锅炉界面全自动操作手册.docx

1、锅炉界面全自动操作手册 介绍. . . . . .3炉体控制. . . . .4晶体、坩埚提升运动控制界面. . . .5晶体、坩埚旋转运动控制界面. . . .5坩埚自动定位界面. . . . . 6加热功率控制界面. . . . . 6等径闭环界面. . . . . 7热场温度控制界面. . . . . 7温度闭环参数设置界面. . . . . 8热场温升控制界面. . . . . 8液面温度控制界面. . . . . 8生长控制界面. . . . . 9坩埚跟踪控制界面. . . . . 9压力控制界面. . . . . 10自动工艺选择. . . . . 10氩气、真空控制. . .

2、. . . 11曲线数据. . . . .12曲线数据选择. . . 13工艺参数. . . . .14下载SOP说明. . . . . 18辅助功能. . . . .19硅晶体重量长度计算. . . . . .19大气压力设定. . . . . .20液面温度校正. . . . . .20热场温度校正. . . . . .21晶体、坩埚行程设置. . . . . .21晶体、坩埚位置设置. . . . . .22日期修改. . . . . .23系统参数. . . . . .23注册. . . . . . .24CCD设置. . . . . .24切换显示. . . . .25系统维护. .

3、 . . .26开关量输入输出. . . .26模拟量输入输出. . . .26工艺设置. . . . .27生长记录. . . . .28图象系统. . . . .29功能描述. . . . .29硬件构成. . . . .29运行程序. . . . .29端口设置. . . . .30开始状态. . . . .30通讯频率. . . . .31监视数据. . . . .31引晶状态按钮. . . . .31放肩状态按钮. . . . .32等径状态按钮. . . . .32液面状态按钮. . . . .33设置按钮. . . . .34法律声明. . . . .35介 绍系统控制采用了工业

4、PLC，人机界面采用了触摸屏。系统分为3种状态：自动、手动、故障状态。状态及报警信息通过界面顶部的状态栏颜色和文字提示。自动时底色为绿色，同时显示当前自动工艺步骤；手动时底色为黄色；故障时底色为红色，同时显示当前报警事项。系统操作界面中默认：底色为黑色的数据框为显示状态数据不可以修改；底色为黄色的数据框，可以按下此数据跳出输入界面键盘进行修改。如下图所示。同时按钮按下为内嵌入显示。炉 体 控 制操作界面有：炉体控制；氩气真空；曲线数据；工艺参数；操作记录；辅助功能；切换显示；系统维护，8个主体界面，各自完成不同的功能，如图1所示。在界面内默认黑底白字参数为显示参数不能修改。黄底蓝字在字体上点下

5、后弹出键盘进行修改当前值。1 中英文切换按钮：按下按钮切换系统语言。2 工艺状态显示：显示当前工艺状态。3 信息提示栏：显示报警信息，操作信息提示。在报警时底色为红色，自动时底色为绿色，手动时底色为黄色。当报警时可以按下此按钮条，关闭报警声音，报警信息仍然显示。4 参数显示区：在切换显示主界面内选择需要查看的参数在此界面内显示。5 工艺参数切换显示区：在不同工艺状态下自动切换不同显示界面参数。 晶体、坩埚提升运动控制界面 此界面用来控制晶体提升运动，坩埚的界面操作类似。 晶体提升方向由上升/下降按钮确定。 慢速按钮按下后动作输出，速度数据在设定速度框内输入，实际速度显示当前速度值。 需要停止电

6、机时，按下慢速按钮使其弹出，速度输出停止。快速点动按钮为快速按钮，在上升/下降按钮按下时按下此按钮，晶体快速升降。注1：慢速按钮按下后， 上升/下降和快速点动按钮不可激活。 注2：当设定速度为0时，电机缓慢停转；当设定其他数值时电机缓慢进行加减速的控制。 晶体、坩埚旋转运动控制界面 此界面用来控制晶体提升运动，坩埚的界面操作类似。 晶体旋转方向由正转/反转按钮确定。 速度数据在设定速度框内输入，实际速度显示当前速度值。 需要迅速停止电机时，设定速度输入0。需要缓慢停止电机时，设定速度输入1，待转速下降到1rpm后再设定速度0。 需要切换转向时，必须先使晶体停转，否则系统禁止改变转向。注：当设定

7、速度为0时，电机立即停转。 程序控制按下后进入转速手控界面。 在自动工艺时，转速由程序自动控制；当需要人工干预时，按下OFF键,取消转速自动控制，就可以人工修改当前转速。 注：当设定速度为0时，电机为立即停转；当设定其他数值时电机缓慢进行加减速的控制。 坩埚自动定位界面 此界面用来进行坩埚的自动定位。 按下黄底输入框，输入坩埚定位设定值。 按下开始按钮进行坩埚自动定位，定位精度。 坩埚定位设定值可通过上下按钮增减。 加热功率控制界面 此界面用来控制加热电源功率。 按下黄底输入框，输入加热电源功率设定值。 功率设定值可通过上下按钮增减。 等径闭环界面 此界面用来控制晶体的生长直径。 通过ON、O

8、FF切换闭环启动、关闭。 需要修改等径闭环PID参数时，在按下P,I,D参数按钮后，按钮显示红色，相应下方的黄色才能接受按键输入。 等径PID参数初始化由工艺表决定。 热场温度控制界面 此界面用来控制当前热场的温度 可以通过相应的PID参数进行调节控制参数。 按下参数设置按钮弹出参数设置界面。 温度闭环参数设置界面 此界面用来设置闭环控制时功率的上限与下限、报警电阻、功耗。 最大功率限制功率闭环时加热器功率最大限制。 最小功率限制功率闭环时加热器功率最大限制。 加热器报警电阻下限当石墨加热器电阻低于此值时进行报警提示，用于内部短路等诊断。 加热电能计算电能消耗量 热场温升控制界面 此界面用于手

