微电子专业学校方向选择面面观.docx

1、微电子专业学校方向选择面面观微电子专业学校方向选择面面观从九十年代后期逐步热起来微电子领域，在目前依然是一片火热。国家已经投入大量资金在此行业，并且投入还在进一步地加大。从目前大环境来看，国家高层召开集成电路产业发展座谈会、各省市纷纷出台鼓励集成电路设计产业发展相关政策、各大高校更加重视微电子专业，不仅加大了对该专业投入，微电子专业也基本从其它学院或者系走出来，成为单独微电子系或者微电子学院。与此同时，各院校还适应微电子产业需要，开办了许多与集成电路产业关系密切二级学院，如北京大学软件与微电子学院、电子科技大学成都学院等等。同时，由于专业性强，各集成电路设计公司对人才需求也很大，因此微电子专业

2、毕业生就业情况依然十分看好。微电子专业方向之细考微电子专业在早期前身应该是半导体专业，在上个世纪七、八十年代，人们还总是把半导体专业和收音机联系在一起，直到九十年代到本世纪初，集成电路产业迅猛发展才使得微电子从过去一个由物理专业分支出来冷门，逐步变成了今天热门焦点。从整体来看，已经很难给出一个微电子专业各方向明晰划分。微电子研究方向划分可以电路设计为主线：电路加工（工艺方向）、构成电路物理基础（器件方向）、电路设计方向、电路模拟工具（CAD方向）、电路构成系统（SOC或系统方向）、电路测试封装（测试方向）等。从专业发展来看，微电子专业从最初传统方向逐渐细化拓展，到更多更细一些研究领域：新材料新

3、器件方向（主要有宽禁带材料器件如SiC、GaAs、SOI器件，还有基于GeSi、应变Si技术下新器件）以及甚大规模集成电路（ULSI）、纳米器件、高速器件和射频电路方向等，这些是在摩尔定律驱动下必然产生。一个研究领域发展到一定阶段，又必然会寻求与其它方向相结合，如光电集成电路方向（光领域与微电子结合），生物集成电路方向（生物医学领域与微电子结合），MEMS方向（更多领域结合）；基于一些实际需求，产生出来以应用导向方向，如电源管理、汽车电子。这些划分又都不是绝对，因为做研究不可能只集中于一个方面，作为一个微电子行业人才，必定需同时在各个方向上都有一定基础，做一个项目可能同时会涉及到设计、模拟、制

4、造、测试、可靠性分析等多个方面。各院校微电子专业介绍北京大学微电子所北京大学微电子学系，又称北京大学微电子学研究院（所），有着源远流长学术渊源，其发展历史可以追溯到1956年由著名物理学家黄昆院士领导在北大物理系创建我国第一个半导体专门化机构，之后又在我国著名微电子专家王阳元院士领导下，北京大学微电子学系为我国微电子产业培养了一大批优秀人才，已经成为我国培养高水平微电子人才一个重要基地，是国家和学校大力支持和发展重点学科。【硬件环境】北大微电子学系有着国内一流科研硬件设施，有微米/纳米加工技术国家级重点实验室、北方微电子研究开发基地新工艺新器件新结构电路国家计委专项实验室、北京市软硬件协同设计

5、高科技实验室三大重点实验室，再加上MPW（多项目晶圆）中心这个平台。重视工艺是北大微电子传统，许多老师都是物理出身，对于器件工艺这块十分看重，再加上最先进微米/纳米加工条件，因此在这一点一直能保持领先地位。在未来两年里，美丽未名湖东面将矗立起一座五层高微电子大楼，一两年后研究生将能享受到更为舒适环境。【师资科研】北大微电子所下面分有 SOI、SOC、ASIC、MPW中心、MEMS、新器件、可测性、宽禁带、纳太器件等多个研究小组。所长王阳元院士是中国微电子产业奠基人之一，是业界久负盛名专家。王院士目前出任中芯国际董事长。SOI组黄如教授是北京市优秀教师，目前为IEEE EDS(Electron

