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DESMEAR流程赛可特电子.docx

1、DESMEAR流程赛可特电子除胶渣化学沉铜产品说明书膨松剂 T601产品简介T601为使用于除胶渣前之溶剂处理剂,可有效除去钻孔高温所产生的胶渣及污物,能膨松及软化基材,以增进除胶剂的咬蚀作用。操作条件T601 35%-45%(V/V)温 度 65-75处理时间 6min(5-7min) 搅 拌 摆动及连续过滤循环槽体材质 316不锈钢加 热 器 钛或石英 振动装置 振动马达(建议功率3060W) 配 槽(100L)1将50L纯水放入槽中。2搅拌加入T601 40L。3加入纯水至100L,搅拌均匀。槽液维护1补充: 连续生产每处理100m2补充T601 5L。2校正:每天分析校正补加一次。3换

2、槽标准:每1L槽液处理30-40m2时更新。安全措施使用时请佩戴安全眼镜,保护手套及安全衣,如不慎溅到身体上时,立刻用水冲洗5-10分钟,如感不适,请即刻就医。除胶渣产品简介利用碱性高锰酸钾溶液的强氧化性咬蚀膨松后的孔壁,以除去钻孔产生的钻污,同时适度咬蚀基材,使内层铜裸露出来,并使孔壁之环氧树脂形成蜂巢状的微粗糙表面,利于钯的吸附,增强化学铜层的结合力,防止孔壁分离及吹孔的发生。操作条件高锰酸钾 50-60g/L氢氧化钠 35-45g/L温 度 70-85处理时间 15min(12-18min)除 胶 量 0.1-0.4mg/cm2搅 拌 摆动及机械搅拌槽体材质 316不锈钢或钛加 热 器

3、钛或石英 振动装置 振动马达(建议功率3060W) 配 槽 (100L)1将50L纯水放入槽中;2搅拌加入氢氧化钠 4Kg;3加入高锰酸钾6Kg,搅拌至溶解,然后加纯水至100L,搅拌均匀。槽液维护1 补充:每处理100m2补充高锰酸钾1.6kg,氢氧化钠 1kg,同时每天分析校正补加一次。2 正常生产过程中,每个月最少倒缸清洗一次。3换槽标准:每1L升槽液处理50-60m2时更新或半年之内更新。安全措施使用时请佩戴安全眼镜,保护手套及安全衣,如不慎溅到身体上时,立刻用水冲洗5-10分钟,如感不适,请即刻就医。中和剂T602产品简介T602为酸性强还原剂,可中和碱性残液,并可还原残余七价锰,六

4、价锰及二氧化锰等为可溶性二价锰离子,避免氧化剂带入其后之流程。操作条件T602 18-25% (V/V)硫酸(98%) 4-6% (V/V)温 度 40(35-45)处理时间 5min(4-6min)搅 拌 摆动及过滤循环槽体材质 PP或PE 加 热 器 石英或铁氟龙 振动装置 振动马达(建议功率3060W) 配 槽(100L)1将50L纯水放入槽。2在搅拌情况下缓慢加入硫酸5L。3加入T602 20L,加水至100L,搅拌均匀。槽液维护1 补充:每处理100 m2补充T602 23L及硫酸1L。2 每天分析校正补加一次。3 换槽标准:每1L槽液处理20-30m2时更新。4 建议中和槽前增加预

5、中和槽(采用硫酸和双氧水各2-3%),可有效减轻中和槽的负荷。安全措施 使用时请用安全眼镜,保护手套及安全衣;如不慎溅到身体上时,立刻用水冲洗5- 10分钟,如感不适,请即刻就医。整孔剂 T603产品简介 T603是专用于调整孔内电荷的弱碱性清洁剂,也可除去板材及孔内的的有机污物(轻油)、指印、氧化膜,使其最大限度的吸附催化剂。操作条件 T603 5%(46%)(V/V)温 度 60(55-65)处理时间 5min(4-6min)搅 拌 摆动及过滤循环(510微米聚丙烯滤芯)槽体材质 PP或PE 316不锈钢加 热 器 不锈钢 石英或铁氟龙振动装置 振动马达(建议功率3060W) 超声波振荡器

