单晶操作中的加热稳定引晶放肩.docx

1、单晶操作中的加热稳定引晶放肩一、 加热 在检漏完毕，就可以进入加热状态，先检查炉体进水压力和温度，单晶炉的进水压力必须保证在0.150.2MPa，如果低于0.15 MPa时必须报告上级，通知设备部门，让其对单晶炉的进水压力进行增压，以达到单晶炉需求，保证正常生产，确保炉体温度不会超标，期间需填写设备异常报告单，并写设备维修记录单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。当检查时发现单晶炉进水压力超过0.2MPa时必须报告上级，通知设备部门，让其对单晶炉的进水压力进行减压处理，保证生产，以防进水压力过大导致冷却水管爆裂，致使单晶炉生产无法进行，耽误生产计划，甚至出现重大事故

2、。期间需填写设备异常报告单，并写设备维修记录单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。检查单晶炉进水压力后需要检查炉体进水温度是否合适，单晶炉进水温度要求在25摄氏度以下，如果出现炉体温度过高，将会影响单晶炉的生产效果，对拉晶造成很大影响，所以当出现炉体温度较高时，需报告上级，并通知设备部门，让其将冷却水的水温进一步降低，以达到单晶炉要求为准，以确保单晶炉正常生产。期间需填写设备异常报告单，并写设备维修记录单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。以上两项检查完毕后，需要对单晶炉的电气设备进行检查，检查电气柜的控制开关有没有打开，如果出现没有打开

3、的情况下，必须将其打开，那样才可以进行加热，打开开关后，检查电气柜内的模块是否都处于运行状态，如果发现有未处于运行状态的模块，需向上级报告，并通知设备部门进行检查，在得到设备部门确认可以使用后，才可以进行运行单晶炉，期间需填写设备异常报告单，并写设备维修记录单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。以上工作完成后就可以打开氩气总阀门，调节副室氩气流量在2530L/Min（关闭主室氩气流量计），使炉内压力稳定在13001500Pa。 如果出现氩气流量计调节到2530L/min时，炉内压力达不到13001500Pa时，需检查输入氩气的压力，单晶炉的氩气进气压力需要保持在0.

4、20.3MPa 。压力太低需要报告上级，并通知设备部门，让其暂时打开增压阀，尽快恢复氩气进气压力，保证正常生产。一般氩气压力太低时都是由于氩气罐内的液态氩储量不多时导致，所以在生产中必须保证氩气的足量供应。需要定时检查氩气的罐内储量，并根据储量来调节氩气的进气压力，进气压力不得大于0.3 MPa， 当检查时出现氩气进气压力大于0.3MPa时必须报告上级，并通知设备部门，让其打开放气阀门，以达到降低罐体内压力的目的，直至降低至0.3MPa以下。在确定以上情况均正常时即可继续进行检查控制柜工序。期间需填写设备异常报告单，并写设备维修记录单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同

5、事。 检查控制柜必须检查加热开关是否可以正常使用，控制柜一般需要每炉重新启动一次，以保证不会在之后生产过程中出现控制柜死机状态。所以大家在开始加热以前需重新启动一次控制柜，这样可以大大降低控制柜死机的概率。在检查过程中还需检查手控器的开关、和显示是否正常，一般要求手控显示与实际相差不得大于0.2。如果误差过大将会对之后的拉晶造成不小的影响，对埚跟比的调节都是一个影响，所以如果出现误差过大的情况，必须报告上级，通知机修，让其对手控器进行校准，保证不出现误差过大现象，以免影响生产。期间需填写设备异常报告单，并写设备维修记录单，还需在 产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。 加热前需

6、要检查控制程序中的拉晶参数，点开拉晶参数栏后，仔细核对是否次拉晶参数为原始拉晶参数，如果不同，需要向上级报告，并通知工艺或者专门管理工艺参数的人员，让其来修改工艺参数，使之与之前一致，绝对禁止操作工私自更改系统工艺参数，发现一次将会严惩，需要修改参数时必须有工艺相关人员进行修改，绝对不允许个人私自未经允许的情况下就私自修改参数。如果需要更改系统参数，必须要在记录本上注明修改的参数为谁修改和修改的内容，还需在设备异常情况中注明，并由修改人，操作工及当班班长签字，并需口头向下个班交接。加热前将画面按到（F4温度系统），加热水压触点1灯亮，水压触点2灯不亮，加热故障灯不亮方可加热。 以上工作完成后即

