ESD防静电手册标准.docx

1、ESD防静电手册标准深圳電子有限公司SHEN ZHEN POWELECTRONICO. , LtdESD防靜電手冊手冊編號:ESD-001 手冊版本： 1.0 發行日期:2014年10月06日持有人: 總頁數:28 頁（ 含此頁）日期: 日期： 日期: 擬定: 審核: 批准: 文件編號：ESD-001手冊版本：1.0章節：1.0文件名稱：ESD防靜電手冊章節版本：1.0頁數:2 OF 28章節號標題1.0目的2.0範圍3.0公司ESD架構圖/職貝/任命書3.1ESD總負責人職責3.2ESD小組成員職責3.3採購部職責3.4生產部職責3.5PE部職責4.0ESD概 要5.0本公司的靜電敏感器件列

2、表6.0靜電防護區域（EAP的蜀定和標識6.1EAP劃分6.2EPA靜電控制措施6.3EAP標識6.4防靜電性能標準7.0靜電敏感區域的工程環境防靜電規範7.1防靜電工程環境的要求7.2地面的技術要求7.3防靜電保護接地的要求8.0靜電敏感區域的人員防靜電規範8.1各類人員的防靜電知識培訓要求及職責8.2人體靜電防護系統8.3臨時或外來人員的防靜電管理9.0靜電敏感區域的防靜電操作規範10.0靜電敏感區域的工作臺、工裝、設備以及防靜電器材的防靜電規範文件編號：ESD-001手冊版本：1.0章節：1.0文件名稱：ESD防靜電手冊章節版本：1.0頁數:3 OF 281目的規定ESD S20.20-

3、2007防靜電控制技術規範，為產品在元器件進料、製造、 貯存、包裝等各個環節提供明確可靠的 ESD技術支援，從整體上提高公司靜 電防護和控制水準，提高客戶的滿意度。2範圍本規範適用於公司內部靜電防護工程的設計、使用、管理、維護和檢測。同 時，此標準也適用於公司的電子設備的最終用戶的靜電放電控制。3公司ESD組織結構和職責本公司依據ESD S20.20:2007防靜電管理體系要求建立的，為確保公司防靜 電管理體系有效地建立、健全、運行和保持，特任命 先生為ESD總負責人，全面負責ESD體系的建立、實施、保持、改進，並負責與 ESD體系有關的內外部各方的聯繫協調工作。執行董事：先生2014年09月

4、12日文件編號：ESD-001手冊版本：1.0章節：1.0文件名稱：ESD防靜電手冊章節版本：1.0頁數:4 OF 283.1ESD總負責人確保職責和許可權被明確定義並得到充分溝通，以保證公司 ESD體系有效運行。3.2ESD小組成員：321 制定ESD程式檔、檢測標準、和檢測專案和檢測頻率。3.2.2建立ESD培訓制度，包括每年的週期性培訓。3.2.3制定ESD稽核專案、稽核頻率並指定稽核人員。3.2.4抽樣檢查公司ESD日常執行情況。3.2.5ESD相關的計量儀器定期校驗。3.2.6ES基礎設施的建立。3.2.7各靜電防護區域靜電防護線網的維護和檢測3.2.8溫度和濕度的管控。文件編號：E

5、SD-001手冊版本：1.0章節：1.0文件名稱：ESD防靜電手冊章節版本：1.0頁數:5 OF 283.2.9對新進廠的職員工進行防靜電知識的培訓。3.3採購部：3.3.1按要求購置防靜電物品。3.3.2需要時取得防靜電物品的防靜電證書。3.4生產部：3.4.1執行防靜電措施。3.4.2部門防靜電知識的宣導與培訓。3.4.3部門防靜電專案的檢查。3.5PE部：3.5.1負責對SMT車間的靜電裝置、接地裝置防靜電專案的檢查。3.5.2負責對各種感元件識別要求標準並通知相關部門；3.5.3負責對防靜電區域儀器監管3.5.4部門培訓靜電知識；4 ESD既要本文主要從靜電控制的五個方面（即人員、設備

