洁净室施工与验收规范.docx

1、洁净室施工与验收规范修订版洁净室施工及验收规范的特点与适用范围现批准洁净室施工及验收规范为国家标准。编号为GB50591-2010。2011年02月01日起实施。其中第4611、556、557、558、567、637、641、1143条文为强制性条文，必须严格执行。原洁净室施工及验收规范JGJ71-90同时废止。一，编制情况简介本规范由中国建筑科学研究院会同国内有关科研、高校、设计、施工等单位共同编制。洁净室施工及验收规范修订编制组于2006/12/26在北京召开启动大会起，在22个月的时间里，开了5次调研座谈会，聘请了20多位专家、基建负责人等作为顾问，开了两次座谈会。组织40余人次，针对重

2、点或难点开展了9项专题实验和研究，完成了9篇报告、论文：编制组进行了广泛的收集、查阅资料工作，若干参编单位提供了本单位的标准、操作规程或具体技术资料。编制组对ISO系列标准、欧盟与WHO的GMP、美国FDA手册、美国微电子污染控制手册、美国制药工程指南、瑞士加拿大等国家的兽药生物安全设施手册以及国内关于微振、噪声、防静电、施工安装等文献、手册和国内29项标准规范，进行了认真的研究，获得了丰富的信息，提取了对规范有用的材料。2007年11月应台湾中华洁净学会和相关企业的邀请，组织编制组部分成员30人进行了为期10天的台湾地区的考察，举办了座谈会、报告会，参观了净化工厂，同时进行了海峡两岸关于洁净

3、室施工安装的技术交流。在各参编单位积极按分工计划完成了有关章或节的草稿基础上，于2008年3月底完成规范的第一轮草稿。经过4次讨论会和草稿定稿会，于2008年7月底草稿定稿，又经过主编单位多次组织技术人员讨论，于2008年奥运会期间完成征求意见稿。按照程序，征求意见稿已上网广泛征求意见，并专门由电子邮件或逐件发送给近30几位专家和管理人员， 或者进行了面对面交流。征求意见稿已回收了20份意见表，征集了166条修改意见，采纳的共114条，占68.7。征求意见稿至送审稿又三易其稿，改动300余处。编制组经广泛调查研究，多方征求意见，并收集整理国内外在洁净室施工验收方面的标准和相关资料。认真总结洁净

4、室施工及验收规范JGJ71-90实施以来在洁净室施工及验收方面的经验教训，对其中一些主要内容和指标进行了研究、实验和论证，最后经审查定稿。本规范共17章（652条，其中强制条文8条）和8个附录。主要内容有：总则、术语、建筑结构、建筑装饰、风系统、气体系统、水系统、化学物料供应系统、配电系统、自动控制系统、设备安装、消防系统、屏蔽设施、防静电设施、施工组织与管理、工程检验、验收。（二）关于这本规范的特点 ，通过上面“编制情况简介”，可以说： 吸取了国外先进经验，总结了国内在贯彻JGJ71-90标准20年来的实践经验，通过科学工作者的理论升华后的一份总结。立足国情，接轨国际；软硬兼备，重物重人；技

5、术先进，论理合理；过程控制，切实可行。从而实现科学性、先进性、协调性、可操作性。（三）主要条文解释：1 总则：101为在洁净室及相关受控环境（第3章起简称洁净室）的施工及验收中，贯彻国家有关的方针政策，规范施工要求，统一检验方法，明确验收标准，以保证施工和安装质量，节能、节材、节水、保护环境和安全操作的目的，制订本规范。 102 本规范适用于新建和改建的、整体和装配的、固定和移动的洁净室及相关受控环境的施工及验收。103洁净室及相关受控环境的施工及验收应符合下列规定： 1. 由具有建设主管部门批准的专业资质的施工企业，按批准的文件和图纸施工，施工人员均应经过有关洁净室的施工、验收规范的培训及考

6、核，特殊工种应持有上岗证，并应由具有专业监理资质和经过专业培训的监理机构实行全过程监理。2. 施工前应制订详尽的施工组织设计。施工中各工种之间应密切配合，按程序施工。没有图纸、技术要求和施工组织设计的工程项目不应施工。工程施工中需修改设计时应有设计单位的变更文件。对没有竣工图纸的工程项目不应进行性能验收。3. 工程所用的材料、设备、成品、半成品的规格、型号、性能及技术指标均应符合设计和国家现行有关标准的要求。并有齐全合法的质量证明文件。对质量有疑义的，必须进行检验。过期材料不得使用。4. 分部分项工程或工程中的复杂工序施工完毕后，应进行分项验收，分项验收不合格的必须返工直至合格，并记录备案。1

