日本专利离子溅射.docx

1、日本专利离子溅射2002-88467（書誌要約請求範囲）-(19)【発行国】日本国特許庁（）(12)【公報種別】公開特許公報（）(11)【公開番号】特開（）(43)【公開日】平成年月日（）(54)【発明名称】乾式表面処理用装置装置用乾式表面処理方法(51)【国際特許分類第版】 C23C 14/24 B24C 1/00 3/28 H01F 41/02 【】 C23C 14/24 J B24C 1/00 Z 3/28 H01F 41/02 G 【審査請求】未請求【請求項数】【出願形態】【全頁数】(21)【出願番号】特願（）(22)【出願日】平成年月日（）(31)【優先権主張番号】特願（）(32)【

2、優先日】平成年月日（）(33)【優先権主張国】日本（）(71)【出願人】【識別番号】【氏名又名称】住友特殊金属株式会社【住所又居所】大阪府大阪市中央区北浜丁目番号(72)【発明者】【氏名】西内 武司【住所又居所】大阪府三島郡島本町江川丁目番号 住友特殊金属株式会社山崎製作所内(72)【発明者】【氏名】嶋本 育夫【住所又居所】兵庫県養父郡養父町大薮番地 近畿住特電子株式会社内(72)【発明者】【氏名】三角 信弘【住所又居所】兵庫県養父郡養父町大薮番地 近畿住特電子株式会社内(72)【発明者】【氏名】栃下 佳己【住所又居所】兵庫県養父郡養父町大薮番地 近畿住特電子株式会社内(74)【代理人】【識別

3、番号】【弁理士】【氏名又名称】清水 善廣 （外名）【（参考）】4K0295E062【（参考）】4K029 AA04 BA03 CA01 CA03 DB03 JA02 5E062 CD04 CG07 -(57)【要約】【課題】 特、平板形状弓形形状希土類系永久磁石被処理物対、両面均一処理施乾式表面処理用装置提供。【解決手段】 処理室内、表面処理材料供給部、被処理物収容多孔性周面有筒型備、前記筒型横設水平方向回転軸線中心回転被処理物表面処理行乾式表面処理装置、前記筒型、前記筒型回転収容被処理物前記筒型内周面沿摺動停止摺動停止部有特徴。-【特許請求範囲】【請求項】 処理室内、表面処理材料供給部、被処

4、理物収容多孔性周面有筒型備、前記筒型横設水平方向回転軸線中心回転被処理物表面処理行乾式表面処理装置、前記筒型、前記筒型回転収容被処理物前記筒型内周面沿摺動停止摺動停止部有特徴装置。【請求項】 前記筒型回転軸線対垂直方向断面形状内角角部少有形状、前記角部摺動停止部特徴請求項記載装置。【請求項】 前記筒型回転軸線対垂直方向断面形状内角角部少有多角形、前記角部摺動停止部特徴請求項記載装置。【請求項】 前記筒型回転軸線対垂直方向断面形状正三角形特徴請求項記載装置。【請求項】 前記筒型回転軸線対垂直方向断面形状正方形特徴請求項記載装置。【請求項】 前記筒型回転軸線対垂直方向断面形状菱形特徴請求項記載装置

5、。【請求項】 前記筒型回転軸線対垂直方向断面形状少一部凸状湾曲形状特徴請求項記載装置。【請求項】 前記筒型回転軸線対垂直方向断面形状楕円型凸型特徴請求項記載装置。【請求項】 前記筒型内周面突出部設、前記突出部摺動停止部特徴請求項記載装置。【請求項】 前記突出部前記筒型回転軸線対垂直方向断面形状回転方向前方側接線角度設特徴請求項記載装置。【請求項】 前記突出部形状櫛状、板状、棒状特徴請求項記載装置。【請求項】 前記突出部個個設特徴請求項乃至記載装置。【請求項】 前記筒型内部前記筒型回転軸線対垂直方向設仕切部材以上分割形成複数区画収容部特徴請求項乃至記載装置。【請求項】 前記仕切部材線状部材構成多

6、孔性形状特徴請求項記載装置。【請求項】 前記筒型内部前記筒型回転軸線対垂直方向断面形状以上分割形成複数区画室特徴請求項乃至記載装置。【請求項】 前記区画室回転軸線対垂直方向断面形状内角角部少有形状、前記角部摺動停止部特徴請求項記載装置。【請求項】 前記区画収容部区画室毎被処理物個収容特徴請求項乃至記載装置。【請求項】 前記多孔性周面状周面特徴請求項乃至記載装置。【請求項】 前記多孔性周面状周面特徴請求項乃至記載装置。【請求項】 前記筒型水平方向回転軸線中心回転自在支持部材回転軸線周方向外方環状複数個支持特徴請求項乃至記載装置。【請求項】 乾式表面処理用装置蒸着装置特徴請求項乃至記載装置。【請求