6、、物料、方法和環境）來論述 ESD規範，貫穿了公司產品設計、製造、貯存、包裝等各個環節防靜電控 制，詳細介紹了防靜電設施的技術要求、檢測方法和作業指導等內容。4.1定義4.1.1ESD: Electro-Static Discharge 靜電釋放。文件編號：ESD-001手冊版本：1.0章節:1.0文件名稱：ESD防靜電手冊章節版本：1.0頁數：6 OF 284.1.2抗靜電材料：同種材料或類似材料相互摩擦，幾乎不產生靜電荷 的材料。4.1.3導靜電材料：材料表面電阻率每平方米小於 105Q的材料。4.1.4靜電消散性材料：表面電阻率介於每平方米 105 Q與1012 Q之間的材料。4.1.5

7、絕緣材料：表面電阻率每平方米大於等於 1012 Q的材料。4.1.6表面電阻率：每平方米材料表面兩個電極間的電阻。4.1.7靜電敏感器件：指IC類與電晶體（二極體）類電子元件。4.1.8靜電敏感區：指生產區域、存儲區域、檢驗區域。4.1.9非靜電敏感區：指除了靜電敏感區以外的所有區域 ，其中包括部分在靜電敏感區中劃分的非靜電敏感區.4.1.10防靜電工作區：配備各種防靜電設備和器材、能限制靜電電位、具 有確定邊界和專門標記的適於從事靜電防護操作的場所。4.1.11接地：電子連接到能供給或接受大量電荷的物體（如大地、艦船或 運載工具外殼等）。4.1.12硬接地：直接與大地電極作導電性連接的一種接

8、地方式。4.1.13軟接地：通過一足以限制流過人體的電流達到安全值的電阻連接到 大地電極的一種接地方式。文件編號：ESD-001手冊版本：1.0章節:1.0文件名稱：ESD防靜電手冊章節版本：1.0頁數:7 OF 284.1.14大地電極：埋於地下與大地保持良好的電氣連接的金屬體或金屬體 組。它可以是杆狀的、板狀的或網狀的，為接地系統提供接大地的基 準點。4.1.15高靜電材料：容易產生靜電及累積靜電的材料，例如：普通紙張、 普通塑膠袋、塑膠筆等。5本公司的靜電敏感器件列表5.1本公司的靜電敏感器件列表表1靜電敏感器件列表序號型號抗靜電值（Volts）1MOSFET貼片式場效應管）100-20

9、02SAW濾波器）150-5003JFET140-72004CMOS電腦用晶片）250-30005JFET（J結型場效應管）140-7006雙極性電晶體380-70007肖特基二極體300-30008運算放大器190-25009膜片電阻（厚、薄）300-300010綁定IC暫缺11LED暫缺6靜電防護區域（EPA的界定和標識6.1 EPA劃分文件編號：ESD-001手冊版本：1.0章節：1.0文件名稱：ESD防靜電手冊章節版本：1.0頁數:8OF 286.1.1EPA必須具有如下的基本環境要求：6.1.1.1明確的區域界限和防靜電警示標6.1.1.2對區域內的所有導體包括人員可靠接地6.1.1

10、.3消除一切不必要的靜電產生源。6.1.1.4靜電敏感器件必須離靜電源大於 30釐米處。6.1.2根據本公司產品器件的靜電敏感度等級，將本公司靜電敏感度等 級防範要求為100V。防護要求為：（我們公司的敏感等級）6.121 靜電敏感度等級防範要求為100V,應儘量避免產生100V以上的靜電電荷源，如不能避免，應通過有效方式消除。6.1.2.2採用防靜電標識與其他區域分隔開，未採取有效防靜電措施的 人員、設備、物料、工具等皆不得入內。6.1.2.3進入本區域應作好人員防靜電要求，包括防靜電服、防靜電帽 和防靜電鞋，並做人體綜合電阻測試合格後才能進入。對於配備靜 電手環的崗位，還要做腕帶檢測，檢測