7、04本规范应与现行国家标准建筑工程质量验收统一标准GB50300严格配套使用。施工及验收，除执行本规范外，还应符合其他关标准和规范的规定。2 术语3 主体结构与装饰 4，建筑装饰312在主体结构未经验收前，不得进行后续工序的施工。1，主体结构不管现浇板还是砌体或钢结构均不得有渗漏现象；工艺接缝堵封严实，对填充墙应与周围结构是否严密接触，并全数检查。洁净室建筑装饰施工应与其他工种制订明确的施工协作计划和施工程序。2， 洁净室的装饰材料除应满足隔热、隔声、防振、防虫、防腐、防火、防静电等要求外，尚应保证洁净室的气密性和装饰表面不产尘、不吸尘、不积尘，并应易清洗。3，不应使用木材和石膏板直接做饰面。

8、隐蔽使用的木材应经充分干燥并做防潮防腐和防火处理，石膏板应为防水石膏板。4，施工全过程应对现场封闭清洁管理，在内进行粉尘作业时，应采取有效的防止粉尘扩散的措施。5，施工现场的环境温度不宜低于5。当在低于5的环境温度下施工时，应采取保证施工质量的措施。对有特殊要求的装饰工程，应按设计要求的温度实施。6，地面做好防水，不得有空鼓、脱皮、起砂、裂痕等现象，且平整。地面含水率4，粘贴塑胶软地面的基础地面含水率应7，制做时环境温度应10，相对湿度不得大于80%。涂布地面施工，环境温度宜不低于20，相对湿度应低于85%。7，墙面：不分新老建筑，不得有渗漏现象，基面干净，且表面应平整、洁净、色泽一致，无裂痕

9、和缺损，伸缩变形缝应用弹性材料填实磨平。阴阳角应用弧形过渡。装配式的结构其金属面板与骨架的连结应留够面板间热胀冷缩的量。金属面板背面应贴绝热层，与骨架之间应有导静电措施。焊接处、连接部位应作好防腐、防锈处理；如需现场喷涂，每层喷涂应一次完成，并注意防火。8，吊顶施工不管是新旧建筑都应在基底作业完成后且现场清洁、表面涂界面剂和涂刷涂料后，并在吊顶内各项隐藏工程验收、交接后进行施工。墙面与地面过渡如下整体墙角的圆弧做法 型材过渡墙角的圆弧做法9，门窗安装应构造应平整简洁、不易积灰、容易清洁；表面应无划痕、碰伤，型材应无开焊断裂；门扇和门框的铰链不应少于3付，缝隙应密封，窗面应与洁净室内墙壁表面齐平

10、。产生化学、放射、微生物等有害气溶胶或易燃、易爆场合的观察窗，应采用不易破碎爆裂的安全材料制作。10，对做密封胶工作的要求：密封界面应清理干净。嵌缝材料应选择不含刺激性挥发物、耐老化、抗腐蚀的中性材料，用于表面的应加抑菌剂。不同装饰材料相接处采用弹性材料密封时，应预留适当宽度和深度的槽口或缝隙。中间验收：检查原材料是否符合设计要求，检查材料出厂检验报告、质量合格保证文件和材料进场检验报告。主控项目1， 有防火、防腐、强度安全等要求的材料、构件、部件和处理方法均应严格符合设计要求。2，混凝土结构表面应平整、无裂缝、无麻面、无掉皮、无起沙。检验方法：检查构件清单和检验报告。检验数量：全部。3，是否

11、符合设计要求；4，对照规范条文逐条进行。5 风系统51 一般规定511洁净室风系统的施工安装应制订协作进度计划，与土建及其他专业工种相互配合、协调，按程序施工。512洁净室风系统施工安装应遵循不产尘、不积尘、不受潮和易清洁的原则。513洁净室风系统在制作与安装前应对施工图仔细审核。如需要施工单位深化设计，应得到原设计单位的书面同意。52 风管和配件制作1，风管制作与安装所用板材、型材以及其他主要成品材料，应符合设计要求，并应有出厂检验合格证明。材料进场时应按国家现行有关标准验收。风管应选用节能、高效、机械化加工的工艺。成品供应的风管应包装运输，并应具有材质、强度和严密性的合格证明。非金属风管应