6、 必须采用功率为450-500W/100L槽液 配 槽(100L)1将50L纯水放入槽中。2搅拌加入要求量的T603 8L。3加入纯水至100L,搅拌均匀。槽液维护1.每处理100m2,应向槽中补加0.8L T603。2.每天分析调整工作液一次,每提高1%的浓度需添加10ml/L的T603。3.每1L槽液处理20-25 m2板或当Cu2+达到 2g/L时,重新开缸。废水处理 用25%氢氧化钠将槽液PH值调整到89,加1g/L硫酸亚铁,加热至70,直至溶液分解,使铜沉淀出来为止,调PH值为7。微蚀产品简介 过硫酸钠作为沉铜最常用的微蚀剂,其稳定效果良好,该蚀刻体系能均匀微蚀铜层表面,适用于孔金属

7、化、图形电镀及镀金、镀镍前处理过程。操作条件过硫酸钠 60-100g/l硫酸 (98%) 2-6%(V/V)温 度 2040处理时间 1-2min微蚀速率 0.81.5um/min搅 拌 摆动及过滤循环 空气搅拌槽体材质 PP或PE配 槽(100L)1将50L纯水放入槽。2在搅拌情况下缓慢加入H2SO4 5L。3加入过硫酸钠 8Kg,加水至100L,搅拌均匀。槽液维护1每处理100m2补加H2SO4 2.5L,过硫酸钠3Kg,补加前应先舀出适量体积的工作液。2每46小时分析调整一次。3铜含量达20g/L工作液后需更换部分或全部槽液。预浸剂T605产品简介 T605是用于制备维护胶体钯活化槽液成

8、分稳定的预浸液,防止有害杂质带入T606槽液中,也用于T606槽液的制备。操作条件T605 240g/L(220-240g/L)盐酸(37%) 4%(25%)温 度 室温处理时间 0.52min酸当量浓度 0.20.6N比 重 1.121.16搅 拌 摆动及过滤循环(510微米聚丙烯滤芯)槽体材质 PP或PE配 槽(100L)1将50L纯水放入槽。2在搅拌情况下加入T605 24kg。3加入37%试剂盐酸 4L,加水至100L,搅拌均匀。槽液维护1补加:每处理100 m2应补加入1.5-2.5kg T605和200-400ml 37%的盐酸于槽中。2根据分析结果控制:每提高0.1N 酸浓度,每

9、升槽液需添加7.93ml 37%的盐酸。每提高0.1N 氯化物浓度,每升槽液需添加5.28克的T605。3根据比重补加:比重T605补加量18Be0 (1.14)无17Be0 (1.13)20g/L16Be0 (1.12)40g/L4每1L工作液处理20 m2板或(Cu2+)1.0g/L换缸。活化剂T606产品简介 T606为低酸性盐基胶体钯活化剂,这种新型活化剂胶体粒子可以渗入微孔并被均匀的吸附在非导体的表面上。为后续的化学镀铜提供充足有效的催化活性核心,广泛应用于双面及多层印制板的孔金属化工艺及塑料镀活化工艺。操作条件T605 240g/L(220240g/L)盐酸 (37%) 4%(35

10、%)(V/V)T606 2.2%(1.8%2.6%)(钯含量为2040ppm)温 度 3842处理时间 47min酸当量浓度 0.61.0N 比 重 1.12-1.16搅 拌 摆动及过滤循环(510微米聚丙烯滤芯)加 热 器 石英或铁氟龙振动装置 振动马达(建议功率3060W)槽体材质 PP或PE配 槽(100L)1将50L纯水放入槽。2在搅拌情况下加入T605 24kg。3加入37%试剂盐酸 4L,加水至100L,最后加2.0L T606 ,搅拌均匀。槽液维护1 据处理量补加:每处理100 m2,需加入400-600ml T606。2 每天分析补加各含量一次:T606浓度每提高1%,需加入1

11、0ml/L 的T606;酸浓度提高0.1N,需加入37%试剂级盐酸7.93ml/L;3 当溶液中铜含量达到1g/L时更换全部槽液。安全措施 使用时请用安全眼镜,保护手套及安全衣;如不慎溅到身体上时,立刻用水冲洗5-10分钟,如感不适,请即刻就医。加速剂T607A产品简介 T607A为弱碱性加速液,解胶更为迅速、彻底,可有效提高催化剂的钯核活性,改善背光效果,同时把活化剂对沉铜缸的带入影响降至最低限度。操作条件T607A 10%(812%)(V/V)T607B 10g/L(812g/L)PH 8.29.3 温 度 4050处理时间 2-5min搅 拌 摆动及过滤循环(510微米聚丙烯滤芯)加 热

