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1、单晶硅项目环评报告书(此文档为word格式，下载后您可任意编辑修改！) 银笛（扬州）微电子有限公司年产300万单晶硅抛光片、60万硅外延片项目环境影响报告书（简本）银笛（扬州）微电子有限公司2006年9月1 总论 11.1 任务由来 11.2 评价目的 11.3 编制依据 21.4 评价原则 41.5 评价重点 51.6 评价因子 51.7 评价等级 51.8 评价范围 61.9 评价工作技术路线 72 建设项目周围地区环境概况 82.1 自然环境概况 82.2 社会环境状况 132.3 经济开发区总体规划 132.4 开发区环境功能区划 182.5 评价标准 182.6 建设项目环境保护目标

2、 203 工程分析 223.1 本项目概况 223.2 生产工艺流程及原辅料能源消耗 273.3 主要生产、公用及贮运设备 353.4 公用工程 353.5 污染源分析 374 污染防治措施 504.1 大气污染防治措施评述 504.2 水污染防治措施评述 524.3 噪声污染防治措施评述 564.4 固体（废液）污染防治措施评述 564.5 非正常排放防范措施 574.6 绿化 574.7 排污口规范化设置 594.8 环保投资及“三同时” 595 清洁生产与循环经济分析 625.1 产业政策相符性分析 625.2 清洁生产 625.3 循环经济 646 环境质量现状评价 656.1 大气环

3、境质量现状监测与评价 656.2 地表水环境质量现状监测及评价 677 环境影响预测及评价 727.1 大气环境影响预测及评价 727.2 地表水环境影响分析 857.3 声环境影响分析 857.4 固废环境影响分析 878 施工期环境影响分析与防治 888.1 施工期环境影响分析 888.2 施工期环境影响防治 899 总量控制分析 929.1 总量控制要求 929.2 总量控制原则 929.3 总量控制因子 929.4 总量控制指标 929.5 总量平衡方案 9310 环境风险评价 9410.1 风险评价等级的确定 9410.2 风险识别 9510.3 源项分析 9610.4 事故防范 9

4、710.5 结论 10111 项目厂址可行性分析 10211.1 项目选址与规划相容性 10211.2 项目选址与评价区域的环境质量现状的相容性分析 10211.3 本项目实施后对周围环境的影响 10312 公众参与 10412.1 建设项目环评公众参与公示 10412.2 公众意见问卷调查 10413 环境经济损益分析 10913.1 经济效益分析 10913.2 社会效益分析 10913.3 环境效益分析 10914 环境管理与监控计划 11114.1 环境管理 11114.2 环境监控计划 11214.3 排污口规范化设置 11315 结论与建议 11515.1 结论 11515.2 建

5、议 1191 总论1.1 任务由来新加坡银笛科技（控股）私人股份有限公司，经过多年的攻关，攻克了功率场控器件用高阻厚外延和亚微米、深亚微米CMOS器件薄层外延制造技术，该成果得到了国家相关部委及高科技产品认定中心的认定。新加坡银笛科技（控股）私人股份有限公司已在上海金桥出口加工区投资建设了外延片的生产基地，由于现目前国内半导体材料市场严重供不应求，为了满足国内外半导体市场的需求，决定在江苏省仪征经济开发区投资设立银笛（扬州）微电子有限公司，年产300万硅抛光片、60万硅外延片，主要生产412英寸的硅抛光片以及68英寸的硅外延片。本项目的建设有利于加速集成电路芯片主要材料的国产化进程。按照中华人

6、民共和国环境保护法、中华人民共和国环境影响评价法和建设项目环境保护管理条例的有关规定，应当在工程项目可行性研究阶段对该项目进行环境影响评价。为此，银笛（扬州）微电子有限公司于2006年8月委托苏州工业园区新东方环境保护科学研究所承担该项目环境影响报告书的编制工作。我单位接受委托后，即认真研究该项目的有关资料，并踏勘现场的社会、自然环境状况，调查、收集有关工程现有状况及拟建项目资料，通过对项目所在区域的环境特征和本项目的工程特征进行深入分析，编写了环境影响报告书。通过环境影响评价，了解建设项目周围的环境状况，预测建成后对周围水气声环境的影响程度和范围，并提出防治污染措施，减缓建设项目对周围环境的