12、提供防火及卫生检测合格证明。过滤器（高效过滤器）之前的风管材料应选用镀锌钢板或不覆油镀锌钢板。末级过滤器之后的风管材料宜用防腐性能更好的金属板材或不锈钢板。有防腐要求的排风管道应采用不产尘的、不低于难燃B1级的非金属板材制作，若有面层，面层应为不燃材料。2，镀锌钢板的镀锌层应在100号以上（双面三点试验平均值不应小于100g/），其表面不得有裂纹、结疤、划伤，不得有明显氧化层、针孔、麻点、起皮和镀层脱落等缺陷。不锈钢板应为奥氏体不锈钢材料，其表面不得有明显划痕、斑痕和凹穴等缺陷。风管板材存放处应清洁、干燥。不锈钢板应竖靠在木支架上。不锈钢板材、管材与镀锌钢板、管材不应与炭素钢材料接触，应分开放

13、置。风管制作应有专用场地，其房间应清洁，宜封闭。工作人员应穿干净工作服和软性工作鞋。卷筒板材或平板材在制作时应使用无毒性的中性清洗液并用清水将表面清洗干净，应无镀层粉化现象。不覆油板材可用约40的温水清洗，晾干后均应用不掉纤维的长丝白色纺织材料擦拭干净。不锈钢板焊接时，焊缝处应用低浓度的清洁剂擦净。风管不得有横向拼接缝，矩形风管底边宽度小于或等于900mm时，其底边不得有纵向拼接缝，大于900mm且小于或等于1800mm时，不得多于1条纵向接缝，大于1800mm且小于或等于2600mm时，不得多于2条纵向接缝。3，输送无害空气的风管，应用咬接成型。风管板材的拼接和圆形风管的闭合缝可采用单咬口；

14、弯管的横向连接缝可采用立咬口；矩形风管成形咬缝可采用联合角咬口。风管不应采用按扣式咬口。咬口缝都必须涂密封胶或贴密封胶带，在正压面实施，特殊的尺寸狭小空间或受力状况多变和运动中的受控环境以及输送特殊介质的，按设计可以采用金属螺旋形风管或金属、非金属软管。5212风管加工和安装严密性的试验压力，总管采用1500Pa，干管（含支干管）可采用1000Pa，支管可采用700Pa；也可采用工作压力作为试验压力。5213咬接和法兰连接的金属风管，应在胶封缝隙以后和绝热之前，按附录A的方法进行分段漏风检测或按国家现行标准通风与空调工程施工质量验收规范GB50243的方法进行干管和主管系统的漏风检测。1-5级

15、洁净度环境的风管应全部进行漏风检测；6-9级洁净度环境的风管应对30%的风管并不少于1个系统进行漏风检测。见下图图A实验装置原理图1. 有压气源（或现成的漏风检测装置） 2. 调节阀3. 流量计 4. 压力表 5. 风管 6.盲板检测结果应同时符合下列两项严密性指标：单位风管展开面积漏风量应符合表5.2.13-1的规定。表5.2.13-1金属咬接矩形风管单位展开面积最大漏风量（m3 / hm2）管段及其上附件试验压力（Pa）最大漏风量（m3 / hm2）总管（连接风机出、入口的管段）干管（连接总管与支管或支干管的管段）支管（连接风口的管段，包括接头短管）或支干管1500或工作压力1000或工作

16、压力700或工作压力0.011715000.65 = 1.360.0117 0.035210000.65 = 3.140.0352 0.03527000.65= 2.490.0352 注：圆形金属咬接和法兰连接风管以及非咬接、非法兰连接风管的漏风量按表中数值的50%计算。由本条第1款得出的漏风量计算得到的系统允许漏风率应符合表5.2.13-2的规定。表5.2.13-2 系统允许漏风率（漏风量/设计风量）洁净室类别合格标准非单向流单向流2%1%5.2.14 排放含有害化学气溶胶和致病生物气溶胶空气的风管应用焊接成型，并应按不低于1.5倍工作压力的试验压力进行试验，漏风量应为零。5.2.15 物料