7、可打开加热开关，根据下表通过欧陆增加功率，一般间隔0.5H增加一次功率，每次增加功率均需做相应记录。对欧陆表的使用应小心操作，防止功率迅速增大，瞬时造成变压器负荷过大，或对整个加热回路造成瞬间电流过大而产生打火或损坏。应严格按照加热顺序进行加热，否则可能会因为温度突然上升造成石英坩埚破裂、漏硅。 时间（min） 功率（KW）1 30 30 60 15 75 15 8590加热时必须打开水温报警，加热电流过低报警，加热器异常报警等。避免因人为疏忽发生异常情况，电脑无法报警造成事故的发生。部分炉台出现水温报警，可能是因为线路松脱等原因造成，及时检查原因，若出现假报警时，可将水温报警开关退出，切记不

8、要将控制柜上方的红色总报警器关闭。如果加热过程中出现过流情况时，第一步将功率将至零位，然后再升功率至之前未出现过流报警的功率，然后检查埚位是否过低，看下导流筒与料之间的空隙有多远，之后可以将液压旋钮旋至允许状态，按下埚升按钮，一边观察炉内情况，如果坩埚出现抖动现象，那么可以再升一下埚位后，松开锅升按钮，将液压旋钮旋至禁止状态，然后再将功率升至之前报警的功率看下是否还会出现报警情况，如果没有出现，那么就继续观察并做好记录，期间出现的各种异常情况都需对上级报告。如果在你将功率归零后，再慢慢升至之前报警功率时没有出现之前报警的情况，则不用动其他部位，继续加热，并继续观察炉内有无异常情况。一般引起过流

9、报警的情况主要是由于操作工在加温过程中未按照规定的操作要求操作炉台加热功率速率变化过大导致电气柜中的变压器瞬时负荷变大导致，所以我们要求是必须按照作业指导书中的要求严格要求操作工在操作炉台时一定要认真，负责。如果其不负责任的操作炉台在加热过程中如果不按照要求随意增加功率时功率迅速增大，瞬时造成变压器负荷过大，或对整个加热回路造成瞬间电流过大而产生打火或损坏，那样会对整个生产造成重大影响甚至可能会因为温度突然上升造成石英坩埚破裂、漏硅。期间需填写设备异常报告单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。如果在加热过程中加热时间在1.0H以内出现打火现象（观察电流、电压指针是否

10、处于大幅摆动中，如果出现这种状况，那么可以确定为炉内打火），那么应及时将功率将为零位，稍等一下后继续将功率升至之前出现异常功率的90%观察电流、电压的变化。如果未出现电流、电压指针摆动现象，那么可以将功率维持在这个功率30min后再试试可不可以继续增加功率，如果还是出现电流、电压指针在摆动，那么将可以降下功率至零位，关闭加热按钮。停炉冷却5H后开炉、拆炉、检查打火部位，并做详细记录。待料取出后根据坩埚的形状和状况请示工艺中心，让其确定此坩埚是否可以继续使用。期间需做好详细的生产异常记录，在生产异常记录表中填好，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。有时候会出现加热时功率

11、指针无动作现象，这时第一是通知上级，并通知设备的机修来处理，检查配电柜内是否有加热的保险被烧掉，如果有立刻更换掉，如果没有那么要对配电柜进行一下简单的检查开下配电柜内的开关是否是出于全部打开状态，如果没有则需将开关调至打开状态，因为有时候在加热时，配电柜内的开关会因为功率的突然变化而产生自动跳为关闭状态，所以也需要检查一下，如果其处于全部打开状态，则需对控制柜内的加热区线路进行检查，看有无线路断开连接，有无插件未插紧，和一些插件是否有金属物质（因为一些金属物质在落到一些插件上时会导致其插件线路成短路状态，无法正常使用。这时则需要拔掉插件，对插件进行一些清洗工作，清洗时必须使用干无尘纸或者是沾有