7、影响，为建成后的环境管理提供科学依据。2 主要环境保护目标表2-1环境保护目标环境要素环境保护对象方位距离（m）规模环境功能大气环境蒲新村（待拆迁）南100100户二类区水环境长江南2000类水体仪征与仪化水源取水口东1200050万吨/天扬州水厂取水口西8000声环境厂界周围厂界3类区3 本项目概况(a) 本项目名称、建设地点、建设性质、投资总额、环保投资项目名称：银笛（扬州）微电子有限公司年产300万单晶硅抛光片、60万硅外延片项目建设地点：江苏省仪征经济开发区新区建设性质：外商投资新建投资总额：新建项目投资总额8000万美元，其中环保投资576万元(b) 本项目建设内容银笛（扬州）微电子

8、有限公司向仪征市高新技术开发区提出生产、办公用房及生产设施的建设要求，仪征市经济开发区按要求建造厂房及相应的设施，然后租赁给银笛(扬州)微电子有限公司使用。租用厂房面积约48680，包括外延片生产厂房、抛光片生产厂房、综合动力站、化学品库、办公楼、门卫等。设施主要包括供水系统、循环冷却水系统、纯水系统、变配电系统、应急电源、通信信息及生命安全系统、空调净化系统、压缩空气系统、制冷及供热系统、环保设施（废水处理站、废气处理设施）、消防设施、劳动保护安全设施以及室外工程等。项目主体工程与设计能力情况见表3-1，公用及辅助工程的组成见表3-2。表3-1 项目主体工程与设计能力序号工程名称（车间或生产

9、线）产品名称及规格设计能力/年运行时数1单晶硅抛光片4英寸40万片8520h6英寸150万片8英寸80万片12英寸30万片合计300万片2硅外延片6英寸30万片8英寸30万片合计60万片表3-2 公用及辅助工程类别建设名称设计能力备注贮运工程甲类化学品仓库面积200m2采用防腐蚀环氧树脂地面，主要存放硫酸、硝酸、双氧水、盐酸、氢氟酸、氨酸和氢氧化钠溶液等仓库面积4000 m2主要存放原料单晶硅棒、硅衬底材料和成品废弃物仓库面积100 m2存放各类酸碱废液和固体废弃物气体供应站面积4000 m2由专业公司建站制造，提供氢气、氮气等特气存储特种气体存放于进口的特气钢瓶柜，HCl、SiHCl3钢瓶柜

10、各2个，PH3、B2H6各一个公用工程给水102.1万t/a仪征经济开发区给水管网提供排水65.93万t/a生产废水经厂内自建废水处理站处理达到接管标准后和生活污水进入真州污水处理厂处理供电5452.8万度由开发区的110KV变电所提供纯水制备110t/h纯水制备系统供纯水，用于满足生产中的使用纯水循环冷却系统400t/h公司设有一套由水泵、冷却水塔、循环水箱等组成的冷却循环系统。供汽为了满足生产中对热源的需要和冬天采暖，本项目年消耗蒸汽量为的10万吨，有开发区的供气管网提供。空调系统为改善劳动环境，满足生产需要，设置一套中央空调系统，由冷却塔、加压泵和冷冻机组成。绿化为美化环境、净化空气、降

11、低噪声，厂内在空闲地带、道路两侧进行种草植树，绿化面积51979 m2，绿化达到38.8%环保工程废气处理对工程中产生的各种废气采用技术可行、经济合理的治理措施，即酸性废气进入采用碱液进行淋洗；碱性废气采用酸液进行淋洗；甲苯采用活性炭吸附；特性废气采用专门的湿式外延气体清洗器处理，各种废气均达标排放废水处理公司建设一套废水处理设施，针对不同水质，采用不同方式，对生产废水进行有效处理，达到接管标准后和生活污水进入真州污水处理厂处理，经处理达标后，统一排入长江仪征段噪声处理采用低噪声设备、隔声减震、绿化吸声等措施固废处理按照规定对产生的固体废物进行处置(c) 占地面积、厂区布置占地面积：本项目总占

12、地面积133334m2，所占土地为仪征经济开发区新区高新技术产业用地。厂区布置：厂区包括生产用房、办公楼、辅助生活设施、甲类化学品仓库、仓库、成品仓库、气体供应站、综合动力站及发展预留用地等(d) 职工人数、工作制度职工人数：公司职工总人数220人，其中技术人员160人。工作制度：预计年工作日355天，每天工作24小时，年工作时数为8520小时。3.2 生产工艺流程及原辅料能源消耗(a) 生产工艺流程一、单晶硅抛光片制作生产工艺流程具体介绍如下：固定：将单晶硅棒固定在加工台上。切片：将单晶硅棒切成具有精确几何尺寸的薄硅片。此过程中产生的硅粉采用水淋，产生废水和硅渣。退火：双工位热氧化炉经氮气吹

