电子厂静电防护管理规范.docx

1、电子厂静电防护管理规范1. 目的2. 适用范围3. 引用标准4. 名词术语5. 防静电工作区系统6. 人体防静电系统7. 职责8. 培训9. 采购10. 文件生效日期11. 记录12. 附录1. 目的为避免静电敏感元器件在生产、运输、储存、检测等过程中受到静电释放的影响，从而产生短路、电阻漂移、开路、工作性能退化等不良现象。特建立电子产品制造静电防护技术要求，以保证产品品质，增加可靠性，减低不良率，节省产品工时成本，降低维修费用。基于电子产品制造静电防护技术要求文件的颁布，提高员工对ESD的认识，加强员工自觉防止ESD现象之观念，促进生产管理水平之提高。2. 适用范围本文适用于所有车间中生产制

2、程及电子元器件的采购、运输、储存、检测过程中的静电防护。3. 引用标准SJ/T 10694 - 1996 电子产品制造防静电系统测试方法GB/T 15463-1995 静电安全名词术语GJB 3007 97 防静电工作区技术要求GJB 1649 93 电子产品防静电放电控制大纲GB 12014 89 防静电工作服SJ/T 10533-94 电子设备制造防静电技术要求SJ/T 10630-1995 电子元器件制造防静电技术要求ANSI / ESD STM3.1-2000 静电放电敏感产品防护用标准：离子发生器ANSI / ESD S20.20-1999 建立一个静电放电控制方案保护电气和电子零件

3、，装置和设备4. 名词术语4.1 静电： 一种处于相对稳定状态的电荷。它所引起的磁场效应可以忽略不计（静电可由物质的接触与分离、静电感应、介质极化和带电微粒的附着等物理过程而产生）。4.2 ESD：Electronic Static Discharge，原意是指静电释放，即通过带静电区域直接接触或感应而引起的静电电荷在不同电势物体上的转移。后常指静电防护，即避免静电释放的发生。4.3 静电感应：当带电物体靠近某一介质时，在该介质表面因感应而带电荷，并形成感应电场。4.4 ESDS：Electronic Static Discharge Sensitive，静电放电敏感（的），通常用来指静电敏感

4、元器件。4.5 防静电工作区：由各种防静电设施、器件及明确的区域界限形成的工作场地。4.6 静电敏感度：Electrostatic Sensitivity，元器件所能承受的静电放电电压值。4.7 表面电阻/点对点电阻：在与材料的同一侧面相接触的两个规定形状的电极之间，直流电压对于流过的电流的比值。该测量结果以欧姆为单位来表示。4.8 体积电阻/对地电阻/系统电阻：在与材料的相对两面相接触的两个规定形状的电极之间，直流电压对于流过的电流的比值。该测量结果以欧姆为单位来表示。4.9 摩擦起电：当使两种材料接触或相互摩擦后分离时，产生静电荷。4.10 摩擦电压：物体被摩擦后，表面所带静电荷的电压。4

5、.11 ESD 损伤：由静电放电引起的电子元器件性能退化或功能失效。4.12 消电时间（Decay Time）：一个静电压从其初始值降低到一个给定值（通常是初始值的10%）所需要的时间。注：国际惯例对于小于1E6欧姆的电阻使用10V电压测量，大于或等于1E6欧姆的电阻使用100V电压测量，防静电工作区系统5.1 防静电工作区的划分：5.1.1 根据GJB 1649规定的静电放电电压敏感的静电放电敏感元器件组件和设备的分级. 静电放电敏感产品按敏感度电压被分级为:静电敏感度级别静电敏感电压（人体模型HBM）I级01999VII级20003999VIII级400015999V根据该项标准的规定，所

6、要求的ESD控制大纲一般只包含对I和II级敏感产品的防护。现按照元器件静电敏感度和生产线实际情况如下：5.1.1.1 高速器件（如蓝牙耳机等含高频器件的组件）、较大规模集成电路（如CMOS摄像模块）的静电敏感度相对较高, 凡是含这些器件的半成品生产线均定为I级；5.1.1.2 普通器件如TI的计算器等，没有用到上述类型器件的产品，则生产这些产品的生产线不需要严格的防静电措施。仅仅是器件的存储和运输，也不需要严格的防静电措施，理由是器件在这个时候没有被操作。把这些生产线或车间定为II级；5.1.1.3 按照上述理由，现规定敏感级别为：级别区域I级BONDING车间、COB车间、SMT车间，含CM