6、Device Society) 和ADCOT （AdministrativeCommittee）成员，科研方向主要是SOI方向，同时也指导学生进行射频方面研究。SOI研究组研究领域有SOI技术、纳米量级新结构器件及制备工艺技术，以及现在主要研究射频电路技术。再加上对RF电路功底深厚廖怀林教授，有着国内科研界最先进加工水平（流片基本上都是采用0.13微米工艺），组内研究生博士生已有多篇文章发表在国际高水平刊物上。SOC研究组由于敦山教授领导，该组拥有北京大学-安捷伦科技SOC测试教育中心和北京大学-安捷伦科技SOC测试工程中心两个中心作为平台，于老师是研究微处理器出身，对系统方面有着很深刻理解。

7、新器件组在刘晓彦教授、康晋锋教授两夫妇领导下，主要进行新型半导体器件结构、材料、工艺、模型、模拟等方面研究工作。在新型半导体器件结构、材料、工艺研究方面，成功研制了多种新结构半导体器件，在超精细栅、新型金属栅和高K栅介质结构、制备工艺、可靠性方面，高速互联方面都取得了一系列创新成果。另外，对于器件模型、蒙特卡罗模拟以及新型存储器方面研究都堪称一流。MPW是近两年新成立一个研究组，是依托北京大学微电子学研究院技术力量建立一个服务于各高校科研和一些公司平台，目前由盛世敏教授和张刚刚教授指导学生开展工作。盛教授是当年和王院士共同工作同事，也是北大微电子所奠基人之一。MPW组下研究生，做数电和模电都有

8、，也有做ADC、提取参数和建立模型库。MEMS组是目前北大微电子所里规模最大一个组，有RFMEMS、MEMS陀螺、微流体芯片、生物MEMS、NEMS等多个研究方向。北大MEMS组加工工艺在国内高校领先，组内李志宏教授、张大成教授等多个老师对工艺理解都很深刻，有着多年设计加工经验。李志宏教授是MEMS研究所所长，在RFMEMS和微流体芯片方面都有研究；闫桂珍教授是国内MEMS陀螺研究方面权威；张大成教授对微电子IC工艺和MEMS工艺都有丰富实践经验，同时也是微米纳米加工实验室负责人。该组“基于 MEMS技术及应用研究”已于今年获得国家技术发明二等奖，是北京大学第一次以“第一完成 人单位”获得国家

9、技术发明二等奖。【招生培养】每年招生方面，北大理学硕士招生人数为57人，保送生30人，一般本部25人中15人保送，深圳30人中15人保送，具体人数可能少许浮动。考试录取37人，北大招收人比较多原因是其中会包含深圳研究院研究生。深院研究生培养模式和本部不同，与本部相比各有各优势。从2007年开始，招生方式有所改变，没有达到微电子专业线，只要过了北大总线都可以上微电子工程硕士，工程硕士招生总人数为100人。清华大学微电子所清华大学微电子学研究所成立于1980年9月，全国著名半导体物理学家、中科院院士李志坚院士曾任该所所长。该所是国家重点支持北方微电子研究开发基地主要组成单位，是高素质微纳电子科技人

10、才培养基地，1988年第一次国务院重点学科评选时，被评选为全国微电子学领域第一个重点学科点。【硬件环境】清华大学微米/纳米技术研究中心拥有一条4英寸1微米级集成电路工艺线，具有完备MEMS加工技术与设备，主要用于加工与MEMS器件相关项目流片。另外还有一条集成电路开发与工业性试验线，该生产线主要进行各类新型SiGe微波功率半导体器件与集成电路以及其它特殊用途硅集成电路研究开发，并且可以提供MOS MPW（MOS多项目晶圆）服务。【师资科研】清华大学微电子所主要器件、设计、工艺和CAD四个研究方向。在这四个研究方向里，器件和设计实力最强，资金雄厚。器件方面，主要强在理论，相对更容易在高水平期刊上

11、面发表论文，对于出国有利。器件组研究方向包括新器件结构与模型、新材料与工艺、新概念与原理。清华MEMS研究方面，是国内唯一个重复出当年静电微马达科研单位，同时有硅电容式微麦克风研究，曾参与此项目研究陈兢现为北大微电子所MEMS器件组副教授。整个器件组特点在于：新材料和新器件方向结合、LIGA技术与传统IC方向结合、微纳米级器件设计与小尺寸器件模型建立相结合，研究领域很广。此方向下微纳器件与系统研究室，现在由任天令教授主管，任教授研究方向主要包括MEMS、新型半导体存储技术、纳电子与自旋电子学和微纳电子技术新材料。设计方向主要更偏向于工程。在各大高校中，清华电路设计是一流水平，可以说是跟公司前沿