17、收集的排风管材料应无毒、不吸附、耐腐蚀，宜采用低炭不锈钢；食品级、医用级的管道宜采用304或316不锈钢。管道应顺直、避免死角、盲管，连接风机进出口的管段应做到气流顺畅。5.2.16 风管内表面应平整光滑，不得在风管内设加固框及加固筋。5.2.17不应从总管上开口接支管，总管上的支管应通过放样制作成三通或四通整体结构，转接处应为圆弧或斜角过渡。5.2.18 加工镀锌钢板风管不应损坏镀锌层，若有损坏，损坏处（如咬口、折边、焊接处等）应刷涂优质防锈涂料两遍。5.2.19法兰和管道配件螺栓孔不得用电焊或气焊冲孔，孔洞处应涂刷防腐漆两遍。5.2.20风管与角钢法兰连接时，风管翻边应平整，并紧贴法兰，宽

18、度不应小于7mm，并剪去重叠部分，翻边处裂缝和孔洞应涂密封胶。5.2.21当用于5级和高于5级洁净度级别场合时，角钢法兰上的螺栓孔和管件上的铆钉孔孔距均不应大于65mm，5级以下时不应大于100mm。薄壁法兰弹簧夹间距不应大于100mm，顶丝卡间距不应大于100mm。矩形法兰四角应设螺栓孔，法兰拼角缝应避开螺栓孔。螺栓、螺母、垫片和铆钉应镀锌。如必须使用抽芯铆钉，不得使用端头未封闭的产品，并应在端头胶封。5.2.22 在新风经过三级过滤（末级为高中效或亚高效过滤器）、回风口上安有细菌一次通过率和尘埃按重量一次通过率均小于10的净化空调系统中，风管上不应开清扫孔。不具备上述条件时可在风管上开清扫

19、孔，清扫孔设于每20m30m长的直管段端头，清扫孔的门应严格密封、绝热。过滤器前后应设测尘测压孔，系统安装后必须将测尘测压孔封闭。5.2.23 静压箱内固定高效过滤器的框架及固定件、风阀及风口上活动件、固定件、控杆等应做镀锌、镀镍等防腐处理。5.2.24 风管和部件制作完毕应擦拭干净，并应将所有开口用塑料膜包口密封。53风管安装5.3.1风管安装应在土建作业完成后进行。安装人员应穿戴清洁工作服、手套和工作鞋。5.3.2法兰密封垫应选用弹性好、不透气、不产尘、多孔且闭孔的材料制作。不得采用乳胶海棉、泡沫塑料、厚纸板等含开孔孔隙和易产尘、易老化的材料制作。密封垫厚度宜为5mm8mm，一个系统法兰的

20、密封垫的性能和尺寸应相同。不得在密封垫表面刷涂料。5.3.3 法兰密封垫宜减少接头，接头应采用阶梯形或企口形并避开螺栓孔（图5.3.3），也可采用连续灌胶成型或冲压一体成型的密封垫。图5.3.3法兰密封垫接头对接：不正确 梯形接：正确1.密封垫 2.密封胶密封垫应擦拭干净后涂胶粘牢在法兰上，不得拉抻，不得有隆起或虚脱现象。法兰均匀压紧后，密封垫内侧应与风管内壁齐平。5.3.4 法兰上各螺栓的拧紧力矩应大小一致，应对称逐渐拧紧，安装后不应有拧紧不匀的现象。5.3.5 柔性短管应选用柔性好、表面光滑、不产尘、不透气、不产生静电和有稳定强度的难燃材料制做，安装应松紧适度、无扭曲。安装在负压段的柔性短

21、管应处于绷紧状态，不应出现扁瘪现象。柔性短管的长度宜为150mm300mm，设于结构变形缝处的柔性短管，其长度宜为变形缝的宽度加100mm以上。不得以柔性短管作为找平找正的连接管或变径管。5.3.6 当柔性短管用单层材料制做时，光面应朝里。当在管内气温低于管外气温露点条件下使用时，应采取绝热措施或采用带绝热层的成品。如采用双层材料制做柔性短管，内、外表面应为光面。5.3.7 风管和部件应在安装时拆卸封口，并应立即连接。当施工停止或完毕时，应将端口封好，若安装时封膜有破损，安装前应对风管内壁再擦拭干净。5.3.8 风管在穿过防火、防爆墙或楼板等分隔物时，应设预埋管或防护套管。预埋管或防护套管钢板