9、动设置热场温升速率，在自动工艺中都可以设置这个温升速率，对程序产生的温升速率进行累加干预。 温升速率为正时进行升温，为负时进行降温。 液面温度控制界面 此界面用来稳定熔液面温度，在稳定化、熔接时作用。 程序通过调节热场温度达到液面温度的控制。 生长控制界面 此界面用于晶体生长过程补温控制。 按下RAMP按钮时，设定生长速度依照工艺文件中等径斜率表计算，此时框底色为灰色，人工不可修改；按下FIXED按钮时，设定生长速度框底色为黄色，可以人工设定。修改后再按下RAMP按钮时，设定生长速度与斜率表一直保持修改时的偏差。 GAIN为补温增益参数。按下GAIN按钮参数可修改。在修改前需要在辅助功能下解除

10、参数锁定。 RATE为补温自主学习项，主要调整后期补温速率。在修改前需要在辅助功能下解除参数锁定。 坩埚跟踪控制界面 此界面用来进行坩埚跟踪控制，以稳定拉晶熔液面的位置。 按下RAMP按钮时，CL/SL值依照工艺文件中CL/SL表计算，此时框底色为灰色，人工不可修改；按下FIXED按钮时，CL/SL值框底色为黄色，可以人工设定。修改后再按下RAMP按钮时，CL/SL值与CL/SL表一直保持修改时的偏差。 当手动隔离后，程序无法自动计算坩埚内剩余重量，需要手动修改投料量进行修改。注：自动隔离程序时程序自动进行计算不需要手动修改投料量。 例如：隔离取走单晶后，埚内剩余30Kg料，自动操作下投料重量

11、自动更新到30 Kg，当手动隔离时需要手动修改到30Kg，若不修改，拉下一段时晶体长度程序按照从0开始进行。 压力控制界面 此界面通过调节节流阀开度来控制炉内压力。 如炉体不配置智能蝶阀将无法自动控制压力。 自动工艺选择在手动情况下，按下主界面的工艺选择按钮，出现以上界面用于自动控制工艺流程的选择。按下自动工艺后返回主界面。在不同自动控制下按下工艺选择按钮出现其他工艺选择的界面。氩气、真空控制此界面用来调节系统的真空管路阀和氩气控制阀，并显示炉体内压力值。左边为副泵管路阀和主泵管路阀，打开时进行抽真空操作。右边为3个氩气阀，上下氩气流量通过质量流量计控制，中间为快速充气阀。 右上角节流阀切换节

12、流阀与质量流量控制界面。阀红色表示关闭状态，阀绿色表示打开状态。右上角单位显示用于切换当前显示的压力单位。 按下Set按钮跳出参数界面，此参数为炉内压力数据，在手动状态下当副室压力超过这个参数压力时，快充阀自动关闭。注意：1）在炉内压力小于20Torr时，管路阀不能打开，此时如按下系统状态栏显示当前压力太低进行报警，必要时可以在系统维护界面内将其强制打开。2）当真空泵打开后，泵符号闪烁，在一定的延时（由延时继电器手动设置）后，两个真空管路阀才可以切换动作。曲 线 数 据曲线有5种色笔，可同时观测5条曲线。3个切换界面，第一个界面为固定10分钟的曲线显示，第二个界面为13600分钟的曲线界面，第

13、三个为设置界面按下色笔按钮，弹出选择曲线界面，有模拟量输入、模拟量输出、计算值三种选择。 按下ON/OFF按钮确定曲线数据超出最小值，最大值时系统自动报警。 按下最大、最小值可以修改曲线纵轴显示区间的上下限值。 曲线下控制键保存按钮，保存的数据存放在触摸屏的CF卡内。 监视时间为当前屏幕曲线显示的时间轴长度。 保存按钮用来保存当前工艺下的曲线数据。程序在不同的自动工艺下可以自动保存各自的曲线数据，在工艺切换时自动更新为曲线显示的数据。 曲线数据选择曲线显示的模拟输入量，输出量，计算值在数据定义章内详细描述。工 艺 参 数将SOP修改密码解锁之后，可在界面上对工艺参数直接修改。如等径工艺表内右上

14、角出现“放大”按钮，按下后出现下图，可以更方便的修改。 切换SOP：此按钮用来读取触摸屏的CF卡内的SOP文件。按下切换SOP按钮弹出如下界面： 输入CF卡中已有SOP文件的全名（包括后缀），然后在前面方框打勾，（已经打勾了再重新选择一次），然后再文件注释中会出现此SOP文件的注释，假如显示 “NO FILE”表明CF卡中没有此文件。 当文件选择正确后，按下读SOP 按钮后SOP被读入。可以返回看SOP读入参数。 下载SOP：在手动操作下，将当前选择的SOP文件下载到PLC控制器中进行执行。同时生长记录里自动记录下载的日期和时间。 当SOP修改密码没有解锁时，出现上面界面，不允许下载。 SOP上传：从PLC控制器中将SOP文件上传到触摸屏进行更新显示。 SOP保存：密码解锁后，在触摸屏上可以直接修改工艺，按下保存SOP弹出保存界面，输入文件名等信息后按保存到CF卡将SOP存入CF卡。 显示切换：此按钮按下后弹出工艺菜单如下图所示，选择需要查看的工艺，主窗体内显示选择的工艺界面数据。 更改SOP时先切换SOP选择需要的SOP文件，选择后在触摸屏幕中可以查看SOP内容的正确性。确认后，按下下载SOP按钮。