12、最接近，与各大公司、研究所以及国内外foundry都有较多合作，研究课题涉及数字多媒体、神经网络及模糊电路、高层次综合技术（原大唐总裁魏少军在这个方向为北大清华研究生开有任选课）、IC测试、多媒体VLSI、加密电路及CPU等等。此方向下集成电路与系统设计研究室由王志华教授领导，其研究领域为：集成电路与系统设计方法学、模拟和射频集成电路设计、通讯集成电路设计和高速实时信号处理。工艺方向，包括了研究传统CMOS工艺技术以及一些新型工艺技术如数模混合工艺等等。其中集成电路开发与工业性试验线由刘志弘教授任主任，该组主要研究方向包括了深亚微米集成电路制造、SiGe技术、非挥发性存储技术、POWER器件及

13、集成电路以及集成电路生产自动化控制等方向；CAD技术研究室，主任为王燕教授，该组主要研究方向有：极小尺寸MOS器件输运机理研究、纳米级量子、电子器件结构和理论分析、微/纳米级器件CAD软件研究、微/纳米级新结构器件研究、建库方法学研究和用于SOC存储器类IP核开发、射频(RF)电路版图设计电路提取和验证和集成电路制造计算机辅助管理系统（IC-CAD系统）研发等。【招生培养】清华研究生难考原因，在于它接收考试生比较少（07年仅为10人），而保送生为30-40人。清华大学微电子在深圳也设有研究生院，但是那边一般不培养微电子类工学硕士，只培养工程硕士。微电子所07年在北京、深圳两地招收工程硕士人数总

14、共为74名。中科院微电子所、微系统所和半导体所说到科研，就不能不提中科院，中科院和微电子领域关系最密切研究所有三个：微电子所、半导体所和微系统所。作为中国科学院下面直属科研院所，这三个所师资、资金实力在国内同行中都处于领先水平。中科院一个特点是老师多，学生少（虽然说最近几年也有扩招），在其它科研院所干事主力可能是高年级研究生和博士生，但中科院科研主力绝对是各位研究员。微电子所核心试验设备一流中科院微电子所核心设备是一流。它有一条用于0.8微米IC工艺研究实验线， “高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”为国家863集成电路装备重大专项；微细加工与纳米技术实验室装备了分辨率30nmJEOL J

15、BX-5000LS电子束光刻系统，分辨率0.35uMEBES 4500电子束制版系统以及和微细加工有关反应离子刻蚀机，电子束镀膜系统，光学制版系统，LPCVD以及JBX-6A2电子束制版系统。在北京地区，目前唯一能做电子束光刻科研单位就是微电子所。研究方向互补该所现目前一共有七个研究室。这七个研究室分别为硅器件与集成技术、专用集成电路与系统、微细加工与纳米技术、微波器件与集成电路、通讯与多媒体SOC、电子系统技术和总体电子设计平台与共性技术。各个研究室研究方向基本涵盖了器件电路设计开发各块领域，互补而又不冲突，相互之间师资分配也很合理。具体情况在官方网站上有详细描述。【招生】微电子所近年招生人

16、数为45个（其中保送人数小于15），招生老师有29个，其中大部分都有研究员以上职称，过半数都是博导。微系统所中科院微系统所有两个国家重点实验室：传感技术国家重点联合实验室与微系统技术国家级重点实验室（隶属MEMS组）、信息功能材料国家重点实验室（隶属材料组）。微系统所主要有五个研究组。王跃林教授MEMS组：下有微系统工艺平台和微系统封装平台，研究方向包括MEMS传感器和执行器技术研究、光通信微系统研究、生物芯片等；宋志棠材料组：拥有化合物半导体器件工艺平台和纳米半导体薄膜材料加工测试平台，主要研究相变存储器、光电子和微波材料与器件、太赫兹半导体器件和物理；另外三个主要研究组是SOI组、无线组和