12、酒精的无尘纸。绝对禁止使用沾水的物品擦拭。最后如果以上工作检查到位后未发现异常情况，则需要检查炉底电极位置的电路是否正常，这个部位绝对禁止操作工来检查，一定要由设备部门专业人员来检查，不要自己“主动”去检查。期间操作工应积极配合设备部门检查各个地方，并做好详细记录，需填写设备异常报告单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。 加热过程中（1H内）如出现停水状况时，应先检查单晶炉的进水压力是否偏低，或无压力，水管和炉体温度是否明显升高，确认后先关闭将功率归零，关闭加热电源，真空泵不要关闭，然后打开应急冷却水，保证炉体不会因为过热变形，冷却水管出现爆裂现象，如果冷却水短时间

13、内（30min）恢复供应时，监控水压，有异常情况立即报告管理人员，如果压力正常则需打开加热电源，将加热功率逐步递增至熔料功率，继续作业。如长时间冷却水未输送，则需保持应急水的供应确保炉体问题不会太高，等待炉内冷却好以后开炉，检查。期间操作工做好详细记录，需填写设备异常报告单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。 加热过程中如出现停电状况时，应及时通知设备部门，并及时关闭电磁阀门，防止倒吸导致硅料被严重污染，然后将氩气流量调低，但不提倡将其关闭，只需保证其不会在短时间内将炉内压力充至正常大气压。如果可以在短时间内电力送至，那么可以将功率逐步增至熔料功率，并监控电压，电流

14、是否有异常情况，有异常情况立即报告管理人员。期间操作工做好详细记录，需填写设备异常报告单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。 加热过程中有时会出现过流现象（电流、电压瞬时摆动至最高后，瞬间回零造成控电系统瞬时负荷过大，造成其保护系统启动，自动切断电流、电压并打开报警系统）。这是应及时将功率调至0位，让其停止报警后，再次逐步增加功率，回到初始功率，并观察炉内情况，确认是否有异常。这种现象一般是由于操作工在增加功率时增加的幅度过大或者频率过快导致电力控制系统出现的报警，所以操作工在操作加热过程需要注意步骤，切勿急于将功率加至最高温，防止出现报警，甚至有可能在操作炉台时在

15、加热过程中如果不按照要求随意增加功率时功率迅速增大，瞬时造成变压器负荷过大，或对整个加热回路造成瞬间电流过大而产生打火或损坏，那样会对整个生产造成重大影响甚至可能会因为温度突然上升造成石英坩埚破裂、漏硅。这样的事故会对生产造成影响。期间需填写设备异常报告单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。 在加热时请注意单晶炉的加热器的最大加热功率和加热器的最大加热电流及电压。单晶炉的加热器最大加热功率为140KW，所以在加热时一定注意不要盲目的增加功率，要根据生产工艺要求来增加功率，不要超过工艺要求的最高功率。以免因为加热功率过高造成石英坩埚承受不住高温产出破裂，造成漏硅发生，

16、引起重大生产事故；甚至会因为加热功率过高超过加热器的承受范围，那么加热器可能会因此而发生断裂，损坏，造成重大事故。加热器的最大加热电流为2400A，最大加热电压为60v ，所以操作工在操作时加热时一定一定注意不要盲目的增加功率，要根据生产工艺要求来增加功率，不要超过工艺要求最高电流及电压，防止因为过高的电流及电压对加热器造成损坏，断裂，还有可能出现因为过高的电流及电压造成配电系统的变压器负荷过大，造成变压器内的保险短路，甚至烧坏保险丝。对生产造成影响，并出现重大生产事故，所以操作工在操作时应严格要求按照单晶炉的操作标准化作业指导书来操作单晶炉，否则这种不负责任的态度将会造成重大损失。 加热过程

17、中一定要按照操作标准指导书来作业，绝对禁止操作工私自更改系统参数及随意增加功率幅度，以免造成重大生产事故。 在加热操作中出现一些异常情况时必须报告上级并通知设备部门相关人员，填好异常报告单，并需要下个班的同事做好交接工作。 二、化料及稳定 当功率加至高温后，操作工需要密切观察炉内情况， 防止出现意外。 如果在化料过程中化料时间在1.0H以内出现打火现象（观察电流、电压指针是否处于大幅摆动中，如果出现这种状况，那么可以确定为炉内打火），那么应及时将功率将为零位，稍等一下后继续将功率升至之前出现异常功率的90%观察电流、电压的变化。如果未出现电流、电压指针摆动现象，那么可以将功率维持在这个功率30