13、扫后，用红外加热至300500，硅片表面和氧气发生反应，使硅片表面形成二氧化硅保护层。倒角：将退火的硅片进行修整成圆弧形，防止硅片边缘破裂及晶格缺陷产生，增加磊晶层及光阻层的平坦度。此过程中产生的硅粉采用水淋，产生废水和硅渣。分档检测：为保证硅片的规格和质量，对其进行检测。此处会产生废品。研磨：用磨片剂除去切片和轮磨所造的锯痕及表面损伤层，有效改善单晶硅片的曲度、平坦度与平行度，达到一个抛光过程可以处理的规格。此过程产生废磨片剂。清洗：通过有机溶剂的溶解作用，结合超声波清洗技术去除硅片表面的有机杂质。此工序产生有机废气和废有机溶剂。RCA清洗：通过多道清洗去除硅片表面的颗粒物质和金属离子。具体

14、工艺流程如下：SPM清洗：用H2SO4溶液和H2O2溶液按比例配成SPM溶液，SPM溶液具有很强的氧化能力，可将金属氧化后溶于清洗液，并将有机污染物氧化成CO2和H2O。用SPM清洗硅片可去除硅片表面的有机污物和部分金属。此工序会产生硫酸雾和废硫酸。DHF清洗：用一定浓度的氢氟酸去除硅片表面的自然氧化膜，而附着在自然氧化膜上的金属也被溶解到清洗液中，同时DHF抑制了氧化膜的形成。此过程产生氟化氢和废氢氟酸。APM清洗： APM溶液由一定比例的NH4OH溶液、H2O2溶液组成，硅片表面由于H2O2氧化作用生成氧化膜（约6nm呈亲水性），该氧化膜又被NH4OH腐蚀，腐蚀后立即又发生氧化，氧化和腐蚀

15、反复进行，因此附着在硅片表面的颗粒和金属也随腐蚀层而落入清洗液内。此处产生氨气和废氨水。HPM清洗：由HCl溶液和H2O2溶液按一定比例组成的HPM，用于去除硅表面的钠、铁、镁和锌等金属污染物。此工序产生氯化氢和废盐酸。DHF清洗：去除上一道工序在硅表面产生的氧化膜。磨片检测：检测经过研磨、RCA清洗后的硅片的质量，不符合要求的则从新进行研磨和RCA清洗。腐蚀A/B：经切片及研磨等机械加工后，晶片表面受加工应力而形成的损伤层，通常采用化学腐蚀去除。腐蚀A是酸性腐蚀，用混酸溶液去除损伤层，产生氟化氢、NOX和废混酸；腐蚀B是碱性腐蚀，用氢氧化钠溶液去除损伤层，产生废碱液。本项目一部分硅片采用腐蚀

16、A，一部分采用腐蚀B。分档监测：对硅片进行损伤检测，存在损伤的硅片重新进行腐蚀。粗抛光：使用一次研磨剂去除损伤层，一般去除量在1020um。此处产生粗抛废液。精抛光：使用精磨剂改善硅片表面的微粗糙程度，一般去除量1 um以下，从而的到高平坦度硅片。产生精抛废液。检测：检查硅片是否符合要求，如不符合则从新进行抛光或RCA清洗。检测：查看硅片表面是否清洁，表面如不清洁则从新刷洗，直至清洁。包装：将单晶硅抛光片进行包装。二、硅外延片制作生产工艺流程具体介绍如下：纯水洗：简单清洗，去除硅衬底材料表面的表面杂质。外延生长：外延炉经氯化氢和氮气吹扫清洗后，通入SiHCl3和H2，为了满足硅片的电学性能，还