12、 器 不锈钢或铁氟龙 槽体材质 PP或PE配 槽(100L)1将50L纯水放入槽。2在搅拌情况下加入T607A 10L。3加入T607B 1kg,溶解,加水至100L,搅拌均匀。槽液维护1T607A工作液每处理100 m2板补加T607A液1.2L和120g T607B。2每升工作液处理20 m2板后开新缸。3加速后的水洗时间要足够。T607B为PH缓冲剂, PH值高于9.3时要用20%盐酸调低,每次加入的量不可超过0.4ml/L,加入时需快速搅拌。化学沉铜产品简介 M600AB为常温沉薄铜体系,该体系具有优良的稳定性,控制维护方便,消耗量少。沉积层为粉红色,结晶细密,韧性好,并具有良好的结合

13、力。操作条件T600M 10%(开缸)(V/V) T600A 6%(开缸)(V/V)T600B 8%(开缸)(V/V)温 度 28-32处理时间 15-20min槽液负荷 0.53.0m2/100L沉铜厚度 1225微英寸搅 拌 摆动及连续过滤循环空气搅拌过 滤 连续或间歇采用510微米聚丙烯滤布在溢流口过滤振动装置 振动马达(建议功率3060W)加 热 器 石英或铁氟龙槽体材质 PP或PE挂 架 挂架应保证板浸于浴中,处于垂直状态,板与板之空间间隔不小于1厘米配 槽(100L)1将50L纯水放入槽。2在空气搅拌情况下加入T600M 10L。3再加入T600B 8L。4最后缓慢加入T600A

14、6L。5加水至100L,搅拌均匀,开循环。槽液维护1成份指标成分工作范围最佳值铜(g/L)1.52.52.0氢氧化钠(g/L)101412甲醛(g/L)6982工作液每处理10m2板,需补加T600A 2.5L,T600B 2.5L。3.化学沉铜原液的作用与浓度:化学沉铜T600M:含铜络合剂浓缩液,主要供配槽时使用;化学沉铜T600A:主要含铜(约30g/L)和甲醛(约70g/L)的浓缩液供配槽和添加使用;化学沉铜T600B:主要含氢氧化钠(约150g/L)的浓缩液,供配槽和添加使用。4.正常生产每4小时分析一次药水含量,并调整到最佳值:100升槽液提高铜含量0.1g/L,加T600A 0.

15、35L;100升槽液提高氢氧化钠含量1g/L,加T600B 0.75L;100升槽液提高甲醛含量1g/L ,加甲醛原液0.25L。5 按分析值计算比例添加T600A和T600B。6 开缸后需24小时保持空气搅拌。7 停工前35架板停止补料。8 长期停工前需用稀硫酸将工作液PH值降至8-10,并保持弱空气搅拌。9 每升槽液处理量达到6575 m2或23个月,更新槽液。10每周至少倒缸一次,一般45天一次。废水处理 加入1%体积比的甲醛,15克/升的硫酸亚铁,加热到70直到溶液分解,并使铜沉淀出来为止。分析方法一、膨松剂 T601T601强度分析仪器:手持式旋光光度計(0-32%)步聚:取槽液数滴

16、滴于手持旋光光度计內,并读取刻度(D)。计算:將D值代入公式:X(%) = 1.5053D-2.093 亦可得槽液T601 浓度;二、除胶渣1氢氧化钠含量分析 1)取 1ml槽液置入 250ml烧杯中; 2)加 100 ml纯水,将PH计探头放入烧杯中; 3)用 0.1N 盐酸 滴至溶液PH为8.2为终点,消耗体积数为V ml;4)计算:NaOH(g/L) = 400.1NV (盐酸的消耗数ml); 2高锰酸钾和锰酸钾分析 1)取10ml槽液于100ml容量瓶中,加入0.1N 氢氧化钠溶液至刻度线混匀;2)取1ml稀释液于100ml容量瓶中,加入0.1N 氢氧化钠溶液至刻度线混匀; 3) 取步