17、能源（电池）组。除了这几个主要研究组外，还有两个单独课题组是RF和DNA。微系统所还有一个很大特点就是产业化方面做得很出色，不久前揭晓国家科学技术奖评选中，该所“高端硅基SOI材料研发和产业化”项目获2006年度国家科技进步一等奖。助研金高，部门完善个人觉得微系统所一个最大特点在于涉及领域很广，各个研究室之间相对独立而又不乏合作。还有一个特点就是研究所给学生发助研金比较多，差不多是其它科研院所两倍，甚至其硕士生助研金比其它单位博士生都高。同时，微系统所整个所也是一个很完善系统，七个实验室或研究中心为核心科研部门，又有EDA与网络信息中心作为公共支撑部门，同时又与多个公司有良好合作关系。【录取与

18、就业】微系统所每年招生75人左右，其中大部分在微电子与固体电子学（47人）和通信与信息系统（20人），毕业生主要去一些国内外大公司，如AGILENT、华为等。半导体所半导体主要研究领域可能更会侧重于物理方面底层。中科院微电子所，最初是由半导体所里微电子研究部分和我国第一家半导体材料和器件生产厂109厂合并而成。目前半导体所还保留有微电子研究和发展中心，该中心主要从事同微电子相关半导体器件和电路研究，主要研究内容包括抗辐射CMOS/SOS及CMOS/SOI集成电路 、SiC高温半导体器件 、微电子机械系统(MEMS) 、磁存储器(MRAM) 、共振隧穿二极管(RTD) 和系统集成芯片(SOC)设

19、计及应用。可以看出，半导体所主要优势在于深厚物理理论基础，主要研究领域还是器件方向，擅长半导体光电子和微电子器件。该所目前有三个国家重点实验室，但是都跟微电子没有太直接关系。半导体所微电子中心每年招收研究生虽然不多，但毕业去向都很不错，多去国内外知名公司，成为如北京华虹NEC、上海先进半导体（前身为飞利浦半导体）等公司IC设计部门技术骨干。电子科技大学微电子与固体电子学院电子科大位于具有“天府之国”美誉成都，是“211”和“985”名校之一，在2006年中国高校国际学术会议排名中名列第四，被誉为“我国电子类院校排头兵”。其微电子与固体电子学院拥有一支以中国科学院院士陈星弼领衔包括16名博士生导

20、师、27名教授在内雄厚师资力量，与国内外相关公司、高校和研究机构有着广泛合作关系。【硬件环境】电子科大微电子专业最主要特色在功率器件和功率电路方面。学院硬件设施也相当不错，有国家重点实验室电子薄膜与集成器件实验室、集成电路设计中心和纳米技术中心，值得一提还有最新刚刚建成FAB工艺线微细加工基地（6英寸，线宽为0.35um，位于邵逸夫楼一层），即将投入使用。【师资科研】微电子方面科研方向主要有功率器件与智能功率集成电路、微电子器件与集成电路、ULSI集成电路设计/ASIC设计与应用。第一个组是陈院士所领导研究组，主要研究方向有功率器件、功率电路、电源管理和相关一些模拟电路研究。中科院院士陈星弼老

21、先生是功率半导体方面权威，他提出Super Junction和COOLMOS结构获得美国专利，是功率半导体器件发展史上里程碑。张波教授领导小组研究方向有电源管理（功率器件功率电路）、功率器件（传统硅基器件以及新材料比如SiC基功率器件），张波教授人脉很广，是院士弟子，该组也是最大一个组。微电子器件与集成电路方向在年轻于奇教授领导下，主要集中开发模拟电路，也有锗硅器件、ADDC等研究方向；李平教授小组研究项目近年有电源管理、汽车电子、单片机芯片设计、铁电存储器、FPGA等，可能更集中于数电。【招生培养】微电子专业最近两年招生人数110人左右，其中保送生占到大概15%。电子科大微固学院另外一个方向

22、是固体电子方向，如果报考微电子专业而发挥不好则有一定机会转到该方向，这个专业虽然不很热门，但是实力极强，在全国高校中也位于前茅，如此可以给大家多一个读研机会。东南大学射频光电集成电路研究所和微电子所东南大学微电子研究比较特殊，既有以射频闻名射光所，又有MEMS方向颇具实力微电子所。射光所是在无线电系下面，而微电子是在电子工程系下面。两个研究所各有所长，优势互补。【射光所】射光所，即射频光电集成电路研究所。射光所是在“211”工程项目内，由国家教育部和东南大学在1997年联合支持新筹建高技术研究所。在国家教育部、科技部等有关方面通过“211”和“985”支持下, 已经发展成为国内外知名射频与超高