11、合格，表示該腕帶可以使 用。6.2EPA靜電控制措施（控制措施按照表 2實施）：6.2.1表2 EPA靜電控制措施要求ESD空制措施要求靜電電壓控制標準小於100V防靜電標識要求防靜電地板要求防靜電桌墊要求防靜電腕帶可選防靜電工作手套、指套要求防靜電工作服要求防靜電帽要求防靜電工作鞋要求防靜電工作椅要求防靜電周轉工具要求防靜電包裝材料要求防靜電烙鐵要求防靜電吸錫器要求裝配、調試及輔助工具防靜電要求靜電產生材料禁止帶入EPA要求人體電阻測試儀（帶腕帶測試儀）要求區域封閉性可選出入口控制可選靜電電壓表可選兆歐表可選接地系統監控儀可選離子風靜電消除器可選離子風機靜電消除器測試儀可選防靜電液可選非防靜

12、電包裝的拆包區域外操作或獨立工位操作辦公區區域外或獨立工區6.3EPA標識防靜電工作區、防靜電包裝材料和轉運工具、設備儀器、防靜電接地系的接地等都應該具有防靜電標識。防靜電標識的作用是警示任何靠近防 靜電工作區的人員，區域記憶體在靜電敏感器件的操作；警示任何接觸 靜文件編號：ESD-001手冊版本：1.0章節：1.0文件名稱：ESD防靜電手冊章節版本：1.0頁數:10OF 28電敏感器件的人員，對該器件的操作必須進行靜電防護。631靜電標識上應注意說明如“注意：靜電安全工作區“或其同意 語。“放電”，“注意”，“危險”等標示對靜電控制是不合適的。632EPA標識所在的位置及其大小應該至少保證在

13、距離工作區 1米時清晰可見。633在邊界線內貼靜電敏感區的區域界限標識（如圖 A）,其寬度為45cm控制說明。 图静电敏咸区域警一标士6.3.5防靜電器材图工具电敏感電域警咸标料都必須具有明顯的防靜電標6.3.6防靜電容器（防靜電周轉箱，防靜電元件盒等），元件架和運輸 車等器材上應有防靜電標誌，其標誌應置於明顯且不易受到磨損的地 方。如圖B,6.4防靜電性能標準6.4.1 防靜電性能標準 表3項目要求限定檢測頻率檢驗比例檢測人員防靜電服 1 x 1011 歐姆新購每批5%IQC每月20件ESD Group防靜電帽 1 x 1011 歐姆新購每批5%IQC每月20個ESD Group防靜電鞋 3

14、.5 x 107 歐姆新購每批5%IQC每月20個ESD Group防靜電手套/手指套 1 x 10歐姆新購每批5%IQC放靜電地板9 1 x 10歐姆新安裝100%ESD Group清潔後100%ESD Group每月20個ESD Group半年100%ESD Group防靜電工作臺 1 x 109歐姆新安裝100%ESD Group每月20個ESD Group半年100%ESD Group防靜電工作椅 1 x 109歐姆新購100%ESD Group每月20個ESD Group半年100%ESD Group移動貨架 1 x 109歐姆新購100%ESD Group每月20個ESD Grou

15、p半年100%ESD Group固定貨架 1 x 109歐姆新購100%ESD Group每月20個ESD Group半年100%ESD Group手推車 1 x 109歐姆新購100%ESD Group每月20個ESD Group半年100%ESD Group接地線 1歐姆新安裝100%ESD Group半年100%ESD Group監視報警器是否正常工作（檢測方法參考相 關指導書）新安裝100%ESD Group每週100%ESD Group維修設備 （烙鐵對地阻值）=2 Ohm每天100%T/S離子風靜電消除器+/- 50V年（外校）100%ESD Group防靜電包裝材料 1 x 10