17、骤2)稀释液用分光光度计分别在波长526nm和 603nm测定其吸收光度分別为A和B以纯水做为基准;4)计算:KMnO4 (g/L) = (64.67A)-(21.11B) K2MnO4(g/L) = (133.6B)-(12.27A) 注意:由于稀释会破坏化学平衡,从步骤1)至3)越快完成越好。 3除胶速率测试 1)取“33”板料(没有钻孔并将铜皮蚀去); 2)放入120的烘箱内干燥15分钟; 3)取出板料,冷却后称重精确至0.0001g(G1); 4)将试板挂入生产线进行除胶,经中和缸再过水洗之后取出样板; 5)将样板放入120的烘箱内干燥15分钟; 6)取出冷却称重精确至0.0001(G

18、2)g; 7)计算:除胶厚度(mg/cm2)=(G1-G2)/S(cm22) 备注:1试板不可以重复使用。 2 除胶效率受下列因素之影响: a.板料种类及供应商,压板及烘板周期。 b.膨松剂之种类、温度、浓度、时间。 c.除胶之种类、温度、浓度、时间。三、中和剂T602 硫酸浓度分析:1) 取槽液2.0ml升于250ml锥形瓶中;2) 加入30ml升纯水并加入3-5滴甲基橙指示剂;3) 用1.0N 氢氧化钠滴定颜色变成黄色为终点;4) 计算:H2SO4(%)=13.30.1NV(氢氧化钠的消耗数ml)T602浓度分析:1) 取槽液1.0 ml,注入250ml锥形瓶中;2) 加100ml纯水、5

19、 ml饱和硫酸铁铵(324g/L)溶液;3) 将上述溶液煮沸并保持12分钟,冷却后加5 ml升浓磷酸,用0.1M的 KMnO4 滴定到颜色变为淡红色,记下所用标液毫升数V ;4) 计 算: T602(%)=2.8V(KMnO4的消耗数ml)四整孔剂T6031溶液浓度分析1)吸取5ml槽液置于250ml锥形瓶中,加纯水50ml;2)加3-5滴甲基红指示剂;3)用0.1N 盐酸滴定至淡红色为终点,消耗为Vml;4)计算:T603浓度 %0.526V%(盐酸的消耗数ml)2铜离子含量分析1)取槽液20.0ml槽液置于250ml锥形瓶中,加纯水50ml;2)加入1:1的氨水20ml,乙醇10ml,加3

20、-4滴PAN指示剂;3)用0.05M的EDTA滴定至淡绿为终点,记录所用体积数Vml;4)计算:Cu2+(g/L)=3.18MV(EDTA的消耗数 ml)二微蚀 试样准备:取10.0ml粗化液于100ml的容量瓶中,加纯水至刻度。1.硫酸含量分析1) 吸取上述稀释液20.0ml于250ml锥形瓶中;2) 加100ml 纯水,搅匀;3) 加5滴甲基橙指示剂;4) 用0.1N 氢氧化钠滴定从红色到终点桔黄色;5) 计算:H2SO4 %(V/V%)13.30.1NV( NaOH的消耗数ml ) 2.SPS含量分析1) 吸取稀释液5.0ml 250ml锥形瓶中,加100ml 纯水,搅均;2) 加入10

21、ml 10% KI和2-3滴淀粉指示剂,3) 用0.1N的硫代硫酸钠滴定到淡乳白色 4) 计算:SPS(g/L)11.9V3.铜含量分析1) 吸取稀释液5.0ml于250ml锥形瓶中,加纯水50ml;2) 加10ml 1:1的氨水,10ml的甲醇,3滴PAN指示剂,搅动;3) 用标准0.10M EDTA滴定,直到颜色变成淡绿色;4) 计算:Cu2+ (g/L)=(0.1M.VEDTA的消耗数ml)63.54五预浸剂T6051酸当量浓度分析1) 吸取5ml槽液于250ml锥形瓶中;2) 加50ml 纯水及3-5滴酚酞指示剂;3) 用0.1N 氢氧化钠滴定至粉红色;4) 计算:酸当量浓度(N)0.