23、速光电集成电路人才培养和高技术研究中心。东南射光所前任所长，同时也是创建人王志功教授（相信各位在很多教材上看到过这个名字），是从德国归国定居工作微电子光电子专家，在创建该研究所之前曾在德国深造和从事客座研究十三年。在射频和光电集成电路方面造诣在国内首屈一指，在整个学术界也享有盛名。射光所主要研究方面包括射频集成电路、微波毫米波集成电路、光电集成电路、光纤通信集成电路、ULSI、生物用集成电路等等。射频集成电路方向由李智群博士主要负责，研究内容包括移动通信及无线接入系统用射频集成电路，包括低噪声放大器、混频器、振荡器、功率放大器等。微波毫米波集成电路设计方向由王志功教授亲自负责，研究内容涉及HE

24、MT移相器、GaAs HBT 压控振荡器和单片集成电路上关键元件研究等。光电集成电路方向，是射光所一大特色，主要是关于光电转换一些列集成电路技术研究。生物用集成电路技术，是将集成电路技术和生物学医学相结合一个方向，射光所在这方面研究也是很有优势。【微电子所】其实在东南大学，除了射光所，还有微电子所。该所建有国家专用电路系统工程技术研究中心和微电子机械系统教育部重点实验室。射光所在射频电路相关方面更有优势，而微电子系MEXMS也是很有地位，其MEMS实验室属于教育部重点实验室，黄庆安教授硅微机械加工技术小黄本册子，到目前为止还是国内最好MEMS中文参考书。虽然没有自己生产加工线，黄老师把重点放到

25、了不太耗资金但有不错前景MEMSCAD方向。研究方向包括VLSI器件物理与新型器件研究、超大规模集成电路与系统CAD设计与应用、智能传感与微电子机械系统研究和微电子系统与专用集成电路设计和固态电子学及其技术。综合看来，射光所强在电路，而微电子优势在器件，一个学校两个部门都具相当实力，不能不说是东南一大特色。2003年依托于两个研究单位合力，东南大学IC学院成立，该学院已于2004年开始招收工学硕士、工程硕士和博士研究生。西安电子科技大学微电子学院西安电子科大微电子学院成立于2003年，是在微电子研究所及技术物理学院微电子系基础上组建而成。本学院是根据国家集成电路人才基地建设需要而设立。我校国家

26、集成电路人才培养基地是全国首批9个国家集成电路人才培养基地之一，是科技部资助5个国家集成电路人才培养基地之一。【硬件环境】西电座落在古都西安，老校区西电跟成电老校区很相似，建筑风格也颇为相近；新校区座落在西安市南郊风景秀丽终南山脚下，校园绿树成荫，碧草连片，典雅古朴，环境优美。学院现有三个部级重点实验室，即宽禁带半导体材料与器件”教育部重点实验室、“微电路可靠性技术”和“新型半导体材料与器件”信息产业部重点实验室。另设有EDA实践中心、超净工艺实验室等。【师资科研】学院主要科研方向是宽禁带半导体（GaN、SiC）材料与器件，VLSI/SOC设计技术，超深亚微米器件可靠性与可制造性，新型半导体工

27、艺与新结构器件。根据老师不同，大体上有五个主要研究组：702教研室，由张义门教授挂帅，主要研究方向为器件和工艺，同时副院长张玉明教授也在该组，现在在做RF电路方面研究，同时该组还有好些年青力强青年老师；张鹤鸣老师所带领研究小组主要研究应变硅，高速器件等；院长庄奕琪带领研究小组主要从事电路、系统级研究，如嵌入式电路、IP核、蓝牙电路等等，还有一些如操作系统、解码之类研究，似乎已经跟计算机通信联系起来了。杨英堂老师，是现任发展规划处处长，他所挂帅小组，从器件、工艺到系统都涉及，项目很多，而且由于杨老师活动能力优势，也很容易接到各种项目。还有一个比较大组是郝跃老师带领组，郝老师是校长助理，他研究小组