7、OS照相模块或高频通讯产品的电子产品（半成品）的装配拉等II级不含CMOS照相模块或高频通讯产品的电子产品装配拉，普通电子产品的半成品包装区域、货仓电子料区域，生产仓，收料仓等5.1.2 公司内部由黄、黑双色斑马线围起的区域或门口挂有静电标示牌的车间为防静电工作区。5.1.3 元器件敏感度分级由QC1 ESD工程师按后附录1ESDS元器件分类酌情分级，并确定。5.2 防静电工作区基本环境要求5.2.1 防静电工作区应保持洁净，避免有灰尘堆积或漂浮的状态发生5.2.2 车间内温湿度的控制结合车间的实际情况定为：区域温度湿度百级洁净室212C50%60%千级洁净室212C60%70%普通车间233

8、C40%70%5.2.3 在不对产品造成有害影响的前提下，允许使用增湿设备喷洒制剂或水，以增加环境湿度。5.2.4 防静电工作区应清楚标明区域界限以及警示标志，见附录14。5.2.5 要求使用防静电地板或在普通地面上铺设防静电地垫，并保证有效接地。禁止直接使用木制地板或铺设毛、麻、化纤地毯及普通地板革。5.2.6 天花板及墙壁建议使用防静电材料制品，一般情况下允许使用石膏制品或石灰涂料，禁止使用普通塑料制品。5.3 防静电工作区接地系统5.3.1 应有独立可靠的接地装置，接地电阻一般应小于10欧姆，为保证人员安全，在与人员直接接触的地方应加装1兆欧姆限流电阻。接地线的要求如下：接地线截面积接地

9、电阻要求接地总线不小于100mm2的铜制导线小于10欧姆ESD线不得直接接在电源零线上。ESD线不得与防雷地线共用。使用三相五线制供电，其大地线可以作为ESD地线，但需保证电源地线与零线不能搭接。接地支干线不小于6 mm2的铜制导线小于10欧姆设备和工作台的接地线不小于1.25mm2 的多股或单股的铜制绝缘套导线小于10欧姆或0.8兆欧1.2兆欧新增的ESD地线应用绿色绝缘套标识，原来使用的黄绿色绝缘套标识可以继续使用。台垫等物品的接地配件按照来料的颜色使用。5.3.2 厂房接地总线的接地电阻小于10欧姆，由行政部负责定期检查，周期为一个月一次。并填写厂房接地电阻测试记录表。5.3.3 车间内

10、部的设备和工作台的接地线的接地状况由PE负责定期检查，周期为3个月一次。并填写工作台地线接地电阻测试记录表。5.3.4 测试台的防静电设备，工器具的接地由TE负责定期检查，周期为3个月一次。并填写工作台地线接地电阻测试记录表。5.4 防静电区域设备及辅料要求I级区域II级区域防静电安全工作台防静电安全工作台防静电容器、运输工具（料盒、料箱、运输车）防静电容器、运输工具（料盒、料箱、运输车）防静电腕带防静电腕带防静电工衣（帽）防静电工衣（帽）防静电工鞋防静电工鞋防静电测试架防静电烙铁（如需使用烙铁）离子风机（离子棒/离子风枪）（视工序而定）防静电烙铁（如需使用烙铁）5.5 防静电工作区的ESD技

11、术要求5.5.1 防静电地板5.5.1.1 用防静电PVC地板专用清洁剂或中性清洁用品定期进行清洁，严禁使用强酸、强碱或能溶解PVC材料的化学溶剂进行清洗，如果属于更严重的污渍，可以使用异丙烯基乙醇清洁。5.5.1.2 严禁带有尖刺、粗糙的重物在地板表面擦划、拖拉。5.5.1.3 不能将硫化物、丙酮、酒精等物品撒落在ESD地板上，如发生以上情况，应立即清洁。5.5.1.4 使用防静电地板蜡水进行定期涂敷、养护，一般6个月一次。5.5.1.5 地板蜡的电阻小于1E9欧姆。5.5.1.6 地板安装时应满足的ESD技术指标包括：表面电阻值和系统电阻值均在1E41E9欧姆范围以内。5.5.1.7 生产