22、20.1NV(0.1N 氢氧化钠的消耗ml)2铜浓度分析1) 吸取20ml槽液于250ml锥形瓶中, 加50ml 纯水;2) 加20ml PH值10的缓冲溶液,乙醇10ml;3) 加3-5滴PAN(1-(2-吡啶偶氮)-2-萘酚)指示剂;4) 用0.05M的EDTA滴定至黄色;5) 计算:Cu2+(g/L)3.180.05MV(EDTA的消耗数ml)六活化剂T606 1.酸当量浓度分析1)吸取5ml槽液于100ml容量瓶中,加8-10滴双氧水混合均匀,用纯水稀释至刻度,摇均;2)吸取10ml稀释样液于250ml锥形瓶中,加100ml 纯水及3-5滴酚酞指示剂;3)用0.1N 氢氧化钠滴定至粉红

23、色,记录氢氧化钠消耗Vml;4)计算:酸当量浓度(N)20.1N V(氢氧化钠的消耗ml)2.钯浓度分析比色分析方法:1)配制700ml新的T605预浸工作液;2)取5个100ml容量瓶,分别贴上1.8%、2.0%、2.2%、2.6%的标签,从T606的原液中吸取1.8ml,2.0ml,2.2ml,2.6ml依次分置于容量瓶中,加上述预浸工作液至液位, 摇匀,即为比色标准液;3)分置于5个10ml比色管中,密封分别为1.8%、2.0%、2.2%、2.6%的比色标准液;4)取T606活化剂工作液于10ml比色管中,与上述比色标准液进行比较得出其所在范围;5)比色标准液保存时间不可超过一个月。AA

24、S分析方法:1) 标准液配制:在国家标准溶液浓度为1000g/ml中,取出0.1ml、0.2ml、0.4ml分别放入3个100ml的容量瓶中,各加入8ml 1%NaCl,然后加纯水至刻度摇匀即得浓度为1ppm、2ppm、4ppm的标准溶液。 2)槽液配制:取槽液5ml放入100ml的容量瓶中,再加入8ml 1%NaCl,然后加纯水至刻度摇匀。 3)使用原子吸收光谱仪测量浓度C1。4)计算: Pd(ppm)20C1七加速剂T607A T607A浓度分析1)吸取5.0ml槽液于250ml锥形瓶中,加50ml 纯水;2)加15毫升10%碘化钾,15毫升20%盐酸;3)用0.1N的硫代硫酸钠滴定到淡咖

25、啡色,加5毫升淀粉, 滴定到无色;4)计算:T607A的浓度 (%)10.80.1NV(硫代硫酸钠的消耗ml)八化学沉铜T600AB 1.铜含量1)吸取20ml槽液于250ml锥形瓶中,加50ml 纯水,20ml 20%硫酸,20ml 10%碘化钾,20ml10%硫氰酸钾,摇均;2)用0.1N的硫代硫酸钠标准液滴定至浅黄色;3)加5ml淀粉溶液,继续用0.1N的硫代硫酸钠标准液滴定至米色;4)计算:Cu (g/L)=3.1770.1NV(硫代硫酸钠的消耗数ml)2.氢氧化钠和甲醛1)吸取5ml槽液于250ml锥形瓶中,加50ml 纯水;2)用0.1N 盐酸滴定至PH为10.5,记下盐酸 ml数

26、,用于氢氧化钠量的计算;3)用0.1N 盐酸滴定至PH为9.5,加25ml 1M亚硫酸钠溶液;4)用0.1N 盐酸滴定至PH为9.5,保持5min不变,记下盐酸 ml数; 5)计算: NaOH (g/L)=80.1NV(盐酸的消耗数ml) HCHO (g/L)=60.1NV(盐酸的消耗数ml) 3.沉铜厚度测量1) 取标准测量铜厚样板经PTH线沉铜后,放入500ml烧杯中,加水20ml,加5ml 20%硫酸,1.5ml 30%双氧水,待铜完全溶解后;2)加适量紫脲酸胺指示剂,用0.05M EDTA滴到溶液由绿色转为紫罗兰色;3)计算:铜厚(uin)=0.05 MV(EDTA的消耗数ml)1420S(cm2)注: 样板不可重复使用; S为样板表面积。 操作参数请以新版资料为准 (本技术资料乃根据本公司在实验中及相关现场操作经验所得,但因客户现场操作因素之不同,可 能会出现偏差,因此,本资料仅供参考,具体参数需双方工程师根据客户现场操作因素进一步确定。)

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