28、主要是GaAs器件研究。当然，还有其它一些小组是老师单独带领一些学生做研究，规模比较小，如ASIC、FPGA、可靠性等。组规模虽然不大，但是也各有自己特色和优势，如吴玉广老师带领ASIC组每年就业形势是相当好，所以也有很多学生愿意过去。【学科特色】西电一大特色就是师资力量雄厚，过去有号称“四大金刚”庄奕琪、杨英堂、郝跃、张义门老师，如今除了这些老师外，如今还有有很多年轻有为教授加入，从07年研究生招生目录上面可以看出，单就招生教授和副教授人数来看就有好多，研究方向也非常广，实力不可小觑。研究生微电子所招生人数为100多人。华东师范大学微电子电路与系统研究所该研究所虽然成立于本世纪初（2000年

29、11月），但其所隶属电子科学与技术系实际上是国内最早开设集成电路设计相关方向院校之一。华东师范大学以校园环境优雅而闻名，素有“花园学府”之美誉。微电子电路与系统研究所位于师大中山北路校区理科大楼和物理楼东楼。【硬件环境】该所拥有一条条净化面积为280平方米4英寸硅平面工艺加工工艺线）已与2005年底正式投入使用。研究所也拥有相应工作站和主流 EDA 设计工具、各种测试用仪器设备等，具备了良好科研环境条件。【师资科研】半导体方面人才济济：微电子电路与系统研究所名誉所长，中国工程院院士徐元森长期从事半导体材料、集成电路研究工作，是国内外著名集成电路专家，现目前研究方向为集成电路设计及制造、生物芯片

30、技术；信息科学技术学院院长，紫江学者朱自强教授，早年曾在日本从事半导体材料与器件教学与研究工作，他本人在IIVI族半导体化合物材料与器件方面研究成就斐然。研究所下设四个研究室：专用集成电路设计研究室，由该所创办人赖宗声教授负责，主要从事数字电路系统（如指纹识别、数字签名系统）、混合信号电路设计（无线通信 IC 、网络通信 IC 、射频标签）、高速 A/D 转换器 、高精度 D/A 转换器IC、显示器及 LCD 控制驱动电路设计及开发等；集成微机电系统研究室，由王连卫教授任主任，主要从事射频/微波 MEMS开关、移相器、可重构天线和滤波器，光通讯中 MEMS调制器、衰减器、均衡器等研制，其微机械

31、电子系统研究方向获国家2006自然科学基金资助；超深亚微米器件与工艺模拟研究室由石艳玲教授领头，主要从事超深亚微米有源和无源（片上电感、片上变压器、片上电容等）RF 器件模型、工艺模型研究；系统集成研究室在姚萌教授带领下，主要从事 FPGA 、DSPS（数字信号处理系统）和嵌入式系统设计、开发。研究内容还包括传感器信号处理集成系统,DSP Core 和 MCU 处理器 Core、ARM Core等IP核植入平台，实现系统算法软件固化及FPGA 验证平台解决方案。天津大学电子科学与技术系天津大学微电子隶属于电子信息工程学院，下面有两个机构：天津大学专用集成电路IC）设计中心和半导体传感器研究室。

32、该所拥有全套Cadence、Synopsys、Mentor Graphics和ADS服务器、工作站等。今年3月份，已经递交了国家集成电路基地申请。个人感觉天大微电子所主要是以传感器为主，下面有三个主要研究课题组：专用集成电路与MEMS设计课题组，带头人是姚素英教授，包括李斌桥、赵毅强、张为和肖夏等。IC设计组课题领域很广，包括了ASIC、射频集成电路、数模混合集成电路设计、半导体传感器（压力、光电）、MEMS系统集成以及测试和可靠性方向。其中李斌桥教授系清华电子工程系博士出身，在加拿大Dalsa Inc.研究与开发部任首席科学家。新型半导体器件课题组，带头人是毛陆虹教授，包括张世林、梁惠来等，器件组主要研究课题包括通信集成电路、光电集成电路、化合物半导体研究等等。军用电子材料与元器件小组，带头人是李玲霞教授。主要有SOICMOS和BiCMOS方面研究，也有一些光电子器件和集成研究。天大微电子每年招生人数大致为54人，其中保送生为15人左右。武汉大学微电子研究院武汉大学位于风景秀丽东湖之滨、珞珈山麓，是中国最美丽大学之一。微电子学研究院很年轻，成立于2004年4月。研究院有三个实验室：电子设计