12、部应及时向行政部要求对防静电地板进行打蜡维护，行政部做好地板打蜡后应及时通知QC1部ESD工程师。5.5.1.8 对于K4洁净室的地板，经IE评估且经过ESD工程师的认可，可以不做地板打蜡。5.5.1.9 QC1部ESD工程师应在行政部对防静电地板打蜡后做一次防静电地板表面电阻、系统电阻测试，测试方法见附录2，并填写防静电地板电阻测试记录表。5.5.2 防静电安全工作台（含测试台）5.5.2.1 各区域的防静电安全工作台由负责该区域的PE或TE确定范围。例如：回流焊后的检查台、QC1检查台、修理台和测试台等。5.5.2.2 防静电安全工作台基本要求和禁止项目要求禁止工作台表面铺设防静电台垫，同

13、时台垫必须接地。特殊情况可以没有台垫，但需经ESD工程师认可。工作台上放置普通塑料盒（片）、橡皮、玻璃、普通泡沫等容易产生静电的杂物.配备腕带接头、ESD地线、离子风机（可选）、防静电工具（可选）和防静电测试架距离ESDS元器件30厘米以内有摩擦电压高于200V的物件5.5.2.3 在防静电区内使用不符合防静电要求的物料且必须时，必须得到QC1 ESD工程师的评估和认可。5.5.2.4 防静电台台面应满足ESD技术指标。表面电阻值和系统电阻值均在1E41E9欧姆范围以内。5.5.2.5 防静电台椅子应满足ESD技术指标。表面电阻值和系统电阻值均小于1E9欧姆范围。5.5.2.6 防静电胶帘的表

14、面电阻应在1E41E11欧姆内。5.5.2.7 PE或TE应每6个月做一次相应的工作区域内的防静电台垫和防静电工椅电阻测试，防静电台垫测试方法见附录3，填写防静电台垫电阻测试记录表。防静电工椅测试方法见附录8，填写防静电工椅测试记录表，如果有不合格的，须及时更换。5.5.3 防静电辅料/工具5.5.3.1 防静电溶剂瓶：系统电阻在1E41E11欧姆范围。5.5.3.2 防静电烙铁/焊接工具：从热的端头到地的电阻应小于10欧姆。5.5.3.3 防静电文件袋(夹): 表面电阻在1E41E11欧姆范围。5.5.3.4 PE应每6个月做一次防静电辅料电阻测试，测试方法见附录7，填写防静电辅料电阻测试记

15、录表。5.5.4 防静电包装及容器5.5.4.1 防静电容器包括ESDS原料包装袋（盒/盘）、装板的料盒、等一切包装、储存ESDS的容器。5.5.4.2 允许使用局部抗静电涂料对容器表面进行处理，但使用效果必须由相关PE定期检查。5.5.4.3 防静电容器应满足ESD技术指标：表面电阻(包括内外表面)在1E41E11欧姆范围，系统电阻在1E41E10欧姆范围。如果产品或产品的金属部分不直接与防静电容器接触，则允许防静电容器的电阻小于1E4欧姆。PE应每6个月做一次防静电容器（包括吸塑、托盘、料箱等）表面电阻和体积电阻测试，测试方法见附录4。填写防静电周转容器电阻测试记录表，测试结果由PE保存半