7、項】 乾式表面処理用装置加工装置特徴請求項乃至記載装置。【請求項】 請求項乃至記載乾式表面処理用装置用被処理物処理行特徴乾式表面処理方法。【請求項】 前記被処理物平板形状弓型形状希土類系永久磁石特徴請求項記載乾式表面処理方法。【請求項】 前記摺動停止部支点被処理物表裏反転処理行特徴請求項記載乾式表面処理方法。【請求項】 請求項乃至記載乾式表面処理方法表面処理特徴希土類系永久磁石。詳細説明-【発明詳細説明】【】【発明属技術分野】本発明、特、平板形状弓形形状希土類系永久磁石被処理物対、両面均一蒸着被膜形成蒸着装置表面加工施加工装置、乾式表面処理好適装置関。【】【従来技術】系永久磁石代表系永久磁石希

8、土類系永久磁石、高磁気特性有、今日様分野使用。、希土類系永久磁石、大気中酸化腐食金属種（特）含。故、表面処理行使用場合、酸水分影響表面腐食進行錆発生、伴、磁気特性劣化招。、磁気回路装置組込磁石錆発生場合、錆飛散周辺部品汚染恐。上記点鑑、希土類系永久磁石優耐食性付与目的、表面蒸着被膜形成行。従来、希土類系永久磁石表面蒸着被膜形成使用蒸着装置、例、米国特許号公報Graham Legge :Ion Vapor Deposited Coatings for Improved Corrosion Protection: Reprinted from Industrial Heating, Septemb

9、er, 135-140, 1994記載装置。図、一例、図略真空排気系連真空処理室内部模式的正面図（一部透視図）。室内上方、例、製金網形成円筒形水平方向回転軸線中心回転自在個併設。、室内下方、蒸着材料蒸発蒸発部、支持上立設支持台上複数個配置。、装置、被処理物、例、平板形状希土類系永久磁石円筒形内複数個収容、円筒形矢示回転軸線中心回転、図略加熱手段所定温度加熱蒸発、円筒形内磁石表面蒸着被膜形成。【】【発明解決課題】図示蒸着装置、大量処理可能、生産性優。、装置構成上、磁石対蒸着材料蒸着一方向、蒸発部面側片面優先的成膜、特、平板形状弓形形状磁石処理場合、蒸発部面側面反対側面、形成被膜膜厚大生。現象、単

10、重以上大型磁石、図示、磁石円筒形回転伴内周面沿摺動、片面常蒸発部面顕著。【】、従来、希土類系永久磁石表面加工、即、表面形成酸化層除去、表面清浄、表面処理被膜仕上加工加工装置用。加工装置種分類、例、型装置、複数磁石装置内挿入、該回転磁石攪拌、開口部磁石対投射材投射投射配置（特開平号公報参照）。、装置、磁石対投射材投射開口部行、前記蒸着装置同様、特、平板形状弓形形状磁石処理場合、両面間加工程度大生。【】、本発明、特、平板形状弓形形状希土類系永久磁石被処理物対、両面均一蒸着被膜形成蒸着装置表面加工施加工装置、乾式表面処理好適装置提供目的。【】【課題解決手段】本発明、上記点鑑、本発明乾式表面処理用装置

11、、請求項記載通、処理室内、表面処理材料供給部、被処理物収容多孔性周面有筒型備、前記筒型横設水平方向回転軸線中心回転被処理物表面処理行乾式表面処理装置、前記筒型、前記筒型回転収容被処理物前記筒型内周面沿摺動停止摺動停止部有特徴。、請求項記載装置、請求項記載装置、前記筒型回転軸線対垂直方向断面形状内角角部少有形状、前記角部摺動停止部特徴。、請求項記載装置、請求項記載装置、前記筒型回転軸線対垂直方向断面形状内角角部少有多角形、前記角部摺動停止部特徴。、請求項記載装置、請求項記載装置、前記筒型回転軸線対垂直方向断面形状正三角形特徴。、請求項記載装置、請求項記載装置、前記筒型回転軸線対垂直方向断面形状正

12、方形特徴。、請求項記載装置、請求項記載装置、前記筒型回転軸線対垂直方向断面形状菱形特徴。、請求項記載装置、請求項記載装置、前記筒型回転軸線対垂直方向断面形状少一部凸状湾曲形状特徴。、請求項記載装置、請求項記載装置、前記筒型回転軸線対垂直方向断面形状楕円型凸型特徴。、請求項記載装置、請求項記載装置、前記筒型内周面突出部設、前記突出部摺動停止部特徴。、請求項記載装置、請求項記載装置、前記突出部前記筒型回転軸線対垂直方向断面形状回転方向前方側接線角度設特徴。、請求項記載装置、請求項記載装置、前記突出部形状櫛状、板状、棒状特徴。、請求項記載装置、請求項乃至記載装置、前記突出部個個設特徴。、請求項記載装