16、11 歐姆新購IQC抽樣檢驗標 準IQC機器接地電阻2Q半年100%ESD Group防靜電容器（周 轉） 1 x 1011 歐姆半年100%物品所屬部門7靜電敏感區域的工程環境防靜電規範 7.1防靜電工程環境的要求：7.1.1 環境的溫度、濕度要求文件編號：ESD-001手冊版本：1.0章節：1.0文件名稱：ESD防靜電手冊章節版本：1.0頁數:13 OF 28根據公司環境要求檔對公司內部各個生產區域的溫濕度進行管控， 靜電控制環境內應配備溫度計和濕度計，溫度計和濕度計必須放置 在垂直固定於牆壁上，並按要求做好點檢記錄。7.2地面的技術要求721地板的防靜電要求：為有效地使人體靜電能通過地板

17、儘快洩漏到 大地，除了操作人員穿用防靜電服、防靜電鞋外，其先決條件是地板 必須具有一定的導電性能，即是防靜電的。722防靜電地板的靜電特性定期檢查與維護保養：723當地板上附著有絕緣性的油膜、樹脂、橡膠和髒汙時，7.2.4清掃防靜電地板時不得使用絕緣性的地板臘。7.3防靜電保護接地技術要求：防靜電系統必須有可靠的接地裝置，主要技術要求如下 ：7.3.1接地線（總地線）：也稱為地線母線。接地主幹線的截面面積應不小於100mm支幹線（黃綠雙色）的截面面積應不小於 6mm設備 和工作臺的接地線採用截面面積應不小於 1.25mm2的黃綠雙色導線。7.3.2防靜電設備的連接端子應確保接觸可靠，易裝拆，必

18、須使用插頭 座等。7.3.3接地電阻：指接地體與大地之間的接觸電阻，靜電保護接地電阻 應小於2Q。文件編號：ESD-001手冊版本：1.0章節：1.0文件名稱：ESD防靜電手冊章節版本：1.0頁數:14 OF 287.3.4地線的埋設： 埋設地線的原則是埋設地點的土壤電阻係數愈小愈好接地體與土壤的接觸面積要大，接觸密度要高，接觸要緊。7.3.4.1地設地線的注意事項：7.3.4.1.1接地線與接地線接頭必須焊接牢固，要有足夠的機 械強度，引線不要過長。7.3.4.1.2要採用耐腐蝕的接地體金屬。7.3.4.1.3要保持接地體附近土質的品質，並不斷採取措施防 止接地電阻變大。7.3.4.1.4防

19、靜電地線必須是永久性的。7.3.5.接地線需要定期檢查：7.3.5.1接地線需要定期維護：7.3.5.2對於檢查不過關的接地線必須採取措施及時解決。7.3.5.3確保接地線有效接地。7.3.5.4對於生銹的或接觸不好的接地線要及時更換。7.3.5.5對於鬆動的接地線要重新連接。7.3.5.6按接地線相關規定進行維護。8靜電敏感區域的人員防靜電規範8.1各類人員的防靜電知識培訓要求及職責：文件編號：ESD-001手冊版本：1.0章節：1.0文件名稱：ESD防靜電手冊章節版本：1.0頁數:14 OF 288.1.1有可能進入靜電敏感區域的人員或有可能接觸靜電敏感器件的人 員都必須接受防靜電知識培訓