16、年，并在符合标准的容器上做标记。QC2应按SEF对来料的包装袋和容器进行测试，并填写防静电包装袋 容器电阻测试记录表。5.5.5 防静电运输工具及存放架等5.5.5.1 防静电运输工具包括ESD运输车、ESD小推车等5.5.5.2 为保护ESDS不受到外部强静电场的影响，运送ESDS的防静电运输工具应由高导电性材料（建议使用不锈钢）制作，车子经常固定时要求硬接地。其对地电阻应小于10欧姆。5.5.5.3 当运输车由不锈钢组成时，且经常移动时，其对地电阻应小于1E9欧姆。5.5.5.4 存放架的表面电阻和对地电阻应小于1E9欧姆。5.5.5.5 防静电运输工具应满足ESD技术指标：表面电阻和对地

17、电阻小于1E9欧姆。PE应每6个月做一次防静电运输车、ESD小推车之台面对轮脚系统电阻测试，测试方法见附录5。填写防静电运输工具/存放架电阻测试记录表，测试结果由PE保存半年，并在符合标准的运输工具上做标记。5.5.6 除静电离子风机/离子棒5.5.6.1 当防静电区域内不可避免的需要使用会产生高静电的材料时，且该材料要求被放置在离ESDS 30厘米内时，必须使用离子风机或离子棒。5.5.6.2 对于不能接地又直接接触ESDS元件的物体，必须保证其保持在零电位状态，必要时，可以使用离子风机消除在这个过程中产生的静电。5.5.6.3 离子风机在使用的过程中会产生较大功率的RF信号，因此进行通信产

18、品测试的车间不适用离子风机。如果要用，则需要通过QC1 ESD工程师的评估。5.5.6.4 悬挂式离子风机应悬挂在离工作台面60厘米的高度，（特殊工位可例外，但须经ESD工程师认可）离子风机的出风口不能有异物阻挡。离子风机的平衡电压保持在 50V以内，消电时间（从1000V中和到100V）应小于10秒（高风速）。5.5.6.5 台式离子风机应放置在工作台上且离工作区域3045厘米左右，以保证有足够的覆盖范围和快速的静电消除。离子风机的出风口不能有异物阻挡。离子风机的平衡电压保持在 50V以内，消电时间（从1000V中和到100V）应小于3秒（高风速）。5.5.6.6 离子棒应悬挂在合适的工作高

19、度以保证除静电效果，离子棒的平衡电压应保持在 50V以内，消电时间（从1000V中和到100V）应小于60秒。5.5.6.7 QC1 ESD工程师应每6个月做一次离子风机平衡电压和消电时间测试，填写除静电离子发生器测试记录表，对不符合要求的离子风机，应及时处理。5.5.7 其它防静电物料及相关要求5.5.7.1 不在上面列出来的物料则按一般防静电要求，表面电阻在1E41E11欧姆内，系统电阻在1E41E11欧姆内。5.5.7.2 特殊情况下，如果找不到合适的供应商，又经过ESD专员的评估，确认不会对产品构成ESD隐患的情况下，可以引入表面电阻或体积电阻小于1E11欧姆的物料。6 人体防静电系统

20、 6.1 防静电腕带6.1.1 直接接触ESDS的任何人员都应按规定佩带防静电腕带（俗称静电带），禁止使用无线防静电腕带。6.1.2 防静电腕带的接触线应内置一个1兆欧姆电阻，以保证人体安全以及快速泻放静电，防静电腕带的腕带应是导电性的，表面电阻应小于1E3欧姆。同时应保证防静电腕带与人体皮肤有良好的接触，系统电阻应小于35兆欧姆，且使用鳄鱼夹或插头座可靠的连接在ESD线上。6.1.3 应每天一次测量防静电腕带的系统电阻，由拉长填写静电带检查记录表，检查不合格时应交由修理检修，不能修复时，应及时更换。6.2 防静电鞋/防静电鞋套6.2.1 所有进入防静电区域的人员都应穿用防静电鞋/鞋套，防静电

21、鞋/鞋套的使用要保证鞋的系统电阻在1E53.5E7欧姆范围内。应每天一次测量防静电鞋/鞋套的系统电阻，由拉长填写防静电鞋/鞋套检查记录表，检查不合格时应及时更换。6.3 防静电工作服6.3.1 防静电工作服包括防静电连体衣、防静电大褂、防静电工鞋（鞋套）和工帽，防静电工作服要求使用导电网格防静电绸制作，制造要求应符合GB 12014之规定，其各部分之间应存在电气连续性。工作服的设计应能保持在穿着状态下与人体皮肤直接或间接地接触。6.3.2 进入防静电区域时，防静电工作服、工鞋和工帽要求穿着整齐，全部纽扣（拉链）要系好（拉完全），头发必须包在工帽内，不能有外露。6.3.3 不同使用人员之防静电工