18、min后再试试可不可以继续增加功率，如果还是出现电流、电压指针在摆动，那么将可以降下功率至零位，关闭加热按钮。停炉冷却5H后开炉、拆炉、检查打火部位，并做详细记录。待料取出后根据坩埚的形状和状况请示工艺中心，让其确定此坩埚是否可以继续使用。期间需做好详细的生产异常记录，在生产异常记录表中填好，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。 化料过程中（1H内）如出现停水状况时，应先检查单晶炉的进水压力是否偏低，或无压力，水管和炉体温度是否明显升高，确认后先关闭将功率归零，关闭加热电源，真空泵不要关闭，然后打开应急冷却水，保证炉体不会因为过热变形，冷却水管出现爆裂现象，如果冷却水

19、短时间内（30min）恢复供应时，监控水压，有异常情况立即报告管理人员，如果压力正常则需打开加热电源，将加热功率逐步递增至熔料功率，继续作业。如长时间冷却水未输送，则需保持应急水的供应确保炉体问题不会太高，等待炉内冷却好以后开炉，检查。期间操作工做好详细记录，需填写设备异常报告单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。 化料过程中（1H内）如出现停电状况时，应及时通知设备部门，并及时关闭电磁阀门，防止倒吸导致硅料被严重污染，然后将氩气流量调低，但不提倡将其关闭，只需保证其不会在短时间内将炉内压力充至正常大气压。如果可以在短时间内（15min）电力送至，那么可以将功率逐步

20、增至熔料功率，并监控电压，电流是否有异常情况，有异常情况立即报告管理人员。期间操作工做好详细记录，需填写设备异常报告单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。 化料过程中（2H内）如出现停水状况时，应先检查单晶炉的进水压力是否偏低，或无压力，水管和炉体温度是否明显升高，确认后先关闭将功率归零，关闭加热电源，真空泵不要关闭，然后打开应急冷却水，保证炉体不会因为过热变形，冷却水管出现爆裂现象，如果冷却水短时间内（15min）恢复供应时，监控水压，有异常情况立即报告管理人员，如果压力正常则需打开加热电源，将加热功率逐步递增至熔料功率，继续作业。如长时间冷却水未输送，则需保持应

21、急水的供应确保炉体问题不会太高，等待炉内冷却好以后开炉，检查。期间操作工做好详细记录，需填写设备异常报告单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。 化料过程中（2H内）如出现停电状况时，应及时通知设备部门，并及时关闭电磁阀门，防止倒吸导致硅料被严重污染，然后将氩气流量调低，但不提倡将其关闭，只需保证其不会在短时间内将炉内压力充至正常大气压。还需打开应急发电机组来保证炉体的应急冷却水的供应，防止单晶炉体发生问题温度过高烧坏炉体，冷却水管爆裂现象，确保在电力送到之前炉体的温度不会太高。如果可以在短时间内（15min）电力送至，那么可以将功率逐步增至熔料功率，并监控电压，电流

22、是否有异常情况，有异常情况立即报告管理人员。期间操作工做好详细记录，需填写设备异常报告单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。 化料过程中（半熔）出现停水状况时，应先检查单晶炉的进水压力是否偏低，或无压力，水管和炉体温度是否明显升高，确认后先关闭将功率归零，关闭加热电源，真空泵不要关闭，然后打开应急冷却水，保证炉体不会因为过热变形，冷却水管出现爆裂现象，如果冷却水短时间内（15min）恢复供应时，监控水压，有异常情况立即报告管理人员，如果压力正常则需打开加热电源，将加热功率逐步递增至熔料功率，继续作业。如长时间冷却水未输送，则需保持应急水的供应确保炉体问题不会太高，等

23、待炉内冷却好以后开炉，检查。还需时刻观察炉内液体的液位是否发生变化，如果液位不断的在下降，那么立刻关闭加热电源，等待自然冷却后再开炉检查，如果液位未发生变化则可以正常生产或者停炉冷却。期间操作工做好详细记录，需填写设备异常报告单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。 化料过程中（半熔）如出现停电状况时，应及时通知设备部门，并及时关闭电磁阀门，防止倒吸导致硅料被严重污染，然后将氩气流量调低，但不提倡将其关闭，只需保证其不会在短时间内将炉内压力充至正常大气压。还需打开应急发电机组来保证炉体的应急冷却水的供应，防止单晶炉体发生问题温度过高烧坏炉体，冷却水管爆裂现象，确保在电