20、。這既是對每位員工的基本要求，也是 減少靜電危害的根本方法和途徑之一。8.1.2所有新員工在接受入廠培訓時，必須接受 ESD知識的培訓。培訓結束後，所有被培訓者需要通過 ESD的考試，合格者才能上崗。8.1.3所有在職人員必須每年接受2次ESD知識再培訓。培訓內容包括 介紹ESD的新技術，新規範等。8.1.4採購部人員必須接受ESD基本知識培訓，幫助生產部門採購合格 的ESD防護材料。8.1.5負責防靜電接地和布生產線的人員，應接受更為專業的 ESD知識培訓。瞭解防靜電接地系統要求並掌握地樁、地線和其他防靜電設施的敷設或安裝。8.1.6計量檢定人員也應瞭解ESD基本知識，尤其是關於防靜電儀器的

21、 校驗知識，要定期校驗防靜電檢 測器材，保證其安全、有效，現儀器 全部外校，每年1次。8.2人體靜電防護系統：8.2.1防靜電工作服：防靜電工作服是指為防止靜電荷積累，用防靜電織物作為面料而製 成的工作服，樣式有連體式、分體式等。防靜電工作服主要用來泄 放人體高絕緣性能的服裝所產生的靜電或減少人體靜電產生。文件編號：ESD-001手冊版本：1.0章節:1.0文件名稱：ESD防靜電手冊章節版本：1.0頁數:16 OF 288.2.1.1防靜電服使用要求：8.2.1.1.1進入防靜電區域的人員必須按規定穿防靜電大褂衣，夾克衣或防靜電連體服，嚴禁穿一般合成纖維 工作服。8.2.1.1.2防靜電衣必須

22、在更衣室更換，不允許在 ESD區域穿或脫防靜電衣。8.2.1.1.3禁止在防靜電衣上附加或佩帶與工作無關的金屬物 品或裝飾品。8.2.1.1.4不能把非防靜電衣的衣領翻出蓋住防靜電衣的衣 領，防靜電衣須將拉鏈拉好，扣子扣好。非不準將防靜電 衣的袖子挽起，不準將手錶、手飾等與工作無關的裝飾物 品露出防靜電衣外。821.1.5防靜電大褂衣和夾克衣，應保持清潔，工作服的洗滌應儘量採用簡易方法進行， 採用中性洗滌劑 要避免受到較強的機械和化學操作的洗滌。821.1.6防靜電服需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考表3。8.2.1.2防靜電服的檢測：82121檢測項目：表面電阻。82122檢測位置：袖與袖之間

23、。8.2.1.2.3 檢測儀器：阻抗測試儀。8.2.2防靜電帽文件編號：ESD-001手冊版本：1.0章節：1.0文件名稱：ESD防靜電手冊章節版本：1.0頁數:170F 288.2.2.1防靜電帽應正確佩戴，帽沿朝前頭髮不能露出防靜電帽外後腦 部分的短細的頭髮。8.2.2.2防靜電帽需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考表 3。8.2.2.3防靜電服的檢測：8.2.2.3.1檢測項目：表面電阻8.2.2.3.2檢測位置：靜電帽表面8.2.2.3.3檢測儀器：阻抗測試儀8.2.3防靜電工作鞋：8.2.3.1作業人員必須穿防靜電鞋，經過人體綜合電阻測試合格後，方 可進入靜電敏感區域工作。8.2.3.2

24、防靜電鞋需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考表 3。8.2.3.3防靜電鞋的檢測：8.2.3.3.1檢測項目：對地電阻。8.2.3.3.2檢測儀器：人體綜合測試儀8.2.4防靜電手套或指套：8.2.4.1操作員工在接觸靜電敏感材料時，需要戴上防靜電手套或指 套。8.2.4.2防靜電防靜電手套或指套需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考 表3。8.2.4.3防靜電手套或指套的檢測：文件編號：ESD-001手冊版本：1.0章節:1.0文件名稱：ESD防靜電手冊章節版本：1.0頁數:18 OF 2882431檢測項目：對地電阻82432檢測儀器：表面阻抗儀8.244 防靜電手套或指套較髒或破損時，應及時更換。