22、作服按颜色区分：人员普通工作区域及千级洁净室百级洁净室生产部作业员工艳蓝色的防静电服（帽）白色防静电连体服+浅蓝色条纹的披肩帽品质部员工粉红色的防静电服（帽）白色防静电连体服+粉红色条纹的披肩帽工程人员深蓝色的防静电服（帽）白色防静电连体服+深蓝色条纹的披肩帽生产管理人员黄色的防静电服（帽）白色防静电连体服+黄色条纹的披肩帽外来人员白色的防静电服（帽）白色防静电连体服+无条纹的披肩帽6.3.4 购买防静电工衣时应满足ESD技术指标：表面电阻值（1E5欧姆1E10欧姆）。6.3.5 生产部应每半年做一次防静电工衣表面电阻测试，测试方法见附录6，并填写防静电工衣表面电阻 测试记录表，对于不符合指标

23、要求的防静电工衣，予以更换。6.4 防静电手套/指套6.4.1 由消散性材料制成，人体穿戴对地电阻在1E51E11欧姆范围，摩擦电压小于50V。6.5 人体综合接地测试系统要求手腕带-人体工鞋-人体指示灯电阻下限7.5E5欧姆1E5欧姆电阻上限3.5E7欧姆3.5E7欧姆电阻在范围以内绿灯电阻不在范围以内红灯6.5.1 每个进入防静电区域的人员须进行人体综合接地效果测试，如果亮红灯，则表明测试失败，应更换工鞋/鞋套或手腕带重新进行测试并通知相关人员。6.6 人员防静电一般要求6.6.1 要求进入防静电区的人员尽量穿着棉质衣物，尽量避免穿着尼龙等合成纤维制品，以免产生强电场导致静电感应放电现象。

24、6.6.2 在防静电工作区内不得大声喧哗，坐立姿势端正，避免不必要的走动，以及不必要的大幅度身体运动，如弯腰、晃动手臂等，在防静电工作区内如有必要走动，应缓步行走，禁止奔跑。6.6.3 接触静电敏感器件及组件之前应戴好防静电腕带，防静电腕带再接入防静电地线系统，要保证腕带与皮肤接触良好，在戴腕带处皮肤上不得涂护肤油、防冻油等绝缘物质。6.6.4 手持静电敏感器件及组件时应避免接触其导电（金属管脚）部分，操作过程中应尽量减少对静电敏感器件及组件的接触次数。按需要逐一取用，不得一次倒出一堆IC散乱地放在工作台面上，已装贴有元器件的PCB板不得裸露叠放，确需暂时叠放时必须用防静电材料隔离开。6.6.

25、5 外来人员参观，必须有本公司人员全程陪同，按参观路线行进，不得随意走动，不得进入机器外围的斑马线地标，更不得随意触摸产品。7 职责7.1 生产经理、主管、科文等管理人员，职责包括：7.1.1 负责做好物料、作业员、及其他进出防静电工作区人员及物品的出入管理，确保其按ESD要求正确着装，7.1.2 确保作业员及在防静电工作区内的人员正确使用ESD设备，包括防静电工衣、防静电工帽、防静电工鞋、防静电腕带、防静电台垫、离子风机、ESD料盒和ESD地板等；7.1.3 确保无关人员不接触产品，不对产品产生静电释放；7.1.4 对怀疑是静电损伤的产品，需要保存样品并报告给相应的部门作失效分析；7.1.5