13、置、請求項乃至記載装置、前記筒型内部前記筒型回転軸線対垂直方向設仕切部材以上分割形成複数区画収容部特徴。、請求項記載装置、請求項記載装置、前記仕切部材線状部材構成多孔性形状特徴。、請求項記載装置、請求項乃至記載装置、前記筒型内部前記筒型回転軸線対垂直方向断面形状以上分割形成複数区画室特徴。、請求項記載装置、請求項記載装置、前記区画室回転軸線対垂直方向断面形状内角角部少有形状、前記角部摺動停止部特徴。、請求項記載装置、請求項乃至記載装置、前記区画収容部区画室毎被処理物個収容特徴。、請求項記載装置、請求項乃至記載装置、前記多孔性周面状周面特徴。、請求項記載装置、請求項乃至記載装置、前記多孔性周面状

14、周面特徴。、請求項記載装置、請求項乃至記載装置、前記筒型水平方向回転軸線中心回転自在支持部材回転軸線周方向外方環状複数個支持特徴。、請求項記載装置、請求項乃至記載装置、乾式表面処理用装置蒸着装置特徴。、請求項記載装置、請求項乃至記載装置、乾式表面処理用装置加工装置特徴。、本発明乾式表面処理方法、請求項記載通、請求項乃至記載乾式表面処理用装置用被処理物処理行特徴。、請求項記載乾式表面処理方法、請求項記載乾式表面処理方法、前記被処理物平板形状弓型形状希土類系永久磁石特徴。、請求項記載乾式表面処理方法、請求項記載乾式表面処理方法、前記摺動停止部支点被処理物表裏反転処理行特徴。、本発明希土類系永久磁石

15、、請求項記載通、請求項乃至記載乾式表面処理方法表面処理特徴。【】【発明実施形態】本発明乾式表面処理用装置、処理室内、表面処理材料供給部、被処理物収容多孔性周面有筒型備、前記筒型横設水平方向回転軸線中心回転被処理物表面処理行乾式表面処理装置、前記筒型、前記筒型回転収容被処理物前記筒型内周面沿摺動停止摺動停止部有特徴。【】本発明乾式表面処理用装置有摺動停止部、筒型回転収容被処理物筒型内周面沿摺動停止、支点被処理物効率的表裏反転、被処理物表裏両面表面処理材料供給部面時間均等化。従、本発明乾式表面処理用装置、特、平板形状弓形形状希土類系永久磁石被処理物対、両面均一蒸着被膜形成表面加工施、蒸着装置加工装

16、置好適使用。【】本発明乾式表面処理用装置蒸着装置使用場合、処理室真空処理室意味、表面処理材料供給部装置表面処理材料蒸着材料蒸発部意味。蒸着装置、真空蒸着法被膜形成装置、法被膜形成装置。蒸着材料、一般的使用金属合金、例、亜鉛、金属成分少一成分含合金他、酸化窒化挙、中、形成被膜耐食性優加、部品組込時必要接着剤接着信頼性優（接着剤本質的有破壊強度達被膜接着剤間剥離生）、強接着強度要求希土類系永久磁石被処理物場合好適。【】本発明乾式表面処理用装置加工装置使用場合、表面処理材料供給部投射意味。装置表面処理材料投射材、金属系投射材（社商品名）非金属系投射材加工目的応適宜選択。【】筒型有多孔性周面、筒型収容

17、被処理物表面処理材料到達、代表的状周面挙。状周面、例、製金網用作製挙。製金網、例、板打抜得網状板、製線状部材編。、多孔性周面、状周面。状周面、例、製線状部材隙間存縞状並作製挙。、多孔性周面格子状周面。多孔性周面開口率（周面全体面積対開口部面積割合）、被処理物形状大依存、望、望。開口率小、周面表面処理材料供給部被処理物間障壁、処理効率低下恐、開口率大、周面加工時他取扱際変形破損恐。、周面厚、開口率強度考慮選定、望。、取扱容易性考慮、望。【】水平方向回転軸線中心筒型回転、自転軸線中心自転、公転軸線中心公転。、自転軸線中心自転公転軸線中心公転。【】本発明乾式表面処理用装置用好適処理被処理物、表面蒸着被膜形成表面加工必要、特段制限。、本発明乾式表面処理用装置、特、平板形状弓形形状希土類系永久磁石、単重以上大型磁石処理対好適適用。【】本発明乾式表面処理用装置第一例、処理室内、表面処理材料供給部、被処理物収容多孔性周面有筒型備、前記筒型横設水平方向回転軸中心回転被処理物表面処理行乾式表面処理装置、前記筒型回転軸線対垂直方向断面形状内角