17、要掺入50ppm的特种气体PH3或B2H6，红外加热至11001200下，通过化学气相沉积法在硅衬底材料上生长一层与衬底材料具有相同晶格排列的单晶硅，形成单晶硅外延片。有99% 的SiHCl3、PH3、B2H6参加反应。此工序产生的废气主要是氯化氢，还有一些没有反应的PH3、B2H6和SiHCl3；外延炉的石墨基座和石英夹套需要定期更换，产生废石英和废石墨。具体反应如下：SPM清洗：去除硅片表面的杂质。此处产生硫酸雾和废硫酸。碱洗：去除上一道工序在硅片表面形成的氧化膜。测试检验：测量外延层厚度和电特性参数、片内厚度和电特性均匀度、片与片间的重复性及杂质颗粒等是否符合相应的指标。此处会产生一些废

18、品。真空包装：通过工艺真空系统对产品进行真空包装。外延炉石英管清洗：在外延生长中会在外延炉的石英管上沉积一些杂质。(b) 主要原辅料及能源消耗主要原辅料、能源消耗见表3-3。表3-3 主要原辅料及能源消耗类别名称重要组份、规格、指标年耗量存贮量来源及运输单晶硅抛光片和硅外延片单晶硅棒99.99%Si2000t167t主要原辅料进口，部分于国内购买。运输主要以陆地运输为主。研磨剂SiO230%，有机碱 70%水60t6t精磨剂SiO210%，(C6H10O5)n，1%无机碱水89%40t4t精磨剂SiO210%10.2t1t磨片剂Al2O345%ZrO233%SiO220%Fe2O30.5%Ti

19、O22%101t9t溶剂(CH3)2CHOH 56%C6H5CH3 24%固形分 20%4t0.4t混酸HF 7.2%HNO3 41.2%CH3COOH 18.1%280t1t氢氟酸HF 49%80t1t单晶硅抛光片和硅外延片盐酸HCl 35%12t1tH2O2H2O2 31%290t25tHNO363%54L5LH2SO498%3750L312LNaOHNaOH 48%68 t6tNaOHNaOH 3%25 t2.1t氨水NH4OH 28%180 t3t硅衬底材料单晶硅99.999%64万片6万片SiHCl312t0.055tHCl7.5t0.055t石英（配件）SiO20.1t0.01t石

20、墨（配件）C0.5t0.05tPH30.0002t0.0002tB2H60.0002t0.0002tH299.99999%以上36万m3N299.9995%以上、99.99999%90万m3工艺真空85.8万m3压缩空气87万m3活性炭1.5t新鲜水自来水H2O水网电电5452.8万度电网燃料燃气天然气85.2万m3气网3.3 主要生产、公用及贮运设备项目主要的生产、公用、贮运设备见表3-5。表3-5 主要设备清单类型设备名称规格型号数量（台、套）产地生产抛光机SILTEC 99美国双面抛光机SPEEDFAM10美国抛光机STRASBAUGH10美国内圆切片机QP613ID SAWER10美国

21、磨片机OKAMOTO12日本双工位热氧化炉Oxidation Furnace3美国全自动硅片清洗机DNS4美国生产清洗机Verteq Cobra2美国清洗机AKRION2美国外延炉ASM-EPSilon20006美国外延炉Epipro50006美国尾气处理器DAS Epitaxy Scrubber2德国外延膜测厚仪ECO/RS2美国电阻测试仪RESMAP1782美国表面颗粒度检测仪WITS-CR822美国干涉显微镜MX502日本烘箱T67602德国硅片清洗系统Bold Clean Bench2美国硅片甩干机SRD-870/8802美国特种气体柜Uni-tech6美国电阻率测试仪SSM4902美

22、国公用燃气热水锅炉2.8MW2进口纯水设备160t/h1进口循环冷却水系统4000kW1国产3.4 公用工程(a) 供电项目用电由开发区110KV的变电所提供，日用电量约153600kwh。(b) 供水项目供水由开发区的给水管网提供，开发区内建有日供水能力20万吨的自来水厂二座。(c) 供热为了满足生产工艺中对热源的需要以及解决冬天的采暖问题，本项目采用蒸汽供热，年消耗的蒸汽10万吨有开发区的供热管网提供。(d) 纯水制备项目设有一套超纯水制备设施，其制备能力为110t/h，根据生产需要每天制备纯水2099.8t/d，产生的浓水和反冲洗水642t/d作为清下水排放，其超纯水制备工艺流程如下：(