26、 定期检查防静电工衣、工鞋、腕带的ESD品质，如有品质异常，及时向采购部提出采购申请更换；7.1.6 每天检查ESD设备、台垫等的接地状况（目视），确保接地线正确的连接到ESD总线上；7.1.7 每六个月要求服务组对防静电地板进行打蜡。7.2 QC1 ESD工程师/技术员，职责包括：7.2.1 统筹全厂的ESD控制，定期对生产线的静电防护水平做出评估，并给出改善意见，提高其静电防护水平； 7.2.2 负责寻找新的防静电用品的供应商，评估新购的防静电用品的性能；7.2.3 协助人力资源部进行ESD培训；7.2.4 监督各个部门的ESD管理情况，及时反映ESD状况；7.2.5 对生产线的静电损伤样

27、品作失效分析，解决工序中的ESD情况；7.2.6 定期检查除静电离子发生器的性能，确保其正常工作；7.2.7 负责对打蜡后的地板进行测量。 7.3 行政部/维修组，职责包括：7.3.1 行政部负责派人做好清洁工作，保证车间内的相对空气湿度在各车间规定的范围内；7.3.2 维修组定期检查ESD总线的接地状况，确保其状况良好；7.3.3 服务组根据生产部的要求派人定期使用专用的防静电地板蜡水对防静电地板打蜡，打完蜡后通知QC1 ESD工程师进行电阻测试。7.4 人力资源部，职责包括：7.4.1 负责对新进厂的员工进行初步的防静电知识培训；7.4.2 定期对员工进行防静电知识培训，并进行培训的再审核

28、。7.4 开发部，职责包括：7.4.1 开发部在设计新产品时应考虑到器件的静电敏感度，尽量选用具有最大静电抗扰度的元件；7.4.2 在新产品设计阶段应尽量引入防静电网络到电路设计中去，以保护产品里面的静电敏感元件；7.4.3 要求供应商提供元器件静电敏感度的级别。包括人体模型(HBM)、机器模型(MM)和带电器件模型(CDM) (应列明何种标准)；7.4.4 做好SEF（包括防静电指标，part number等）给QC2部，供QC2部抽测来料。7.5 QA及QC2部，职责包括：7.5.1 确定ESDS敏感级别，对成品进行静电放电模拟测试，确认静电敏感度；7.5.2 根据SEF负责抽测、监控静电

29、敏感器件来料和静电敏感器件产品的品质，如发现异常，应及时反馈信息给QC1 ESD工程师或相应的部门。7.6 PE工程师/技术员，职责包括：7.6.1 定期检查防静电设备，确保其可以正常使用，包括防静电台垫、地垫、防静电容器、运输工具和其它辅助工具的表面电阻和系统电阻测试等；7.6.2 定期检查台垫和机器的接地状况，确保接地良好。7.7 TE工程师/技术员，职责包括：7.7.1 负责测试架，测试台的接地和测试工位内的防静电设备的定期检查与控制。7.8 货仓工程师/技术员，职责包括：7.8.1 负责货仓防静电措施的维护和管理。7.8.2 定期通知QC1 ESD工程师进行检测使用中的防静电用具。8

30、培训8.1 对所有可能接触或接近ESDS的人员，必须进行相关的ESD知识培训，并加以教育与训练，使之树立有效的ESD防护观念。培训的有效期为一年。人力资源部应填写员工防静电知识培训考核记录表。8.2 防静电培训的内容包括：8.2.1 静电学基础和静电损害8.2.2 静电性能测试8.2.3 防静电的标示与包装8.2.4 防静电控制8.2.5 防静电设备的使用和检测（相关人员）9 采购9.1 所有防静电用品的采购均须要按照附录16防静电制品采购流程图执行10 文件生效日期本文件从文控中心正式发行日起开始生效。11 记录序号记录名称责任部门测量周期保存期限1防静电地板电阻测试记录表QC1部6个月抽测6个月2防静电台垫电阻测试记录表PE/TE部6个月抽测6个月3静电带检查记录表生产部每天1个月4防静电包装袋 容器电阻测试记录表QC2部每一批抽测6个月5防静电周转容器电阻测试纪录表PE部6个月抽测6个月6除静电离子发生器测试记录表QC1部6个月抽测6个月7防静电手套 指套电阻测试记录表QC1部每一批抽测6个月8防静电运输工具 存放架电阻测试记录表PE部