室外身着普通工作服，缓冲间内身着清洁服装并穿戴鞋套，干净室内身着完整干净服，带有口罩和手套等，这三组人互不能进入其他人工作区域。 当有设备、物品需要运送时，一方面室外组人员对物品进行预清洁，然后打开缓冲间室外侧门（或设备预留进出外门），将物品传入缓冲区。必要保证，在打开缓冲间室外侧门（或设备预留进出外门）时

28、，干净室侧门处在关闭状态。 缓冲区（或暂时缓冲走廊）那组人员对物品进行最后清洁，并用干净干净布检测合格后，打开干净室侧门，将物品传入干净室内。如此才规范完毕了物品传送和清洁过程。 5.5.2.8设备搬入完毕并就位后，及时清理设备区域杂物、拆除隔离防护办法、恢复活动干净围护板，并对设备搬入区域及附近区域进行彻底清扫和清洁，使满足干净。 5.5.2.9拆除隔离防护办法应注意控制避免交叉污染，恢复活动干净围护板应保证围护构造密闭性，密封压条要保证有效密封，胶密缝应恢复严密平整。 5.5.2.10小型工器具搬入管理需要满足物流管理规定。 5.5.2.11大型工器具搬入管理可参照工艺设备搬入管理规定执行

29、。 5.5.2.12设备自身清扫和清洁由生产部门及保养部门进行规定编制及执行，但其可靠性必要满足干净规定。 5.5.2.13设备和大型工器具退出与搬入管理类似，也应事先明确运送路线，清除设备运送通道上障碍物，涉及对活动干净围护板拆卸，并作好隔离防护办法，尽量避免破坏干净区域环境；若设备退出也许对生产导致污染，应提前安排局部停产配合设备退出。 5.5.2.14设备和大型工器具退出后，及时清理设备区域杂物、拆除暂时隔离防护办法、恢复活动干净围护板，并对设备退出区域及附近区域进行彻底清扫和清洁，使满足干净。 56干净室清洁、清扫和灭菌管理制度 561干净车间及干净车间走廊清洁操作程序见下表： 561

30、-（A）干净车间清洁操作程序 工具吸尘器、防静电尘推、长软管、小毛刷、簸箕、 防静电尘推布头、伸缩杆、梯子、防静电去尘布 耗材防静电去尘剂、防静电清洁剂。 清洁 部位1、车间墙； 2、门窗、文献柜、地面 具体操作方法 1、用伸缩杆配合去尘布，自上而下，进行墙体清洁，对污染较重局部用去尘布沾取少量纯防静电清洁剂擦，用去尘布揩拭干净。 2、用伸缩杆不以便局部，应用梯子按同上操作办法清洁墙面（如柜子上方）。 3、墙面清洁完毕后，用吸尘器加软管吸取车间地面粉尘，吸尘器应置车间走廊上，软管进车间，吸尘扒头应从左到右，先远后近区域进行吸尘，吸尘区域不能有间隔，以免漏吸（换鞋套）。 4、吸尘完毕后，用尘推按照吸尘操作办法进行，局部污染较重地方应用去尘布沾取少量纯防静电去尘剂，用湿去尘布清洁，然后用干防静电去尘布揩干。 5、门