23、e) 排水项目采用雨污分流、清污分流的排水体制。废水包括生产废水1808.3t/d、生活污水49t/d和清洁排水648t/d。生产废水经过有效预处理达到接管标准后与生活污水通过开发区管网排入真州污水处理厂集中处理，达标后排入长江仪征段。清洁排水通过雨水管网排入附近河流。(f) 氢气、氮气的供应生产工艺中需要的氢气、氮气由大宗气体供应商在本厂区建造配套气站，供应氢气和氮气。氢气制备原理：通过水电解便可得到普通氢气，经过催化除氧，吸附干燥和过滤除尘后获得高纯氢气；氮气制备原理：变压吸附制氮采用碳分子筛为吸附剂。一定的压力下，碳分子筛对空气中的氧的吸附远大于氮，因此通过可编程序控制气动阀的启闭，A、

24、B两塔可以交替循环，加压吸附、减压脱附，完成氧氮分离，得到所需纯度的氮气。3.5 污染源强及污染物排放量分析（1）大气污染物产生及排放情况项目在生产过程中排放的大气污染物主要包括生产工艺废气：甲苯、异丙醇、HF、HCl、H2SO4、NOx、NH3、SiHCl3、PH3、B2H6。有组织排放废气项目在生产过程中产生的有组织排放废气的种类与产生环节见表3-6。表3-6 项目有组织排放废气的种类与产生环节排气筒废气类别废气编号污染物名称产生环节1#有机废气G1甲苯、异丙醇清洗2#酸性废气G2、G9、G15H2SO4RCA清洗G3、G6、G7、G10、G13、G17HFRCA清洗、腐蚀A、外延炉石英管

25、清洗G5、G12HClRCA清洗G8、G18NOx腐蚀A、外延炉石英管清洗3#碱性废气G4、G11、G16NH3RCA清洗、碱清洗4#特种废气G14HCl、SiHCl3、FH3、B2H6外延生长银笛（扬州）微电子有限公司对生产中的工艺废气采取的治理措施为：甲苯废气采用活性碳吸附，去除效率达到80%；酸性废气用碱液进行喷淋吸收，去除率为90%；对碱性废气采用酸液进行喷淋吸收，去除效率为95%以上；对特种废气HCl、SiHCl3、PH3、B2H6 废气采用湿式外延气体清洗器去除，SiHCl3、HCl、B2H6的去除效率99%。拟建工程大气污染物三本帐情况见表3-7。表3-7 拟建项目大气污染物三本

26、帐 单位t/a污染物产生量削减量排放量甲苯0.102 0.082 0.020 异丙醇0.239 0.191 0.048 HF6.134 5.521 0.613 HCl 17.732 17.506 0.226 H2SO40.818 0.736 0.082 NOx11.587 10.428 1.159 NH34.984 4.735 0.249 SiHCl30.120 0.119 0.001 PH3210-6210-81.9810-6B2H6210-61.9810-6210-8无组织排放废气拟建项目所用的氢氟酸采用0.5L的PVC瓶存储；盐酸、硝酸、硫酸、氢氧化钠溶液采用0.5L或3L的玻璃品包装存

27、储；氨水采用3L或4L的PVC瓶存储；硅外延片制作需要的特种废气HCl 、SiHCl3、PH3和B2H6用钢瓶柜存储，钢瓶柜自带减压装置、阀门盘。项目的生产车间设计为密闭的车间，废气收集效率较高，达到99%。实际物料装运、使用、贮存和废气收集过程中废气污染物的无组织排放情况见表3-8。表3-8 无组织排放废气产生源强序号污染物名称污染源位置污染物产生量t/a面源面积m2面源高度m1HF各清洗区化学品仓库0.0960192HCl 0.00880193NOx0.17120194H2SO40.01280195NH30.396019（2）水污染物产生及排放情况项目各类废水的来源、类别及排放量详见3-9

28、。表3-9 废水种类及水量情况序号类别编号水量t/d1切片倒角废水W1、W262研磨废水W31073抛光废水W13、W142144酸性废水W4、W9、W 11、W 15、W 20、W 24438.55碱性废水W1253.56含氟废水W5、W 10、W 16、W 21、W 26296.37含氨废水W6 W 8、W 17 W 19、W 255518一般废水W22、W231129废气洗涤水W273010生活污水W314911清下水W28、W 29、W30648依据仪征经济开发区环境影响评价与环境保护规划，拟建项目所排生产废水应在厂内处理达到污水处理厂的接管后与生活污水通过开发区的管网排入真州污水处理厂进行深度处理，处理达标后统一排入长江仪征段。建设项目水污染物的三本帐见表3-10。表3-10 拟建项目水污物三本