22、壁厚不应小于1.6mm，风管与套管之间空隙处应用对人无害的不燃的柔性材料封堵，然后应用密封胶封死，表面最后应进行装饰处理。5.3.9 非金属风管穿墙时必须外包金属套管。硬聚氯乙烯风管直段连接长度大于20m时，应有用软聚氯乙烯塑料制作的伸缩节，两者应焊接连接。5.3.10 潮湿地区的排风管应设不小于0.3的坡度，坡向排出方向，在末端宜设凝结水收集装置。5.3.11 擦拭风管内表面应采用不掉纤维的长丝白色纺织材料。5.3.12 风管系统不得作为其他负荷的吊挂架，支风管的重量不得由干管承受，送风末端应独立设可调节支吊架。5.3.13 风管绝热材料不应采用易破碎、掉渣和对人体有刺激作用的物质。5.4部

23、件和配件安装5.4.1风阀、消声器等部件安装时应消除内表面的油污和尘土。5.4.2 穿过阀体的旋转轴应与阀体同心，其间应设有防止泄漏的密封件。阀的各部分表面应镀锌、镀铬或喷塑处理，叶片及密封件表面应平整、光滑，叶片开启角度应有明显标志。拉杆阀不应安装在风道三通处。（主要防止漏风）5.4.3 风管内安装的定、变风量阀，阀的两端工作压力差应大于阀的启动压力。入口前后直管长度不应小于该定风量阀产品要求的安装长度，安装方向与指示相同。5.4.4 防火阀的阀门调节装置应设置在便于操作及检修的部位，并应单独设支、吊架。安装后必须检查易熔件固定状况。必要时易熔件也可在各项安装工作完毕后再安装。阀门在吊顶内安

24、装时，应在易检查阀门开闭状态和进行手动复位的位置开检查口。5.4.5 消声器、消声弯头在安装时应单独设支、吊架。5.4.6 对有恒温要求的系统，消声器外壳与风管应作绝热处理。5.4.7 穿孔板消声器孔口毛刺应锉平。（不锈材料）5.4.8 消声器内充填的消声材料应不产尘、不掉渣（纤维）、不吸潮、无污染，不得用松散材料。消声材料为纤维材料时，纤维材料应为毡式材料并应外覆可以防止纤维穿透的包材。不应采用泡沫塑料和离心玻璃棉。5.4.9 消声直段应安装在气流平稳的直管段上。（注意两件之距离）5.4.10 净化空调系统绝热工程施工应在系统严密性检验合格后进行。5.4.11 风管及部件绝热材料应采用有检验

25、合格证明的不燃或难燃材料，宜用板材粘贴形式，并宜加防潮层。5.4.12 不得在绝热层上开洞和上螺栓。风阀和清扫孔的绝热措施不应妨碍其开关。5.4.13 当绝热风管位于室外时，应在管外增设防晒、防雨淋保护壳。5.5 风口的安装5.5.1安装系统新风口处的环境应清洁，新风口底部距室外地面应大于3m，新风口应低于排风口6m以上。当新风口、排风口在同侧同高度时，两风口水平距离不应小于10m，新风口应位于排风口的上风侧。5.5.2 新风入口处最外端应有金属防虫滤网，并应便于清扫其上的积尘、积物。新风入口处应有挡雨措施，净通风面积应使通过风速在5m/s以内。5.5.3 新风过滤装置的安装应便于更换过滤器、

26、检查压差显示或报警装置。5.5.4 回风口上的百叶叶片应竖向安装。宜为可关闭的，室内回风口有效通风面积应使通风速度在2m/s以内，走廊等场所在4m/s以内。当对噪声有较严要求时，上述速度应分别在1.5m/s以内和3m/s以内。5.5.5 回风口的安装方式和位置应方便更换回风过滤器。5.5.6 为过滤有害气溶胶，在回、排风口上安有高效过滤器的洁净室及生物安全柜等装备，在安装前应用现场检漏装置对高效过滤器扫描检漏，并应确认无漏后安装。回、排风口安装后，对非零泄漏边框密封结构，应再对其边框扫描检漏，并应确认无漏；当无法对边框扫描检漏时，必须进行生物学等专门评价。5.5.7 当在回、排风口上安装动态气