24、力送到之前炉体的温度不会太高。如果可以在短时间内（15min）电力送至，那么可以将功率逐步增至熔料功率，并监控电压，电流是否有异常情况，有异常情况立即报告管理人员。还需时刻观察炉内液体的液位是否发生变化，如果液位不断的在下降，那么立刻关闭加热电源，等待自然冷却后再开炉检查，如果液位未发生变化则可以正常生产或者停炉冷却，因为石英埚在温度突然增高或者降低时有可能会出现裂开的现象，所以大家在操作时一定要多注意观察炉内的情况，争取有异常早发现，早处理。发生停电后，操作工必须迅速至炉台底部，将手动摇柄装好，用手动摇柄将坩埚降至最低埚位，如果电力很快供应，可以升埚位继续生产，但是如果电力短时间内无法恢复，

25、则需在液面结晶后将埚位再次用手柄升至高位，顶起导流筒月100MM。期间操作工做好详细记录，需填写设备异常报告单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。 化料过程中（全熔）出现停水状况时，应先检查单晶炉的进水压力是否偏低，或无压力，水管和炉体温度是否明显升高，确认后先关闭将功率归零，关闭加热电源，真空泵不要关闭，然后打开应急冷却水，保证炉体不会因为过热变形，冷却水管出现爆裂现象，如果冷却水短时间内（15min）恢复供应时，监控水压，有异常情况立即报告管理人员，如果压力正常则需打开加热电源，将加热功率逐步递增至熔料功率，继续作业。如长时间冷却水未输送，则需保持应急水的供应确

26、保炉体问题不会太高，等待炉内冷却好以后开炉，检查。还需时刻观察炉内液体的液位是否发生变化，如果液位不断的在下降，那么立刻关闭加热电源，等待自然冷却后再开炉检查，如果液位未发生变化则可以正常生产或者停炉冷却。还需在停水发生时及时将埚位降至最低，期间操作工做好详细记录，需填写设备异常报告单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。 化料过程中（全熔）如出现停电状况时，应及时通知设备部门，并及时关闭电磁阀门，防止倒吸导致硅料被严重污染，然后将氩气流量调低，但不提倡将其关闭，只需保证其不会在短时间内将炉内压力充至正常大气压。还需打开应急发电机组来保证炉体的应急冷却水的供应，防止单

27、晶炉体发生问题温度过高烧坏炉体，冷却水管爆裂现象，确保在电力送到之前炉体的温度不会太高。如果可以在短时间内（15min）电力送至，那么可以将功率逐步增至熔料功率，并监控电压，电流是否有异常情况，有异常情况立即报告管理人员。还需时刻观察炉内液体的液位是否发生变化，如果液位不断的在下降，那么立刻关闭加热电源，等待自然冷却后再开炉检查，如果液位未发生变化则可以正常生产或者停炉冷却，因为石英埚在温度突然增高或者降低时有可能会出现裂开的现象，所以大家在操作时一定要多注意观察炉内的情况，争取有异常早发现，早处理。发生停电后，操作工必须迅速至炉台底部，将手动摇柄装好，用手动摇柄将坩埚降至最低埚位，如果电力很

28、快供应，可以升埚位继续生产，但是如果电力短时间内无法恢复，则需在液面结晶后将埚位再次用手柄升至高位，顶起导流筒约100MM。 在料半熔时需观察炉内情况，观察石英锅边是否有挂边，石英埚是否变形，如果有挂边，则需将埚位放置于高温区进行烤挂边料，但是温度不宜过高，应为高温化料功率的90%为宜，还要注意的是，在30分钟左右需要开一下埚转均衡炉内对石英埚的温度，反复操作几次直至将挂边烤下来为止，如果石英埚出现了变形，则需要观察石英埚变形严重不严重，如果严重那么将会对后面的工序造成极大影响。需要操作工对自己观察到的异常情况做一个详细的记录，并需报告上级，填写异常单。 在料半熔时根据料下塌的距离来考虑上升埚