25、8.2.5防靜電腕帶：防靜電腕帶是通過腕帶與皮膚的直接接觸和靜電線接地的方式，將 人體皮膚表面靜電泄放掉裝置8.2.6作業員坐著接觸靜電敏感材料時，需要佩戴防靜電手腕。8.2.7防靜電腕帶佩帶方法：將腕帶紮於手腕處，不能鬆動，手腕感覺 四周握緊。 保證手腕帶內表面與皮膚良好接觸。8.2.8防靜電腕帶接地應採用插孔的連接方式，應避免使用鱷魚夾的接 地方式。8.2.9防靜電腕帶需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考表 3。8.3臨時或外來人員的防靜電管理：臨時（外來）人員，包括參觀人員、非本車間聯繫工作人員、臨時施工 人員（包括電工、修理工、裝 飾工等），進入防靜電區域時，必須遵守 防靜電區域和生產過程

26、的各項防靜電要求。8.3.1臨時（外來）人員進入EPA區域，必須有本公司內部經過 ESD培訓的人員陪同。不能有違背公司 ESD規定的舉動。文件編號：ESD-001手冊版本：1.0章節：1.0文件名稱：ESD防靜電手冊章節版本：1.0頁數:佃OF 288.3.2臨時施工作業在正常生產時間內要避免暫態高壓、暫態放電的操作（如電焊、啟動電機、開關高壓 電源等）或事前採取防範措施，或安排在非生產時間內施工作業。8.3.3防靜電區域內需要進行某種維護、修理作業時，維護人員應遵守 防靜電區域的有關規定。9靜電敏感區域的防靜電操作規範9.1所有的 靜電敏感器件及其部件的操作必須在靜電安全工作臺上進行。9.2

27、貯存和運輸靜電敏感器件及其部件時，應妥善進行防靜電包裝。9.3拒絕接受未包裝在防靜電容器裏的靜電敏感器件及其部件。9.4所有用非ESD材料包裝的電子元器件都應在指定的靜電泄放區域，經 過拆包和靜電泄放處理後，方可 用防靜電中轉工具將其轉到靜電敏感區域。9.5不允許在靜電敏感區域內存放和處理非 ESD的材料，不允許在非靜電 敏感區域內存放和處理未包裝的 靜電敏感材料，不允許非 ESD的材料與靜電敏感材料混放。9.6進入靜電敏感區域的人員，都要必須穿好防靜電工作服，必須戴上防靜 電環，腕帶必須與皮膚有良好接觸並將腕帶接入可靠的防靜電接地系統 中，防靜電鞋和腳必須與防靜電地板或 ESD地墊保持良好接

28、觸防靜電 帽也必須按規定戴好。9.7不得隨意拆除和改變靜電敏感器件及其部件的封裝。文件編號：ESD-001手冊版本：1.0章節：1.0文件名稱：ESD防靜電手冊章節版本：1.0頁數:20 OF 289.8測試靜電敏感器件時必須遵守加電和去電順序，嚴禁帶電插拔靜電敏感 器件。9.9操作員工在接觸靜電敏感材料時，需要戴上防靜電手套或指套。9.10清潔靜電敏感器件及其部件時，不得使用塑膠刷，必須使用防靜電刷。9.11不具備防靜電功能的必備工具和用具，應放在防靜電桌墊上。如果需要 加裝離子分機，並將這些工具置於離子風機的作用範圍內。9.12靜電敏感材料必須使用防靜電材料盛放和包裝。9.13靜電敏感材料初始包裝應在靜電敏感區域內完成，並要用防靜電材料包 裝。完成了初始包裝的 靜電敏感材料 器件 進行二次包裝時可以在非 ESD區域內完成，可不採用防靜電材料。9.14禁止使用超過有效期的防靜電材料來接觸或包裝 靜電敏感材料 器件9.15在任何場合均不允許未採取防靜電措施的人員接觸 靜電敏感材料及其部件。9.16生產過程中使用的設備必須採取接地等防靜電措施。9.17生產過