27、流密封排风装置时，应将正压接管与接嘴牢靠联接，压差表应安装于排风装置近旁目测高度处。排风装置中的高效过滤器应在装置外进行扫描检漏，并应确认无漏后再安入装置。5.5.8 当回、排风口通过的空气含有高危险性生物气溶胶时，在改建洁净室拆装其回、排风过滤器前必须对风口进行消毒，工作人员人身应有防护措施。5.5.9 当回、排风过滤器安装在夹墙内并安有扫描检漏装置时，夹墙内净宽不应小于0.6m。5.6 送风末端装置的安装高效过滤器或其送风末端装置应在系统新风过滤器与中效过滤器安装完毕并可运行、对洁净室空调设备安装空间和风管进行全面、彻底清洁、对风管空吹12h之后安装。5.6.2 系统空吹时，宜关闭新风口采

28、用循环风，并在回风口设置相当于中效的预滤装置（如挂无纺布或设过滤器），全风量空吹完毕后撤走。5.6.3 空吹完毕后应再次清扫、擦净洁净室，然后立即安装高效过滤器或带高效过滤器的送风末端装置。5.6.4 安装前的高效过滤器或其送风末端装置应存放在干净的室内，并应按生产厂的标志方向搁置，叠放不应多于三层。5.6.5 高效过滤器或其送风末端装置不得在安装前拆下包装。拆下包装后，首先应进行下列检查：1.应检查产品合格证、出厂检验报告，其中应有效率、阻力和扫描检漏的实测数据，不得以过滤器所属类别定义数据代替。2. 应进行外观检查，内容应包括有无损坏；各种尺寸是否符合设计要求；框架有无毛刺和锈斑（金属框）

29、；带风机的风机安装是否可靠，转动是否正常；带装饰网或阻漏层的，装饰网或阻漏层是否完好、绷紧。5.6.6高效过滤器或其送风末端装置安装前，应再次检查承载高效过滤器或其送风末端装置的框架开口尺寸，开口尺寸不得大于高效过滤器或其送风末端的边框内净尺寸，（图5.6.6）。图5.6.6 过滤器安装尺寸1.过滤器 2.过滤器边框 3.安过滤器框架 4.框架开口A.过滤器边框内净尺寸 B.框架开口尺寸，BA5.6.7 用于以过滤生物气溶胶为主要目的、5级或5级以上洁净室或者有专门要求的送风高效过滤器或其末端装置安装后，应逐台进行现场扫描检漏，并应合格。5.6.8 5级以下以过滤非生物气溶胶为主要目的的洁净室

30、的送风高效过滤器或其末端装置安装后应现场进行扫描检漏，检漏比例不应低于25。扫描高效过滤器现场检漏方法可按附录E的方法执行。5.6.9高效过滤器和框架之间采用密封垫密封、负压密封、液槽密封、双环密封和动态气流密封等方法时，都应将填料表面、过滤器边框表面和框架表面及液槽擦拭干净。不得在高效过滤器边框与框架之间直接涂胶密封。5.6.10 采用密封垫时，压缩率宜为25%30%，不得将密封垫压死。密封垫材质和接头形式应符合本规范第5.3.25.3.3条的规定。当用螺栓、压块压紧密封垫时，四角应压紧，不得只压边框中点。当过滤器尺寸大于320mm时，应至少采用四角8点压紧。5.6.11 采用液槽密封时，液

31、槽内的液面高度应符合设计要求或不超过槽深2/3，框架各接缝处不得有渗液现象；采用双环密封条时，粘贴密封条时不应把环腔上的孔眼堵住；双环密封、负压密封、动态气流密封都应保持负压或正压管、槽畅通；采用阻漏层和风机过滤器单元（FFU）时，边框不应用胶封，应设柔软隔层使其处于自然压紧状态。5.6.12 安装高效过滤器时，外框上箭头和气流方向必须一致，当其垂直安装（包括码放）时，滤纸折痕缝应垂直于地面。5.6.13 高效和亚高效过滤器安装过程中，室内不得进行带尘、产尘作业，安装完后应用塑料薄膜将出风面封住，暂时不上扩散板等装饰件。6 气体系统洁净室气体系统施工包含工作压力一般不高于1MPa洁净的和高纯的永久气体（临界温度低于-10的气体）、特种气体、医用气体、可燃气体、惰性气体输送管道以及真空吸引管道等的施工与验收。1， 管材及附件气体系统管道材质及附件，应按设计要求选配，如设计未作明确要求，选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应，并应符合下列规定：1.应使用无缝管材。 2.管材内表面吸附、解吸气体的作用小。3.管材内表面应光滑、耐磨损。4.应具有良好的抗腐蚀性能。5.管