29、位，不过在上升埚位之前，开动埚转12转，仔细观察锅边是否有异常，如无异常则可以将埚位上升3050mm继续化料，直至化料结束。如出现异常情况。需要操作工慎重操作，以防出现意外，通知上级。 在料将化完时如观察到液面有浮渣出现，则需要操作工进行掉渣处理，掉渣时注意掉渣时的温度，温度不宜过高，防止温度过高对籽晶造成影响，破坏籽晶的晶向出现位错。下降籽晶的此过程必须做到，中间停顿10min以让籽晶受热均匀，不然会由于籽晶由低温区至高温区、由固态到液态转变时，温差太大造成籽晶产生位错。降籽晶时操作员必须注意籽晶位置变化，否则会熔掉籽晶甚至是重锤，造成整炉报废，无法再次使用。但也不宜过低，一般以4550KW

30、左右。掉渣时渣时籽晶与硅渣一定要粘接牢固。掉渣时埚位不宜过低，将渣提离液面后，不要急于上升，应缓慢上升几分钟后再快速提升至副室，盖住翻板阀后，打开主室氩气流量计，使与之前炉内压力一致，增加副室氩气流量。直至充开副室。用钳子剪断籽晶，取出硅渣，放置指定位置冷却后称重并作相应记录。取渣人员在取渣时必须戴好耐高温手套，防止烫伤。用沾有酒精的无尘纸擦洗籽晶并稳定好后，上升籽晶至适当位置。重新擦洗副室，副室小门及密封圈部位，然后关闭副室小门，抽副室真空。合好副室小门后，打开副室泵电源。慢慢打开副室抽气球阀，直至全开，副室压力表抽至0.050.1Mpa时打开副室氩气阀门，同时关闭副室泵球阀。副室压力表充至

31、00.05Mpa时关闭副室氩气阀门，同时打开副室泵球阀。副室压力表抽至0.050.1Mpa时打开副室氩气阀门，同时关闭副室泵球阀。副室压力表充至00.05Mpa时关闭副室氩气阀门，同时打开副室泵球阀。副室压力表抽至0.050.1Mpa时打开副室氩气阀门，同时关闭副室泵球阀，副室压力表充至00.05Mpa时关闭副室氩气阀门，同时打开副室泵球阀。连续3次换气后最后根据压力表指针确认副室与主室气压达到一致，关闭副室球阀，然后关闭副室泵电源。缓慢打开翻板阀，防止损坏或挤出阀口密封圈，调节副室氩气至2530L/min，关闭主室氩气阀。 在掉渣时一定要使籽晶和硅块粘接牢固，否则在上升过程中会出现因为没有粘

32、接牢固而导致硅料坠落，造成溅硅，影响生产，并且在掉渣时，下降籽晶的过程中，操作工必须时刻注意籽晶距离液面的高度，绝对不允许在下降籽晶的过程中使用一些物品压住手控盒的晶降按钮，避免在下降过程中出现因为个人疏忽导致重锤被熔掉，造成整炉料无法再次回收使用，造成特大生产事故。 料化完后逐步将埚位升至引晶埚位，其中不要盲目的一次就升上来，否则会因为埚位升的太快导致气流不顺畅，炉内压力不平衡，导致跳硅发生，造成严重生产事故。料熔完后，降低功率至引晶温度，将埚位升至引晶埚位，液面保持与导流筒的距离应保持在1525mm左右，将欧陆表切换至自动状态稳定温度。时间约为30min。 稳定过程中出现停水状况时，应先检查单晶炉的进水压力是否偏低，或无压力，水管和炉体温度是否明显升高，确认后先关闭将功率归零，关闭加热电源，真空泵不要关闭，然后打开应急冷却水，保证炉体不会因为过热变形，冷却水管出现爆裂现象，如果冷却水短时间内（15min）恢复供应时，监控水压，有异常情况立即报告管理人员，如果压力正常则需打开加热电源，将加热功率逐步递增至熔料功率，继续作业。如长时间冷却水未输送，则需保持应急水的供应确保炉体问题不会太高，等待炉内冷却好以后开炉，检查。还需时刻观察炉内液体的液位是否发生变化，如果液位不断的在下降，那么立刻关闭加热电源，等待自然冷却后再开炉检查，如果液位未发生变化则可以正常生产或者